JP5639963B2 - 基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理プログラムを記録した記録媒体 - Google Patents

Description

本発明は、基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理プログラムを記録した記録媒体に関するものであり、特に、基板を１枚ずつ保持するための基板保持具を複数個設けた基板搬送機構を用いて基板処理室に基板を搬送し基板処理室で基板を１枚ずつ処理する基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理プログラムを記録した記録媒体に関するものである。

従来より、半導体部品やフラットディスプレイなどを製造する場合には、半導体ウエハや液晶基板などの基板を洗浄処理やエッチング処理するために枚葉型の基板処理装置を用いている。

この枚葉型の基板処理装置は、矩形箱型状の筐体の中央部に前後に伸延する基板搬送室を形成するとともに、基板搬送室の左右側方に複数の基板処理室を前後に並べて形成している。

そして、基板処理装置は、基板搬送室の内部に設けた基板搬送機構を用いて各基板処理室に基板を１枚ずつ搬入し、各基板処理室で基板を１枚ずつ処理し、処理後の基板を１枚ずつ基板搬送機構を用いて各基板処理室から搬出するようにしている（たとえば、特許文献１参照。）。

特開２００８−３４４９０号公報

ところが、上記従来の基板処理装置では、基板搬送機構を用いて基板を１枚ずつ搬送するようにしていたために、基板処理装置の内部での基板の搬送に要する時間が長くかかっていた。

そのため、基板処理装置では、基板の搬送に要する時間を短くして基板処理のスループットを更に向上させることが望まれていた。

そして、基板処理装置において基板の搬送に要する時間を短くする手段としては、基板搬送機構の移動速度を増加させることも考えられるものの、基板を静置させた状態で搬送しなければならないために、基板搬送機構の移動速度の増加には限界があった。

そこで、本発明では、複数枚の基板を載置可能な基板受渡台と、前記基板を１枚ずつ処理するための基板処理室と、前記基板受渡台から前記各基板処理室に前記基板を搬入するとともに前記各基板処理室から前記基板受渡台に搬出するための基板搬送機構と、前記基板搬送機構にＮ個（Ｎは３以上の整数）設けた、前記基板を１枚ずつ保持するための基板保持具とを有する基板処理装置において、前記Ｎ個の基板保持具のうちの２個〜Ｎ−１個の基板保持具で複数枚（２枚〜Ｎ−１枚）の前記基板を同時に保持して前記基板処理室に１枚ずつ前記基板の搬入を行うことにした。

また、上記基板処理装置において、前記Ｎ個の基板保持具のうちの少なくとも１個以上の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入することだけに専用する搬入専用基板保持具とし、他の少なくとも１個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用する搬出専用基板保持具とし、少なくとも１個以上のその他の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入するとともに前記基板処理室から前記基板を搬出するために兼用する搬入出兼用基板保持具とすることにした。

また、上記基板処理装置において、前記各基板保持具に前記基板を保持する基板保持体を設けるとともに、前記搬入出兼用基板保持具に設けた前記基板保持体に搬入時に前記基板を保持する搬入時基板保持部と搬出時に前記基板を保持する搬出時基板保持部とを前記基板保持具の移動方向に並べて形成し、前記搬入出兼用基板保持具の移動距離を前記搬入専用基板保持具又は前記搬出専用基板保持具と異ならせることにした。

また、上記基板処理装置において、前記Ｎ個の基板保持具を上下に並べて配列するとともに、上段側の少なくとも１個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用する搬出専用基板保持具とすることにした。

また、上記基板処理装置において、前記Ｎ個の基板保持具を上下に並べて配列し、上下に並設した２個の前記基板保持具のうちの一方の前記基板保持具で前記基板処理室へ前記基板を搬入し、他方の前記基板保持具で前記基板処理室から前記基板を搬出することにした。

また、上記基板処理装置において、複数枚の前記基板を収容したキャリアと前記基板受渡台との間に、前記Ｎ枚以上の前記基板を同時に搬送するための搬送装置を設けることにした。

また、本発明では、複数枚の基板を載置可能な基板受渡台と前記基板を１枚ずつ処理するための基板処理室との間で、前記基板を１枚ずつ保持するための基板保持具をＮ個（Ｎは３以上の整数）設けた基板搬送機構を用いて前記基板の搬送を行い、前記基板処理室で前記基板を１枚ずつ処理する基板処理方法において、前記Ｎ個の基板保持具のうちの２個〜Ｎ−１個の基板保持具で複数枚（２枚〜Ｎ−１枚）の前記基板を同時に保持して前記基板処理室に１枚ずつ前記基板の搬入を行うことにした。

また、上記基板処理方法において、前記Ｎ個の基板保持具のうちの少なくとも１個以上の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入することだけに専用し、他の少なくとも１個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用し、少なくとも１個以上のその他の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入するとともに前記基板処理室から前記基板を搬出するために兼用することにした。

また、上記基板処理方法において、上下に並べて配列した前記Ｎ個の基板保持具のうちの上段側の少なくとも１個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用することにした。

また、上記基板処理方法において、上下に並べて配列した前記Ｎ個の基板保持具のうちの上下に並設した２個の前記基板保持具の一方で前記基板処理室へ前記基板を搬入し、他方で前記基板処理室から前記基板を搬出することにした。

また、上記基板処理方法において、複数枚の前記基板を収容したキャリアと前記基板受渡台との間で、搬送装置を用いて前記Ｎ枚以上の前記基板を同時に搬送することにした。

また、本発明では、複数枚の基板を載置可能な基板受渡台と前記基板を１枚ずつ処理するための基板処理室との間で、前記基板を１枚ずつ保持するための基板保持具をＮ個（Ｎは３以上の整数）設けた基板搬送機構を用いて前記基板の搬送を行い、前記基板処理室で前記基板を１枚ずつ処理する基板処理プログラムを記録した記録媒体において、前記Ｎ個の基板保持具のうちの２個〜Ｎ−１個の基板保持具で複数枚（２枚〜Ｎ−１枚）の前記基板を同時に保持して前記基板処理室に１枚ずつ前記基板の搬入を行うことにした。

また、上記基板処理プログラムを記録した記録媒体において、前記Ｎ個の基板保持具のうちの少なくとも１個以上の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入することだけに専用し、他の少なくとも１個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用し、少なくとも１個以上のその他の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入するとともに前記基板処理室から前記基板を搬出するために兼用することにした。

また、上記基板処理プログラムを記録した記録媒体において、上下に並べて配列した前記Ｎ個の基板保持具のうちの上段側の少なくとも１個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用することにした。

また、上記基板処理プログラムを記録した記録媒体において、上下に並べて配列した前記Ｎ個の基板保持具のうちの上下に並設した２個の前記基板保持具の一方で前記基板処理室へ前記基板を搬入し、他方で前記基板処理室から前記基板を搬出することにした。

また、上記基板処理プログラムを記録した記録媒体において、複数枚の前記基板を収容したキャリアと前記基板受渡台との間で、搬送装置を用いて前記Ｎ枚以上の前記基板を同時に搬送することにした。

そして、本発明では、基板を１枚ずつ保持するための基板保持具をＮ個（Ｎは３以上の整数）設けた基板搬送機構を用いて基板処理室に基板を搬送し基板処理室で基板を１枚ずつ処理する場合において、Ｎ個の基板保持具のうちの２個〜Ｎ−１個の基板保持具で複数枚（２枚〜Ｎ−１枚）の基板を同時に保持して基板処理室に１枚ずつ基板の搬入を行うことにしているために、基板の搬送に要する時間を短縮することができ、基板処理のスループットを向上させることができる。

基板処理装置を示す平面図。 同側面断面図。 基板搬送機構を示す平面図。 同側面図。 基板搬送機構の動作を示す説明図。

以下に、本発明に係る基板処理装置の具体的な構成について図面を参照しながら説明する。

図１及び図２に示すように、基板処理装置１は、前端部に基板２（ここでは、半導体ウエハ。）を複数枚（たとえば、25枚。）まとめてキャリア３で搬入及び搬出するための基板搬入出台４を形成するとともに、基板搬入出台４の後部にキャリア３に収容された基板２を搬送するための矩形箱型状の基板搬送ユニット５を形成し、基板搬送ユニット５の後部に基板２の洗浄や乾燥などの各種の処理を行うための矩形箱型状の基板処理ユニット６を形成している。

基板搬入出台４は、複数個（ここでは、４個。）のキャリア３を基板搬送ユニット５の前壁７に密着させた状態で左右に間隔をあけて載置できるように構成している。

基板搬送ユニット５は、前側に搬送装置８を収容した搬送室９を形成するとともに、搬送室９の後側に基板受渡室10を形成し、基板受渡室10にそれぞれ複数枚（ここでは、２０枚。）の基板２を上下に間隔をあけて載置可能な２個の基板受渡台11,12を上下に収容している。

また、基板搬送ユニット５は、搬送室９と基板受渡室10とを受渡口13を介して連通連結している。

そして、基板搬送ユニット５は、搬送装置８を用いて基板搬入出台４に載置されたいずれか１個のキャリア３と上下いずれかの基板受渡台11,12との間で基板２を複数枚（ここでは、５枚。）ずつまとめて搬送するようにしている。

ここで、基板搬送ユニット５は、２０枚の基板２を載置できる上下それぞれの基板受渡台11,12のうちの上側の１０枚分を基板搬入出台４から基板処理ユニット６への搬入時だけに使用するとともに、下側の１０枚分を基板処理ユニット６から基板搬入出台４への搬出時だけに使用することにして、基板処理ユニット６での処理前後の基板２が基板受渡台11,12の同じ部分で支持されるのを回避し、処理前の基板２から処理後の基板２へのパーティクル等の転写が生じるのを防止している。

基板処理ユニット６は、中央部上側に前後に伸延する第１の基板搬送室14を形成し、第１の基板搬送室14の左側に第１〜第４の基板処理室15〜18を前後に並べて形成するとともに、第１の基板搬送室14の右側に第５〜第８の基板処理室20〜23を前後に並べて形成している。

また、基板処理ユニット６は、中央部下側に第１の基板搬送室14と同様に前後に伸延する第２の基板搬送室25を形成し、第２の基板搬送室25の左側に第９〜第12の基板処理室26〜29を前後に並べて形成するとともに、第２の基板搬送室25の右側に第13〜第16の基板処理室31〜34を前後に並べて形成している。

第１の基板搬送室14は、内部に前後方向に移動可能に構成した第１の基板搬送機構36を収容するとともに、基板受渡室10の上側の基板受渡台11に第１の基板搬入出口37を介して連通している。また、第２の基板搬送室25は、内部に前後方向に移動可能に構成した第２の基板搬送機構38を収容するとともに、基板受渡室10の下側の基板受渡台12に第２の基板搬入出口39を介して連通している。

第１及び第２の基板搬送機構36,38は、同様の構成となっており、第１の基板搬送機構36の構成について説明すると、図３及び図４に示すように、基板搬送機構36は、基板搬送室14の床部に敷設したレール40に沿って図示しない駆動機構により移動可能であり、上下方向に向けて昇降させる駆動機構を備えた移動台41の上部にケーシング42を取付け、ケーシング42の内部に保持した基板２を受取り及び受渡すための３段の基板保持具43,44,45を上下に並べて配列している。

各基板保持具43,44,45は、駆動装置46,47,48の前端に二股フォーク状の基板載置台49,50,51を進退及び昇降可能に取付け、各基板載置台49,50,51の上面に基板２を支持するための基板支持体52,53,54をそれぞれ基板２の外周端縁部に沿って円周方向に間隔をあけて４個取付けている。駆動装置46,47,48は、基板載置台49,50,51を駆動装置46,47,48に対して離れる方向と近づく方向（進退方向）に移動させる。

ここで、最上段及び最下段の基板保持具43,45は、基板支持体52,54を１段階段状に形成して、各段の基板保持部55,56で基板２の外周端縁を支持し、基板２を水平に保持するようにしている。

そして、最上段の基板保持具43は、各基板処理室15〜18,20〜23,26〜29,31〜34から基板２を搬出することだけに専用する搬出専用基板保持具(43)とするとともに、最下段の基板保持具45は、各基板処理室15〜18,20〜23,26〜29,31〜34へ基板２を搬入することだけに専用する搬入専用基板保持具(45)としている。これにより、処理前後の基板２が同じ基板保持具43,45で保持されるのを回避し、処理前の基板２から処理後の基板２へのパーティクル等の転写が生じるのを防止することができる。

一方、中段の基板保持具44は、各基板処理室15〜18,20〜23,26〜29,31〜34へ基板２を搬入するとともに基板処理室15〜18,20〜23,26〜29,31〜34から基板２を搬出するために兼用する搬入出兼用基板保持具(44)としている。この搬入出兼用基板保持具44は、基板支持体53を２段階段状に形成することで各基板処理室15〜18,20〜23,26〜29,31〜34への搬入時に基板２を保持する搬入時基板保持部57a,57bと各基板処理室15〜18,20〜23,26〜29,31〜34からの搬出時に基板２を保持する搬出時基板保持部58a,58bとを搬入出兼用基板保持具44の移動方向（進退方向）に並べて形成している。ここで、搬入時基板保持部57aは、搬入出兼用基板保持具44の移動方向の前方側において基板支持体53の下段に形成され、搬入時基板保持部57bは、搬入出兼用基板保持具44の移動方向の後方側において基板支持体53の上段に形成されている。また、搬出時基板保持部58aは、搬入出兼用基板保持具44の移動方向の前方側において基板支持体53の上段に形成され、搬出時基板保持部58bは、搬入出兼用基板保持具44の移動方向の後方側において基板支持体53の下段に形成されている。そのため、搬入出兼用基板保持具44の移動方向における各基板保持部57a,57b（58a,58b)のピッチ（間隔）と、搬入及び搬出洗浄基板保持具43,45の移動方向における各基板保持部55,55（56,56）のピッチ（間隔）は、異なるように形成されている。また、搬入出兼用基板保持具44の移動方向における各基板保持部57a,57b（58a,58b)の位置と、搬入及び搬出洗浄基板保持具43,45の移動方向における各基板保持部55,55（56,56）の位置は、異なるように形成されている。そのため、搬入出兼用基板保持具44は、搬入及び搬出専用基板保持具43,45よりも前後に進退移動する移動範囲を広くすることで、搬入出時の搬入出兼用基板保持具44の移動距離と搬入又は搬出専用基板保持具43,45の移動距離とを異ならせて、同一位置に載置される基板２を受取れるようにしている。

そして、中段の基板保持具（搬入出兼用基板保持具）44は、基板保持具44の移動方向前側２個の基板支持体53の１段目（下段）の搬入時基板保持部57aと基板保持具44の移動方向後側２個の基板支持体53の２段目（上段）の搬入時基板保持部57bとで基板２の外周端縁を支持し（図４中に点線で示す状態。）、或いは、基板保持具44の移動方向前側２個の基板支持体53の２段目（上段）の搬出時基板保持部58aと基板保持具44の移動方向後側２個の基板支持体53の１段目（下段）の搬出時基板保持部58bとで基板２の外周端縁を支持し（図４中に実線で示す状態。）、基板２を傾斜状に保持するようにしている。これにより、基板処理室15〜18,20〜23,26〜29,31〜34で処理する前の基板２を前側２個の基板支持体53の１段目の搬入時基板保持部57aと後側２個の基板支持体53の２段目の搬入時基板保持部57bとで支持し、処理した後の基板２を前側２個の基板支持体53の２段目の搬出時基板保持部58aと後側２個の基板支持体53の１段目の搬出時基板保持部58bとで支持することで、処理前後の基板２が基板支持体53の同じ部分で支持されるのを回避し、処理前後の基板２の間でパーティクル等の転写が生じるのを防止することができる。

基板処理ユニット６では、第１又は第２の基板搬送機構36,38を用いて基板搬送ユニット５の基板受渡室10と各基板処理室15〜18,20〜23,26〜29,31〜34との間や各基板処理室15〜18,20〜23,26〜29,31〜34同士間で基板２を搬送するとともに、各基板処理室15〜18,20〜23,26〜29,31〜34で基板２を１枚ずつ処理するようにしている。

基板処理装置１は、以上に説明したように構成しており、基板搬送ユニット５の搬送装置８や基板処理ユニット６の各基板処理室15〜18,20〜23,26〜29,31〜34や各基板搬送機構36,38に制御部59を接続し、制御部59に内蔵した記録媒体60に格納した基板処理プログラムに従って制御されている。

そして、基板搬送機構36,38は、基板処理プログラムによって以下に説明するようにして制御され、複数枚の基板２を同時に搬送するようにしている。なお、以下の説明では、第１の基板搬送機構36の動作について説明するが、第２の基板搬送機構38も同様に動作するようになっている。

まず、基板処理プログラムでは、搬送装置８を用いて基板搬入出台４に載置されたいずれか１個のキャリア３から基板受渡台11に５枚の基板２を搬送する。この基板処理プログラムでは、２０枚の基板２を載置できる上下それぞれの基板受渡台11,12のうちの上側の１０枚分を基板搬入出台４から基板処理ユニット６への搬入時だけに使用し、しかも、各基板受渡台11,12の搬入時に使用する１０枚分のうちの上側５枚と下側５枚とに分けて連続して搬送装置８を用いて基板搬入出台４に載置されたいずれか１個のキャリア３から基板受渡台11に基板２を搬送するようにしている。

次に、基板処理プログラムでは、図５（ａ）に示すように、基板搬送機構36を基板受渡室10の直前方位置まで移動させ、基板受渡台11の最上段と２段目に載置されている２枚の基板２を中段と最下段の基板保持具44,45で受取る。

その際に、中段の基板保持具（搬入出兼用基板保持具）44は、最下段の基板保持具（搬入専用基板保持具）45とは異なって長い距離だけ進退移動することで、前側２個の基板支持体53の１段目の搬入時基板保持部57aと後側２個の基板支持体53の２段目の搬入時基板保持部57bとで基板２を前低後高の傾斜状に保持（図４中に点線で示す状態。）するようにしている。

次に、基板処理プログラムでは、図５（ｂ）に示すように、基板搬送機構36を２枚の基板２を保持した状態でいずれかの基板処理室（たとえば、第１の基板処理室15）の直前方位置まで移動させるとともに高さを調節し、基板処理室15で処理した後の１枚の基板２を最上段の基板保持具43で基板処理室15から搬出する。

次に、基板処理プログラムでは、図５（ｃ）に示すように、基板搬送機構36の中段の基板保持具44で保持した１枚の基板２を基板処理室15に搬入する。

その際に、中段の基板保持具（搬入出兼用基板保持具）44は、後述（図５（ｅ））する最下段の基板保持具（搬入専用基板保持具）45とは異なって長い距離だけ進退移動することで、前側２個の基板支持体53の１段目の搬入時基板保持部57aと後側２個の基板支持体53の２段目の搬入時基板保持部57bとで前低後高の傾斜状に保持（図４中に点線で示す状態。）した基板２を基板処理室15に搬入するようにしている。

次に、基板処理プログラムでは、図５（ｄ）に示すように、基板搬送機構36を２枚の基板２を保持した状態で他の基板処理室（たとえば、第２の基板処理室16）の直前方位置まで移動させるとともに高さを調節し、基板処理室16で処理した後の１枚の基板２を中段の基板保持具44で基板処理室16から搬出する。

その際に、中段の基板保持具（搬入出兼用基板保持具）44は、前述（図５（ｂ））した最上段の基板保持具（搬入専用基板保持具）43とは異なって短い距離だけ進退移動することで、前側２個の基板支持体53の２段目の搬出時基板保持部58aと後側２個の基板支持体53の１段目の搬出時基板保持部58bとで基板２を前高後低の傾斜状に保持（図４中に実線で示す状態。）するようにしている。

次に、基板処理プログラムでは、図５（ｅ）に示すように、基板搬送機構36の最下段の基板保持具45で保持した１枚の基板２を基板処理室16に搬入する。

次に、基板処理プログラムでは、図５（ｆ）に示すように、基板搬送機構36を基板受渡室10の直前方位置まで移動させ、最上段と中段の基板保持具43,44で同時に保持する２枚の基板２を基板受渡台11の３段目とその下段にそれぞれ受渡す。

その際に、中段の基板保持具（搬入出兼用基板保持具）44は、最上段の基板保持具（搬入専用基板保持具）43とは異なって短い距離だけ進退移動することで、前側２個の基板支持体53の２段目の搬出時基板保持部58aと後側２個の基板支持体53の１段目の搬出時基板保持部58bとで基板２を前高後低の傾斜状に保持（図４中に実線で示す状態。）した基板２を基板受渡台11に搬出するようにしている。

その後、基板処理プログラムでは、搬送装置８を用いて基板受渡台11から基板搬入出台４に載置されたいずれか１個のキャリア３に５枚の基板２を搬送する。この基板処理プログラムでは、２０枚の基板２を載置できる上下それぞれの基板受渡台11,12のうちの下側の１０枚分を基板処理ユニット６から基板搬入出台４への搬出時だけに使用し、しかも、各基板受渡台11,12の搬出時に使用する１０枚分のうちの上側５枚と下側５枚とに分けて連続して搬送装置８を用いて基板受渡台11から基板搬入出台４に載置されたいずれか１個のキャリア３に基板２を搬送するようにしている。

なお、以上の説明では、３個の基板保持具43,44,45を有する基板搬送機構36で２枚の基板２を同時に保持して搬送する場合について説明したが、同様にして、Ｎ個（３個以上）の基板保持具を有する基板搬送機構を用いて２枚以上Ｎ−１枚以下の基板２を同時に保持して搬送することができる。

以上に説明したように、上記基板処理装置１における基板処理プログラムを用いた基板処理方法では、基板２を１枚ずつ保持するための基板保持具43,44,45を３個設けた基板搬送機構36を用いて基板処理室15,16に基板２を搬送し基板処理室15,16で基板２を１枚ずつ処理する場合において、３個の基板保持具43,44,45で２枚の基板２を同時に保持し、各基板処理室15,16に基板２を１枚ずつ搬送することにしているために、基板２の搬送に要する時間を短縮することができ、基板処理のスループットを向上させることができる。

基板保持具43,44,45は、３個の場合に限られず、Ｎ個（Ｎは３以上の整数。）設けて、２〜Ｎ−１枚の基板２を同時に保持して搬送するようにしてもよく、特にＮ−１枚の基板２を同時に搬送することで、より一層基板２の搬送に要する時間を短縮することができ、基板処理のスループットを向上させることができる。なお、Ｎ枚全ての基板２を同時に搬送した場合には、基板処理室15〜18,20〜23,26〜29,31〜34で処理した基板２を搬出することができないために、基板２の搬入と搬出とを同時に行うことができずに基板２の搬入と搬出とに分けて搬送しなければならず、かえって基板２の搬送に要する時間が長くなってしまう。

特に、上記基板処理装置１の基板搬送機構36では、複数個（ここでは、３個）の基板保持具43,44,45のうちの１個の基板保持具45を基板処理室15へ基板２を搬入することだけに専用し、他の１個の基板保持具43を基板処理室16から基板２を搬出することだけに専用し、その他の基板保持具44を基板処理室15へ基板２を搬入するとともに基板処理室16から基板２を搬出するために用いることにしているために、専用の基板保持具43,45の構造を共通化するとともに、兼用の基板保持具44の構造を共通化することができるので、基板搬送機構36の構造を簡素化することができ、基板搬送機構36の組立作業性やメンテナンス性を向上させコストを低減させることができる。

また、上記基板処理装置１の基板搬送機構36では、複数個（ここでは、３個）の基板保持具43,44,45を上下に並べて配列するとともに、最上段側の基板保持具43を基板処理室15から基板２を搬出することだけに専用することにしているために、最上段の基板保持具43に基板処理室15で処理する前の基板２を保持することがなくなり、処理前の基板２に付着したパーティクル等が落下して下方の基板保持具44,45で保持した基板２を汚損してしまうのを防止することができる。

また、上記基板処理装置１の基板搬送機構36では、複数個（ここでは、３個）の基板保持具43,44(44,45)を上下に並べて配列し、上下に並設した２個の基板保持具44,45のうちの一方の基板保持具44(45)で基板処理室15(16)へ基板２を搬入し、他方の基板保持具43(44)で基板処理室15(16)から基板２を搬出することにしているために、基板搬送機構36を昇降移動させる距離が短くなって搬送時間をより一層短縮することができる。また、他方の基板保持具43(44)で基板処理室15(16)から基板２を搬出する間に、一方の基板保持具44(45)で基板処理室15(16)へ基板２を搬入するような場合、つまり、両方の基板保持具が同時に基板処理室15(16)にある場合に、基板処理室15(16)の開口面積を小さくすることができて基板処理室15(16)の小型化を図ることができる。

さらに、上記基板処理装置１では、搬送装置８を用いて基板搬入出台４に載置されたいずれか１個のキャリア３と上下いずれかの基板受渡台11,12との間でＮ枚（ここでは、３枚。）以上（ここでは、５枚。）の基板２をまとめて搬送するようにしているために、より一層基板２の搬送に要する時間を短縮することができ、基板処理のスループットを向上させることができる。

１ 基板処理装置 ２ 基板
３ キャリア ４ 基板搬入出台
５ 基板搬送ユニット ６ 基板処理ユニット
７ 前壁 ８ 搬送装置
９ 搬送室 10 基板受渡室
11,12 基板受渡台 13 受渡口
14,25 基板搬送室 15〜18,20〜23,26〜29,31〜34 基板処理室
36,38 基板搬送機構 37,39 基板搬入出口
40 レール 41 移動台
42 ケーシング 43,44,45 基板保持具
46,47,48 駆動装置 49,50,51 基板載置台
52,53,54 基板支持体 55〜58 基板保持部
59 制御部 60 記録媒体

Claims (13)

1. 複数枚の基板を載置可能な基板受渡台と、
   前記基板を１枚ずつ処理するための基板処理室と、
   前記基板受渡台から前記各基板処理室に前記基板を搬入するとともに前記各基板処理室から前記基板受渡台に搬出するための基板搬送機構と、
   前記基板搬送機構にＮ個（Ｎは３以上の整数）設けた、前記基板を１枚ずつ保持するための基板保持具と、
   を有する基板処理装置において、
   前記Ｎ個の基板保持具のうちの２個〜Ｎ−１個の基板保持具で複数枚（２枚〜Ｎ−１枚）の前記基板を同時に保持して前記基板処理室に１枚ずつ前記基板の搬入を行い、
   前記Ｎ個の基板保持具のうちの少なくとも１個以上の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入することだけに専用する搬入専用基板保持具とし、他の少なくとも１個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用する搬出専用基板保持具とし、少なくとも１個以上のその他の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入するとともに前記基板処理室から前記基板を搬出するために兼用する搬入出兼用基板保持具としたことを特徴とする基板処理装置。
2. 前記各基板保持具に前記基板を保持する基板保持体を設けるとともに、前記搬入出兼用基板保持具に設けた前記基板保持体に搬入時に前記基板を保持する搬入時基板保持部と搬出時に前記基板を保持する搬出時基板保持部とを前記基板保持具の移動方向に並べて形成し、前記搬入出兼用基板保持具の移動距離を前記搬入専用基板保持具又は前記搬出専用基板保持具と異ならせたことを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
3. 前記Ｎ個の基板保持具を上下に並べて配列するとともに、上段側の少なくとも１個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用する搬出専用基板保持具としたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の基板処理装置。
4. 前記Ｎ個の基板保持具を上下に並べて配列し、上下に並設した２個の前記基板保持具のうちの一方の前記基板保持具で前記基板処理室へ前記基板を搬入し、他方の前記基板保持具で前記基板処理室から前記基板を搬出することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の基板処理装置。
5. 複数枚の前記基板を収容したキャリアと前記基板受渡台との間に、前記Ｎ枚以上の前記基板を同時に搬送するための搬送装置を設けたことを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載の基板処理装置。
6. 複数枚の基板を載置可能な基板受渡台と前記基板を１枚ずつ処理するための基板処理室との間で、前記基板を１枚ずつ保持するための基板保持具をＮ個（Ｎは３以上の整数）設けた基板搬送機構を用いて前記基板の搬送を行い、前記基板処理室で前記基板を１枚ずつ処理する基板処理方法において、
   前記Ｎ個の基板保持具のうちの２個〜Ｎ−１個の基板保持具で複数枚（２枚〜Ｎ−１枚）の前記基板を同時に保持して前記基板処理室に１枚ずつ前記基板の搬入を行い、
   前記Ｎ個の基板保持具のうちの少なくとも１個以上の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入することだけに専用し、他の少なくとも１個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用し、少なくとも１個以上のその他の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入するとともに前記基板処理室から前記基板を搬出するために兼用することを特徴とする基板処理方法。
7. 上下に並べて配列した前記Ｎ個の基板保持具のうちの上段側の少なくとも１個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用することを特徴とする請求項６に記載の基板処理方法。
8. 上下に並べて配列した前記Ｎ個の基板保持具のうちの上下に並設した２個の前記基板保持具の一方で前記基板処理室へ前記基板を搬入し、他方で前記基板処理室から前記基板を搬出することを特徴とする請求項６又は請求項７に記載の基板処理方法。
9. 複数枚の前記基板を収容したキャリアと前記基板受渡台との間で、搬送装置を用いて前記Ｎ枚以上の前記基板を同時に搬送することを特徴とする請求項６〜請求項８のいずれかに記載の基板処理方法。
10. 複数枚の基板を載置可能な基板受渡台と前記基板を１枚ずつ処理するための基板処理室との間で、前記基板を１枚ずつ保持するための基板保持具をＮ個（Ｎは３以上の整数）設けた基板搬送機構を用いて前記基板の搬送を行い、前記基板処理室で前記基板を１枚ずつ処理する基板処理プログラムを記録した記録媒体において、
    前記Ｎ個の基板保持具のうちの２個〜Ｎ−１個の基板保持具で複数枚（２枚〜Ｎ−１枚）の前記基板を同時に保持して前記基板処理室に１枚ずつ前記基板の搬入を行い、
    前記Ｎ個の基板保持具のうちの少なくとも１個以上の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入することだけに専用し、他の少なくとも１個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用し、少なくとも１個以上のその他の基板保持具を前記基板処理室へ前記基板を搬入するとともに前記基板処理室から前記基板を搬出するために兼用することを特徴とする基板処理プログラムを記録した記録媒体。
11. 上下に並べて配列した前記Ｎ個の基板保持具のうちの上段側の少なくとも１個以上の基板保持具を前記基板処理室から前記基板を搬出することだけに専用することを特徴とする請求項１０に記載の基板処理プログラムを記録した記録媒体。
12. 上下に並べて配列した前記Ｎ個の基板保持具のうちの上下に並設した２個の前記基板保持具の一方で前記基板処理室へ前記基板を搬入し、他方で前記基板処理室から前記基板を搬出することを特徴とする請求項１０又は請求項１１に記載の基板処理プログラムを記録した記録媒体。
13. 複数枚の前記基板を収容したキャリアと前記基板受渡台との間で、搬送装置を用いて前記Ｎ枚以上の前記基板を同時に搬送することを特徴とする請求項１０〜請求項１２のいずれかに記載の基板処理プログラムを記録した記録媒体。

Images