CN103255376A - 成膜装置、以及成膜装置用基板搬运机构 - Google Patents

Abstract

本发明是成膜装置、以及成膜装置用基板搬运机构。提供能够缩小转送室的高度以及处理腔室的高度、且能够缩小闸阀的开口的上下方向的大小的长行程搬运机构。从下方开始第二层的直动轴承的上下两个滚动体保持部背对背地固定安装于基体（第一移动件）上，接下来一层的直动轴承的上下两个轨道轴背对背地固定安装于基体（第二移动件）上，交替地组合第一移动件与第二移动件而形成交叉滚子导向件，在真空中将载置在平板上的基板搬运规定的距离。

Description

成膜装置、以及成膜装置用基板搬运机构

技术领域

本发明涉及在处理室内在基板上成膜的成膜装置、以及成膜装置用基板搬运机构，尤其涉及在真空中在基板上成膜的成膜装置、成膜装置用基板搬运机构。

背景技术

以有机EL器件制造装置为例对本发明的成膜装置进行说明。有机EL器件制造装置不仅仅是形成发光材料层（EL层）且以电极夹持的构造，为了在阳极上形成空穴注入层、输送层，在阴极上形成电子注入层、输送层等而形成将各种材料作成薄膜而成的多层构造，或对基板进行清洗，遍及多个制造装置地将作为处理的产品的有机EL器件保持在真空中不变地向后工序转送。并且，例如，多个制造装置是进行多次不同的蒸镀的蒸镀装置。

图1是基板搬运机构的有机EL器件生产线的一个例子、其是表示利用前后长行程供给机构来搬运处理对象的基板的生产线的图。100是有机EL器件生产线，9是统一控制有机EL器件生产线100整体的控制部，3是处理对象的基板，1是处理基板3的处理腔室，2是利用使用了长行程直动轴承机构的长行程搬运机构来搬入以及搬出基板3的转送室。处理腔室1以及转送室2的第一添标的a~d与处理腔室以及后工序相关地附加，处理腔室1以及转送室2的第二添标、以及基板3的第一添标的u与d表示上侧的线路（u）与下侧的线路（d）。基板3从上游向下游（图中从左朝向右）按顺序地在处理腔室1a、1b、1c、1d进行处理，并继续后工序。此外，本说明书中，将从上游朝向下游的方向称为X方向，将与平面上X方向正交的方向称为Y方向。并且，高度方向（Z方向）是与X方向以及Y方向正交的方向。

对于图1的搬入、处理以及搬出有机EL器件制造装置100的基板3的室内而言，全部维持为处理有机EL器件制造装置100所需要的规定的真空度的真空状态，其大概由搬入处理对象的基板3的转送室2au、2ad、处理基板3的三个处理腔室1（1a、1b、1c）、设有在各处理腔室1间搬出以及搬入（转送）基板的直动式长行程搬运机构的转送室2（2bu、2bd、2cu、2cd）、以及设于处理腔室1与下一道工序（密封工序）之间的转送室2du以及2dd构成。在本实施方式中，将基板的蒸镀面设为上面地在水平方向上进行搬运，并在蒸镀时也将基板维持为水平地进行蒸镀。

图1的有机EL器件制造装置100中，在相同的处理腔室中，在第二基板3d的处理过程中，搬出处理结束后的第一基板3u，以及搬入下一个欲进行处理的第一基板3u。并且，相反地，在相同的处理腔室中，在第一基板3u的处理过程中，搬出处理结束后的第二基板3d，以及搬入下一个欲进行处理的第二基板3d。这样，通过交替地进行处理与搬出、搬入，能够缩短生产率。

例如，处理腔室1b中，第二基板3d的处理过程中，转送室2cu从处理腔室1b搬出处理结束后的第一基板3u。并且，转送室2bu向处理腔室1b搬入欲开始进行处理的第一基板3u。

并且，相反地，处理腔室1b中，第一基板3u的处理过程中，转送室2cd从处理腔室1b搬出处理结束后第二基板3d。并且，转送室2bd向处理腔室1b搬入欲开始进行处理的第二基板3d。

图1中，控制部9以未图示的控制线（也包含无线机构）与生产线整体的各装置连接，向各装置发送控制信号，并且，从各装置接收装置的状态信息，而统一控制各装置整体。例如，在使进行基板3的搬入以及搬出的长行程搬运机构（后述）动作的情况下，对使长行程搬运机构的各直动轴承机构滑动移动的驱动系统进行操作控制，并且，进行对应的闸阀的开闭控制。驱动系统例如是滚珠丝杠机构等。

图2是对设于图1的转送室2的中央部、且用于进行基板3的搬出或者搬入的长行程搬运机构进行说明的侧视图。200是基板搬运机构（以下，称作长行程搬运机构），202是固定于转送室2的基底部的固定基体，204是第一基体，206是第二基体，208是载置基板3的平板，203是固定于固定基体202的上部的固定轨道轴，241与242是固定于第一基体204的下部且在固定轨道轴203的轨道（导轨）上沿X轴方向移动的第一滚动体保持部，205是固定于第一基体204的上部的第一轨道轴，261与262是固定于第二基体206的下部且在第一轨道轴205的轨道（导轨）上沿X轴方向移动的第二滚动体保持部，207是固定于第二基体206的上部的第二轨道轴，281与282是固定于平板208的下部且在第二轨道轴207的轨道（导轨）上沿X轴方向移动的第三滚动体保持部。

图2（a）是表示长行程搬运机构200的平板208位于长行程搬运机构200的中心部（X=0）的状态的侧剖视图。并且，图2（b）是表示长行程搬运机构200的平板208在X轴方向朝向右移动最大的状态的侧剖视图。另外，图2（c）是从上方观察图2（a）的图。此外，图2（c）中，省略了第一滚动体保持部241、242、以及第二滚动体保持部261、262。并且，图2（b）与图2（c）中，仅表示向X轴的右方的移动，但也能够同样地向左方移动。

由图2（c）可知，长行程搬运机构200分别沿Y轴方向设有一对固定轨道轴203、一对第一滚动体保持部241及242、一对第一基体204、一对第一轨道轴205、一对第二基体206、一对第二轨道轴207、以及一对第二滚动体保持部261及262。

此外，后面详述图2的高度方向的说明。

图2中，由于固定基体202固定地安装于转送室2，所以在X轴方向（左右方向）上无法移动。并且，由于固定轨道轴203固定地安装于固定基体202上，所以在X轴方向上无法移动。

第一滚动体保持部241以及242通过未图示的驱动系统（例如，进给丝杠驱动、泵体驱动、带驱动等）而能够在X轴方向上沿固定轨道轴203移动。与该移动联动，固定于第一滚动体保持部241以及242的第一基体204移动，由此上部的构成物也一同移动（此外，省略联动机构而未图示）。

并且，第二滚动体保持部261以及262通过未图示的驱动系统而能够在X轴方向上沿第一引导轨道轴移动。根据该移动，固定于第二滚动体保持部261以及262的第二基体206移动，由此上部的构成物也一同移动。

另外，第三滚动体保持部281以及282通过未图示的驱动系统而能够在X轴方向上沿第二轨道轴207移动。根据该移动，固定于第三滚动体保持部281以及282上的平板208移动，由此上部的构成物也一同移动。因此，载置于平板208上的基板3随着它们的移动而移动。

对于第一滚动体保持部241以及242在固定轨道轴203上能够移动的距离（行程Sx）、第二滚动体保持部261以及262在第一轨道轴205上能够移动的距离、以及第三滚动体保持部281以及282在第二轨道轴207上能够移动的距离而言，若将各轨道轴的长度设为2Lx，将成对的滚动体保持部的两端的距离设为Lx，则行程为Sx=Lx/2，即、为各轨道轴的长度的四分之一。

而且，图2中，由于轨道轴与滚动体保持部的组合有三层，所以该长行程搬运机构能够从中心位置（X=0）移动至（搬运）合计3Lx/2的距离。

图3是表示使用了以往的长行程搬运机构的有机EL器件生产线的一部分的概略的侧剖视图。图3中，表示以往的处理腔室1b、以及其前后的转送室2bd与2cd。390是处理腔室1b的设置面，300是以往的长行程直动轴承机构，351是对转送室2bd以及处理腔室1b各自的室内彼此进行开闭的闸阀，351g是闸阀351的开口部，352是对处理腔室1b以及转送室2cd各自的真空室内彼此进行开闭的闸阀，352g是闸阀352的开口部，301r是用于对处理腔室1b内的基板进行搬入或者搬出的转送部，320是在规定的位置接受由长行程搬运机构300从转送室1bd搬入的处理前的基板3的工作台，321是使工作台320沿Z轴上下动的驱动部，322是用于沿Z轴正确地对工作台320进行上下引导的导向件。

图3中，在基板3载置于转送部301r后，工作台320通过驱动部321以及导向件322而下降至处理腔室1b的处理部301p，从而进行蒸镀等处理，其中，基板3利用长行程搬运机构300从转送室2bd通过闸阀351的开口部351g而搬入处理腔室1b。基板3的处理后，工作台320再次上升，而返回至转送部301r的上述规定的位置。而且，处理后的基板3在上述规定的位置利用长行程搬运机构300从处理腔室1b的转送部301r通过闸阀352的开口部352g而向转送室2cd搬出。

此外，无法发现本发明的现有技术文献。

长行程搬运机构是如下搬运机构，即，与集群式真空机器人的搬运方式相比，当向后面的工序交接时，不会使基板相对于搬运方向的前后关系反转，从而不需要旋转机构，并且能够廉价、高效、可靠地进行搬运，并且产生颗粒的情况也少。

但是，上述的以往的长行程搬运机构的高度相对于移动距离大。简单地重叠直动轴承，会导致闸阀的大型化。即，以往的长行程搬运机构中，高度方向变大。另外，其容纳长行程搬运机构的转送室的高度也变大。另外，为了在水平方向上搬入或者搬运基板，搬运基板的处理腔室的高度、以及闸阀的开口的上下方向的大小也变大。其结果，产品成本变高，且维持真空状态的费用（运行成本）也变高。

直接对基板进行滚子搬运的机构虽然廉价，但对基板产生负面影响的颗粒多，从而成为问题。另外，滚子搬运中，难以不损伤基板表面地进行搬运。另外，滚子搬运中，难以不损伤基板表面地可靠地停止以及定位。

发明内容

鉴于上述的问题，本发明的目的在于提供能够缩小转送室的高度以及处理腔室的高度、且能够缩小闸阀的开口的上下方向的大小的长行程搬运机构。

用于实现上述的目的的本发明的结构如下所述。

成膜装置具备：在内部具有在基板上成膜的成膜机构的成膜腔室、用于在多个该成膜腔室间搬运基板的转送室、以及分隔该成膜腔室与该转送室的闸阀，该成膜装置的特征在于，载置基板并使之移动来搬运基板的搬运机构由层叠的多个移动单位构成，并且由一对导轨以及沿该导轨移动的滚动体构成的直动导向件直接或者间接地对该移动单位与移动单位之间进行连接，并且，上述移动单位的至少一个在上下面仅具备导轨、或者滚动体的任意一方。上述成膜装置也可以构成为，具备向规定的方向对上述搬运机构的最下层的移动单位进行驱动的驱动机构，并且通过利用联动机构将该最下层的移动单位的运动传递至其它的移动单位，从而使该搬运机构上的基板移动至规定的位置。

本发明的效果如下。

根据本发明，能够提供可缩小转送室的高度以及处理腔室的高度、且可缩小闸阀的开口的上下方向的大小的长行程搬运机构。其结果，在以转送室连接多个在真空中进行处理的处理腔室的生产线中，能够提供制造成本低廉的制造装置以及生产线。另外，由于真空腔室的容积小，所以能够维持真空状态、并能够高速地进行真空与排气的切换等，从而能够期待低运行成本、处理速度的缩短。

附图说明

图1是表示有机EL器件制造装置的一个例子的图。

图2是用于说明以往的长行程搬运机构的图。

图3是表示使用了以往的长行程搬运机构的有机EL器件生产线的一部分的大致侧剖视图。

图4是表示使用了本发明的一个实施例的长行程搬运机构的有机EL器件生产线的一部分的大致侧剖视图。

图5是用于说明本发明的长行程搬运机构的一个实施例的图，其中（a）表示中心位置，（b）表示最大移动位置，（c）表示中心位置（俯视图）。

图6是用于说明以往的长行程搬运机构的一个例子的侧剖视图。

图7是用于说明本发明的长行程搬运机构的一个实施例的侧剖视图。

图8是从上方观察本发明的长行程搬运机构的一个实施例的俯视图。

图中：

1、1a、1b、1c、1d—处理腔室，2、2au、2ad、2bu、2bd、2cu、2cd、2du、2dd—转送室，3、3u、3d—基板，6—基板，9—控制部，100—有机EL器件生产线，200—长行程直动轴承机构，202—固定基体，203、203’—固定轨道轴，204—第一基体，205—第一固定轨道轴，206—第二基体，207—第二固定轨道轴，208—平板，241、242—第一滚动体保持部，261、262—第二滚动体保持部，281、281’、282、282’—第三滚动体保持部，300—长行程直动轴承机构，301r—转送部，301p—处理部，351g、352g—开口部，320—工作台，321—驱动部，322—导向件，351、352—闸阀，390—设置面，400—长行程直动轴承机构，401b—处理腔室，401r—转送部，402bd、402cd—转送室，451、452—闸阀，451g、452g—开口部，500—长行程搬运机构，505、505’—固定轨道轴，571—移动件，504、504’—第一基体，506、506’—第二基体，507、507’—固定轨道轴，541、541’、542、542’—滚动体保持部，561、561’、562、562’—滚动体保持部，571、571’—第一移动件，581、581’—第二移动件，600—长行程搬运机构，602—固定基体，603—固定轨道轴，604—第一基体，605—第一轨道轴，606—第二基体，607—第二轨道轴，608—第三基体，609—第三轨道轴，610-第四基体，611-第四轨道轴，612-平板，621、622-第一滚动体保持部，623、624—第二滚动体保持部，625、626—第三滚动体保持部，627、628—第四滚动体保持部，629、630—第五滚动体保持部，700—长行程搬运机构，704—第一基体，705—第一轨道轴，706—第二基体，707—第二轨道轴，708—第三基体，709—第三轨道轴，710—第四基体，711—第四轨道轴，721、722—第一滚动体保持部，723、724—第二滚动体保持部，725、726—第三滚动体保持部，727、728—第四滚动体保持部，771、772—第一移动件，781、782—第二移动件，800—长行程搬运机构。

具体实施方式

本发明的长行程搬运机构构成为，从下方开始第二层的直动轴承的上下两个滚动体保持部在相同的基体上沿上下背靠背地固定安装（第一移动件），接下来一层的直动轴承的上下两个轨道轴固定安装于基体（第二移动件）上，第一移动件与第二移动件交替组合地形成多层直动导向件，并将载置在平板上的基板在真空中搬运规定的距离。

以下，使用附图等对本发明的一个实施方式进行说明。此外，以下的说明用于说明本发明的一个实施方式，不限定本申请发明的范围。因此，若是本领域技术人员，则能够采用将这些各要素或全部要素置换为与之等效的要素的实施方式，这些实施方式也包括在本申请发明的范围内。

并且，各图的说明中，包括以往的说明所使用的附图，对具有通用的功能的构成要素赋予相同的符号，并尽量地避免说明的重复。

使用图4，对本发明的一个实施例进行说明。图4是表示使用了本发明的一个实施例的长行程搬运机构的例如图1的有机EL器件生产线的一部分的大致侧剖视图。400是长行程直动轴承机构，401b是处理腔室，402bd与402cd是转送室，451是对转送室402bd以及处理腔室401b各自的室内彼此进行开闭的闸阀，451g是闸阀451的开口部，452是对处理腔室401b以及转送室402cd各自的真空室内彼此进行开闭的闸阀，452g是闸阀452的开口部，401r是用于将处理腔室401b内的基板搬入或者搬运的转送部。图4中，表示处理腔室401b以及其前后的转送室402bd与402cd。

在图4中，也与图3相同地，在将利用长行程搬运机构400从转送室402bd通过闸阀451的开口部451g而搬入处理腔室401b的基板3载置在转送部401r之后，工作台320通过驱动部321以及导向件322而下降至处理腔室401b的处理部301p，而进行蒸镀等处理。在基板3的处理后，工作台320再次上升，而返回至转送部401r的上述规定的位置。而且，处理后的基板3在上述规定的位置利用长行程搬运机构400而从处理腔室401b的转送部401r通过闸阀452的开口部452g向转送室402cd搬出。

此外，有机EL器件生产线例如是在图1的生产线100的基础上如上述图4所示地变更了构成要素的生产线。

通过图2以及图5，对本发明的长行程搬运机构的一个实施例进行说明。图5是用于说明本发明的长行程搬运机构的一个实施例的图。500是长行程搬运机构，571是第一移动件，504是构成移动件571的第一基体，541与542是移动件571的下侧的滚动体保持部，561与562是移动件571的上侧的滚动体保持部，581是第二移动件，506是第二移动件581的第二基体，505是第二基体506的下侧的轨道轴，507是第二基体506的上侧的轨道轴。利用下侧的滚动体保持部541与542、第一基体504、以及上侧的滚动体保持部561与562来构成第一移动件571。并且，利用下侧的轨道轴505、第二基体506、以及上侧的轨道轴来构成第二移动件581。

第一滚动体保持部541以及542通过未图示的驱动系统（例如，进给丝杠驱动、泵体驱动、带驱动等）而能够在X轴方向上沿固定轨道轴203移动。与该移动联动，固定于第一滚动体保持部541以及542的第一基体504、与第一滚动体保持部541以及542的移动同时地向同方向等速且等距离地移动。其结果，固定于第一基体504的第二滚动体保持部561以及562、与第一滚动体保持部541以及542的移动同时地向同方向等速且等距离地移动。另外，与第二滚动体保持部561以及562的移动联动，轨道轴505、与第一滚动体保持部541以及542的移动同时地向同方向等速且等距离地移动。其结果，固定在轨道轴505上的第二基体506以及轨道轴507、与第一滚动体保持部541以及542的移动同时地向同方向等速且等距离地移动。另外，与轨道轴507的移动联动，第三滚动体保持部281以及282、与第一滚动体保持部541以及542的移动同时地向同方向等速且等距离地移动。其结果，固定在轨道轴507上的平板208以及基板3、与第一滚动体保持部541以及542的移动同时地向同方向等速且等距离地移动。

这样，长行程搬运机构中，在第一滚动体保持部541以及542通过未图示的驱动系统而在X轴方向上沿固定轨道轴203移动的情况下，由此上部的构成物也一同移动（此外，省略联动机构而未图示）。

图2以及图5中，为了简化，在以下的条件下进行说明。

（条件01）基板3的以坐标系X的坐标0为中心的X方向长度设为Lx，厚度设为tp。

（条件02）该长行程搬运机构200以及500是用于使基板3在［+X］以及［-X］两个方向上移动距离Lx以上的直动导向机构。

（条件03）基板3的移动行程（最大移动距离）是基板3完全从基体的宽度2Lx突出的距离。

（条件04）保持直动轴承的滚动体（“球”或者“滚子”）的部分（滚动体保持部241、242、261、262、281、282、541、542、561以及562）对长度Lx的基板3进行支承。

（条件05）导轨（轨道轴203、205、207、505以及507）的长度是2Lx，固定轨道轴（轨道轴203、205、207、505以及507）的基体202、204、206以及506也是相同的长度。此外，基体202、204、206以及506与平板208例如是不锈钢等金属的平板。

（条件06）滚动体保持部241、242、261、262、281、282、541、542、561以及562无法从轨道轴203、205、207、505以及507突出（实际上，在端部设有机械方面起作用或者电气方面起作用的限位器。）。

（条件07）最上部的平板208具有与基板3相同的长度。

（条件08）为了得到需要的移动距离（移动行程），重叠直动轴承（将基体、轨道轴、以及滚动体保持部设为构成要素）而作为一个移动单位来使用。

根据上述的条件，决定下述各规格。即，

（规格01）基板3的移动行程是±3Lx/2。

（规格02）直动轴承一套（set：轨道轴+滚动体保持部）的移动量是±Lx/2。

（规格03）根据上述2项，需要的直动轴承的数量是三套。

在图2的以往方式的长行程搬运机构200中，

（01a）1轴导向机构（轨道轴、两个滚动体保持部、以及基体）简单地重叠为三层。

（02a）除了最上部的平板208之外，滚动体保持部241、242、261以及262所连接的部分成为基体202、204、或者206，从而它们的长度成为2Lx。

（03a）当在X方向上移动时，从最下层的基体（固定基体202）突出的部分的高度是Ha’。

并且，在图5的本发明的长行程搬运机构500中，

（01b）从下方开始第二层的直动轴承构成为，滚动体保持部561以及562、与轨道轴505的上下关系相反，并且滚动体保持部541、542、以及滚动体保持部561、562两套固定于基体504且一体移动。该部分是第一移动件571。

（02b）以往方式的图2的情况下，除了最上部的平板208之外，固定滚动体保持部241、242、261以及262的基体的长度是2Lx。但是，本发明的图5的情况下，第一移动件571所包括的基体504的长度是其半一半，即、长度是Lx。

（03c）移动时，从最下层的基体（固定基体202）突出的部分的高度是Hb’。

比较图2与图5时，简化而以如下条件进行比较。

图2以及图5的纵深方向（Y方向）的长度D一律设为D=1。并且，对于基体202、204、206、208、504、506的厚度、以及轨道轴203、205、207、505、507与经由滚动体保持部241、242、261、262、281、282、541、542、561、563的基体204、206、504、506或者平板208间的距离而言，设为与平板208的厚度tm相同。另外，轨道轴203、205、207、505、507的高度也设为2tm。另外，基体202、204、206、208、504、506以及平板208的密度ρ设为，ρ=1。

根据上述的条件，以往方式的图2的基体202、204、206以及平板208的质量的和Ma’成为，Ma’=tm（3×2×Lx+Lx）=7tm·Lx。并且，图5的基体202、504、506以及平板208的质量的和Mb’成为，Mb’=tm（3×2×Lx）=6tm·Lx。

因此，本发明的质量Mb’能够比以往方式的质量Ma’小。即，Ma’＞Mb’。

接下来，图2的突出高度Ha’是9tm+ts。并且，图5的突出高度Hb’是7tm+ts。

因此，本发明的突出高度Hb’能够比以往方式的突出高度Ha’小。即，Ha’＞Hb’。

接下来，根据图6以及图7，对本发明的长行程搬运机构的其它的实施例进行说明。图6是用于说明以往的长行程搬运机构的侧剖视图。并且，图7是用于说明本发明的长行程搬运机构的一个实施例的侧剖视图。图6以及图7均是表示其长行程搬运机构向右移动了最大的情况的图。

600是以往的长行程搬运机构，602是固定于转送室2的基底部的固定基体，604是第一基体，606是第二基体，608是第三基体，610是第四基体，612是载置基板3的平板，603是位于固定基体602的上部的固定轨道轴，621与622是固定于第一基体604的下部且在固定轨道轴603的轨道（导轨）上沿X轴方向移动的第一滚动体保持部，605是固定于第一基体604的上部的第一轨道轴，623与624是固定于第二基体606的下部且在第一轨道轴605的轨道（导轨）上沿X轴方向移动的第二滚动体保持部，607是固定于第二基体606的上部的第二轨道轴，625与626是固定于第三基体608的下部且在第二轨道轴607的轨道（导轨）上沿X轴方向移动的第三滚动体保持部，609是固定于第三基体608的上部的第三轨道轴，627与628是固定于第四基体610的下部且在第三轨道轴609的轨道（导轨）上沿X轴方向移动的第四滚动体保持部，611是固定于第四基体610的上部的第四轨道轴，629与630是固定于平板612的下部且在第四轨道轴611的轨道（导轨）上沿X轴方向移动的第五滚动体保持部，3是载置于平板612的上部的基板。

并且，700是本发明的长行程搬运机构，704是第一基体，706是第二基体，708是第三基体，710是第四基体，721与722是固定于第一基体704的下部且在固定轨道轴603的轨道（导轨）上沿X轴方向移动的第一滚动体保持部，705是固定于第二基体706的下部的第一轨道轴，723与724是固定于第一基体704的上部且使第一轨道轴705沿其轨道（导轨）上的X轴方向移动的第二滚动体保持部，707是固定于第二基体706的上部的第二轨道轴，725与726是固定于第三基体708的下部且在第二轨道轴707的轨道（导轨）上沿X轴方向移动的第三滚动体保持部，709是固定于第四基体710的下部的第三轨道轴，727与728是固定于第四基体708的上部且使第三轨道轴709沿其轨道（导轨）上的X轴方向移动的第四滚动体保持部，711是固定于第四基体710的上部的第四轨道轴，629与630是固定于平板612的下部且在第四轨道轴711的轨道上沿X轴方向移动的第五滚动体保持部。并且，771是由第一基体704、第一滚动体保持部721、722、第二滚动体保持部723、724构成的第一移动件，772是由第三基体708、第三滚动体保持部725、726、第四滚动体保持部727、728构成的第二移动件。

此外，图6以及图7中，仅表示向X轴上的+方向（图中右方）的移动，但同样也能够向-方向（图中左方）移动。

图6以及图7中，也为了简化，在以下的条件下进行说明。

（条件11）宽度Lx/2的闸阀352或者452隔着直动导向机构而存在。此外，-X方向的闸阀351、451未图示。

（条件12）在基板3位于X=0的位置时，在X方向，闸阀352以及452设置于从直动导向机构的端面离开Lx/4的位置。

（条件13）该长行程搬运机构600以及700是用于使基板3在［+X］以及［-X］两个方向上通过闸阀352的开口部352g（-X方向上，闸阀351的开口部351g）或者闸阀452的开口部452g（-X方向上，闸阀451的开口部451g）而移动距离Lx以上的直动导向机构。

（条件14）基板3的移动行程（最大移动距离）是如下距离，即，基板3完全通过闸阀352或者452（-X方向上，闸阀351或者451）、且移动至从闸阀352或者452的端面至基板3的端面离开Lx/4以上的位置为止。

（条件15）相对于通过的直动导向机构以及基板3，开口部352g或者452g在上下的方向（Z方向）上开口为基板3的厚度tm以上（-X方向上也相同。）。

除此之外，与图2及图5的比较条件相同。例如，

（条件01）基板3的以坐标系X的坐标0为中心的X方向长度设为Lx，厚度设为tp。

（条件04）保持直动轴承的滚动体（“球”或者“滚子”）的部分（滚动体保持部621~630、721~730）对长度Lx的基板3进行支承。

（条件05）导轨（轨道轴603、605、607、609、611、705、707、709以及711）的长度是2Lx，固定轨道轴（轨道轴603、605、607、609、611、705、707、709以及711）的基体602、604、606、608、610、706以及710也是相同的长度。

（条件06）滚动体保持部621~630、721~728无法从轨道轴603、605、607、609、611、705、707、709以及711突出（实际上，在端部设有机械方面起作用或者电气方面起作用的限位器。）。

（条件07）最上部的平板612以及712具有与基板3相同的长度。

（条件08）为了得到需要的移动距离（移动行程），重叠直动轴承（将基体、轨道轴、以及滚动体保持部设为构成要素）来使用。

根据上述的条件，决定下述规格。即，

（规格11）基板3的移动行程是±5Lx/2。

（规格12）直动轴承一套（轨道轴+滚动体保持部）的移动量是±Lx/2。

（规格13）根据上述2项，需要的直动轴承的数量是五套。

在图6的以往方式的长行程搬运机构600中，

（11a）1轴导向机构（轨道轴、两个滚动体保持部、以及基体）简单地重叠为五层。

（12a）除了最上部的平板612之外，滚动体保持部621~628所连接的部分成为基体604、606、608、或者610，从而它们的长度成为2×Lx。

（13a）当在X方向上移动时，从最下层的基体（固定基体602）突出的部分的高度是Ha。

并且，在图7的本发明的长行程搬运机构700中，

（11b）从下方开始第二层以及第四层的直动轴承构成为，滚动体保持部723以及724、与轨道轴705的上下关系相反，并且滚动体保持部721、722以及滚动体保持部723、724两套与第一基体704一体移动。该部分是第一移动件771。

（12b）以往方式的图6的情况下，除了最上部的平板612之外，固定滚动体保持部621~628的基体的长度是2Lx。但是，本发明的图7的情况下，第一移动件771所包含的基体704的长度是其一半，即、长度是Lx。

（13b）移动时，从最下层的基体（固定基体602）突出的部分的高度是Hb。

比较图6与图7时，简化而进行与图2、图5的比较相同的比较。即，在下述条件下比较。

图6以及图7的纵深方向（Y方向）的长度D一律设为D=1。并且，对于基体602、604、606、608、610、704、706、708、710的厚度、以及轨道轴603、605、607、609、611、705、707、709、711与经由滚动体保持部621~630、721~728的基体602、604、606、608、610、704、706、708、710或者平板612间的距离而言，设为与平板612的厚度tm相同。另外，轨道轴603、605、607、609、611、705、707、709、711的高度也设为2tm。另外，基体602、604、606、608、610、704、706、708、710以及平板612的密度ρ设为，ρ=1。

根据上述的条件，以往方式的图6的基体602、604、606、608、610以及平板612的质量的和Ma成为，Ma=tm（11Lx）。并且，图7的基体602、704、706、708、710以及平板612的质量的和Mb成为，Mb=tm（9Lx）。

因此，本发明的质量Mb能够比以往方式的质量Ma小。即，Ma＞Mb。

接下来，图6的闸阀的开口部352g的高度Hag成为，19tm+ts。并且，图7的闸阀的开口部452g的高度Hbg成为，17tm+ts。

因此，本发明的闸阀的开口高度Hbg能够比以往方式的闸阀的开口高度Hag小。即，Hag＞Hbg。

如上所述，根据图5、图7的实施例，

i）在第一移动件的滚动体保持部完全背对背地固定的情况下，在所包含的平板上作用拉伸力以及压缩力。但是，由于基本不受到弯曲力矩，所以能够使移动件变薄。

ii）由于第一移动件能够被视为一个滚动体保持部，所以能够减少长行程搬运机构在外观上的重叠层数。

iii）为了平衡良好地受到弯曲力矩，以往的方式、本发明的长行程搬运机构中任一个均需要从下面的层朝向上面的层地降低质量。为此，需要使各层的基体的质量以及强度产生变化。但是，与以往的方式相比，本发明的长行程搬运机构的基体件数少，从而能够减少质量以及强度不同的部件的件数。

上述的图5、图7的实施例的长行程搬运机构是在垂直方向上重叠第一移动件、第二移动件等的构造。但是，也能够在水平方向上重叠。由图8来表示与图5相同层数的在水平方向上重叠的长行程搬运机构的一个实施例。图8是从上方观察本发明的长行程搬运机构的一个实施例的俯视图。并且，图8也是表示其长行程搬运机构向右移动了最大的情况的图。

800是长行程搬运机构，571’是第一移动件，581’是第二移动件，504’是移动件571’的第一基体，506’是第二基体，203’是固定于固定基体202（从上方看不到）的Z方向上部的固定轨道轴，541’与542’是固定于第一基体504’的一个侧面部且在固定轨道轴203’的轨道上沿X轴方向移动的移动件571’的第一滚动体保持部，505’是固定于第二基体506’的一个侧面部的第一轨道轴，561’与562’是固定于第一基体504’的另一个侧面部且在第一轨道轴505’的轨道上沿X轴方向移动的移动件571’的第二滚动体保持部，507’是固定于第二基体506’的另一个侧面部的第二轨道轴，281’与282’是固定于平板208（由于有基板3，所以从上方看不到）的两个侧面部且在第二轨道轴507’的轨道上沿X轴方向移动的第三滚动体保持部。此处，利用滚动体保持部541’、542’、第一基体504’、以及滚动体保持部561’、562’来构成第一移动件571’。并且，利用轨道轴505’、第二基体506’、以及轨道轴507’来构成第二移动件581’。

如图8所示，在固定基体202上固定有两根固定轨道轴203’，在该两根固定轨道轴203’的内侧面，组合有移动件571’、第一轨道轴505’、第二基体506’、第二轨道轴507’、第三滚动体保持部281’以及282’，另外，在第三滚动体保持部281’以及282’上安装并固定有平板208’。在该平板208’上载置基板3，该载置的基板3被长行程搬运机构800搬入以及搬出。

但是，图8的实施例的长行程搬运机构800的情况下，在移动件上作用力矩载荷以及剪切载荷。

上述的图1、4、5、7或者8的实施例中，是在水平方向上搬运（搬入以及搬出）基板的长行程搬运机构。但是，不限定于在水平方向上搬运基板，当然也可以在垂直方向上或者以规定的角度进行搬运。尤其，图8的实施例的长行程搬运机构适合在垂直方向上搬运基板。此时，在移动件上不作用力矩载荷以及剪切载荷。

即，根据图8的实施例，能够使移动件变薄，从而能够减少长行程搬运机构在外观上的重叠层数。另外，与以往的方式相比，由于基体部件的质量小，从而能够使机构小型化。

这样，根据上述的图1、4、5、7或者8的实施例，能够提供可缩小转送室的高度以及处理腔室的高度、且可缩小闸阀的开口的上下方向的大小的长行程搬运机构。其结果，在以转送室连接多个真空中进行处理的处理腔室的生产线中，能够提供制造成本低廉的制造装置以及生产线。另外，由于真空腔室的容积小，所以能够维持真空、并能高速地进行真空的切换等，从而能够期待低运行成本、处理速度的缩短。

此外，上述的图1、4、5、7以及8的实施例的长行程搬运机构中，虽然能够向X轴方向的左右两方移动，但当然也可以仅向右或者向左移动。

Claims (5)

1.一种成膜装置，具备：在内部具有在基板上成膜的成膜机构的成膜腔室、用于在多个该成膜腔室间搬运基板的转送室、以及分隔该成膜腔室与该转送室的闸阀，该成膜装置的特征在于，

通过载置基板并使之移动来搬运基板的搬运机构由层叠的多个移动单位构成，并且由一对导轨以及沿该导轨移动的滚动体构成的直动导向件直接或者间接地对该移动单位与移动单位之间进行连接，并且，所述移动单位的至少一个在上下面仅具备导轨、或者滚动体的任意一方。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

具备向规定的方向对所述搬运机构的最下层的移动单位进行驱动的驱动机构，并且通过利用联动机构将该最下层的移动单位的运动传递至其它的移动单位，从而使该搬运机构上的基板移动至规定的位置。

3.根据权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，

所述移动单位的基体是金属平板。

4.一种基板搬运装置，其特征在于，

通过载置基板并使之移动来搬运基板的搬运机构由层叠的多个移动单位构成，并且由一对导轨以及沿该导轨移动的滚动体构成的直动导向件直接或者间接地对该移动单位与移动单位之间进行连接，并且，所述移动单位的至少一个在上下面仅具备导轨、或者滚动体的任意一方。

5.根据权利要求4所述的基板搬运装置，其特征在于，

具备向规定的方向对所述搬运机构的最下层的移动单位进行驱动的驱动机构，并且通过利用联动机构将该最下层的移动单位的运动传递至其它的移动单位，从而使该搬运机构上的基板移动至规定的位置。

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