JP2625717B2 - 磁気浮上搬送装置 - Google Patents
磁気浮上搬送装置Info
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- JP2625717B2 JP2625717B2 JP9525387A JP9525387A JP2625717B2 JP 2625717 B2 JP2625717 B2 JP 2625717B2 JP 9525387 A JP9525387 A JP 9525387A JP 9525387 A JP9525387 A JP 9525387A JP 2625717 B2 JP2625717 B2 JP 2625717B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、主として、移動子ストロークが磁気浮上電
磁石の配置スペースより大きい磁気浮上搬送装置に関す
る。
磁石の配置スペースより大きい磁気浮上搬送装置に関す
る。
従来例としての磁気浮上搬送装置では、磁気浮上用電
磁石の配置間隔内に磁気浮上された移動子の動作範囲を
表わすストロークが、はいっている。その配置間隔より
長いストロークのものは見当たらない。
磁石の配置間隔内に磁気浮上された移動子の動作範囲を
表わすストロークが、はいっている。その配置間隔より
長いストロークのものは見当たらない。
すなわち、本発明は全く新規な技術手段を開発してお
り、先行する技術としては移動子ストロークの小さい磁
気浮上リニアモータに過ぎない。
り、先行する技術としては移動子ストロークの小さい磁
気浮上リニアモータに過ぎない。
いま、本発明が考究しようとする技術手段を、第４図
に表わす側断面図により説明する。
に表わす側断面図により説明する。
フレーム14に移動子１がその長手方向に左右に往復動
できる貫通孔が設けられ、その孔の出・入口に第１の浮
上用電磁石２と第２の浮上用電磁石３が設けられてい
る。これら電磁石2,3とある空隙を保って移動子１は浮
上して支持され、推進コイル４による推力で移動するよ
うになっている。
できる貫通孔が設けられ、その孔の出・入口に第１の浮
上用電磁石２と第２の浮上用電磁石３が設けられてい
る。これら電磁石2,3とある空隙を保って移動子１は浮
上して支持され、推進コイル４による推力で移動するよ
うになっている。
しかして、電磁石2,3は永久磁石であってもよいが、
移動子１の移動するストロークが電磁石2,3の配置間隔
より長くとっている。
移動子１の移動するストロークが電磁石2,3の配置間隔
より長くとっている。
ところで、磁気浮上用電磁石あるいは永久磁石の配置
間隔よりも移動子のストロークを長くするための問題点
は以下の通りである。
間隔よりも移動子のストロークを長くするための問題点
は以下の通りである。
（ａ） モーメント荷重（第４図ではM1であり、移動子
１が左側に進むとその方向は逆M2となる）に対処するた
めには、浮上磁石だけではなりたたない。
１が左側に進むとその方向は逆M2となる）に対処するた
めには、浮上磁石だけではなりたたない。
（ｂ） モーメント荷重のバランスを取るために、浮上
用とは別に移動子バランス用電磁石６および７を設けて
も、その電磁石は大きなパワーを必要とし、かつ移動子
１のオーバーハング（Overhang）状態でサーボロック
（servo lock）時間が長くなると、発熱は極めて大であ
る。電磁石は小形に、発熱は小さくしたい。
用とは別に移動子バランス用電磁石６および７を設けて
も、その電磁石は大きなパワーを必要とし、かつ移動子
１のオーバーハング（Overhang）状態でサーボロック
（servo lock）時間が長くなると、発熱は極めて大であ
る。電磁石は小形に、発熱は小さくしたい。
ここにおいて本発明は、これらの難点を克服し、移動
子に載置したワークを無接触で搬送できる磁気浮上搬送
装置を提供することを、その目的とする。
子に載置したワークを無接触で搬送できる磁気浮上搬送
装置を提供することを、その目的とする。
本発明は、上記問題点を解決するための手段として、
貫通孔が設けられた固定子と、前記貫通孔を通って往復
動し、この貫通孔長さよりも長い寸法を有する長寸状の
移動子と、から成り、前記貫通孔内には、前記移動子を
浮上させるための浮上用電磁石と、この浮上用電磁石の
移動子に対する電磁力と逆方向の電磁力を発生させ、移
動子の貫通孔内での高さを所定位置でバランスさせるた
めのバランス用電磁石と、が設けられており、前記移動
子は、その両端部が前記貫通孔から突出してオーバーハ
ング状態となっており、また、前記移動子は、その両端
部のうちのいずれか一方の端部が最大のオーバーハング
状態となる始点位置から中点位置に移動するまでの間
は、この端部が下降する方向へ重力によるモーメントが
作用し、中点位置から最小のオーバーハング状態となる
終点位置に移動するまでの間は、この端部が上昇する方
向へ重力によるモーメントが作用する、磁気浮上搬送装
置において、前記移動子の一方の端部に設けられた第１
の磁石手段と、前記移動子の一方の端部の始点位置から
中点位置までの区間に対応する固定子側部材に設けら
れ、この区間に存在する前記第１の磁石手段が上昇する
方向へモーメントが作用するように磁力を発生する第２
の磁石手段と、前記移動子の中点位置から終点位置まで
の区間に対応する固定子側部材に設けられ、この区間に
存在する前記第１の磁石手段が下降する方向へモーメン
トが作用するように磁力を発生する第３の磁石手段と、
を備えたことを特徴とするものである。
貫通孔が設けられた固定子と、前記貫通孔を通って往復
動し、この貫通孔長さよりも長い寸法を有する長寸状の
移動子と、から成り、前記貫通孔内には、前記移動子を
浮上させるための浮上用電磁石と、この浮上用電磁石の
移動子に対する電磁力と逆方向の電磁力を発生させ、移
動子の貫通孔内での高さを所定位置でバランスさせるた
めのバランス用電磁石と、が設けられており、前記移動
子は、その両端部が前記貫通孔から突出してオーバーハ
ング状態となっており、また、前記移動子は、その両端
部のうちのいずれか一方の端部が最大のオーバーハング
状態となる始点位置から中点位置に移動するまでの間
は、この端部が下降する方向へ重力によるモーメントが
作用し、中点位置から最小のオーバーハング状態となる
終点位置に移動するまでの間は、この端部が上昇する方
向へ重力によるモーメントが作用する、磁気浮上搬送装
置において、前記移動子の一方の端部に設けられた第１
の磁石手段と、前記移動子の一方の端部の始点位置から
中点位置までの区間に対応する固定子側部材に設けら
れ、この区間に存在する前記第１の磁石手段が上昇する
方向へモーメントが作用するように磁力を発生する第２
の磁石手段と、前記移動子の中点位置から終点位置まで
の区間に対応する固定子側部材に設けられ、この区間に
存在する前記第１の磁石手段が下降する方向へモーメン
トが作用するように磁力を発生する第３の磁石手段と、
を備えたことを特徴とするものである。
本発明は、上記の通りの技術手段を講じているから磁
気浮上用電磁石配置間隔に対し、移動子のストロークが
長く、かつオーバーハング状態になる動作を行う。
気浮上用電磁石配置間隔に対し、移動子のストロークが
長く、かつオーバーハング状態になる動作を行う。
移動子１の端部に取り付けた永久磁石11（第１の磁
石手段）の位置が浮上用電磁石2,3に対し、伸びた状態
（第３図）では、つぎのとおり。
石手段）の位置が浮上用電磁石2,3に対し、伸びた状態
（第３図）では、つぎのとおり。
移動子１の端部に取り付けた第１の永久磁石11と、固
定ベース８に設けた第2,第３の永久磁石9,10（第2,第３
の磁石手段）とが反発し、モーメントM1方向とは反対の
力が作用するので、移動子を浮上させる力（f1・f2）、
特に系のほぼ支点となるf1はこれら第１ないし第３の永
久磁石11,9,10がない場合に比べ、かなり小さくてす
む。またバランス用の力（f4）も小さくてすむ。
定ベース８に設けた第2,第３の永久磁石9,10（第2,第３
の磁石手段）とが反発し、モーメントM1方向とは反対の
力が作用するので、移動子を浮上させる力（f1・f2）、
特に系のほぼ支点となるf1はこれら第１ないし第３の永
久磁石11,9,10がない場合に比べ、かなり小さくてす
む。またバランス用の力（f4）も小さくてすむ。
移動子１が第３図の位置から左方へ移動して、重心
Ｇが浮上用電磁石2,3間隔の間にある状態では、次のと
おりである。
Ｇが浮上用電磁石2,3間隔の間にある状態では、次のと
おりである。
移動子１の動きに対して、永久磁石11と9,10間の空隙
は、比較的広くなっており反発力は弱くなっているが、
モーメント力はあまり大きく作用していない。この場合
極端なモーメントはかからないので、電磁石に大きな熱
が生じることはない。
は、比較的広くなっており反発力は弱くなっているが、
モーメント力はあまり大きく作用していない。この場合
極端なモーメントはかからないので、電磁石に大きな熱
が生じることはない。
移動子１の重心Ｇ位置が浮上用電磁石2,3間隔の中心
位置を過ぎると逆方向のモーメントが働いてくるが、移
動子１の端部の第１の永久磁石11と固定子側の第３の永
久磁石10との間に吸引力が働いてくる。
位置を過ぎると逆方向のモーメントが働いてくるが、移
動子１の端部の第１の永久磁石11と固定子側の第３の永
久磁石10との間に吸引力が働いてくる。
この吸引力は空隙がだんだん小さくなっていくので、
移動子１の移動につれて強くなる。これによりモーメン
ト荷重が増えるにしたがい、モーメント方向とは逆の方
向に引っぱる力が増えていく。これにより、浮上用電磁
石2,3、バランス用電磁石6,7のパワーを急激に変える必
要がなくなり、移動子１の振動も最小限におさえること
ができる。
移動子１の移動につれて強くなる。これによりモーメン
ト荷重が増えるにしたがい、モーメント方向とは逆の方
向に引っぱる力が増えていく。これにより、浮上用電磁
石2,3、バランス用電磁石6,7のパワーを急激に変える必
要がなくなり、移動子１の振動も最小限におさえること
ができる。
移動子１の端部に取り付けた第１の永久磁石11位置
が浮上用電磁石２に対し、最も近付いた状態では、下記
のようになる。移動子１の端部に取り付けた第１の永久
磁石11と、固定子側に設けた第３の永久磁石10とが吸引
しあい、モーメントM2方向とは反対の力が作用するの
で、移動子１を浮上させる力（f1・f2）特に系のほぼ支
点となるf2は永久磁石がない場合に比べ、かなり小さく
てすむ。またバランス用の力（f3）も小さくてすむ。
が浮上用電磁石２に対し、最も近付いた状態では、下記
のようになる。移動子１の端部に取り付けた第１の永久
磁石11と、固定子側に設けた第３の永久磁石10とが吸引
しあい、モーメントM2方向とは反対の力が作用するの
で、移動子１を浮上させる力（f1・f2）特に系のほぼ支
点となるf2は永久磁石がない場合に比べ、かなり小さく
てすむ。またバランス用の力（f3）も小さくてすむ。
第１図は、本発明の一実施例における構成を表わす側
断面図である。
断面図である。
移動子１は磁気浮上用電磁石2,3の吸引力により浮上
し、推進コイル４の推力で水平移動することができる。
し、推進コイル４の推力で水平移動することができる。
このとき、推進コイル４の吸引力より、浮上用電磁石
2,3の吸引力は充分強いものとする。また浮上用電磁石
2,3にはそれぞれギャップセンサが取り付けられ、空隙
５を測定し、コントロール側にフィードバックして浮上
用電磁石2,3の吸引力を調整して空隙５を一定に保つよ
うになっている。
2,3の吸引力は充分強いものとする。また浮上用電磁石
2,3にはそれぞれギャップセンサが取り付けられ、空隙
５を測定し、コントロール側にフィードバックして浮上
用電磁石2,3の吸引力を調整して空隙５を一定に保つよ
うになっている。
バランス用電磁石6,7は移動子１を重力方向に吸引す
る力を有している。これらは浮上用電磁石2,3に取り付
けられたギャップセンサの検出値がフィードバックさ
れ、移動子１を下向きに引張る働きをする。
る力を有している。これらは浮上用電磁石2,3に取り付
けられたギャップセンサの検出値がフィードバックさ
れ、移動子１を下向きに引張る働きをする。
固定ベース８は移動子１のストローク下に設けられ、
ストロークの中央が谷となるような傾斜が付けてある。
ストロークの中央が谷となるような傾斜が付けてある。
その傾斜部には、モーメント用で固定された第2,第３
の永久磁石9,10が接着してある。第２と第３の永久磁石
９と10とでは極が反対になるようにしてあり、移動子１
の端部に取り付けたモーメント用で移動する第１の永久
磁石11に対して固定された第２の永久磁石９は反発し、
固定された第３の永久磁石10は吸引になるように配置し
てある。
の永久磁石9,10が接着してある。第２と第３の永久磁石
９と10とでは極が反対になるようにしてあり、移動子１
の端部に取り付けたモーメント用で移動する第１の永久
磁石11に対して固定された第２の永久磁石９は反発し、
固定された第３の永久磁石10は吸引になるように配置し
てある。
第２図は第１図のＡ−Ａ及びＢ−Ｂ断面図である。浮
上用電磁石3,バランス用電磁石７の中間にある移動子１
の横振れを防止するために、横振れ防止用電磁石12A,13
Aが設けてある。同様に、電磁石2,6の位置においても横
振れ防止用電磁石12B,13Bが設けてある。
上用電磁石3,バランス用電磁石７の中間にある移動子１
の横振れを防止するために、横振れ防止用電磁石12A,13
Aが設けてある。同様に、電磁石2,6の位置においても横
振れ防止用電磁石12B,13Bが設けてある。
またこれら電磁石の中で12A,12Bはギャップセンサを
有し、そのギャップセンサの検出値をフィードバックし
て横方向の振れに対し、電磁石12Aと13A、また12Bと13B
のそれぞれの吸引力を調整し、空隙を一定に保とうとす
る。
有し、そのギャップセンサの検出値をフィードバックし
て横方向の振れに対し、電磁石12Aと13A、また12Bと13B
のそれぞれの吸引力を調整し、空隙を一定に保とうとす
る。
以上の構成で、磁気浮上した移動子１は推進コイル４
の推力によりストローク内を移動するが、移動子１の重
心Ｇの位置により働くモーメントが変化する。特に、浮
上用電磁石2,3間より外側に重心がある場合はモーメン
ト荷重は大きくなる。したがって、仮に永久磁石11,9,1
0がないものとすると、浮上用電磁石2,3とバランス用電
磁石6,7に対し、移動子１を水平に保つために電流を大
幅に上げなくてはならない。
の推力によりストローク内を移動するが、移動子１の重
心Ｇの位置により働くモーメントが変化する。特に、浮
上用電磁石2,3間より外側に重心がある場合はモーメン
ト荷重は大きくなる。したがって、仮に永久磁石11,9,1
0がないものとすると、浮上用電磁石2,3とバランス用電
磁石6,7に対し、移動子１を水平に保つために電流を大
幅に上げなくてはならない。
例えば、移動子１が第１図の状態から第３図の状態に
移動すると、モーメントM1が働く。このモーメントM1は
移動子１が第１図の右側に行くほどだんだん大きくなっ
ていく。浮上用電磁石2,3に設けたそれぞれのギャップ
センサは移動子１と浮上用電磁石2,3との空隙５を検出
して、コントローラにフィードバックして、空隙が広け
れば吸引力を増すように、空隙が狭ければ吸引力を弱め
るように制御される。
移動すると、モーメントM1が働く。このモーメントM1は
移動子１が第１図の右側に行くほどだんだん大きくなっ
ていく。浮上用電磁石2,3に設けたそれぞれのギャップ
センサは移動子１と浮上用電磁石2,3との空隙５を検出
して、コントローラにフィードバックして、空隙が広け
れば吸引力を増すように、空隙が狭ければ吸引力を弱め
るように制御される。
第４図は第３図の状態から永久磁石を除いた図でもあ
る。この場合、モーメントM1および移動子１の重量に打
ち勝って、移動子１を磁気浮上させるためには、浮上用
電磁石２がほぼ支点となるので、その吸引力でモーメン
トM1による力と移動子１の重量を支え、バランス用電磁
石７の吸引力でモーメントM1に対し、反対方向の力を与
えなければならない。
る。この場合、モーメントM1および移動子１の重量に打
ち勝って、移動子１を磁気浮上させるためには、浮上用
電磁石２がほぼ支点となるので、その吸引力でモーメン
トM1による力と移動子１の重量を支え、バランス用電磁
石７の吸引力でモーメントM1に対し、反対方向の力を与
えなければならない。
この場合、これら２つの電磁石2,7には、バランス状
態に比べ、さらには他の２つの電磁石3,6に比べ相当大
きな電流を流さなくてはならない。第４図の状態では、
特にサーボロック状態が最もきびしく、電磁石2,7の発
熱がはげしくなる。
態に比べ、さらには他の２つの電磁石3,6に比べ相当大
きな電流を流さなくてはならない。第４図の状態では、
特にサーボロック状態が最もきびしく、電磁石2,7の発
熱がはげしくなる。
第３図のようになれば、移動子１が右に移動するにつ
れて、移動子１の端部の第１の永久磁石11と固定側の第
２の永久磁石９との反発力f5がだんだん強くなるので、
浮上用電磁石2,バランス用電磁石７の吸引力も大幅に変
えなくてすむ。
れて、移動子１の端部の第１の永久磁石11と固定側の第
２の永久磁石９との反発力f5がだんだん強くなるので、
浮上用電磁石2,バランス用電磁石７の吸引力も大幅に変
えなくてすむ。
反発力f5が働けば、移動子１は横方向に逃げようとす
るが、横方向の調整は、横振れ防止用電磁石12A,12B,13
A,13Bによって行なわれる。
るが、横方向の調整は、横振れ防止用電磁石12A,12B,13
A,13Bによって行なわれる。
そして、移動子１が第１図の状態から左に移動すれ
ば、第1,第２の永久磁石11,10間にだんだん吸引力が働
き、その場合のモーメント変化に対応するようになって
いる。
ば、第1,第２の永久磁石11,10間にだんだん吸引力が働
き、その場合のモーメント変化に対応するようになって
いる。
本発明の他の実施例として次の態様がある。さきの一
実施例では、第１ないし第２の永久磁石11,9,10を移動
子１の端部および固定ベース８に設けたが、移動子１に
電磁コイルと電源（例えばバッテリー）を持たせ、固定
ベースに設けた電磁石と、反発・吸引作用を行っても同
じである。
実施例では、第１ないし第２の永久磁石11,9,10を移動
子１の端部および固定ベース８に設けたが、移動子１に
電磁コイルと電源（例えばバッテリー）を持たせ、固定
ベースに設けた電磁石と、反発・吸引作用を行っても同
じである。
さらに、本発明の別の実施例が下記のように構成され
る。これまでの実施例では、移動子１の片側端に第１な
いし第３の永久磁石11,9,10を設けたが、全く同一な手
段を移動子１の両端に設けても同じである。
る。これまでの実施例では、移動子１の片側端に第１な
いし第３の永久磁石11,9,10を設けたが、全く同一な手
段を移動子１の両端に設けても同じである。
しかして、第５図，第６図，第７図は本発明の第3,第
4,第５の実施例の側断面図である。
4,第５の実施例の側断面図である。
第３の実施例は、第１の永久磁石11を移動子１の上方
の端部に固着し、第２および第３の永久磁石9,10を第１
の永久磁石11に対向させかつ両者で谷部を形成するよう
にして移動子１の上部の固定ベース８に配設させたもの
である。
の端部に固着し、第２および第３の永久磁石9,10を第１
の永久磁石11に対向させかつ両者で谷部を形成するよう
にして移動子１の上部の固定ベース８に配設させたもの
である。
第４の実施例は、第１の永久磁石11を移動子１の上方
および下方の端部の両方に固着し、第２および第３の永
久磁石9,10を上部あるいは下部の固定ベース８に分割し
て配設させている。作用効果はさきの一実施例と同じで
ある。
および下方の端部の両方に固着し、第２および第３の永
久磁石9,10を上部あるいは下部の固定ベース８に分割し
て配設させている。作用効果はさきの一実施例と同じで
ある。
第５の実施例は、第２および第３の永久磁石9,10につ
いて、移動子１の移動方向にその厚みを変化させ、第２
および第３の永久磁石9,10の表面磁界の強さが、より一
層谷部は弱く、両端が強くなる効果をもたらすようにし
たものである。
いて、移動子１の移動方向にその厚みを変化させ、第２
および第３の永久磁石9,10の表面磁界の強さが、より一
層谷部は弱く、両端が強くなる効果をもたらすようにし
たものである。
かくして本発明によれば、浮上用電磁石・バランス用
電磁石が大きくならない、発熱を押えることができる、
電磁石の電流変化が少なく制御しやすくなる、などの格
段の効果を奏することができる。
電磁石が大きくならない、発熱を押えることができる、
電磁石の電流変化が少なく制御しやすくなる、などの格
段の効果を奏することができる。
第１図は本発明の一実施例の側断面図、第２図は第１図
のＡ−Ａ・Ｂ−Ｂ断面図、第３図，第４図は動作説明
図、第５図ないし第７図は本発明の第３ないし第５の実
施例の側断面図である。 １……移動子、2,3……第1,第２の浮上用電磁石、４…
…リニアモータ、５……空隙、6,7……第1,第２のバラ
ンス用電磁石、８……固定ベース、9,10……第2,第３の
永久磁石、11……第１の永久磁石、12A,12B,13A・13B…
…第1,第２の横振れ防止用電磁石、14……フレーム。
のＡ−Ａ・Ｂ−Ｂ断面図、第３図，第４図は動作説明
図、第５図ないし第７図は本発明の第３ないし第５の実
施例の側断面図である。 １……移動子、2,3……第1,第２の浮上用電磁石、４…
…リニアモータ、５……空隙、6,7……第1,第２のバラ
ンス用電磁石、８……固定ベース、9,10……第2,第３の
永久磁石、11……第１の永久磁石、12A,12B,13A・13B…
…第1,第２の横振れ防止用電磁石、14……フレーム。
Claims (4)
- 【請求項１】貫通孔が設けられた固定子と、 前記貫通孔を通って往復動し、この貫通孔長さよりも長
い寸法を有する長寸状の移動子と、 から成り、 前記貫通孔内には、前記移動子を浮上させるための浮上
用電磁石と、この浮上用電磁石の移動子に対する電磁力
と逆方向の電磁力を発生させ、移動子の貫通孔内での高
さを所定位置でバランスさせるためのバランス用電磁石
と、が設けられており、 前記移動子は、その両端部が前記貫通孔から突出してオ
ーバーハング状態となっており、 また、前記移動子は、その両端部のうちのいずれか一方
の端部が最大のオーバーハング状態となる始点位置から
中点位置に移動するまでの間は、この端部が下降する方
向へ重力によるモーメントが作用し、中点位置から最小
のオーバーハング状態となる終点位置に移動するまでの
間は、この端部が上昇する方向へ重力によるモーメント
が作用する、 磁気浮上搬送装置において、 前記移動子の一方の端部に設けられた第１の磁石手段
と、 前記移動子の一方の端部の始点位置から中点位置までの
区間に対応する固定子側部材に設けられ、この区間に存
在する前記第１の磁石手段が上昇する方向へモーメント
が作用するように磁力を発生する第２の磁石手段と、 前記移動子の中点位置から終点位置までの区間に対応す
る固定子側部材に設けられ、この区間に存在する前記第
１の磁石手段が下降する方向へモーメントが作用するよ
うに磁力を発生する第３の磁石手段と、 を備えたことを特徴とする磁気浮上搬送装置。 - 【請求項２】特許請求の範囲第１項記載の磁気浮上搬送
装置において、 前記第２の磁石手段の第１の磁石手段に対する電磁力
は、第１の磁石手段が前記始点位置から中点位置へ移動
するにしたがって減少し、中点位置にあるときはゼロと
なるものであり、 前記第３の磁石手段の磁石手段に対する電磁力は、第１
の磁石手段が前記中点位置にあるときはゼロであり、そ
の後、終点位置へ移動するにしたがって増大するもので
ある、 ことを特徴とする磁気浮上搬送装置。 - 【請求項３】特許請求の範囲第１項又は第２項記載の磁
気浮上搬送装置において、 前記貫通孔内に形成される移動子用移動路の両側に、移
動子の横振れを防止するための電磁石を設けた、 ことを特徴とする磁気浮上搬送装置。 - 【請求項４】特許請求の範囲第１項乃至第３項のいずれ
かに記載の磁気浮上搬送装置において、 前記貫通孔内に、この貫通孔内壁と前記移動子との間の
空隙を計測するギャップセンサを設け、この計測結果に
基いて、前記浮上用電磁石及びバランス用電磁石に対す
る通電制御を行う、 ことを特徴とする磁気浮上搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9525387A JP2625717B2 (ja) | 1987-04-20 | 1987-04-20 | 磁気浮上搬送装置 |
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| JP9525387A JP2625717B2 (ja) | 1987-04-20 | 1987-04-20 | 磁気浮上搬送装置 |
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1987
- 1987-04-20 JP JP9525387A patent/JP2625717B2/ja not_active Expired - Fee Related
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