KR101516575B1 - 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 및 기판 처리 프로그램을 기록한 기록 매체 - Google Patents

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 및 기판 처리 프로그램을 기록한 기록 매체 Download PDF

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잇세이 우에다
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코우지 기모토
마사히로 요시다
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

기판 처리 장치에서의 기판 처리의 스루풋을 향상시키는 것이다. 본 발명에서는, 복수 매의 기판(2)을 재치 가능한 기판 전달대(11, 12)와, 상기 기판(2)을 1 매씩 처리하기 위한 기판 처리실과(15, 16, ···), 상기 기판 전달대(11, 12)로부터 상기 각 기판 처리실(15, 16, ···)로 상기 기판(2)을 반입하고, 상기 각 기판 처리실(15, 16, ···)로부터 상기 기판 전달대(11, 12)로 반출하기 위한 기판 반송 기구(36, 38)와, 상기 기판 반송 기구(36, 38)에 N 개(N는 3 이상의 정수) 설치한, 상기 기판(2)을 1 매씩 보지하기 위한 기판 보지구(43, 44, 45)를 가지는 기판 처리 장치 및 동일 기판 처리 장치(1)로 이용하는 기판 처리 방법 및 기판 처리 프로그램에 있어서, 상기 N 개의 기판 보지구(43, 44, 45) 중 2 개~N－1 개의 기판 보지구(43, 44, 45)로 복수 매(2 매~N－1 매)의 상기 기판(2)을 동시에 보지하여, 상기 기판 처리실에 1 매씩 상기 기판(2)의 반입을 행하기로 했다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 및 기판 처리 프로그램을 기록한 기록 매체{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, SUBSTRATE PROCESSING METHOD AND STORAGE MEDIUM STORING SUBSTRATE PROCESSING PROGRAM}
본 발명은, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 및 기판 처리 프로그램을 기록한 기록 매체에 관한 것이며, 특히, 기판을 1 매씩 보지하기 위한 기판 보지구를 복수 개 설치한 기판 반송 기구를 이용하여 기판 처리실로 기판을 반송하고, 기판 처리실에서 기판을 1 매씩 처리하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 및 기판 처리 프로그램을 기록한 기록 매체에 관한 것이다.
종래부터, 반도체 부품이나 플랫 디스플레이 등을 제조하는 경우에는, 반도체 웨이퍼나 액정 기판 등의 기판을 세정 처리 또는 에칭 처리하기 위해 매엽형의 기판 처리 장치를 이용하고 있다.
이 매엽형의 기판 처리 장치는, 구형(矩形) 상자 형상의 케이스의 중앙부에 전후로 연신하는 기판 반송실을 형성함과 동시에, 기판 반송실의 좌우측방에 복수의 기판 처리실을 전후로 배열하여 형성되어 있다.
그리고, 기판 처리 장치는, 기판 반송실의 내부에 설치한 기판 반송 기구를 이용하여 각 기판 처리실에 기판을 1 매씩 반입하고, 각 기판 처리실에서 기판을 1 매씩 처리하여, 처리 후의 기판을 1 매씩 기판 반송 기구를 이용하여 각 기판 처리실로부터 반출하도록 되어 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조).
일본 특허 공개 공보 제2008-34490호
그런데, 상기 종래의 기판 처리 장치에서는, 기판 반송 기구를 이용하여 기판을 1 매씩 반송하도록 하고 있었으므로, 기판 처리 장치의 내부에서의 기판의 반송에 필요로 하는 시간이 길게 소요되고 있었다.
때문에, 기판 처리 장치에서는, 기판의 반송에 필요로 하는 시간을 짧게 하여 기판 처리의 스루풋을 더욱 향상시키는 것이 필요하게 되었다.
그리고, 기판 처리 장치에서 기판의 반송에 필요로 하는 시간을 짧게 하는 수단으로서는, 기판 반송 기구의 이동 속도를 증가시키는 것도 생각할 수 있으나, 기판을 정치(靜置)시킨 상태에서 반송해야 하므로, 기판 반송 기구의 이동 속도의 증가에는 한계가 있었다.
이에, 본 발명에서는, 복수 매의 기판을 재치 가능한 기판 전달대와, 상기 기판을 1 매씩 처리하기 위한 기판 처리실과, 상기 기판 전달대로부터 상기 각 기판 처리실에 상기 기판을 반입하고, 상기 각 기판 처리실로부터 상기 기판 전달대로 반출하기 위한 기판 반송 기구와, 상기 기판 반송 기구에 N 개(N은 3 이상의 정수) 설치한, 상기 기판을 1 매씩 보지하기 위한 기판 보지구를 가지는 기판 처리 장치에 있어서, 상기 N 개의 기판 보지구 중 2 개~N－1 개의 기판 보지구에서 복수 매(2 매~N－1 매)의 상기 기판을 동시에 보지하여, 상기 기판 처리실에 1 매씩 상기 기판의 반입을 행하도록 했다.
또한, 상기 기판 처리 장치에 있어서, 상기 N 개의 기판 보지구 중 적어도 1 개 이상의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로 상기 기판을 반입하는 것만으로 전용하는 반입 전용 기판 보지구로 하고, 다른 적어도 1 개 이상의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하는 것만으로 전용하는 반출 전용 기판 보지구로 하고, 적어도 1 개 이상의 그 밖의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로 상기 기판을 반입하고, 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하기 위해 겸용하는 반입출 겸용 기판 보지구로 하기로 했다.
또한, 상기 기판 처리 장치에 있어서, 상기 각 기판 보지구에 상기 기판을 보지하는 기판 보지체를 설치하고, 상기 반입출 겸용 기판 보지체에 설치한 상기 기판 보지체에 반입 시에, 상기 기판을 보지하는 반입 시 기판 보지부와 반출 시에 상기 기판을 보지하는 반출 시 기판 보지부를 상기 기판 보지구의 이동 방향으로 배열하여 형성하고, 상기 반입출 겸용 기판 보지체의 이동 거리를 상기 반입 전용 기판 보지구 또는 상기 반출 전용 기판 보지구와 다르게 하기로 했다.
또한, 상기 기판 처리 장치에 있어서, 상기 N 개의 기판 보지구를 상하로 늘어놓아 배열하고, 상단측의 적어도 1 개 이상의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하는 것만으로 전용하는 반입 전용 기판 보지구로 하기로 했다.
또한, 상기 기판 처리 장치에 있어서, 상기 N 개의 기판 보지구를 상하로 늘어놓아 배열하고, 상하로 병설한 2 개의 상기 기판 보지구 중 일방의 상기 기판 보지구에서 상기 기판 처리실로 상기 기판을 반입하고, 타방의 상기 기판 보지구에서 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하기로 했다.
또한, 상기 기판 처리 장치에 있어서, 복수 매의 상기 기판을 수용한 캐리어와 상기 기판 전달대와의 사이에, 상기 N 매 이상의 상기 기판을 동시에 반송하기 위한 반송 장치를 설치하기로 했다.
또한, 본 발명에서는, 복수 매의 기판을 재치 가능한 기판 전달대와 상기 기판을 1 매씩 처리하기 위한 기판 처리실과의 사이에서, 상기 기판을 1 매씩 보지하기 위한 기판 보지구를 N 개(N는 3 이상의 정수) 설치한 기판 반송 기구를 이용하여 상기 기판의 반송을 행하고, 상기 기판 처리실에서 상기 기판을 1 매씩 처리하는 기판 처리 방법에 있어서, 상기 N 개의 기판 보지구 중 2 개~N－1 개의 기판 보지구에서 복수 매(2 매~N－1 매)의 상기 기판을 동시에 보지하여 상기 기판의 처리실에 1 매씩 상기 기판의 반입을 행하기로 했다.
또한, 상기 기판 처리 방법에 있어서, 상기 N 개의 기판 보지구 중 적어도 1 개 이상의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로 상기 기판을 반입하는 것만으로 전용하고, 다른 적어도 1 개 이상의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하는 것만으로 전용하고, 적어도 1 개 이상의 그 밖의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로 상기 기판을 반입하고, 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하기 위해 겸용하기로 했다.
또한, 상기 기판 처리 방법에 있어서, 상하로 늘어놓아 배열한 상기 N 개의 기판 보지구 중 상단측의 적어도 1 개 이상의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하는 것만으로 전용하기로 했다.
또한, 상기 기판 처리 방법에 있어서, 상하로 늘어놓아 배열한 상기 N 개의 기판 보지구 중 상하로 병설한 2 개의 상기 기판 보지구의 일방에서, 상기 기판 처리실로 상기 기판을 반입하고, 타방에서 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하기로 했다.
또한, 상기 기판 처리 방법에 있어서, 복수 매의 상기 기판을 수용한 캐리어와 상기 기판 전달대와의 사이에서, 반송 장치를 이용하여 상기 N 매 이상의 상기 기판을 동시에 반송하기로 했다.
또한, 본 발명에서는, 복수 매의 기판을 재치 가능한 기판 전달대와, 상기 기판을 1 매씩 처리하기 위한 기판 처리실과의 사이에서, 상기 기판을 1 매씩 보지하기 위한 기판 보지구를 N 개(N은 3 이상의 정수) 설치한 기판 반송 기구를 이용하여 상기 기판의 반송을 행하고, 상기 기판 처리실에서 상기 기판을 1 매씩 처리하는 기판 처리 프로그램을 기록한 기록 매체에 있어서, 상기 N 개의 기판 보지구 중 2 개~N－1 개의 기판 보지구에서 복수 매(2 매~N－1 매)의 상기 기판을 동시에 보지하여, 상기 기판 처리실에 1 매씩 상기 기판의 반입을 행하기로 했다.
또한, 상기 기판 처리 프로그램을 기록한 기록 매체에 있어서, 상기 N 개의 기판 보지구 중 적어도 1 개 이상의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로 상기 기판을 반입하는 것만으로 전용하고, 다른 적어도 1 개 이상의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하는 것만으로 전용하고, 적어도 1 개 이상의 그 밖의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로 상기 기판을 반입하고, 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하기 위해 겸용하기로 했다.
또한, 상기 기판 처리 프로그램을 기록한 기록 매체에 있어서, 상하로 늘어놓아 배열한 상기 N 개의 기판 보지구 중 상단측의 적어도 1 개 이상의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하는 것만으로 전용하기로 했다.
또한, 상기 기판 처리 프로그램을 기록한 기록 매체에 있어서, 상하로 늘어놓아 배열한 상기 N 개의 기판 보지구 중 상하로 병설한 2 개의 상기 기판 보지구의 일방에서 상기 기판 처리실로 상기 기판을 반입하고, 타방에서 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하기로 했다.
또한, 상기 기판 처리 프로그램을 기록한 기록 매체에 있어서, 복수 매의 상기 기판을 수용한 캐리어와 상기 기판 전달대의 사이에서, 반송 장치를 이용하여 상기 N 매 이상의 상기 기판을 동시에 반송하기로 했다.
그리고, 본 발명에서는, 기판을 1 매씩 보지하기 위한 기판 보지구를 N 개(N은 3 이상의 정수) 설치한 기판 반송 기구를 이용하여 기판 처리실로 기판을 반송하고, 기판 처리실에서 기판을 1 매씩 처리하는 경우에 있어서, N 개의 기판 보지구 중 2 개~N－1 개의 기판 보지구에서 복수 매(2 매~N－1 매)의 기판을 동시에 보지하고, 기판 처리실에 1 매씩 기판의 반입을 행하도록 하고 있으므로, 기판의 반송에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있고, 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
도 1은 기판 처리 장치를 나타내는 평면도.
도 2는 기판 처리 장치의 측면 단면도.
도 3은 기판 반송 기구를 나타내는 평면도.
도 4는 기판 처리 장치의 측면도.
도 5는 기판 반송 기구의 동작을 나타내는 설명도.
이하에, 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 구체적인 구성에 대해, 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 기판 처리 장치(1)는, 전단부에 기판(2)(여기에서는 반도체 웨이퍼)을 복수 매(예를 들어, 25 매) 정리하여 캐리어(3)에서 반입 및 반출하기 위한 기판 반입출대(4)를 형성하고, 기판 반입출대(4)의 후부에 캐리어(3)에 수용된 기판(2)을 반송하기 위한 구형 상자 형상의 기판 반송 유닛(5)을 형성하고, 기판 반송 유닛(5)의 후부에 기판(2)의 세정이나 건조 등의 각종 처리를 행하기 위한 구형 상자 형상의 기판 처리 유닛(6)을 형성하고 있다.
기판 반입출대(4)는, 복수 개(여기에서는, 4개)의 캐리어(3)를 기판 반송 유닛(5)의 전벽(7)에 밀착시킨 상태에서, 좌우로 간격을 두고 재치할 수 있도록 구성되어 있다.
기판 반송 유닛(5)은, 전측에 반송 장치(8)를 수용한 반송실(9)을 형성하고, 반송실(9)의 후측에 기판 전달실(10)을 형성하여, 기판 전달실(10)에 각각 복수 매(여기에서는, 20 매)의 기판(2)을 상하로 간격을 두고 재치 가능한 2 개의 기판 전달대(11, 12)를 상하로 수용하고 있다.
또한, 기판 반송 유닛(5)은, 반송실(9)과 기판 전달실(10)을 전달구(13)를 거쳐 연통 연결하고 있다.
그리고, 기판 반송 유닛(5)은, 반송 장치(8)를 이용해 기판 반입출대(4)에 재치된 어느 1 개의 캐리어(3)와 상하 어느 하나의 기판 전달대(11, 12)와의 사이에서 기판(2)을 복수 매(여기에서는, 5매)씩 정리하여 반송하도록 되어 있다.
여기서, 기판 반송 유닛(5)은, 20 매의 기판(2)을 재치할 수 있는 상하 각각의 기판 전달대(11, 12) 중 상측의 10 매분을 기판 반입출대(4)로부터 기판 처리 유닛(6)으로의 반입 시에 사용하고, 하측의 10 매분을 기판 처리 유닛(6)으로부터 기판 반입출대(4)로의 반출 시에 사용하기로 하여, 기판 처리 유닛(6)에서의 처리 전후의 기판(2)이 기판 전달대(11, 12)의 동일 부분에서 지지되는 것을 회피하고, 처리 전의 기판(2)으로부터 처리 후의 기판(2)으로의 파티클 등의 전사(傳寫)가 생기는 것을 방지하고 있다.
기판 처리 유닛(6)은, 중앙부 상측에 전후로 연신하는 제 1 기판 반송실(14)을 형성하고, 제 1 기판 반송실(14)의 좌측에 제1~제4 기판 처리실(15~18)을 전후로 늘어놓아 형성하고, 제 1 기판 반송실(14)의 우측에 제5~제8 기판 처리실(20~23)을 전후로 늘어놓아 형성하고 있다.
또한, 기판 처리 유닛(6)은, 중앙부 하측에 제 1 기판 반송실(14)과 동일하게 전후로 연신하는 제 2 기판 반송실(25)을 형성하고, 제 2 기판 반송실(25)의 좌측에 제9~제12 기판 처리실(26~29)을 전후로 늘어놓아 형성하고, 제 2 기판 반송실(25)의 우측에 제13~제16 기판 처리실(31~34)을 전후로 늘어놓아 형성하고 있다.
제 1 기판 반송실(14)은, 내부에 전후 방향으로 이동 가능하게 구성한 제 1 기판 반송 기구(36)를 수용하고, 기판 전달실(10)의 상측의 기판 전달대(11)에 제 1 기판 반입 출구(37)를 거쳐 연통하고 있다. 또한, 제 2 기판 반송실(25)은, 내부에 전후 방향으로 이동 가능하게 구성한 제 2 기판 반송 기구(38)를 수용하고, 기판 전달실(10)의 하측의 기판 전달대(12)에 제 2 기판 반입 출구(39)를 거쳐 연통하고 있다.
제1 및 제 2 기판 반송 기구(36, 38)는, 동일한 구성으로 되어 있고, 제 1 기판 반송 기구(36)의 구성에 대해 설명하면, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 기판 반송 기구(36)는, 기판 반송실(14)의 상부(床部)에 부설(敷設)한 레일(40)을 따라 도시하지 않은 구동 기구에 의해 이동 가능하고, 상하 방향을 향해 승강시키는 구동 기구를 구비한 이동대(41)의 상부에 케이싱(42)을 설치하고, 케이싱(42)의 내부에 보지한 기판(2)을 수취 및 전달하기 위한 3 단의 기판 보지구(43, 44, 45)를 상하로 늘어놓아 배열하고 있다.
각 기판 보지구(43, 44, 45)는, 구동 장치(46, 47, 48)의 전단에 양갈래 포크 형상의 기판 재치대(49, 50, 51)를 진퇴 및 승강 가능하게 설치하고, 각 기판 재치대(49, 50, 51)의 상면에 기판(2)을 지지하기 위한 기판 지지체(52, 53, 54)를 각각 기판(2)의 외주 단연부를 따라 원주 방향으로 간격을 두고 4 개 설치하고 있다. 구동 장치(46, 47, 48)는 기판 재치대(49, 50, 51)를 구동 장치(46, 47, 48)에 대해 이격된 방향과 근접한 이동 방향(진퇴 방향)으로 이동시킨다.
여기서, 최상단 및 최하단의 기판 보지구(43, 45)는, 기판 지지체(52, 54)를 1 단계 단 형상으로 형성하고, 각 단의 기판 보지부(55, 56)에서 기판(2)의 외주 단연부를 지지하고, 기판(2)을 수평으로 보지하도록 되어 있다.
그리고, 최상단의 기판 보지구(43)는, 각 기판 처리실(15~18, 20~23, 26~29, 31~34)로부터 기판(2)을 반출하는 것만으로 전용하는 반출 전용 기판 보지구(43)로 하고, 최하단의 기판 보지구(45)는, 각 기판 처리실(15~18, 20~23, 26~29, 31~34)에 기판(2)을 반입하는 것만으로 전용하는 반입 전용 기판 보지구(45)로 하고 있다. 이에 의해, 처리 전후의 기판(2)이 동일한 기판 보지구(43, 45)에서 보지되는 것을 회피하고, 처리 전의 기판(2)으로부터 처리 후의 기판(2)으로의 파티클 등의 전사가 생기는 것을 방지할 수 있다.
한편, 중단(中段)의 기판 보지구(44)는, 각 기판 처리실(15~18, 20~23, 26~29, 31~34)에 기판(2)을 반입하고, 기판 처리실(15~18, 20~23, 26~29, 31~34)로부터 기판(2)을 반출하기 위해, 겸용하는 반입출 겸용 기판 보지구(44)로 하고 있다. 이 반입출 겸용 기판 보지구(44)는, 기판 지지체(53)를 2 단계 단 형상으로 형성함으로써 각 기판 처리실(15~18, 20~23, 26~29, 31~34)로의 반입 시에 기판(2)을 보지하는 반입 시 기판 보지부(57a, 57b)와 각 기판 처리실(15~18, 20~23, 26~29, 31~34)로부터의 반출 시에 기판(2)을 보지하는 반출 시 기판 보지부(58a, 58b)를 반입출 겸용 기판 보지구(44)의 이동 방향(진퇴 방향)으로 늘어놓아 형성하고 있다. 반입 시 기판 보지부(57a)는, 반입출 겸용 기판 보지구(44)의 이동 방향 전방에서 기판 지지체(53)의 하단에 형성되고, 반입 시 기판 보지부(57b)는, 반입출 겸용 기판 보지구(44)의 이동 방향 후방에서 기판 지지체(53)의 상단에 형성되어 있다.
또한, 반출 시 기판 보지부(58a)는, 반입출 겸용 기판 보지구(44)의 이동 방향 전방에서 기판 지지체(53)의 상단에 형성되고, 반출 시 기판 보지부(58b)는, 반입출 겸용 기판 보지구(44)의 이동 방향 후방에서 기판 지지체(53)의 하단에 형성되어 있다. 때문에, 반입출 겸용 기판 보지구(44)의 이동 방향에서의 각 기판 보지부 피치와, 반입 및 반출 전용 기판 보지구(43, 45)의 이동 방향에서의 각 기판 보지부의 피치는 다르게 형성된다.
그리고, 반입출 겸용 기판 보지구(44)의 이동 방향에서의 각 기판 보지부의 위치와, 반입 및 반출 전용 기판 보지구(43, 45)의 이동 방향에서의 각 기판 보지부의 위치는 다르게 형성된다.
또한, 반입출 겸용 기판 보지구(44)는, 반입 및 반출 전용 기판 보지구(43, 45)보다도 전후로 진퇴 이동하는 이동 범위를 넓힘으로써, 반입출 시의 반입출 겸용 기판 보지구(44)의 이동 거리와 반입 또는 반출 전용 기판 보지구(43, 45)의 이동 거리를 다르게 하여, 동일 위치에 재치되는 기판을 수취할 수 있도록 하고 있다.
그리고, 중단의 기판 보지구(반입출 겸용 기판 보지구)(44)는, 기판 보지구(44)의 이동 방향 전측 2 개의 기판 지지체(53)의 1 단째의 반입 시 기판 보지부(57a)와 기판 보지구(44)의 이동 방향 후측 2 개의 기판 지지체(53)의 2 단째의 반입 시 기판 보지부(57b)에서, 기판(2)의 외주 단연을 지지하고(도 4 중에 점선으로 나타낸 상태), 또는, 기판 보지구(44)의 이동 방향 전측 2 개의 기판 지지체(53)의 2 단째의 반출 시 기판 보지부(58a)와 기판 보지구(44)의 이동 방향 후측 2 개의 기판 지지체(53)의 1 단째의 반출 시 기판 보지부(58b)에서 기판(2)의 외주 단연을 지지하고(도 4 중 실선으로 나타낸 상태), 기판(2)을 경사 형상으로 보지하도록 되어 있다. 이에 의해, 기판 처리실(15~18, 20~23, 26~29, 31~34)에서 처리하기 전의 기판(2)을 전측 2 개의 기판 지지체(53)의 1 단째의 반입 시 기판 보지부(57)와 후측 2 개의 기판 지지체(53)의 2 단째의 반입 시 기판 보지부(57b)에서 지지하고, 처리한 후의 기판(2)을 전측 2 개의 기판 지지체(53)의 2 단째의 반출 시 기판 보지부(58a)와 후측 2 개의 기판 지지체(53)의 1 단째의 반출 시 기판 보지부(58b)에서 지지함으로써, 처리 전후의 기판(2)이 기판 지지체(53)의 동일 부분에서 지지되는 것을 회피하고, 처리 전후의 기판(2)의 사이에서 파티클 등의 전사가 생기는 것을 방지할 수 있다.
기판 처리 유닛(6)에서는, 제 1 또는 제 2 기판 반송 기구(36, 38)를 이용하여 기판 반송 유닛(5)의 기판 전달실(10)과 각 기판 처리실(15~18, 20~23, 26~29, 31~34)과의 사이 또는 각 기판 처리실(15~18, 20~23, 26~29, 31~34)끼리의 사이에서 기판(2)을 반송하고, 각 기판 처리실(15~18, 20~23, 26~29, 31~34)에서 기판(2)을 1 매씩 처리하도록 되어 있다.
기판 처리 장치(1)는, 이상에서 설명한 바와 같이 구성되어 있고, 기판 반송 유닛(5)의 반송 장치(8) 또는 기판 처리 유닛(6)의 각 기판 처리실(15~18, 20~23, 26~29, 31~34) 또는 각 기판 반송 기구(36, 38)에 제어부(59)를 접속하고, 제어부(59)에 내장한 기록 매체(60)에 저장한 기판 처리 프로그램에 따라 제어되고 있다.
그리고, 기판 반송 기구(36, 38)는, 기판 처리 프로그램에 의해 이하에 설명한 바와 같이 제어되고, 복수 매의 기판(2)을 동시에 반송하도록 되어 있다. 또한, 이하의 설명에서는, 제 1 기판 반송 기구(36)의 동작에 대해 설명하지만, 제 2 기판 반송 기구(38)도 마찬가지로 동작하도록 되어 있다.
우선, 기판 처리 프로그램에서는, 반송 장치(8)를 이용하여 기판 반입출대(4)에 재치된 어느 1 개의 캐리어(3)로부터 기판 전달대(11)에 5 매의 기판(2)을 반송한다. 이 기판 처리 프로그램에서는, 20 매의 기판(2)을 재치할 수 있는 상하 각각의 기판 전달대(11, 12) 중 상측의 10 매분을 기판 반입출대(4)로부터 기판 처리 유닛(6)으로의 반입 시에 사용하고, 또한, 각 기판 전달대(11, 12)의 반입 시에 사용하는 10 매분 중, 상측 5매와 하측 5매로 나누어 연속하여 반송 장치(8)를 이용해 기판 반입출대(4)에 재치된 어느 1 개의 캐리어(3)로부터 기판 전달대(11)에 기판(2)을 반송하도록 되어 있다.
이어서, 기판 처리 프로그램에서는, 도 5a에 도시한 바와 같이, 기판 반송 기구(36)를 기판 전달실(10)의 직전방 위치까지 이동시켜, 기판 전달대(11)의 최상단과 2 단째에 재치되어 있는 2 매의 기판(2)을 중단과 최하단의 기판 보지구(44, 45)에서 수취한다.
그 때에, 중단의 기판 보지구(반입출 겸용 기판 보지구)(44)는, 최하단의 기판 보지구(반입 전용 기판 보지구)(45)와는 달리 긴 거리를 진퇴 이동함으로써, 전측 2 개의 기판 지지체(53)의 1 단째의 반입 시 기판 보지부(57a)와 후측 2 개의 기판 지지체(53)의 2 단째의 반입 시 기판 보지부(57b)에서 기판(2)을 전저 후고의 경사 형상으로 보지(도 4 중에 점선으로 나타낸 상태)하도록 되어 있다.
이어서, 기판 처리 프로그램에서는, 도 5b에 도시한 바와 같이, 기판 반송 기구(36)를 2 매의 기판(2)을 보지한 상태에서 어느 하나의 기판 처리실(예를 들어, 제 1 기판 처리실(15))의 직전방 위치까지 이동시키는 것과 동시에, 높이를 조절하고, 기판 처리실(15)에서 처리한 후의 1 매의 기판(2)을 최상단의 기판 보지구(43)로 기판 처리실(15)로부터 반출한다.
이어서, 기판 처리 프로그램에서는, 도 5c에 도시한 바와 같이, 기판 반송 기구(36)의 중단의 기판 보지구(44)에서 보지한 1 매의 기판(2)을 기판 처리실(15)로 반입한다.
그 때에, 중단의 기판 보지구(반입출 겸용 기판 보지구)(44)는, 후술(도 5e)하는 최하단의 기판 보지구(반입 전용 기판 보지구)(45)와는 달리 긴 거리를 진퇴 이동함으로써, 전측 2 개의 기판 지지체(53)의 1 단째의 반입 시 기판 보지부(57a)와 후측 2 개의 기판 지지체(53)의 2 단째의 반입 시 기판 보지부(57b)에서 전저 후고의 경사 형상으로 보지(도 4중에 점선으로 나타내는 상태)한 기판(2)을 기판 처리실(15)에 반입하도록 되어 있다.
이어서, 기판 처리 프로그램에서는, 도 5d에 도시한 바와 같이, 기판 반송 기구(36)를 2 매의 기판(2)을 보지한 상태에서 다른 기판 처리실(예를 들어, 제 2 기판 처리실(16))의 직전방 위치까지 이동시키는 것과 동시에, 높이를 조절하여, 기판 처리실(16)에서 처리한 후의 1 매의 기판(2)을 중단의 기판 보지구(44)로 기판 처리실(16)로부터 반출한다.
그 때에, 중단의 기판 보지구(반입출 겸용 기판 보지구)(44)는, 전술(도 5b)한 최상단의 기판 보지구(반입 전용 기판 보지구)(43)와는 달리 짧은 거리를 진퇴 이동함으로써, 전측 2 개의 기판 지지체(53)의 2 단째의 반출 시 기판 보지부(58a)와 후측 2 개의 기판 지지체(53)의 1 단째의 반출 시 기판 보지부(58b)에서 기판(2)을 전고 후저의 경사 형상으로 보지(도 4중에서 실선으로 나타낸 상태)하도록 되어 있다.
이어서, 기판 처리 프로그램에서는, 도 5e에 도시한 바와 같이, 기판 반송 기구(36)의 최하단의 기판 보지구(45)에서 보지한 1 매의 기판(2)을 기판 처리실(16)로 반입한다.
이어서, 기판 처리 프로그램에서는, 도 5f에 도시한 바와 같이, 기판 반송 기구(36)를 기판 전달실(10)의 직전방 위치까지 이동시켜, 최상단과 중단의 기판 보지구(43, 44)에서 동시에 보지하는 2 매의 기판(2)을 기판 전달대(11)의 3 단째와 그 하단으로 각각 전달한다.
그 때에, 중단의 기판 보지구(반입출 겸용 기판 보지구)(44)는, 최상단의 기판 보지구(반입 전용 기판 보지구)(43)와는 달리 짧은 거리를 진퇴 이동함으로써, 전측 2 개의 기판 지지체(53)의 2 단째의 반출 시 기판 보지부(58a)와 후측 2 개의 기판 지지체(53)의 1 단째의 반출 시 기판 보지부(58b)에서 기판(2)을 전고 후저의 경사 형상으로 보지(도 4 중에서 실선으로 나타내는 상태)한 기판(2)을 기판 전달대(11)에 반출하도록 되어 있다.
그 후, 기판 처리 프로그램에서는, 반송 장치(8)를 이용하여 기판 전달대(11)로부터 기판 반입출대(4)로 재치된 어느 1 개의 캐리어(3)에 5매의 기판(2)을 반송한다. 이 기판 처리 프로그램에서는, 20 매의 기판(2)을 재치할 수 있는 상하 각각의 기판 전달대(11, 12) 중 하측의 10 매분을 기판 처리 유닛(6)으로부터 기판 반입출대(4)로의 반출 시에 사용하고, 또한 각 기판 전달대(11, 12)의 반출 시에 사용하는 10 매분 중 상측 5 매와 하측 5 매로 나누어 연속하여 반송 장치(8)를 이용해 기판 전달대(11)로부터 기판 반입출대(4)에 재치된 어느 1 개의 캐리어(3)에 기판(2)을 반송하도록 되어 있다.
또한, 이상의 설명에서는, 3 개의 기판 보지구(43, 44, 45)를 가지는 기판 반송 기구(36)로 2 매의 기판(2)을 동시에 보지하여 반송하는 경우에 대하여 설명했으나, 마찬가지로 N 개(3개 이상)의 기판 보지구를 가지는 기판 반송 기구를 이용하여 2 매 이상 N-1 매 이하의 기판(2)을 동시에 보지하여 반송할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 상기 기판 처리 장치(1)에서의 기판 처리 프로그램을 이용한 기판 처리 방법에서는, 기판(2)을 1 매씩 보지하기 위한 기판 보지구(43, 44, 45)를 3개 설치한 기판 반송 기구(36)를 이용해 기판 처리실(15, 16)로 기판(2)을 반송하여 기판 처리실(15, 16)에서 기판(2)을 1 매씩 처리하는 경우에 있어서, 3 개의 기판 보지구(43, 44, 45)로 2 매의 기판(2)을 동시에 보지하고, 각 기판 처리실(15, 16)에 기판(2)을 1 매씩 반송하기로 하고 있으므로, 기판(2)의 반송에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있어, 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
기판 보지구(43, 44, 45)는, 3개의 경우에 한정되지 않고, N 개(N는 3 이상의 정수) 설치하고, 2~N－1 매의 기판(2)을 동시에 보지하여 반송하도록 해도 좋고, 특히 N－1 매의 기판(2)을 동시에 반송함으로써 보다 한층 기판(2)의 반송에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있어, 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다. 또한, N매 모든 기판(2)을 동시에 반송한 경우에는, 기판 처리실(15~18, 20~23, 26~29, 31~34)에서 처리한 기판(2)을 반출할 수 없으므로, 기판(2)의 반입과 반출을 동시에 행하지 못하고 기판(2)의 반입과 반출로 나누어 반송하지 않으면 안되며, 오히려 기판(2)의 반송에 필요로 하는 시간이 길어져 버린다.
특히, 상기 기판 처리 장치(1)의 기판 반송 기구(36)에서는, 복수 개(여기에서는, 3 개)의 기판 보지구(43, 44, 45) 중 1 개의 기판 보지구(45)를 기판 처리실 (15)로 기판(2)을 반입하는 것만으로 전용하고, 다른 1 개의 기판 보지구(43)를 기판 처리실(16)로부터 기판(2)을 반출하는 것만으로 전용하고, 그 밖의 기판 보지구(44)를 기판 처리실(15)에 기판(2)을 반입하고, 기판 처리실(16)로부터 기판(2)을 반출하기 위해 이용하기로 하고 있으므로, 전용의 기판 보지구(43, 45)의 구조를 공통화하고, 겸용의 기판 보지구(44)의 구조를 공통화할 수 있으므로, 기판 반송 기구(36)의 구조를 간소화할 수 있어, 기판 반송 기구(36)의 조립 작업성 또는 메인터넌스성을 향상시키고 코스트를 저감시킬 수 있다.
또한, 상기 기판 처리 장치(1)의 기판 반송 기구(36)에서는, 복수 개(여기에서는, 3 개)의 기판 보지구(43, 44, 45)를 상하로 늘어놓아 배열하고, 최상단측의 기판 보지구(43)를 기판 처리실(15)로부터 기판(2)을 반출하는 것만으로 전용하기로 하고 있으므로, 최상단의 기판 보지구(43)에 기판 처리실(15)에서 처리하기 전의 기판(2)을 보지하는 것이 없어져, 처리 전의 기판(2)에 부착된 파티클 등이 낙하하여, 하부의 기판 보지구(44,45)로 보지한 기판(2)을 오손하게 되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 기판 처리 장치(1)의 기판 반송 기구(36)에서는, 복수 개(여기에서는, 3 개)의 기판 보지구(43, 44(44, 45))를 상하로 늘어놓아 배열하고, 상하로 병설한 2 개의 기판 보지구(44, 45) 중 일방의 기판 보지구(44(45))로 기판 처리실(15(16))로 기판(2)을 반입하고, 일방의 기판 보지구(43(44))로 기판 처리실(15(16))로부터 기판(2)을 반출하기로 하고 있으므로, 기판 반송 기구(36)를 승강 이동시키는 거리가 짧아져 반송 시간을 보다 한층 단축할 수 있다. 또한, 타방의 기판 보지구(43(44))로 기판 처리실(15(16))로부터 기판(2)을 반출하는 사이에, 일방의 기판 보지구(44(45))로 기판 처리실(15(16))로 기판(2)을 반입하는 경우, 즉, 양방의 기판 보지구가 동시에 기판 처리실(15(16))에 존재하는 경우에, 기판 처리실(15(16))의 개구 면적을 작게할 수 있어, 기판 처리실(15(16))의 소형화를 도모할 수 있다.
또한, 상기 기판 처리 장치(1)에서는, 반송 장치(8)를 이용하여 기판 반입출대(4)에 재치된 어느 1 개의 캐리어(3)와 상하 어느 하나의 기판 전달대(11, 12)와의 사이에서 N 매(여기에서는, 3 매) 이상(여기에서는, 5 매)의 기판(2)을 정리하여 반송하도록 하고 있으므로, 보다 한층 기판(2)의 반송에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있어, 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
1 : 기판 처리 장치
2 : 기판
3 : 캐리어
4 : 기판 반입출대
5 : 기판 반송 유닛
6 : 기판 처리 유닛
7 : 전벽
8 : 반송 장치
9 : 반송실
10 : 기판 전달실
11, 12 : 기판 전달대
13 : 전달구
14, 25 : 기판 반송실
15~18, 20~23, 26~29, 31~34 : 기판 처리실
36, 38 : 기판 반송 기구
37, 39 : 기판 반입출구
40 : 레일
41 : 이동대
42 : 케이싱
43, 44, 45 : 기판 보지구
46, 47, 48 : 구동 장치
49, 50, 51 : 기판 재치대
52, 53, 54 : 기판 지지체
55~58 : 기판 보지부
59 : 제어부
60 : 기록 매체

Claims (16)

  1. 복수 매의 기판을 재치(載置) 가능한 기판 전달대와,
    상기 기판을 1 매씩 처리하기 위한 기판 처리실과,
    상기 기판 전달대로부터 상기 각 기판 처리실에 상기 기판을 반입하고, 상기 각 기판 처리실로부터 상기 기판 전달대로 반출하기 위한 기판 반송 기구와,
    상기 기판 반송 기구에 N 개(N은 3 이상의 정수) 설치되고, 상기 기판을 1 매씩 보지(保持)하기 위한 기판 보지구
    를 가지는 기판 처리 장치에 있어서,
    상기 N 개의 기판 보지구 중 2 개~N－1 개의 기판 보지구에서 복수 매(2 매~N－1 매)의 상기 기판을 동시에 보지하여, 상기 기판 처리실에 1 매씩 상기 기판의 반입을 행하되,
    상기 N 개의 기판 보지구 중 적어도 1 개 이상의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로 상기 기판을 반입하는 것만으로 전용하는 반입 전용 기판 보지구로 하고, 다른 적어도 1 개 이상의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하는 것만으로 전용하는 반출 전용 기판 보지구로 하고, 적어도 1 개 이상의 그 밖의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로 상기 기판을 반입하고, 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하기 위해 겸용하는 반입출 겸용 기판 보지구로 한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 기판 보지구에 상기 기판을 보지하는 기판 보지체를 설치하고, 상기 반입출 겸용 기판 보지구에 설치한 상기 기판 보지체에, 반입 시에 상기 기판을 보지하는 반입 시 기판 보지부와 반출 시에 상기 기판을 보지하는 반출 시 기판 보지부를 상기 기판 보지구의 이동 방향으로 배열하여 형성하고, 상기 반입출 겸용 기판 보지구의 이동 거리를 상기 반입 전용 기판 보지구 또는 상기 반출 전용 기판 보지구와 다르게 한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 N 개의 기판 보지구를 상하로 늘어놓아 배열하고, 상단측의 적어도 1 개 이상의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하는 것만으로 전용하는 반출 전용 기판 보지구로 한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 N 개의 기판 보지구를 상하로 늘어놓아 배열하고, 상하로 병설(竝設)한 2 개의 상기 기판 보지구 중 일방의 상기 기판 보지구에서 상기 기판 처리실로 상기 기판을 반입하고, 타방의 상기 기판 보지구에서 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    복수 매의 상기 기판을 수용한 캐리어와 상기 기판 전달대와의 사이에, N 매 이상의 상기 기판을 동시에 반송하기 위한 반송 장치를 설치한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  6. 복수 매의 기판을 재치(載置) 가능한 기판 전달대와 상기 기판을 1 매씩 처리하기 위한 기판 처리실과의 사이에서, 상기 기판을 1 매씩 보지(保持)하기 위한 기판 보지구를 N 개(N는 3 이상의 정수) 설치한 기판 반송 기구를 이용하여 상기 기판의 반송을 행하고, 상기 기판 처리실에서 상기 기판을 1 매씩 처리하는 기판 처리 방법에 있어서,
    상기 N 개의 기판 보지구 중 2 개~N－1 개의 기판 보지구에서 복수 매(2 매~N－1 매)의 상기 기판을 동시에 보지하여 상기 기판 처리실에 1 매씩 상기 기판의 반입을 행하되,
    상기 N 개의 기판 보지구 중 적어도 1 개 이상의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로 상기 기판을 반입하는 것만으로 전용하고, 다른 적어도 1 개 이상의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하는 것만으로 전용하고, 적어도 1 개 이상의 그 밖의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로 상기 기판을 반입하고, 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하기 위해 겸용하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상하로 늘어놓아 배열한 상기 N 개의 기판 보지구 중 상단측의 적어도 1 개 이상의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하는 것만으로 전용하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  8. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,
    상하로 늘어놓아 배열한 상기 N 개의 기판 보지구 중 상하로 병설(竝設)한 2 개의 상기 기판 보지구의 일방에서, 상기 기판 처리실로 상기 기판을 반입하고, 타방에서 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  9. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,
    복수 매의 상기 기판을 수용한 캐리어와 상기 기판 전달대와의 사이에서, 반송 장치를 이용하여 N 매 이상의 상기 기판을 동시에 반송하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  10. 복수 매의 기판을 재치(載置) 가능한 기판 전달대와, 상기 기판을 1 매씩 처리하기 위한 기판 처리실과의 사이에서, 상기 기판을 1 매씩 보지(保持)하기 위한 기판 보지구를 N 개(N은 3 이상의 정수) 설치한 기판 반송 기구를 이용하여 상기 기판의 반송을 행하고, 상기 기판 처리실에서 상기 기판을 1 매씩 처리하는 기판 처리 프로그램을 기록한 기록 매체에 있어서,
    상기 N 개의 기판 보지구 중 2 개~N－1 개의 기판 보지구에서 복수 매(2 매~N－1 매)의 상기 기판을 동시에 보지하여, 상기 기판 처리실에 1 매씩 상기 기판의 반입을 행하되,
    상기 N 개의 기판 보지구 중 적어도 1 개 이상의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로 상기 기판을 반입하는 것만으로 전용하고, 다른 적어도 1 개 이상의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하는 것만으로 전용하고, 적어도 1 개 이상의 그 밖의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로 상기 기판을 반입하고, 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하기 위해 겸용하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 프로그램을 기록한 기록 매체.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상하로 늘어놓아 배열한 상기 N 개의 기판 보지구 중 상단측의 적어도 1 개 이상의 기판 보지구를 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하는 것만으로 전용하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 프로그램을 기록한 기록 매체.
  12. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
    상하로 늘어놓아 배열한 상기 N 개의 기판 보지구 중 상하로 병설(竝設)한 2 개의 상기 기판 보지구의 일방에서 상기 기판 처리실로 상기 기판을 반입하고, 타방에서 상기 기판 처리실로부터 상기 기판을 반출하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 프로그램을 기록한 기록 매체.
  13. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
    복수 매의 상기 기판을 수용한 캐리어와 상기 기판 전달대의 사이에서, 반송 장치를 이용하여 N 매 이상의 상기 기판을 동시에 반송하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 프로그램을 기록한 기록 매체.

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