JPH01255404A - 浮上用電磁石装置 - Google Patents

浮上用電磁石装置

Info

Publication number
JPH01255404A
JPH01255404A JP8380488A JP8380488A JPH01255404A JP H01255404 A JPH01255404 A JP H01255404A JP 8380488 A JP8380488 A JP 8380488A JP 8380488 A JP8380488 A JP 8380488A JP H01255404 A JPH01255404 A JP H01255404A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vehicle
width
magnetic
guide rail
magnetic pole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8380488A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshitaka Kobayashi
小林 芳隆
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP8380488A priority Critical patent/JPH01255404A/ja
Publication of JPH01255404A publication Critical patent/JPH01255404A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は主に半導体工場などのクリーンルーム内の搬送
システム等として設置される常電導磁気浮上式走行装置
の車両の浮上用電磁石装置に関する。
(従来の技術) 一般に、前述した常電導磁気浮上式の走行装置(搬送シ
ステム)は、第4図に示す如(、先ず建屋などに荷物搬
送ルートに沿って軌道1を構成し、この軌道1の下側に
この長手方向全長に亘り左右一対の強磁性ガイドレール
(以下単に磁性ガイドレールと称する)2をレール支持
体3により吊持して固設すると共に、そのレール支持体
3の外側から支持アーム4を突設して左右一対の断面コ
字形状の車輪案内レール5をやはり全長に回り固設し、
更に左右磁性ガイドレール3.3の相互間中央部にリニ
ヤモータ1次(リニヤ誘導電動機)6を設けている。一
方常電導磁気浮上車両(以下単に車両と略記する)7は
、台枠8の前後左右に前記左右の車輪案内レール5内に
沿って転動する左右一対ずつの補助車輪9を設けると共
に、台枠8の上面の前後左右四隅部に前記左右の磁性ガ
イドレール3の下面と対向する状態に浮上用電磁石10
及びギャップセンサー11を設け、史に台枠8の上面部
中央部にリニヤモータ2次板12を設けて構成されてい
る。なおその車両7には台枠8の上下面部に配して電源
13及び励磁コイル制御装置14が搭載されていると共
に、台枠8の下部に非搬送物15を吊持する荷物支持腕
16が設けられている。
そして前記車両は、ギャップセンサー11からの信号に
より電流制御しながら浮上用電磁石IOを励磁すること
で、その上側に対向している磁性ガイドレール2との間
で吸引力を発生して、その間のギャップを一定に保つべ
く浮上案内保持させるようになり、この状態でリニヤモ
ータ1次6を励磁することで、これと対向するりニヤモ
ータ2次板12との間で推進力を得て非接触走行するよ
うになる。
ここで、前記軌道側に固定した磁性ガイドレール2と車
両側に固定した浮上用電磁石10とよりなる浮上用電磁
石装置について更に第5図により述べると、該磁性ガイ
ドレール2は単なる帯板状のものであるが、これと対向
する浮上用電磁石10は、所要電力を軽減すべく複合磁
石とした構成で、起磁力の一部を肩代わりする永久磁石
20と、これを左右から挟み付けるべく配した2個の電
磁石鉄心(以下!11に鉄心と称する)21と、これら
各鉄心21に巻装された励磁コイル22とで構成されて
いる。
このような複合磁石の構成により、永久磁石20以外の
制御用起磁力が小さく設計できて全体の小形化が図れる
と共に、車両浮上保持のための消費電力が低減でき、且
つ磁性ガイドレール2が単純で軌道構成が楽である。
その浮上用電磁石10の制御は、励磁コイル2が励磁さ
れていないとき、永久磁石20のみの起磁力による吸引
力は鉄心21の磁極面部21aと磁性ガイドレール2と
の間のギャップ長の2乗に反比例して第6図に示す如く
変化する。そこで車両が空荷の場合には永久磁石20に
よる吸引力が該車両の自重F、に等しくなるギャップ長
Z1を[1標値とし、車両が荷物を搭載して総重量がF
2に変わったときにはギャップ長Z2を目標値として、
それぞれ励磁コイル22に制御しながら通電して鉄心2
1が所要の起磁力を得るようになす。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、前述した従来の浮上用電磁石装置では、
浮上用電磁石10の鉄心21の磁極面部21aが正方形
で車両進行方向と直交する左右方向(幅方向)に幅広で
あると共に、磁性ガイドレール2が更に幅広で平坦な帯
板状であることから、車両が走行中又は指定された箇所
で停止する際に、磁性ガイドレール2の下面と平行に左
右に振動(ヨーイング)して、その振動がなかなか減静
止状態となるまで番なりの時間がかかり、引(Vでは搬
送効率の低−ドを招く問題があった。
本発明は前記iIl情に鑑みなされ、車両の左右振動(
ヨーイング)を大幅に低減させることができる浮上用電
磁石装置を提供することを目的とする。
〔発明の構成〕
(課題を解決するための手段) 本発明の浮上用電磁石装置は、前記目的を達成するため
に、if上用電磁石の鉄心の磁極面部を車両進行方向に
拡張する一方、車両進行方向と直角方向の幅を狭くし、
前記磁性ガイドレールは前記浮上用電磁石の鉄心磁極面
部幅と同じかそれに近い幅として構成したことを特徴と
する。
(作用) 前記構成により、本発明の浮上用電磁石装置は、車両が
左右に揺れてヨーイングを発生しようとした場合、浮上
用電磁石の鉄心の磁極面部が車両進行方向には長いが車
両進行方向と直角方向には幅狭で、1つ磁性ガイドレー
ルも同様に幅狭となっているので、その磁性ガイドレー
ルから鉄心の磁極面部が幅方向にはみ出すようにずれを
生じるようになる。その場合に鉄心と磁性ガイドレール
との間の磁気的パーミアンスが変化して、自動的に該鉄
心を磁性ガイドレールの幅方向中心に戻す復元力が働き
、その相互のずれが押えられて車両のヨーイングを防止
するようになる。
(実施例) 以下本発明の一実施例を第1図及び第2図により説明す
る。なお第1図は説明の簡略化の為に片側のレール支持
体3o及びこの下側に取付けられた一本の磁性ガイドレ
ール31と一つの浮上用電磁石32のみを示し、第2図
はその一部を拡大して示している。実際にはレール支持
体3o及び磁性ガイドレール31は軌道側の左右部に並
列して配設され、浮上用電磁石32は車両の台枠上の前
後左右の四隅部に一個ずつ配設されている。またそれ以
外は前述した第4図に示す構成と同様であるので説明を
省略する。
前記浮上用電磁石32は従来同様に複合磁石で、永久磁
石3゛3と、これを車両進行方向前後から挟み付ける状
態に配した前後一対の電磁石鉄心(以下単に鉄心と称す
る)34と、これら各鉄心34に巻装された励磁コイル
35とで構成されている。
また従来同様にギャップセンサー36が設けられている
。ここで該浮上用電磁石32の前後各鉄心34は励磁コ
イル35が巻かれている部分は断面正方形状をなすが、
その上側に突出する部分34′は車両進行方向(前後方
向)に長尺な台形状とされている。つまりその上面であ
る磁極面部34 aが車両進行方向(前後方向)に長く
拡張されている一方、その車両進行方向と直角方向の幅
が狭くされている。こうした浮上用電磁石32に対して
前記磁性ガイドレール31は、該浮上用電磁石32の鉄
心34の磁極面部34aの幅と同じかそれに近い幅狭構
造とされている。
而して、前述した構成の浮上用電磁石装置の作用を述べ
る。まず浮上用電磁石32の鉄心34の励磁コイル35
が巻かれている部分の左右幅をT1、胴部の前後幅をL
lとし、これに対して前後方向に長く拡張され且っ幅狭
とされた磁極面部34aの幅(磁性ガイドレール31の
幅も同じ)をTo−、磁極面部34aの長さをり。とし
、その磁極面部34aと磁性ガイドレール31との間の
空隙をgとする。そして今何らかの原因で浮上用電磁石
32と磁性ガイドレール31とが左右方向に相対的にΔ
Xだけずれた場合、鉄心−極当りの吸引力Fは以下の(
1)式により求められる。なお磁性ガイドレール31と
磁極面部34aとの間のギャップ中の磁束密度はB1と
し、励磁電流は一定とする。また計算の都合上磁性ガイ
ドレール31に対する磁極面部34 aのずれによる磁
束の乱れは無視する。
但しμ0は空気の誘磁率である。
前記(1)式により磁束密度B、は、 空隙中の起磁力U1は、 但しPgは空隙中のパーミアンスで、 に Sは磁性ガイドレール31とχ・I向する磁極面部34
aの面積で 5−(To−Δx)L□ 浮上用電磁石32が磁性ガイドレール31に対して左右
方向にずれた場合、該電磁石32が中央に戻るのに要す
る起磁力U2は、横ずれ後の起磁力から横ずれ前の起磁
力を差し引いて得られる。
つまり、 ・・・(4) 従って、浮上用電磁石32が横方向にずれた場合に中央
に戻ろうとする復元力Fgは、Fg−U≦七−山 この復元力Fgにより該浮上用電磁石32が磁性ガイド
レール31の中央に戻されて、車両のヨーイングの発生
が防止されるよになる。
第3図は本発明の他の実施例を示すもので、浮上用電磁
石32の前後鉄心34の上側突出部分34′が車両進行
方向(前後方向)に長尺とされていると共に、中央にV
溝が前後に亘り形成されて左右に2分割されている。こ
れでその上面である磁極面部34aが車両進行方向(前
後方向)に長く拡張されている一方、左右に2分割され
て各々幅狭とされている。こうした浮上用電磁石32に
対して磁性ガイドレール31は断面逆U字形状に構成さ
れて、前記左右に分割された幅狭な磁極面部34a、3
4aとそれぞれ幅を路間じくじて対向する対向面部31
a、31aを持つ構造とされている。こうした構成とす
ることで前記実施例より史に一層復元力が増加して、車
両のヨーイングの発生を防止できるようになる。
なお、前述した構成の浮上用電磁石装置では、図示しな
いが軌道の急曲線部や分岐部においては、磁性ガイドレ
ール31の幅を鉄心34の磁極面部の幅より広くする。
〔発明の効果〕
本発明は前述した如く、浮上用電磁石の鉄心の磁極面部
が車両進行方向には長いが車両進行方向と直角方向には
幅狭で、■つ磁性ガイドレールも同様に幅狭であるので
、車両が左右に揺れてヨーイングを発生しようとした場
合、磁性ガイドレールから鉄心の磁極面部が幅方向には
み出すようにずれを生じ、これにて鉄心と磁性ガイドレ
ールとの間の磁気的パーミアンスが変化して、自動的に
該鉄心を磁性ガイドレールの幅方向中心に戻す復元力が
働き、重両の左右振動(ヨーイング)を大幅に低減させ
ることができる非常に優れた浮上用電磁石装置となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す要部の斜視図、第2図
は第1図の一部を拡大した斜視図、第3図は本発明の他
の実施例を示す要部の斜視図、第4図は従来例を示す常
電導磁気浮上式走行装置の断面図、第5図は従来の浮上
用電磁石装置の斜視図、第6図は浮上用電磁石の磁性ガ
イドレールとの間のギャップ長に対する吸引力を示す図
である。 1・・・軌道、7・・・車両、31・・・磁性ガイドレ
ール、32・・・浮上用電磁石、34・・・鉄心、34
a・・・磁極面部。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第1区 片 2 図 第4図 第5図 烏 第 6 図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  軌道に沿って磁性ガイドレールを設け、車両に浮上用
    電磁石をこの鉄心の磁極面部が前記磁性ガイドレールの
    下面と対向する状態に設け、この浮上用電磁石を励磁す
    ることで磁性ガイドレールとの間で吸引力を発生して車
    両を浮上保持せしめる浮上用電磁石装置において、前記
    浮上用電磁石の鉄心の磁極面部を車両進行方向に拡張す
    る一方、車両進行方向と直角方向の幅を狭くし、前記磁
    性ガイドレールは前記浮上用電磁石の鉄心磁極面部幅と
    同じかそれに近い幅として構成したことを特徴とする浮
    上用電磁石装置。
JP8380488A 1988-04-05 1988-04-05 浮上用電磁石装置 Pending JPH01255404A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8380488A JPH01255404A (ja) 1988-04-05 1988-04-05 浮上用電磁石装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8380488A JPH01255404A (ja) 1988-04-05 1988-04-05 浮上用電磁石装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01255404A true JPH01255404A (ja) 1989-10-12

Family

ID=13812849

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8380488A Pending JPH01255404A (ja) 1988-04-05 1988-04-05 浮上用電磁石装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH01255404A (ja)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1995006949A1 (en) * 1993-09-01 1995-03-09 Grumman Aerospace Corporation Superconducting electromagnet for levitation and propulsion of a maglev vehicle
JP2005298073A (ja) * 2004-04-06 2005-10-27 Toshiba Elevator Co Ltd エレベータの昇降案内装置
WO2006068233A1 (ja) * 2004-12-24 2006-06-29 Nikon Corporation 磁気案内装置、ステージ装置、露光装置、及びデバイスの製造方法
US7830046B2 (en) 2007-03-16 2010-11-09 Nikon Corporation Damper for a stage assembly
US20130271945A1 (en) 2004-02-06 2013-10-17 Nikon Corporation Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method
US9341954B2 (en) 2007-10-24 2016-05-17 Nikon Corporation Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
US9423698B2 (en) 2003-10-28 2016-08-23 Nikon Corporation Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus
US9678332B2 (en) 2007-11-06 2017-06-13 Nikon Corporation Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method
US9678437B2 (en) 2003-04-09 2017-06-13 Nikon Corporation Illumination optical apparatus having distribution changing member to change light amount and polarization member to set polarization in circumference direction
US9885872B2 (en) 2003-11-20 2018-02-06 Nikon Corporation Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical integrator and polarization member that changes polarization state of light
US9891539B2 (en) 2005-05-12 2018-02-13 Nikon Corporation Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method
US10101666B2 (en) 2007-10-12 2018-10-16 Nikon Corporation Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
WO2020061173A1 (en) * 2018-09-19 2020-03-26 Hyperloop Technologies, Inc. Homopolar linear synchronous machine

Cited By (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5479145A (en) * 1993-09-01 1995-12-26 Northrop Grumman Corporation Superconducting electromagnet for levitation and propulsion of a maglev vehicle
WO1995006949A1 (en) * 1993-09-01 1995-03-09 Grumman Aerospace Corporation Superconducting electromagnet for levitation and propulsion of a maglev vehicle
US9678437B2 (en) 2003-04-09 2017-06-13 Nikon Corporation Illumination optical apparatus having distribution changing member to change light amount and polarization member to set polarization in circumference direction
US9885959B2 (en) 2003-04-09 2018-02-06 Nikon Corporation Illumination optical apparatus having deflecting member, lens, polarization member to set polarization in circumference direction, and optical integrator
US9760014B2 (en) 2003-10-28 2017-09-12 Nikon Corporation Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus
US9423698B2 (en) 2003-10-28 2016-08-23 Nikon Corporation Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus
US10281632B2 (en) 2003-11-20 2019-05-07 Nikon Corporation Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical member with optical rotatory power to rotate linear polarization direction
US9885872B2 (en) 2003-11-20 2018-02-06 Nikon Corporation Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical integrator and polarization member that changes polarization state of light
US20130271945A1 (en) 2004-02-06 2013-10-17 Nikon Corporation Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method
US10241417B2 (en) 2004-02-06 2019-03-26 Nikon Corporation Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method
US10234770B2 (en) 2004-02-06 2019-03-19 Nikon Corporation Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method
US10007194B2 (en) 2004-02-06 2018-06-26 Nikon Corporation Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method
JP2005298073A (ja) * 2004-04-06 2005-10-27 Toshiba Elevator Co Ltd エレベータの昇降案内装置
WO2006068233A1 (ja) * 2004-12-24 2006-06-29 Nikon Corporation 磁気案内装置、ステージ装置、露光装置、及びデバイスの製造方法
US9891539B2 (en) 2005-05-12 2018-02-13 Nikon Corporation Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method
US7830046B2 (en) 2007-03-16 2010-11-09 Nikon Corporation Damper for a stage assembly
US10101666B2 (en) 2007-10-12 2018-10-16 Nikon Corporation Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
US9857599B2 (en) 2007-10-24 2018-01-02 Nikon Corporation Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
US9341954B2 (en) 2007-10-24 2016-05-17 Nikon Corporation Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
US9678332B2 (en) 2007-11-06 2017-06-13 Nikon Corporation Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method
WO2020061173A1 (en) * 2018-09-19 2020-03-26 Hyperloop Technologies, Inc. Homopolar linear synchronous machine
US11496035B2 (en) 2018-09-19 2022-11-08 Motorola Solutions, Inc. Homopolar linear synchronous machine
US11870318B2 (en) 2018-09-19 2024-01-09 Hyperloop Technologies, Inc. Homopolar linear synchronous machine

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6502517B1 (en) Arrangement for operating a transportation system with a magnetic levitation vehicle
US4793263A (en) Integrated linear synchronous unipolar motor with controlled permanent magnet bias
JPH01255404A (ja) 浮上用電磁石装置
US5652472A (en) Magnetodynamic levitation and stabilizing selfregulating system
JPH09252504A (ja) 磁気浮上式搬送装置
JPS60170401A (ja) 浮上式搬送装置
JP2680296B2 (ja) 浮上式搬送装置
JPH09261804A (ja) 磁気浮上システム
JPH0442214Y2 (ja)
JPH08163712A (ja) 磁気浮上式搬送装置
JPH0757042B2 (ja) 浮上式搬送装置
JP2602810B2 (ja) 浮上式搬送装置
JP2547725B2 (ja) 浮上式搬送装置
JPH0556085B2 (ja)
JP2713885B2 (ja) 浮上式搬送装置
JPS61224807A (ja) 浮上式搬送装置
JPH07123321B2 (ja) 吸引式磁気浮上案内装置
JP2003087910A (ja) 磁気浮上搬送装置及びその制御方法
JPH0919005A (ja) 吸引式磁気浮上車
JPH0458247B2 (ja)
JPS6015362Y2 (ja) 磁気軌道装置
JP2760495B2 (ja) 浮上式搬送装置
JPH0616240A (ja) 磁気浮上搬送車の停止保持装置
JP2563912B2 (ja) 浮上式搬送装置
JPH0728481B2 (ja) 浮上式搬送装置