JPH0728481B2 - 浮上式搬送装置 - Google Patents

浮上式搬送装置

Info

Publication number
JPH0728481B2
JPH0728481B2 JP2740486A JP2740486A JPH0728481B2 JP H0728481 B2 JPH0728481 B2 JP H0728481B2 JP 2740486 A JP2740486 A JP 2740486A JP 2740486 A JP2740486 A JP 2740486A JP H0728481 B2 JPH0728481 B2 JP H0728481B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rail
guide rail
magnetic
magnetic support
center line
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2740486A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS62185503A (ja
Inventor
敏憲 寺島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2740486A priority Critical patent/JPH0728481B2/ja
Publication of JPS62185503A publication Critical patent/JPS62185503A/ja
Publication of JPH0728481B2 publication Critical patent/JPH0728481B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Railway Tracks (AREA)
  • Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、小物類を搬送するのに好適な浮上式搬送装置
に係わり、特に磁気浮上走行の安定化を図れるようにし
た浮上式搬送装置に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
近年、オフィスオートメーション、ファクトリオートメ
ーションの一環として、建屋内の複数の地点間におい
て、伝票、書類、現金、試料等を搬送装置を用いて移動
させることが行われている。
このような用途に用いられる搬送装置は、オフィスの環
境を損うものであってはならず、粉塵の発生等が無く低
騒音であることが要求される。このため、この種の搬送
装置はガイドレールに対し搬送車を非接触に支持し得る
ように構成されている。搬送車を非接触で支持するに
は、空気や磁気を利用するのが一般的であるが、中でも
搬送車を磁気的吸引力を用いて支持する方式は、ガイド
レールに対する追従性や、騒音低減効果に優れており、
最も有望な支持方式とされている。
ところで、通常のオフィス環境においては多数の障害物
が存在するため、搬送路の構成が複雑になる場合が多
い。この点を考慮すると、ガイドレールを分割構造にす
るのが望ましい。ガイドレールをこのように分割構造に
よれば、据付作業の簡易化を図ることができるからであ
る。
通常、磁気支持ユニットが発生される磁気ループは、搬
送車の幅方向のスペース上の制約から搬送車の進行方向
および鉛直方向と平行な平面に沿って形成されることが
多い。この場合、分割構造のガイドレールの継目部分で
磁気ループが切断されないように、上記継目部分は階段
状に形成される。ところが従来は、第9図に示すよう
に、製作上の問題から、階段状の継目部分Aが左右のガ
イドレール2a,2bで同一の構造となっていたため、次の
ような問題が生じた。
すなわち、搬送車1に搭載された磁気支持ユニット3
が、ガイドレール2a,2bの継目部分Aに差掛かると、磁
気支持ユニット3で発生した磁束Φのうち図中進行方向
に向かって右側の磁束が継目部分Aによって切断される
ので、同図(c)に示すようにガイドレール2a,2bに対
する磁気支持ユニット3の磁気的結合力がガイドレール
2a,2bの左右でアンバランスとなり、この結果、搬送車
1が進行方向に対して横向きの移動力を受け、横振れを
起こすという問題があった。このような問題が生じる
と、磁気浮上走行の安定化を損うばかりか横振れ防止の
ための新たな制御系を付加しなければならず、経済性も
損ねるという問題があった。
〔発明の目的〕
本発明はこのような事情に鑑みなされたものであり、そ
の目的とするところは、特別な制御系を付加することな
しに、分割構造のガイドレールに沿って進行する搬送車
の継目部分における横振れを防止でき、常に磁気浮上系
の安定化が図れる浮上式搬送装置を提供することにあ
る。
〔発明の概要〕
本発明は、強磁性体で形成された複数のレール分割体を
継目部分を介して直列接続してなるガイドレール上を走
行する搬送車に、前記ガイドレールの下面と空隙を介し
て対向するように磁気支持ユニットを搭載し、この磁気
支持ユニットを構成する電磁石の励磁電流を制御するこ
とによって搬送車の浮上のための磁気回路を安定化させ
るようにした浮上式搬送装置において、前記ガイドレー
ルの継目部分を次のように形成したことを特徴としてい
る。
すなわち、本願の第1の発明はガイドレールの継目部分
の任意の位置を車両の進行方向と直交する方向に切断
し、その一方の側に位置する横断面のうち、特に一方の
側のレール分割体の横断面だけ(他方の側のレール分割
体の横断面は捨象する)を見たとき、搬送車の軌道中心
線を境にした両側の前記横断面のレール幅方向の長さの
総和が等しく、かつ前記軌道中心線を境にした両側の前
記横断面の重心位置が前記軌道中心線に対して対称位置
にあることを特徴としている。レール幅方向の長さの総
和が等しいことにより、この部分を通過する磁束の総和
を軌道中心の両側で等しくでき、横断面の重心位置を対
称位置に配置することで、上記磁束によって生じる横方
向の移動力を軌道中心の両側で相殺させることが可能と
なる。
また、本願の第2の発明は上記と同様に横断面を見たと
き、ガイドレールの中心線を境にした両側の前記横断面
のレール幅方向の長さの総和が等しく、かつガイドレー
ルの中心線を境にした両側の前記横断面の重心位置がガ
イドレールの中心線に対して対称位置にあることを特徴
としている。この場合には、ガイドレール部分で搬送車
に横方向の移動力が生じることがない。
なお、以上の各場合においてガイドレールは1本でも、
また複数本を平行に敷設しても良いことはいうまでもな
い。
〔発明の効果〕
本発明によれば、継目部分で軌道中心線を境にして一方
の側で搬送車に働く横方向の移動力と他方の側で搬送車
に働く横方向の移動力とが、互いに逆向きになって吊合
い、或はまた搬送車に横方向の移動力が生じるのを防止
できる。この結果、横振れを起こすのを防止することが
できる。したがって、本発明によれば、特別の制御系を
必要とすることなく継目部分の浮上走行系の安定化を図
ることができる。
〔発明の実施例〕
以下、図面を参照しながら本発明の一実施例に係る浮上
式搬送装置について説明する。
第1図において11は、断面が逆U字状に形成され、例え
ばオフィス空間において障害物を避けるようにして敷設
された軌道枠である。この軌道枠11の上部壁下面には2
本のガイドレール12a,12bが平行に敷設されており、軌
道枠11の側壁内面にはそれぞれ断面がコ字状の非常時用
ガイド13a,13bが互いの開放側を対面させて敷設されて
いる。ガイドレール12a,12bの下側には、搬送車15が上
記ガイドレール12a,12bに沿って走行自在に配置されて
いる。また、軌道枠11の上部壁下面で上記ガイドレール
12a,12bの間の部分には、上記ガイドレールに沿って所
定の距離を隔ててリニア誘導電動機の固定子16が配置さ
れている。
ガイドレール12a,12bは、オフィスへの据付作業を容易
化するため分割構造となっており、強磁性体で形成され
下面に白色の塗装を施した複数のレール分割体21を直列
接続して構成されている。各レール分割体21の継目部分
Aは、同レール分割体21の内側側端部から同中央部にか
けて同分割体21の幅方向に延びる部分a1と、この部分a1
から同分割体21の長さ方向に延びる部分a2と、この部分
a2から同分割体21の外側側端部にかけて幅方向に延びる
部分a3とからなる階段形状を呈している。同分割体21の
長さ方向に延びる部分a2は、後述する磁気支持ユニット
31が作る磁束の搬送車進行方向の長さよりも長く設定さ
れている。そして、2本のガイドレール12a,12bの継目
部分Aは搬送車15の軌道中心線に対して互いに対称的な
形状を有している。この継目部分Aは所定の接合処理が
なされている。
次に搬送車15の構成について説明する。すなわち、ガイ
ドレール12a,12bの下面と対向するように平板状の基台2
5が配置されている。この基台25は、進行方向に配置さ
れた2つの分割板26a,26bと、両分割板26a,26bを同進行
方向と直交する面内で回転可能に連結する連結機構27と
で構成されている。この基台25の上面四隅位置には、そ
れぞれ計4つの磁気支持ユニット31が搭載されている。
これら磁気支持ユニット31は、上記基台25上面で図示し
ないボルトおよび台座33を用いて前記基台25に取付けら
れている。これら磁気支持ユニット31には、同ユニット
31とガイドレール12a,12bの下面との間の空隙長を検出
する光学ギャップセンサ34が取付けられている。また、
各分割板26a,26bの下面には、2組の連結部材35を介し
て搬送物の収容のための容器37,38がそれぞれ取付けら
れている。そして、これら容器37,38には、前記4つの
磁気支持ユニット31をそれぞれ制御するための制御装置
41と、定電圧発生装置42と、これらに電力を供給する小
容量の電源43とがそれぞれ2つずつ計4つ搭載されてい
る。また、前記基台25の下面四隅位置には、磁気支持ユ
ニット31の磁気力喪失時などにおいて前記非常用ガイド
13a,13bの上下壁内面に接触して搬送車15を上下方向に
支持するための4つの縦車輪45aと、同非常用ガイド13
a,13bの側壁内面に接触して搬送車15を左右方向に支持
するための4つの横車輪45bとがそれぞれ取付けられて
いる。なお、基台25は前述したリニア誘導電動機の可動
要素である導体板を兼ねたものであり、装置の稼動時に
おいては、固定子16と僅かのギャップを介して対向する
高さに配置されている。
磁気支持ユニット31は、上端部がガイドレール12a,12b
の下端部と対向するように搬送車15の図中進行方向と平
行な方向に配置された2つの電磁石51,52と、これら電
磁石51,52の各下部側面間に介在する永久磁石53とで構
成されており、全体としてU字状をなすものである。各
電磁石51,52は、強磁性体で形成された継鉄55と、この
継鉄55に巻装されたコイル56とで構成されており、各コ
イル56は、電磁石51,52によって形成される磁束が互い
に加算されるような向きで直列に接続されている。
また、制御装置41は、例えば第2図に示すように構成さ
れている。なお、この図において矢印は信号経路をまた
棒線は電力経路を示したものである。この制御装置41
は、搬送車15に取付けられて磁気支持ユニット31によっ
て形成される磁気回路中の起磁力あるいは磁気抵抗もし
くは搬送車15の運動の変化を検出するセンサ部61と、こ
のセンサ部61からの信号に基づいてコイル56に供給すべ
き電力を演算する演算回路62と、この演算回路62からの
信号に基づいて、前記コイル56に電力を供給するパワー
アンプ63とで構成されており、これが4つ集まって4つ
の磁気支持ユニット41をそれぞれ制御する。センサ部61
は、外部雑音の影響を抑制するため前述した光学ギャッ
プセンサ34の信号を変調する変調回路64と、前記コイル
56の電流値を検出する電流検出器65とで構成されてい
る。演算回路62は、一方においては、光学ギャップセン
サ34からの信号を変調回路64を介して導入し、減算器66
によってギャップ長設定値z0を減算するとともに、この
減算器66の出力を直接、または微分器67を介してそれぞ
れフィードバックゲイン補償器68,69に導き、他方にお
いては電流検出器65からの信号をフィードバックゲイン
補償器70に導くものであり、さらに電流検出器65から導
入され減算器71でO信号と比較された後、積分補償器72
で補償された信号と、上記3つのフィードバックゲイン
補償器63〜70の加算器73による加算出力とを減算器74で
比較して、その偏差を前記パワーアンプ63に出力するも
のとなっている。
また、定電圧発生装置42は、電源43と制御装置41との間
に介在されており、変調回路64、演算回路62および光学
ギャップセンサ34に常に一定の電圧で電流を供給してい
る。この定電圧発生装置42は、電源43の負荷変動に起因
する電圧降下が制御装置41に与える影響を除去するため
のもので、基準電圧発生装置75と、この基準電圧発生装
置75の出力信号に基づき常に一定電圧で必要とされる電
流を制御装置41に供給する電流増幅器76とから構成され
ている。
次に、このように構成された本実施例に係る浮上式搬送
装置の動作について説明する。
装置が停止状態にある場合には、非常用ガイド13a,13b
の上下壁のいずれか一方の内面に搬送車15の縦車輪45a
が接触している。この状態で装置を起動させると、制御
装置41は、永久磁石53が発生する磁束と同じ向きまたは
逆向きの磁束を電磁石51,52に発生させるとともに、磁
気支持ユニット31とガイドレール12a,12bとの間に所定
の空隙長を維持させるべく励磁コイル56に流す電流を制
御する。これによって、第3図(b)に示すように、永
久磁石53〜継鉄55〜空隙P〜ガイドレール12a(12b)〜
空隙P〜継鉄55〜永久磁石53の経路からなる磁気回路が
形成される。この磁気回路に形成される磁束Φは、同図
(b),(c)に示すように搬送車15の進行方向および
鉛直に対して平行な面に沿うように発生する。ギャップ
長は、搬送車15など被支持体の重量と、永久磁石53の起
磁力による磁気支持ユニット31〜ガイドレール12a(12
b)間の磁気的吸引力とが丁度釣合うような長さに設定
される。制御装置41は、このギャップ長を維持すべく電
磁石51,52の励磁電流制御を行う。これによって、いわ
ゆるゼロパワー制御がなされることになる。
いま、搬送車15がリニア誘導電動機の固定子16の真下に
あるとして、この固定子16を付勢すると、基台25が固定
子16から電磁力を受けるので、搬送車15は、磁気浮上状
態のままガイドレール12a,12bに沿って走行し始める。
搬送車15が空気抵抗等の影響で完全静止するまでの間に
再び固定子16が配置されていれば、搬送車15は再度付勢
されてガイドレール12a,12bに沿った移動を持続させ
る。この移動は目的とする地点まで継続される。かくし
て、搬送車15を非接触状態で目的地点まで移動させるこ
とができる。
この実施例によれば、搬送車15が移動の過程でガイドレ
ール12a,12bの継目部分Aを通過する際でも、第3図
(a)から明らかな如く、接合面の一部でかつ搬送車15
の進行方向に平行な部分と、磁石Φの発生する方向とが
一致しているので、磁束Φが継目部分Aを完全に横切る
ことがない。このため、磁気抵抗の変化を抑制でき、継
目部分通過時の制御性能の安定化を図ることができる。
そして、このように継目部分Aが2本のガイドレール12
a,12bで対称な形状をしていると、第3図および第4図
の特に(c)から明かなように、搬送車15が継目部分に
差掛かり、磁束Φが半分だけ切断される場合でも、ガイ
ドレール12a,12bの外側同士或は内側同士で切断され
る。このため、搬送車15に働く横方向の移動力は2つの
ガイドレール12a,12bで互いに逆向きに働き、結局、横
方向の移動力は相殺されて零になる。このため、横振れ
を防止でき、浮上走行の安定化を図ることができる。
また、この実施例の装置では、ガイドレール12a,12bの
平面度の狂いや、搬送車15の重心位置の変化等があった
場合は、各磁気支持ユニット31が支持すべき重量に釣合
う吸引力を永久磁石53に発生させるような間隙を各磁気
支持ユニット31とガイドレール12a,12bとの間に確保す
る必要がある。この場合には、連結機構27を中心として
分割板26aが分割板26bに対して回転し、それぞれの磁気
支持ユニット31が適切な間隙長を保つように作用する。
なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではな
い。
たとえば、上記実施例では、継目部分Aが1段の階段形
状を呈しているが、これはガイドレール12a,12bを形成
する帯状部材21の接合部の形状を何等限定するものでは
なく、継目部分Aが第5図に示すように複数段の階段形
状であっても、また、第6図に示すようにスロープ状で
あっても、搬送車15の軌道中心に対して対称な形状であ
れば本発明の目的は達成される。
また、第7図に示すほぞ継ぎ方式も、一方のレール分割
体(例えば図中左側)21の横断面を見たとき、軌道中心
線Dの両側で、横断面のレール幅方向の長さの総和(a
+b)が等しく、かつ、軌道中心線Dから両側の上記横
断面の重心位置までの距離Lが等しい場合には、搬送車
15に作用する横方向の移動力が丁度吊り合うので、本発
明の効果を奏することができる。
また、上記のような関係が各ガイドレール12a,12bの中
心線を境にした両側の横断面についていえるときには、
搬送車15に横方向の移動力が発生しないので、前述した
目的を達成することが可能になる。第8図はその一つの
例を示したものであり、ガイドレール12a,12bの中心線
に対して対称的なくさび状の継目部分Aを備えたもので
ある。このように継目部分Aがガイドレール12a,12bの
中心線に対して対称的な形状であれば、軌道中心線に対
して対称であるかどうかに拘らず、本来搬送車15に横方
向の移動力を生じない。
さらには、本発明は、ガイドレールが2本の場合に適用
を限定されるものではなく、ガイドレールが1本の場
合、さらには3本以上の場合にも適用可能であることは
いうまでもない。
また、本発明は、磁気支持ユニットとして電磁石のみを
用いた浮上式搬送装置にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例に係る浮上式搬送装置の概略
構成を示す斜視図、第2図は同装置の制御装置の電気的
構成を示すブロック図、第3図は同装置における搬送車
が継目部分に差掛かった時の磁気回路の様子を説明する
ための図であり、同図(a)は平面図、同図(b)は一
部切欠した側面図、同図(c)は一部切欠した正面図、
第4図は同装置における搬送車が継目部分を越える時の
磁気回路の様子を説明するための図であり、同図(a)
は平面図、同図(b)は一部切欠した側面図、同図
(c)は一部切欠した正面図、第5図ないし第8図は本
発明の他の実施例に係るガイドレールの構造をそれぞれ
示す平面図、第9図は従来の浮上式搬送装置の磁気回路
の様子を説明するための図である。 1,31……磁気支持ユニット、2,12a,12b……ガイドレー
ル、11……軌道枠、13a,13b……非常用ガイド、15……
搬送車、16……リニア誘導電動機の固定子、25……基
台、26a,26b……分割板、27……連結機構、34……ギャ
ップセンサ、37,38……容器、41……制御装置、42……
定電圧発生装置、43……電源、51,52……電磁石、53…
…永久磁石、55……継鉄、56……コイル、A……継目部
分、P……空隙。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】強磁性体で形成された複数のレール分割体
    を継目部分で直列に接続してなるガイドレールと、この
    ガイドレールに沿って走行自在に配置された搬送車と、
    この搬送車に搭載されて前記ガイドレールと空隙を介し
    て対向する電磁石を備えた一または複数の磁気支持ユニ
    ットと、前記電磁石の励磁電流を制御して前記磁気支持
    ユニットが発生させる磁束が通る磁気回路を安定化させ
    る制御手段とを備えた浮上式搬送装置において、前記磁
    気支持ユニットが前記搬送車の進行方向および鉛直方向
    と平行な平面に沿った磁束を発生させる区間では、前記
    継目部分で接続される進行方向の一方の側の前記レール
    分割体の任意の横断面を見たとき、前記搬送車の軌道中
    心線を境にして進行方向に対して対称に敷設された各々
    の前記レール分割体の前記横断面のレール幅方向の長さ
    の総和がそれぞれ等しく、かつ前記軌道中心線を境にし
    て進行方向に対して対称に敷設された各々の前記レール
    分割体の前記横断面の位置が前記軌道中心線に対して対
    称な位置にあることを特徴とする浮上式搬送装置。
  2. 【請求項2】前記磁気支持ユニットは、前記電磁石と、
    この電磁石、前記ガイドレールおよび前記空隙で構成さ
    れる磁気回路中に介在し前記搬送車を浮上させるのに必
    要な起磁力を供給する永久磁石とで構成されていること
    を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の浮上式搬送装
    置。
  3. 【請求項3】強磁性体で形成された複数のレール分割体
    を継目部分で直列に接続してなるガイドレールと、この
    ガイドレールに沿って走行自在に配置された搬送車と、
    この搬送車に搭載されて前記ガイドレールと空隙を介し
    て対向する電磁石を備えた一または複数の磁気支持ユニ
    ットと、前記電磁石の励磁電流を制御して前記磁気支持
    ユニットが発生させる磁束が通る磁気回路を安定化させ
    る制御手段とを備えた浮上式搬送装置において、前記磁
    気支持ユニットが前記搬送車の進行方向および鉛直方向
    と平行な平面に沿った磁束を発生させる区間では、前記
    継目部分で接続される進行方向の一方の側の前記レール
    分割体の任意の横断面を見たとき、前記ガイドレールの
    中心線を境にした前記レール分割体の前記横断面のレー
    ル幅方向の左右両側の長さが等しく、かつ前記ガイドレ
    ールの中心線を境にした前記レール分割体の前記横断面
    の位置が前記ガイドレールの中心線に対して対称な位置
    にあることを特徴とする浮上式搬送装置。
  4. 【請求項4】前記磁気支持ユニットは、前記電磁石と、
    この電磁石、前記ガイドレールおよび前記空隙で構成さ
    れる磁気回路中に介在し前記搬送車を浮上させるのに必
    要な起磁力を供給する永久磁石とで構成されていること
    を特徴とする特許請求の範囲第3項記載の浮上式搬送装
    置。
JP2740486A 1986-02-10 1986-02-10 浮上式搬送装置 Expired - Lifetime JPH0728481B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2740486A JPH0728481B2 (ja) 1986-02-10 1986-02-10 浮上式搬送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2740486A JPH0728481B2 (ja) 1986-02-10 1986-02-10 浮上式搬送装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS62185503A JPS62185503A (ja) 1987-08-13
JPH0728481B2 true JPH0728481B2 (ja) 1995-03-29

Family

ID=12220132

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2740486A Expired - Lifetime JPH0728481B2 (ja) 1986-02-10 1986-02-10 浮上式搬送装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0728481B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3027284U (ja) * 1995-09-21 1996-08-09 株式会社ディー.エヌ.エス 飲み物を保持できる皿

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110468637A (zh) * 2018-05-13 2019-11-19 大连奇想科技有限公司 永磁轨道

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3027284U (ja) * 1995-09-21 1996-08-09 株式会社ディー.エヌ.エス 飲み物を保持できる皿

Also Published As

Publication number Publication date
JPS62185503A (ja) 1987-08-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4882999A (en) Transportation system of a floated-carrier type
JP3251654B2 (ja) 磁気力により物体を浮上及び案内するシステム
US5156093A (en) Transportation system of floated-carrier type
EP0216452B1 (en) Transporting system of floated carrier type
JP2553043B2 (ja) 浮上式搬送装置
JPH01255404A (ja) 浮上用電磁石装置
JPH0728481B2 (ja) 浮上式搬送装置
JPS627305A (ja) 浮上式搬送装置
JPH06101884B2 (ja) 浮上式搬送装置
JP2680296B2 (ja) 浮上式搬送装置
JP3209844B2 (ja) 磁気浮上搬送装置
JP3147452B2 (ja) 磁気浮上式搬送装置
JP2602810B2 (ja) 浮上式搬送装置
JP2760491B2 (ja) 浮上式搬送装置
JP2563912B2 (ja) 浮上式搬送装置
JP2760495B2 (ja) 浮上式搬送装置
JPH0458247B2 (ja)
JP2713885B2 (ja) 浮上式搬送装置
JP2941343B2 (ja) 吸引式磁気浮上装置
JPS627301A (ja) 浮上式搬送装置
JP2793240B2 (ja) 浮上式搬送装置
JP2793227B2 (ja) 浮上式搬送装置
JPH04117111A (ja) 磁気浮上式搬送装置
JPH11215614A (ja) 浮上式搬送装置
JP2941344B2 (ja) 吸引式磁気浮上装置

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term