JPH0586929U - 磁気浮上スライダ - Google Patents

磁気浮上スライダ

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JPH0586929U
JPH0586929U JP2839592U JP2839592U JPH0586929U JP H0586929 U JPH0586929 U JP H0586929U JP 2839592 U JP2839592 U JP 2839592U JP 2839592 U JP2839592 U JP 2839592U JP H0586929 U JPH0586929 U JP H0586929U
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JP
Japan
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frame
electromagnet
rail
magnetic levitation
slider
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Application number
JP2839592U
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Inventor
忠男 米田
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NTN Corp
Original Assignee
NTN Corp
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Publication date
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  • Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 この考案は磁気浮上スライダを構成する部品
のうち、金属性部品以外のものをすべてフレーム内に収
納してガスが発散されるのを防止し得る磁気浮上スライ
ダを提供することを主要な特徴とする。 【構成】 上面が開放された箱形のフレーム１３内に電
磁石１１とギャップセンサ１２をレール２１に対向する
ように設け、フレーム１３の開放面を非磁性の金属薄板
１４で覆い、止ねじ１５でフレーム１３と電磁石１１に
強固に固定し、電磁石１１などから発生したガスをフレ
ーム１３内に閉込めることにより、大気中に発散される
のを防止する。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この考案は磁気浮上スライダに関し、特に、半導体製造産業などのクリーンル ーム内に設けられ、レール上を磁気浮上しながら半導体ウェハなどを搬送するよ うな磁気浮上スライダに関する。
【０００２】
【従来の技術および考案が解決しようとする課題】
磁気浮上スライダは、敷設されたレールに対して、電磁石の磁気力により磁気 浮上しながら走行するものであり、完全非接触であるため、接触摩耗によるごみ が発生しないという特徴がある。しかしながら、現実的には、電磁石のコイルや プリント基板に実装された電子部品やバッテリなどが露出した状態でスライダ本 体に取付けられている。このため、電子部品などから有機性のガス（炭酸ガス） が発生し、シリコンウェハの表面で化学反応を起こし、皮膜を形成してしまうこ とがある。すなわち、シリコンと炭酸ガスが反応してシリコンウェハの表面にＳ ｉＣの皮膜が形成されてしまう。この皮膜は洗浄しても容易に取除くことができ ない。
【０００３】 それゆえに、この考案の主たる目的は、スライダ内に収納された電子部品や浮 上用電磁石のコイルなどから発生するガスがクリーンルーム内に発散されるのを 防止し得る磁気浮上スライダを提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
この考案は敷設されたレールに対して磁気浮上しならが走行する磁気浮上スラ イダであって、その上面が開放された箱形のフレームと、フレーム内に、レール に対向して設けられ、レールとのギャップを検出するギャップセンサと、フレー ム内に、レールに対向して設けられ、フレームを磁気浮上させるための電磁石と 、フレームの開放面を覆い、レールとギャップセンサおよび電磁石との間を仕切 る非磁性金属薄板とを備えて構成される。
【０００５】
【作用】
この考案に係る磁気浮上スライダは、フレーム内にギャップセンサや電磁石や 電子部品などを収納し、非磁性金属薄板でフレームの開放面を覆うようにしたの で、電磁石などから発生した有機ガスをフレーム内に閉込めることができ、大気 中に発散することはない。
【０００６】
【実施例】
図１はこの考案の一実施例の縦断面図である。図１を参照して、断面Ｌ字状の レール取付部２２，２２が１対対向して設けられ、それぞれの先端部には浮上用 レール２１，２１が下向きに取付けられている。
【０００７】 スライダ１は上面が開放された箱形のフレーム１３を含み、フレーム１３内に は浮上用レール２１，２１のそれぞれに対向するように浮上用電磁石１１，１１ とギャップセンサ１２，１２が設けられている。フレーム１３内の空間１７には 、図示しないが制御用の電子回路が実装されたプリント基板やバッテリなどが収 納されている。フレーム１３の上部の開放面には、非磁性の金属薄板１４が取付 けられ、止ねじ１５によってフレーム１３および浮上用電磁石１１の上面に強固 に固定される。なお、フレーム１３の上部には、シリコンウェハなどが載置され る荷受台１６が設けられている。
【０００８】 上述のごとく、有機性ガスを発生する電磁石１１やギャップセンサ１２などを フレーム１３内に収納し、その開放面を非磁性の金属薄板１４で覆うことにより 、電磁石１１などから発生した有機性ガスをフレーム１３内に閉込めることがで き、有機性ガスがクリーンルームなどの大気中に発散することがない。
【０００９】
【考案の効果】
以上のように、この考案によれば、箱形のフレーム内にギャップセンサや電磁 石を収納し、フレームの開放面を非磁性金属薄板で覆うようにしたので、電磁石 などから発生した有機ガスをフレーム内に閉込めることができ、大気中に発散さ れるおそれをなくすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この考案の一実施例の縦断面図である。
【符号の説明】
１ スライダ １１ 電磁石 １２ ギャップセンサ １３ フレーム １４ 金属薄板 １５ 止ねじ １６ 荷受台 ２１ 浮上用レール ２２ レール取付部

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 敷設されたレールに対して磁気浮上しな
    がら走行する磁気浮上スライダにおいて、 その上面が開放された箱形のフレームと、 前記フレーム内に、前記レールに対向して設けられ、前
    記レールとのギャップを検出するギャップセンサと、 前記フレーム内に、前記レールに対向して設けられ、前
    記フレームを磁気浮上させるための電磁石と、 前記フレームの開放面を覆い、前記レールと前記ギャッ
    プセンサおよび前記電磁石との間を仕切る非磁性金属薄
    板とを備えた、磁気浮上スライダ。
JP2839592U 1992-04-28 1992-04-28 磁気浮上スライダ Pending JPH0586929U (ja)

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6331940A (ja) * 1986-07-28 1988-02-10 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 磁気浮上移送装置
JPS63194502A (ja) * 1987-02-04 1988-08-11 Yaskawa Electric Mfg Co Ltd 磁気浮上搬送装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6331940A (ja) * 1986-07-28 1988-02-10 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 磁気浮上移送装置
JPS63194502A (ja) * 1987-02-04 1988-08-11 Yaskawa Electric Mfg Co Ltd 磁気浮上搬送装置

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Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19980428