JPS63194502A - 磁気浮上搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ＩＣ製造装置など、清浄な環境内で運転され
る製造設備における材料搬送のための磁気浮上搬送装置
に関する。

〔従来の技術〕

この種の磁気浮上搬送装置としては、例えば特開昭６１
１５５．１７号公報に記載された装置のように、搬送用
テーブルの支持をレール下面に対向させた吸引形量磁石
によって行うものがある。

：れは、少なくとも下面部分が強磁性体で形成されたガ
イドレール上に、同ガイドレールに沿って走行自在に搬
送車を配置し、この搬送車に永久磁石及び吸引形電磁石
を搭載してガイドレールの下面部との間に生じる磁気的
吸引力で搬送車をガイドレール上に浮上させるようにし
たものである。

また、前記搬送車とガイドレールに沿った静止部との間
に、搬送車に推進力を付与するリニヤモータを設け、こ
のリニヤモータを走行制御する手段と、搬送車の一時停
留位置に設けられ磁気力浮上装置の前記永久磁石との間
に生じる磁気的吸引力で前記搬送車を前記の一時停留位
置に停止させる磁気力停留装置とを具備している。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、この従来の搬送装置では、テーブル（搬送車）
に設置する吸引形電磁石への給電のためにレール側から
の給電手段を設け、又はバッテリーを搭載する必要があ
る。また、駆動用リニヤモータの磁気吸引力による水平
左右方向の安定のため、さらに水平方向の安定用電磁石
を必要とする。このため、テーブル重量の増加を招き、
テーブルの構造も複雑となっていた。

本発明は、このような従来の搬送装置の問題点に鑑みて
なされたものであり、テーブルのｕ！量化。

構造の簡素化を図ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この目的を達成するため、本発明の磁気浮上搬送装置は
、磁気により丁字形レールに対して浮上されたテーブル
をリニヤモータで移動させる材料搬送装置において、前
記丁字形レールの上部に、その中央部にはリニヤモータ
を、その両側にはギャップセンサをそれぞれ配設し、同
レールの下部両側に電磁石を取り付け、該レールを包み
込む断面を有するテーブルの内面中央部の、前記リニヤ
モータに対向する位置に誘導子を形成し、前記テーブル
の下部リップ部の、前記電磁石の磁極に対向する状態に
吸引体を形成し、且つ前記ギャップセンサによって検出
したギアツブが所定の目標値に入るように前記電磁石の
励磁を行うギャップ制御装置を備えたことを特徴とする
。

リニヤモータの磁気吸引力をなくして浮上のための必要
吸引力を小さくするために、テーブルを良導電体により
形成することが好ましい。

また、誘導子を強磁性体により構成することにより、リ
ニヤモータによる推進力を向上させることができる。

電磁石に２個の突極を形成し、この突極の各々に対向さ
せて吸引体にレール状突起を設けて電磁気的調心性を上
げることにより、横ぶれを解消することができる。

さろに、レールのリニヤモータ、ギャップセンサ及び電
磁石を薄板非磁性体でキャンすることにより、揮発や発
ガス材を無くして真空中でも駆動することができる。

〔作用〕

本発明は、搬送材料を移送するテーブルを、断面チャン
ネル状のアルミ等の軽量材料もしくは薄板の強磁性体で
構成する。このチャンネル内部に、上面に駆動用リニヤ
モータ及びギャップセンサを、下面に左右１組ずつの吸
引制御形電磁石を設けたレールを空隙をもって装着する
。前記電磁石の励磁電流を、ギャップセンサの検出値が
基準値になるように制御し、テーブルを吸引浮上させる
ようにする。浮上させたテーブルに対してリニヤモータ
を駆動させることにより、テーブルが移動し、搬送を行
うことができる。

浮上用のために必要な電磁石及びギャップセンサ、走行
に必要なりニアモータを全てレール側に設けているため
、テーブルの軽量化及び構造の簡素化を図ることができ
る。

〔実施例〕

以乍、第１図に示した実施例に基づし）で本発明を具体
的に説明する。

Ｔ字状のレール２には、アルミニウムあるいは薄板鋼板
等の軽量材を断面チャンネル状に形成したテーブル１が
敷設されている。このテーブル１の上向面には、レール
２の上部に配設したリニヤモータ３と空隙を介して誘導
子４を対向させている。この誘導子４の左右には、ギャ
ップセンサ５と対向させてターゲット６．６が設けふれ
ている。

下部リップ部７，７の左右各々には、Ｃ形コアにコイル
１０を集中巻きした電磁石９．９の磁極に対して対向す
る突起部１２を有する吸引体８．８を設けている。

レール２の上面には、前記誘導子４と対向するように、
長手方向にリニヤモータ３が配設され、リニヤモータ３
の左右には前記ターゲット６．６と対向させてギャップ
センサ５が長手方向に複数個設置されている。丁字形レ
ール２の下面左右には前記吸引体８．３と対向させてＣ
形コアにコイル１０．１０を巻回した電磁石９．９が設
置されている。

次に動作について述べる。左右の電磁石９．９の各々を
励磁すると、吸引体８が吸引され、テーブル１が浮上す
る。このとき、ギャップセンサ５の検出値Ｇが基準値に
なるようにコイル１０．１０の励磁電流を制御すると、
リニヤモータ３と誘導子４のギャップＧを基準値に保ち
ながら、且つ電磁石９の突極とこれに対向する吸引体８
の突起部１２゜１２によって磁気的に調心されながら、
テーブル１は浮上させられる。本発明のレールよりなる
二ニットを複数個長手方向に、第２図に示すように配置
すると、長ストロークの搬送ができる。

なお、誘導子４は、テーブル１と一体に形成するほか、
誘導子４を積層コアとし、テーブル１に固着したり、第
３図に示すように誘導子４をテーブルｌの板から絞り出
す方法で製作することができる。前記レール部のリニヤ
モータ３．ギャップセンサ５．５、電磁石９，９をステ
ンレス等よりなるケース１１で気密に包絡し、キャン構
造として揮発や発ガス材を無くし、真空中でも駆動する
ようにすることができる。

〔発明の効果〕

以上に説明したように、本発明は、丁字形レールに、リ
ニヤモータ、ギャップセンサ及び浮上用電磁石を取り付
け、テーブル側には、リニヤモータに対向する位置に誘
導子を、また前記電磁石の磁極に対向する状態に吸引体
をそれぞれ形成し、前記ギャップセンサによって検出し
たギャップが所定の目標値に入るように前記電磁石の励
磁を行うようにしている。これにより、テーブル側の構
造が簡素化され、かつテーブルへの給電が不要゛となる
。テーブルの構造が簡単な構造となるため、軽量化が可
能となる。また、ギャップセンサをリニヤモータと同一
面に設けているので、熱膨張によるギャップ変動がリニ
ヤモータのギャップに影響せず、推進変化がない。

なお、誘導子をアルミニウムや銅板等の良導電体で形成
すると、リニヤモータの磁気吸引力がなくなるので、浮
上のための必要吸引力が小さく、電磁石が小容量小型化
できる。このため、低コスト、省エネルギー化が可能と
なる。また、リニヤモータ、ギャップセンサ及び電磁石
をキャンすると揮発や発ガス材がなくなるので、真空中
でも駆動できる。さらに、電磁石の２個の突極と吸引体
の突起により電磁気的調心性が得られ、横ぶれが解消で
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の断面図、第２図；よ本発明の
配置を示す斜視図、第３図は他の天層側の部分断面図を
示す。 ｌ：テーブル　　　　　２：レール ３：リニヤモータ　　　４：誘導子 ７；リップ部　　　　　８：吸引体 ９：電磁石　　　　　１１：ケース １２：突起部

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、磁気によりＴ字形レールに対して浮上されたテーブ
   ルをリニヤモータで移動させる材料搬送装置において、
   前記Ｔ字形レールの上部に、その中央部にはリニヤモー
   タを、その両側にはギャップセンサをそれぞれ配設し、
   同レールの下部両側に電磁石を取り付け、該レールを包
   み込む断面を有するテーブルの内面中央部の、前記リニ
   ヤモータに対向する位置に誘導子を形成し、前記テーブ
   ルの下部リップ部の、前記電磁石の磁極に対向する状態
   に吸引体を形成し、且つ前記ギャップセンサによって検
   出したギャップが所定の目標値に入るように前記電磁石
   の励磁を行うギャップ制御装置を備えたことを特徴とす
   る磁気浮上搬送装置。 ２、テーブルが良導電体よりなる特許請求の範囲第１項
   記載の磁気浮上搬送装置。 ３、誘導子が強磁性体よりなる特許請求の範囲第２項記
   載の磁気浮上搬送装置。 ４、電磁石に２個の突極を形成し、この突極の各々に対
   向させて吸引体にレール状突起を設けた特許請求の範囲
   第１項、第２項又は第３項記載の磁気浮上搬送装置。 ５、レールのリニヤモータ、ギャップセンサ及び電磁石
   を薄板非磁性体でキャンしたことを特徴とする特許請求
   の範囲第１項から第４項のいずれかの項に記載の磁気浮
   上搬送装置。