JP2569374Y2 - 磁気浮上スライダ - Google Patents
磁気浮上スライダInfo
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- JP2569374Y2 JP2569374Y2 JP2839692U JP2839692U JP2569374Y2 JP 2569374 Y2 JP2569374 Y2 JP 2569374Y2 JP 2839692 U JP2839692 U JP 2839692U JP 2839692 U JP2839692 U JP 2839692U JP 2569374 Y2 JP2569374 Y2 JP 2569374Y2
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- electromagnet
- frame
- gap sensor
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は磁気浮上スライダに関
し、特に、半導体製造産業などのクリーンルーム内に設
けられ、レール上を磁気浮上しながら半導体ウエハなど
を搬送するような磁気浮上スライダに関する。
し、特に、半導体製造産業などのクリーンルーム内に設
けられ、レール上を磁気浮上しながら半導体ウエハなど
を搬送するような磁気浮上スライダに関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来の５軸制御型磁気浮上スライ
ダの断面図である。図４において、断面Ｌ字状のレール
取付部２２，２２が１対対向して設けられ、それぞれの
先端部には浮上用レール２１，２１が下向きに取付けら
れている。
ダの断面図である。図４において、断面Ｌ字状のレール
取付部２２，２２が１対対向して設けられ、それぞれの
先端部には浮上用レール２１，２１が下向きに取付けら
れている。
【０００３】スライダ１はその上面が開放されたフレー
ム１６を含み、このフレーム１６内に浮上用電磁石１１
と浮上用ギャップセンサ１４とがレール２１，２１に対
向するように収納されている。さらに、レール２１，２
１の側面に対向するように、案内用電磁石１２と案内用
ギャップセンサ１５とが設けられている。フレーム１６
内には図示しないがバッテリや制御用の電子回路が実装
されたプリント基板などが収納されている。
ム１６を含み、このフレーム１６内に浮上用電磁石１１
と浮上用ギャップセンサ１４とがレール２１，２１に対
向するように収納されている。さらに、レール２１，２
１の側面に対向するように、案内用電磁石１２と案内用
ギャップセンサ１５とが設けられている。フレーム１６
内には図示しないがバッテリや制御用の電子回路が実装
されたプリント基板などが収納されている。
【０００４】図４に示した磁気浮上スライダにおいて、
浮上用ギャップセンサ１４によってレール２１との間の
ギャップが検出され、そのギャップが一定となるよう
に、制御回路によって浮上用電磁石１１が制御されると
ともに、案内用ギャップセンサ１５によってレール２１
の側面とのギャップが検出され、そのギャップが一定と
なるように、制御回路によって案内用電磁石１２が制御
される。このように、浮上用電磁石１１と案内用電磁石
１２とが制御されることによって、スライダ１はレール
２１に対して磁気浮上し、図示しないリニアモータによ
って駆動され、レール２１に沿って走行する。
浮上用ギャップセンサ１４によってレール２１との間の
ギャップが検出され、そのギャップが一定となるよう
に、制御回路によって浮上用電磁石１１が制御されると
ともに、案内用ギャップセンサ１５によってレール２１
の側面とのギャップが検出され、そのギャップが一定と
なるように、制御回路によって案内用電磁石１２が制御
される。このように、浮上用電磁石１１と案内用電磁石
１２とが制御されることによって、スライダ１はレール
２１に対して磁気浮上し、図示しないリニアモータによ
って駆動され、レール２１に沿って走行する。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】上述の図４に示した磁
気浮上スライダは、レール２１に対してスライダ１が完
全非接触で走行するため、接触摩耗によるゴミや塵が発
生しないという特徴がある。しかしながら、現実的に
は、浮上用電磁石１１が案内用電磁石１２のコイルやプ
リント基板に実装された電子部品やバッテリなどが露出
した状態でフレーム１６に取付けられている。このた
め、電子部品などから有機性のガス（炭酸ガス）が発生
し、シリコンウエハの表面で化学反応を起こし、被覆を
形成してしまうことがある。すなわち、シリコンと炭酸
ガスが反応してシリコンウエハの表面にＳｉＣの皮膜が
形成されてしまう。この皮膜は洗浄しても容易に取除く
ことができない。
気浮上スライダは、レール２１に対してスライダ１が完
全非接触で走行するため、接触摩耗によるゴミや塵が発
生しないという特徴がある。しかしながら、現実的に
は、浮上用電磁石１１が案内用電磁石１２のコイルやプ
リント基板に実装された電子部品やバッテリなどが露出
した状態でフレーム１６に取付けられている。このた
め、電子部品などから有機性のガス（炭酸ガス）が発生
し、シリコンウエハの表面で化学反応を起こし、被覆を
形成してしまうことがある。すなわち、シリコンと炭酸
ガスが反応してシリコンウエハの表面にＳｉＣの皮膜が
形成されてしまう。この皮膜は洗浄しても容易に取除く
ことができない。
【０００６】それゆえに、この考案の主たる目的は、ス
ライダ内に収納された電子部品などから発生するガスが
クリーンルーム内に発散されるのを防止し得る磁気浮上
スライダを提供することである。
ライダ内に収納された電子部品などから発生するガスが
クリーンルーム内に発散されるのを防止し得る磁気浮上
スライダを提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この考案は敷設されたレ
ールに対して磁気浮上しながら走行する磁気浮上スライ
ダであって、その上面が開放された箱型のフレームと、
フレーム内にレールに対向するように浮上用ギャップセ
ンサと浮上用電磁石と案内用電磁石と案内用ギャップセ
ンサとを収納し、フレームの開放面を非磁性金属薄板で
覆い、レールと浮上用ギャップセンサ，浮上用電磁石，
案内用電磁石および案内用ギャップセンサとの間を仕切
り、案内用電磁石に対応する非磁性金属薄板の位置上に
電磁石用磁極を設け、案内用ギャップセンサに対向する
非磁性金属薄板の位置上にギャップセンサ用磁極とを備
えて構成される。
ールに対して磁気浮上しながら走行する磁気浮上スライ
ダであって、その上面が開放された箱型のフレームと、
フレーム内にレールに対向するように浮上用ギャップセ
ンサと浮上用電磁石と案内用電磁石と案内用ギャップセ
ンサとを収納し、フレームの開放面を非磁性金属薄板で
覆い、レールと浮上用ギャップセンサ，浮上用電磁石，
案内用電磁石および案内用ギャップセンサとの間を仕切
り、案内用電磁石に対応する非磁性金属薄板の位置上に
電磁石用磁極を設け、案内用ギャップセンサに対向する
非磁性金属薄板の位置上にギャップセンサ用磁極とを備
えて構成される。
【０００８】
【作用】この考案に係る磁気浮上スライダは、箱型のフ
レーム内に浮上用ギャップセンサと浮上用電磁石と案内
用電磁石と案内用ギャップセンサとを収納した後、開放
面を非磁性金属薄板で覆い、案内用電磁石と案内用ギャ
ップセンサのそれぞれに対応してレールの側面に対向す
るように電磁石用磁極とギャップセンサ用磁極とを非磁
性金属薄板上に設けることにより、電磁石などから発生
した有機ガスをフレーム内に閉じ込めることができ、大
気中に発散することはない。
レーム内に浮上用ギャップセンサと浮上用電磁石と案内
用電磁石と案内用ギャップセンサとを収納した後、開放
面を非磁性金属薄板で覆い、案内用電磁石と案内用ギャ
ップセンサのそれぞれに対応してレールの側面に対向す
るように電磁石用磁極とギャップセンサ用磁極とを非磁
性金属薄板上に設けることにより、電磁石などから発生
した有機ガスをフレーム内に閉じ込めることができ、大
気中に発散することはない。
【０００９】
【実施例】図１はこの考案の一実施例の断面図であり、
図２は図１に示した浮上用電磁石の構造を示す図であ
り、図３は図１に示した案内用ギャップセンサの構造を
示す図である。
図２は図１に示した浮上用電磁石の構造を示す図であ
り、図３は図１に示した案内用ギャップセンサの構造を
示す図である。
【００１０】図１〜図３において、この実施例は以下の
点を除いて図４と同様に構成される。すなわち、フレー
ム１６内には浮上用電磁石１１と浮上用ギャップセンサ
１４とがレール２１に対向して収納される。さらに、案
内用電磁石１２のコアー１２ａとコイル１２ｂは図２
（ｂ）に示すように、フレーム１６内に収納され、案内
用ギャップセンサ１５のコアー１５ａとコイル１５ｂも
図３に示すように、フレーム１６内に案内用電磁石１２
に近接して収納される。そして、図１に示すようにフレ
ーム１６の開放面が薄い非磁性金属板１７によって覆わ
れ、止めねじ１８によってフレーム１６に固定される。
案内用電磁石１２のコアー１２ａに対応する非磁性金属
板１７上には磁極１３ａ，１３ｂが止めねじ１９によっ
てコアー１２ａに固定される。磁極１３ａ，１３ｂはレ
ール２１の側面に対向しており、かつ止めねじ１９によ
ってコアー１２ａに固定されていることから、磁気結合
されており、案内用電磁石１２のコイル１２ｂに流れる
電流を制御することによって、レール２１との間のギャ
ップを可変できる。
点を除いて図４と同様に構成される。すなわち、フレー
ム１６内には浮上用電磁石１１と浮上用ギャップセンサ
１４とがレール２１に対向して収納される。さらに、案
内用電磁石１２のコアー１２ａとコイル１２ｂは図２
（ｂ）に示すように、フレーム１６内に収納され、案内
用ギャップセンサ１５のコアー１５ａとコイル１５ｂも
図３に示すように、フレーム１６内に案内用電磁石１２
に近接して収納される。そして、図１に示すようにフレ
ーム１６の開放面が薄い非磁性金属板１７によって覆わ
れ、止めねじ１８によってフレーム１６に固定される。
案内用電磁石１２のコアー１２ａに対応する非磁性金属
板１７上には磁極１３ａ，１３ｂが止めねじ１９によっ
てコアー１２ａに固定される。磁極１３ａ，１３ｂはレ
ール２１の側面に対向しており、かつ止めねじ１９によ
ってコアー１２ａに固定されていることから、磁気結合
されており、案内用電磁石１２のコイル１２ｂに流れる
電流を制御することによって、レール２１との間のギャ
ップを可変できる。
【００１１】案内用ギャップセンサ１５のコアー１５ａ
に対応して非磁性金属板１７上には極１５ｃ，１５ｄが
止めねじ１５ｆによってコアー１５ａに締め付けられ
る。極１５ｃと１５ｄとの間にはスペーサ１５ｅが取付
けられる。
に対応して非磁性金属板１７上には極１５ｃ，１５ｄが
止めねじ１５ｆによってコアー１５ａに締め付けられ
る。極１５ｃと１５ｄとの間にはスペーサ１５ｅが取付
けられる。
【００１２】上述のごとく、浮上用電磁石１１と浮上用
ギャップセンサ１４と案内用電磁石１２のコアー１２ａ
とコイル１２ｂと案内用ギャップセンサ１５のコアー１
５ａとコイル１５ｂとバッテリやプリント基板などをフ
レーム１６内に収納し、その開放面を非磁性金属板１７
で覆うことにより、ガスが発生してもフレーム１６内に
閉じ込めることができ、大気中に流出することはない。
ギャップセンサ１４と案内用電磁石１２のコアー１２ａ
とコイル１２ｂと案内用ギャップセンサ１５のコアー１
５ａとコイル１５ｂとバッテリやプリント基板などをフ
レーム１６内に収納し、その開放面を非磁性金属板１７
で覆うことにより、ガスが発生してもフレーム１６内に
閉じ込めることができ、大気中に流出することはない。
【００１３】
【考案の効果】以上のように、この考案によれば、その
上面が開放された箱型のフレーム内に浮上用ギャップセ
ンサと浮上用電磁石と案内用ギャップセンサと案内用電
磁石とを収納し、その上面を非磁性金属薄板で覆い、非
磁性金属薄板の上に電磁石用磁極とギャップセンサ用磁
極とを設けたことによって、コイルなどから発生したガ
スをフレーム内に閉じ込めることができ、大気中に流出
することはなく、クリーンルーム内を汚染することがな
い。
上面が開放された箱型のフレーム内に浮上用ギャップセ
ンサと浮上用電磁石と案内用ギャップセンサと案内用電
磁石とを収納し、その上面を非磁性金属薄板で覆い、非
磁性金属薄板の上に電磁石用磁極とギャップセンサ用磁
極とを設けたことによって、コイルなどから発生したガ
スをフレーム内に閉じ込めることができ、大気中に流出
することはなく、クリーンルーム内を汚染することがな
い。
【図１】この考案の一実施例の断面図である。
【図２】図１に示した浮上用電磁石の構造を示す図であ
る。
る。
【図３】図１に示した案内用ギャップセンサの構造を示
す図である。
す図である。
【図４】従来の５軸制御型磁気浮上スライダの断面図で
ある。
ある。
１ スライダ １１ 浮上用電磁石 １２ 案内用電磁石 １３ａ，１３ｂ，１５ｃ，１５ｄ 磁極 １４ 浮上用ギャップセンサ １５ 案内用ギャップセンサ １６ フレーム １７ 非磁性金属板 １８，１９，１５ｆ 止めねじ ２１ レール
Claims (1)
- 【請求項１】 敷設されたレールに対して磁気浮上しな
がら走行する磁気浮上スライダにおいて、 その上面が開放された箱型のフレームと、 前記フレーム内に、前記レールに対向して設けられ、前
記レールとの浮上ギャップを検出する浮上用ギャップセ
ンサと、 前記フレーム内に、前記レールに対向して設けられ、前
記フレームを浮上させるための浮上用電磁石と、 前記フレーム内に設けられる案内用電磁石と、 前記フレーム内の前記案内用電磁石の近傍に設けられる
案内用ギャップセンサと、 前記フレームの開放面を覆い、前記レールと前記浮上用
ギャップセンサ，前記浮上用電磁石，前記案内用電磁石
および前記案内用ギャップセンサとの間を仕切る非磁性
金属薄板と、 前記案内用電磁石に対応する前記非磁性金属薄板の位置
上に、前記レールの側面に対向するように設けられる電
磁石用磁極と、 前記案内用ギャップセンサに対向する非磁性金属薄板の
位置上に、前記レールの側面に対向するように設けられ
るギャップセンサ用磁極とを備えた、磁気浮上スライ
ダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2839692U JP2569374Y2 (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | 磁気浮上スライダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2839692U JP2569374Y2 (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | 磁気浮上スライダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0586930U JPH0586930U (ja) | 1993-11-22 |
| JP2569374Y2 true JP2569374Y2 (ja) | 1998-04-22 |
Family
ID=12247507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2839692U Expired - Fee Related JP2569374Y2 (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | 磁気浮上スライダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2569374Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11508595B2 (en) * | 2017-08-24 | 2022-11-22 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for contactless transportation of a device in a vacuum processing system |
| CN111277109B (zh) * | 2020-03-11 | 2021-02-23 | 中车青岛四方机车车辆股份有限公司 | 一种磁浮列车直线电机及一种磁浮列车 |
-
1992
- 1992-04-28 JP JP2839692U patent/JP2569374Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0586930U (ja) | 1993-11-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19971209 |
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