JPH0546828U - 磁気浮上走行装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 この考案はレールの加工工数を減らして直接
永久磁石を取付けることができ、良好に磁気浮上しなが
ら走行できるような磁気浮上走行装置を提供することを
主要な特徴とする。 【構成】 レール２２の上面を平面形状に形成し、リニ
アモータのための永久磁石８をレール２２の上に直接取
付け、レール２２の側面に対向するようにギャップセン
サ５と案内用電磁石６を進行方向に沿って配置する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は磁気浮上走行装置に関し、特に、ワークを載置したステージがレー ル上を磁気浮上しながら走行するような磁気浮上走行装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

半導体製造関連設備や液晶製造関連設備などにおいては、高度なクリーンルー ムが要求されている。このような設備においては、ワークを搬送するために磁気 浮上走行装置が設けられている。

【０００３】 図２は本願考案者が実願平２−８５８０６号で提案した磁気浮上走行装置の要 部破断側面図である。図２を参照して、レール１上を磁気浮上スライダ２が浮上 用電磁石３によって磁気浮上しながらリニアモータ４によって駆動され、図２に おける紙面方向に走行する。このとき、ギャップセンサ５によってレール１との ギャップが検出され、そのギャップが一定となるように案内用電磁石６が制御さ れる。リニアモータ４はレール１上に設けられる下側ヨーク７と、この下側ヨー ク７上に設けられる永久磁石８と、下側ヨーク７上に設けられるスペーサ９と、 スペーサ９によって保持される上側ヨーク１０と、磁気浮上スライダ２に取付け られ、永久磁石８と上側ヨーク１０との間に位置する電機子コイル１１とを含む 。レール１上は、永久磁石８などを取付けることによって高さが高くなるのを防 止するために、断面が凹形状に形成される。磁気浮上スライダ２の上にはリフト 機構１２が設けられていて、リフト機構１２の上にはワーク取付ステージ１３が 設けられている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

上述の図２に示した磁気浮上走行装置においてレール１上を凹形状にするため には切削加工を要し、加工工数が増えるとともに、その面精度が悪く、レール１ の面との平面差が出にくいことから、永久磁石８をレール１の凹面に取付けるこ とができず、上述のごとく、下側ヨーク７をレール１の凹面に配置し、その上に 永久磁石８を取付けざるを得なかった。

【０００５】 それゆえに、この考案の主たる目的は、永久磁石をレール上に直接取付けるこ とができ、しかもステージの高さを低くできるような磁気浮上走行装置を提供す ることである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

この考案はレール上をステージが磁気浮上しながら走行する磁気浮上走行装置 であって、レールは平面形状に形成されかつその上にリニアモータのための永久 磁石が直接取付けられていて、ステージには永久磁石に対向するように電機子コ イルが設けられるとともに、レールの側面に対向するようにギャップセンサと案 内用電磁石が進行方向に沿って取付けられるように構成される。

【０００７】

【作用】

この考案に係る磁気浮上走行装置は、レール表面を平面形状に形成し、その上 に永久磁石を直接取付け、永久磁石に対向するように電機子コイルを設けるとと もに、レールの側面に対向するようにギャップセンサと案内用電磁石を進行方向 に沿って取付けることにより、ステージの高さを低くできる。

【０００８】

【実施例】

図１はこの考案の一実施例の要部破断側面図である。この図１に示した実施例 は、以下の点を除いて図２と同様にして構成される。すなわち、レール支持台２ １によってレール２２が支持されるが、レール２２の上面は平面形状に形成され 、その上に永久磁石８が直接取付けられる。さらに前述の図２に示した例では、 レール１の側面を厚くして、ギャップセンサ５と案内用電磁石６とを上下方向に 配置したが、図１に示した実施例では、レール２２を平面形状に形成したことに よって、従来例のようにギャップセンサ５と案内用電磁石６とを上下に配置する ことができない。そこで、この実施例では、ギャップセンサ５と案内用電磁石６ とを進行方向に沿って配置する。

【０００９】 上述のごとく、レール２２の上面を平面形状に形成したことによって、永久磁 石８を直接取付けることができ、従来のように下側ヨーク７を設ける必要がない ので、その分だけ厚みを薄くできる。さらに、レール２１を薄くしても、ギャッ プセンサ５と案内用電磁石６を進行方向に沿って配置し、ギャップセンサ５によ ってレール２２とのギャップを検出し、案内用電磁石６を制御することによって 、ステージ２をレール２２に沿って案内しながら走行させることができる。

【００１０】

【考案の効果】

以上のように、この考案によれば、レールを平面形状に形成し、その上に永久 磁石を直接取付け、レールの側面に対向するようにギャップセンサと案内用電磁 石を進行方向に沿って配置したことによって、ステージの厚みを薄くして良好に 走行させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例の要部破断側面図である。

【図２】この考案の先行技術となる磁気浮上走行装置の
要部破断側面図である。

【符号の説明】

２ ステージ ３ 浮上用電磁石 ５ ギャップセンサ ６ 案内用電磁石 ８ 永久磁石 ９ スペーサ １０ 上側ヨーク １１ 電機子コイル ２２ レール

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０２Ｋ 41/03 Ｚ 7346−5Ｈ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 レール上をステージが磁気浮上しながら
   走行する磁気浮上走行装置であって、 前記レールは平面形状に形成されかつその上にリニアモ
   ータのための永久磁石が直接取付けられていて、 前記ステージには、前記永久磁石に対向するように電機
   子コイルが設けられるとともに、前記レールの側面に対
   向するようにギャップセンサと案内用電磁石が進行方向
   に沿って取付けられることを特徴とする、磁気浮上走行
   装置。