JPH0586930U - 磁気浮上スライダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 この考案はスライダ内に収納された電子部品
などから発生するガスが大気中に発散されるのを防止し
得る磁気浮上スライダを提供することを主要な特徴とす
る。 【構成】 上面が開放された箱型のフレーム１６内に浮
上用電磁石１１と浮上用ギャップセンサ１４と案内用電
磁石１２のコアー１２ａとコイル１２ｂと案内用ギャッ
プセンサ１５のコアー１５ａとコイル１５ｂとを収納
し、開放面を薄い非磁性金属板１７で覆い、止めねじ１
８によってフレーム１６に固定する。案内用電磁石１２
のコアーに磁気結合させた極１３ａ，１３ｂをレール２
１の側面に対向するように非磁性金属板１７上に取付
け、案内用ギャップセンサのために極１５ｃ，１５ｄも
同様にしてレール２１の側面に対向するように取付け
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は磁気浮上スライダに関し、特に、半導体製造産業などのクリーンル ーム内に設けられ、レール上を磁気浮上しながら半導体ウエハなどを搬送するよ うな磁気浮上スライダに関する。

【０００２】

【従来の技術】

図４は従来の５軸制御型磁気浮上スライダの断面図である。図４において、断 面Ｌ字状のレール取付部２２，２２が１対対向して設けられ、それぞれの先端部 には浮上用レール２１，２１が下向きに取付けられている。

【０００３】 スライダ１はその上面が開放されたフレーム１６を含み、このフレーム１６内 に浮上用電磁石１１と浮上用ギャップセンサ１４とがレール２１，２１に対向す るように収納されている。さらに、レール２１，２１の側面に対向するように、 案内用電磁石１２と案内用ギャップセンサ１５とが設けられている。フレーム１ ６内には図示しないがバッテリや制御用の電子回路が実装されたプリント基板な どが収納されている。

【０００４】 図４に示した磁気浮上スライダにおいて、浮上用ギャップセンサ１４によって レール２１との間のギャップが検出され、そのギャップが一定となるように、制 御回路によって浮上用電磁石１１が制御されるとともに、案内用ギャップセンサ １５によってレール２１の側面とのギャップが検出され、そのギャップが一定と なるように、制御回路によって案内用電磁石１２が制御される。このように、浮 上用電磁石１１と案内用電磁石１２とが制御されることによって、スライダ１は レール２１に対して磁気浮上し、図示しないリニアモータによって駆動され、レ ール２１に沿って走行する。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】 上述の図４に示した磁気浮上スライダは、レール２１に対してスライダ１が完 全非接触で走行するため、接触摩耗によるゴミや塵が発生しないという特徴があ る。しかしながら、現実的には、浮上用電磁石１１が案内用電磁石１２のコイル やプリント基板に実装された電子部品やバッテリなどが露出した状態でフレーム １６に取付けられている。このため、電子部品などから有機性のガス（炭酸ガス ）が発生し、シリコンウエハの表面で化学反応を起こし、被覆を形成してしまう ことがある。すなわち、シリコンと炭酸ガスが反応してシリコンウエハの表面に ＳｉＣの皮膜が形成されてしまう。この皮膜は洗浄しても容易に取除くことがで きない。

【０００６】 それゆえに、この考案の主たる目的は、スライダ内に収納された電子部品など から発生するガスがクリーンルーム内に発散されるのを防止し得る磁気浮上スラ イダを提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

この考案は敷設されたレールに対して磁気浮上しながら走行する磁気浮上スラ イダであって、その上面が開放された箱型のフレームと、フレーム内にレールに 対向するように浮上用ギャップセンサと浮上用電磁石と案内用電磁石と案内用ギ ャップセンサとを収納し、フレームの開放面を非磁性金属薄板で覆い、レールと 浮上用ギャップセンサ，浮上用電磁石，案内用電磁石および案内用ギャップセン サとの間を仕切り、案内用電磁石に対応する非磁性金属薄板の位置上に電磁石用 磁極を設け、案内用ギャップセンサに対向する非磁性金属薄板の位置上にギャッ プセンサ用磁極とを備えて構成される。

【０００８】

【作用】

この考案に係る磁気浮上スライダは、箱型のフレーム内に浮上用ギャップセン サと浮上用電磁石と案内用電磁石と案内用ギャップセンサとを収納した後、開放 面を非磁性金属薄板で覆い、案内用電磁石と案内用ギャップセンサのそれぞれに 対応してレールの側面に対向するように電磁石用磁極とギャップセンサ用磁極と を非磁性金属薄板上に設けることにより、電磁石などから発生した有機ガスをフ レーム内に閉じ込めることができ、大気中に発散することはない。

【０００９】

【実施例】

図１はこの考案の一実施例の断面図であり、図２は図１に示した浮上用電磁石 の構造を示す図であり、図３は図１に示した案内用ギャップセンサの構造を示す 図である。

【００１０】 図１〜図３において、この実施例は以下の点を除いて図４と同様に構成される 。すなわち、フレーム１６内には浮上用電磁石１１と浮上用ギャップセンサ１４ とがレール２１に対向して収納される。さらに、案内用電磁石１２のコアー１２ ａとコイル１２ｂは図２（ｂ）に示すように、フレーム１６内に収納され、案内 用ギャップセンサ１５のコアー１５ａとコイル１５ｂも図３に示すように、フレ ーム１６内に案内用電磁石１２に近接して収納される。そして、図１に示すよう にフレーム１６の開放面が薄い非磁性金属板１７によって覆われ、止めねじ１８ によってフレーム１６に固定される。案内用電磁石１２のコアー１２ａに対応す る非磁性金属板１７上には磁極１３ａ，１３ｂが止めねじ１９によってコアー１ ２ａに固定される。磁極１３ａ，１３ｂはレール２１の側面に対向しており、か つ止めねじ１９によってコアー１２ａに固定されていることから、磁気結合され ており、案内用電磁石１２のコイル１２ｂに流れる電流を制御することによって 、レール２１との間のギャップを可変できる。

【００１１】 案内用ギャップセンサ１５のコアー１５ａに対応して非磁性金属板１７上には 極１５ｃ，１５ｄが止めねじ１５ｆによってコアー１５ａに締め付けられる。極 １５ｃと１５ｄとの間にはスペーサ１５ｅが取付けられる。

【００１２】 上述のごとく、浮上用電磁石１１と浮上用ギャップセンサ１４と案内用電磁石 １２のコアー１２ａとコイル１２ｂと案内用ギャップセンサ１５のコアー１５ａ とコイル１５ｂとバッテリやプリント基板などをフレーム１６内に収納し、その 開放面を非磁性金属板１７で覆うことにより、ガスが発生してもフレーム１６内 に閉じ込めることができ、大気中に流出することはない。

【００１３】

【考案の効果】

以上のように、この考案によれば、その上面が開放された箱型のフレーム内に 浮上用ギャップセンサと浮上用電磁石と案内用ギャップセンサと案内用電磁石と を収納し、その上面を非磁性金属薄板で覆い、非磁性金属薄板の上に電磁石用磁 極とギャップセンサ用磁極とを設けたことによって、コイルなどから発生したガ スをフレーム内に閉じ込めることができ、大気中に流出することはなく、クリー ンルーム内を汚染することがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例の断面図である。

【図２】図１に示した浮上用電磁石の構造を示す図であ
る。

【図３】図１に示した案内用ギャップセンサの構造を示
す図である。

【図４】従来の５軸制御型磁気浮上スライダの断面図で
ある。

【符号の説明】

１ スライダ １１ 浮上用電磁石 １２ 案内用電磁石 １３ａ，１３ｂ，１５ｃ，１５ｄ 磁極 １４ 浮上用ギャップセンサ １５ 案内用ギャップセンサ １６ フレーム １７ 非磁性金属板 １８，１９，１５ｆ 止めねじ ２１ レール

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ 8418−4Ｍ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 敷設されたレールに対して磁気浮上しな
   がら走行する磁気浮上スライダにおいて、 その上面が開放された箱型のフレームと、 前記フレーム内に、前記レールに対向して設けられ、前
   記レールとの浮上ギャップを検出する浮上用ギャップセ
   ンサと、 前記フレーム内に、前記レールに対向して設けられ、前
   記フレームを浮上させるための浮上用電磁石と、 前記フレーム内に設けられる案内用電磁石と、 前記フレーム内の前記案内用電磁石の近傍に設けられる
   案内用ギャップセンサと、 前記フレームの開放面を覆い、前記レールと前記浮上用
   ギャップセンサ，前記浮上用電磁石，前記案内用電磁石
   および前記案内用ギャップセンサとの間を仕切る非磁性
   金属薄板と、 前記案内用電磁石に対応する前記非磁性金属薄板の位置
   上に、前記レールの側面に対向するように設けられる電
   磁石用磁極と、 前記案内用ギャップセンサに対向する非磁性金属薄板の
   位置上に、前記レールの側面に対向するように設けられ
   るギャップセンサ用磁極とを備えた、磁気浮上スライ
   ダ。