JP2700686B2 - 磁気浮上式の搬送設備 - Google Patents

磁気浮上式の搬送設備

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JP2700686B2 JP1093326A JP9332689A JP2700686B2 JP 2700686 B2 JP2700686 B2 JP 2700686B2 JP 1093326 A JP1093326 A JP 1093326A JP 9332689 A JP9332689 A JP 9332689A JP 2700686 B2 JP2700686 B2 JP 2700686B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、移動体に、それが走行する案内レールの長
手方向に沿って設けられた浮上用磁性体に対して吸引作
用する浮上用電磁石と、前記移動体を前記案内レール上
で停止保持するための停止用磁性体とが設けられ、前記
案内レールに、前記停止用磁性体に対して吸引作用する
停止用電磁石が設けられた磁気浮上式の搬送設備に関す
る。
〔従来の技術〕
上記この種の磁気浮上式の搬送設備において、例えば
ステーションにおいて移動体との間で荷の移載作業等を
行わせる場合には、移動体が所定の停止位置から移動し
ないように、停止保持させる必要があることから、停止
用の電磁石の案内レール側に設けて、移動体側の停止用
磁性体を吸引させて停止保持させることが考えられてい
るが、移動体を浮上させたままで停止保持させると、位
置ずれが生じ易くなる不利がある。
そこで、従来では、移動体を停止させる場合には、浮
上用電磁石に対する通電を停止させて、移動体を案内レ
ールに着地させるようにすることが考えられている(特
開昭62−166706号公報参照)。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、移動体の浮上を停止させると、案内レ
ールと移動体との接触によって塵埃が発生する虞れがあ
る。
又、案内レールに対して非接触状態にある移動体に対
して浮上用電磁石への通電を遮断するための手段が必要
になり、装置構成が複雑になる不利もある。
ちなみに、半導体製造設備等におけるクリーンルーム
では、搬送設備からの僅かな発塵さえも問題となること
から、極力、移動体を浮上させたままで停止保持できる
ようにすることが望まれている。
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであって、
その目的は、移動体を浮上させたままであっても、その
停止位置ずれを極力抑制できるようにすることにある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明による磁気浮上式の搬送設備は、移動体に、そ
れが走行する案内レールの長手方向視で左右方向に間隔
を隔てて並ぶように配置され、且つ、前記移動体が浮上
維持されるように電磁力が調整される左右一対の浮上用
電磁石と、前記移動体を前記案内レール上で停止保持す
るための停止用磁性体とが設けられ、前記案内レール
に、前記左右の浮上用電磁石が下向きに吸引作用する左
右の浮上用磁性体と、前記停止用磁性体に対して吸引作
用する停止用電磁石が設けられたものであって、その特
徴構成は以下の通りである。
すなわち、前記浮上用電磁石は、前記浮上用磁性体に
対して前記案内レールの横幅方向に向けて磁気ループを
形成するように、前記移動体の横幅方向に並び且つ互い
に異なる磁極を発生する一対の磁気作用部を備えるよう
に構成され、前記停止用電磁石は、前記停止用磁性体に
対して上下方向に吸引作用するように構成され、且つ、
前記停止用磁性体に対して前記移動体の前後方向に向け
て磁気ループを形成するように、前記案内レールの長手
方向に並び且つ互いに異なる磁極を発生する一対の磁気
作用部を備えるように構成され、前記停止用磁性体及び
前記停止用電磁石は、前記案内レールの長手方向視で、
前記左右一対の浮上用磁性体及び浮上用電磁石の左右方
向内側に配置されている点にある。
〔作 用〕
電磁石に、それぞれ吸引作用する磁性体に対して磁気
ループを形成するように、互いに異なる磁極を発生する
一対の磁気作用部を備えさせると、電磁石から発生する
磁気ループが最短となるように、磁性体を一対の磁気作
用部の中央側に引き寄せる力が発生することが知られて
いる。
つまり、この磁性体を一対の磁気作用部の中央側に引
き寄せる力を利用すると、案内レールに対する移動体の
位置を規制できることになる。
そこで、浮上用電磁石及び停止用電磁石の夫々に互い
に異なる磁極を発生する一対の磁気作用部を備えさせ
て、浮上用電磁石で移動体の横幅方向の位置を規制させ
るように、浮上用電磁石からの磁気ループを移動体の横
幅方向に発生させ、且つ、停止用電磁石で移動体の前後
方向の位置を規制させるように、停止用電磁石からの磁
気ループを移動体の前後方向に発生させることにより、
浮上用電磁石と停止用電磁石の両方によって、移動体の
停止時における左右前後各方向での位置ずれ夫々を抑制
させるのである。
又、停止用電磁石は停止用磁性体に対して上下方向に
吸引作用するので、停止している移動体の左右方向での
位置ずれの要因となりにくい。
そして、このように停止用電磁石が上下方向に吸引作
用する構成とすると、移動体が所定の停止位置に達して
停止用電磁石の吸引力が作用したとき、浮上用電磁石の
浮上用磁性体に対する下向きの吸引作用に影響を及ぼす
が、浮上用電磁石の電磁力が調整されて移動体は浮上維
持される。
しかしながら、停止用電磁石の吸引力が作用した瞬間
においては、過渡的に、停止用電磁石の吸引力によって
移動体が姿勢変化を起こす。
停止用電磁石の吸引力が左右一対の浮上用電磁石に及
ぼす影響は、停止用電磁石を左右一対の浮上用電磁石の
左右方向外方側に配置した場合では、左右一対の浮上用
電磁石の設置位置の夫々が支点となって、一方の浮上用
電磁石に対しては移動体の重量が大となったと同様に作
用し、他方の浮上用電磁石に対しては逆に移動体の重量
が小となったと同様に作用し、停止用電磁石の吸引力が
作用したときの移動体の姿勢変化は傾きが大なるものと
なる。これは、停止用電磁石を左右一対に構成して、左
右一対の浮上用電磁石の左右方向外方側に左右対称に配
置したような場合において、左右一対の停止用電磁石の
うちの一方の停止用電磁石の吸引力が故障等により低下
した場合も同様である。
これに対して、停止用電磁石を左右一対の浮上用電磁
石の左右方向内方側に配置すると、左右一対の浮上用電
磁石の両方に対して移動体の重量が同方向に変化するの
と同様に作用することになる。
従って、停止用電磁石を左右一対の浮上用電磁石の左
右方向内方側に配置することで、上記の停止用電磁石を
左右一対の浮上用電磁石の左右方向外方側に配置した場
合に較べて、停止用電磁石の吸引力が作用したときの移
動体の姿勢変化を可及的に傾きが小なるものとすること
ができる。
移動体の傾きの変化は、移動体の単純な上下動に較べ
て、搭載している荷を安定的に保持できるか否かについ
て与える影響が極めて大であることから、停止用電磁石
を左右一対の浮上用電磁石の左右方向内方側に配置する
ことで、搭載する荷を安定して保持できるものとなる。
更に、移動体の移動中にも作動し続ける左右の浮上用
電磁石は、移動体の姿勢を安定させ易くするために、左
右間隔を極力大きくして配置される場合が多いが、この
ような実情下で、停止用磁性体及び停止用電磁石を、案
内レールの長手方向視で、左右一対の浮上用磁性体及び
浮上用電磁石の左右方向外側方側に配置したのでは設備
が大型化してしまうのに対し、停止用磁性体及び停止用
電磁石を左右一対の浮上用磁性体及び浮上用電磁石の左
右方向内方側に配置することで、設備の大型化を抑制す
る合理的な配置としてある。
〔発明の効果〕
もって、浮上用電磁石及び停止用電磁石の夫々から発
生する磁気ループの方向を合理的に組み合わせ、浮上用
電磁石及び停止用電磁石を合理的に配置することによ
り、設備の大型化を抑制できながら、しかも、移動体を
浮上させたままであっても、移動体の停止位置に対する
ずれを安定性良く抑制できるに至った。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第3図に示すように、物品搬送用の移動体(A)の移
動経路に沿って、前記移動体(A)浮上移動する案内レ
ール(B)が設けられている。
尚、詳しくは後述するが、前記移動体(A)は磁気浮
上し、且つ、リニアモータによって駆動されて、荷移載
用のステーション(ST)間に亘って移動させるように構
成されている。
前記案内レール(B)について説明すれば、第1図乃
至第3図に示すように、前記案内レール(B)の長手方
向に沿って、前記移動体(A)の浮上用電磁石(Ma)が
下方から吸引作用する左右一対の浮上用磁性体(3)の
夫々が、横幅方向に間隔を隔てて位置する状態で、支柱
(2)に取り付けられ、前記移動体(A)の本体(1)
をレール下部に収容する状態で移動させるように構成さ
れている。尚、前記案内レール(B)の内側底部には、
リニアモータの一次コイル(4)が取り付けられてい
る。
但し、前記一次コイル(4)は、前記ステーション
(ST)において前記移動体(A)を減速停止及び加速発
進させるためや、前記ステーション(ST)の間で加速さ
せるために、前記案内レール(B)の長手方向に沿って
間隔を隔てて複数個が設けられることになる。
又、前記ステーション(ST)において前記移動体
(A)を停止保持するために、前記移動体(A)の下側
面に取り付けられた停止用磁性体(5)を上下方向に、
具体的には、下方から吸引する停止用電磁石(Mb)が、
前記一次コイル(4)の上方箇所に設けられている。
尚、前記停止用磁性体(5)は、前記移動体(A)の前
後左右の各端部に各一個が設けられ、前記停止用電磁石
(Mb)は、前記停止用磁性体(5)に対して各別に作用
するように、前記停止用磁性体(5)の取り付け位置に
合わせて合計四個が設けられることになる。
尚、第1図から明らかなように、停止用磁性体(5)
及び停止用電磁石(Mb)は、案内レール(B)の長手方
向視で、左右一対の浮上用磁性体(3)及び浮上用電磁
石(Ma)の左右方向内方側に配置されている。
前記移動体(A)について説明すれば、第1図及び第
2図に示すように、その上端部に平板状の荷載置部
(6)が形成されると共に、前記浮上用電磁石(Ma)
が、前記浮上用磁性体(3)を下方から上方に向かって
吸引するように、前記移動体(A)の前後左右の夫々に
各一個が設けられると共に、前記一次コイル(6)に作
用する二次導体(D)が、前記移動体(A)の下端部に
おいて水平姿勢で位置するように、その横幅方向中央部
が、前記移動体(A)の本体(1)の横幅方向中央から
垂下された板状の支持枠(8)に取り付けられている。
尚、詳述はしないが、前記浮上用磁性体(3)と前記
浮上用電磁石(Ma)の上端部との間隔が設定範囲内に浮
上維持されるように、前記浮上用電磁石(Ma)は前記浮
上用磁性体(3)の下側面に対する間隔を検出するギャ
ップセンサ(図示せず)の情報に基づいて通電電力を制
御されて、電磁力が調整されることになる。一方、前記
停止用電磁石(Mb)は、前記移動体(A)を前記ステー
ション(ST)に停止保持する間のみ通電されることにな
る。
但し、前記浮上用電磁石(Ma)及び前記停止用電磁石
(Mb)の夫々は、異なる磁極を発生する一対の磁気作用
部を備えるように構成されている。
前記浮上用電磁石(Ma)について説明を加えれば、第
4図に示すように、前記移動体(A)の横幅方向に並べ
て配置された二個の電磁石(M1),(M2)を備えるよう
に構成され、それら二個の電磁石(M1),(M2)は、夫
々異なる磁極の磁気を発生するようになっている。つま
り、一方の電磁石(M1)からはS極の磁気を発生させ、
且つ、他方の電磁石(M2)からはN極の磁気を発生させ
るようにすることで、前記両電磁石(M1),(M2)から
発生する磁気が、前記浮上用磁性体(3)との間で前記
移動体(A)の横幅方向に向かう磁気ループを形成する
ようにしているのである。
その結果、前記浮上用電磁石(Ma)には、前記浮上用
磁性体(3)の移動体(A)の横幅方向での位置を前記
二個の電磁石(M1),(M2)の間に位置規制する吸引力
が生じることになる。そして、前記浮上用電磁石(Ma)
は前記移動体(A)の横幅方向に各二個が設けられてい
ることから、前記移動体(A)の停止中であっても、前
記案内レール(B)に対する前記移動体(A)の横幅方
向での位置を前記左右の浮上用磁性体(3)の中間に保
持できることになる。
同様にして、前記停止用電磁石(Mb)も、異なる磁極
を発生する二個の電磁石(M3),(M4)を、前記移動体
(A)の前後方向に並べて備えさせることにより、前記
移動体(A)の停止用磁性体(5)の前後方向での位置
を、前記二個の電磁石(M3),(M4)の中間に規制させ
るようにしてある(第2図参照)。
つまり、前記二個の電磁石(M1及びM2),(M3及び
M4)の夫々が、互いに異なる磁極を発生する一対の磁気
作用部に対応することになる。そして、前記ステーショ
ン(ST)において前記移動体(A)を停止させるときに
は、その横幅方向での位置を前記浮上用電磁石(Ma)に
よって規制させ、且つ、前後方向での位置を前記停止用
電磁石(Mb)によって規制させるようにすることで、前
記移動体(A)を浮上させたままで設定適正停止位置か
らのずれを極力抑制できるようにしているのである。
尚、位置規制力を最大限に利用できるようにするため
に、前記浮上用磁性体(3)の横幅を前記浮上用電磁石
(Ma)の横幅に略一致させ、且つ、前記停止用磁性体
(5)の前後方向での幅を前記停止用電磁石(Mb)の前
後方向での幅に略一致させるようにしてある。
ところで、リニアモータでは、前記一次コイル(4)
から発生する磁気ループ内に非磁性導体を配置させるこ
とにより、非磁性導体に渦電流を発生させて推力を与え
るようにしていることから、一般的には、アルミニウム
等の非磁性導体と前記一次コイル(4)との間で磁気ル
ープを形成する鉄等の磁性体とを張り合わせたいいわゆ
る複合型の二次導体が用いられるのであるが、磁性体部
分は、一次コイル(4)が非磁性導体に作用する部分に
のみあればよいものであり、非磁性導体と一体にする必
要はないものである。
そこで、本実施例では、前記二次導体(D)をアルミ
ニウム等の非磁性導体(7)のみによって形成し、前記
一次コイル(4)に作用する磁性体部分は、前記案内レ
ール(B)側で且つ前記一次コイル(4)の設置箇所の
みに設けるようにしてある。
説明を加えれば、第1図に示すように、前記二次導体
(D)の磁性体部分として作用する鉄板(9)を、前記
案内レール(B)側に設けられる前記一次コイル(4)
に対して間隔を隔てて位置するように、前記一次コイル
(4)の上側箇所に取り付け、前記移動体(A)には、
アルミニウム等の非磁性導体(7)のみを取り付けて、
その非磁性導体(7)が前記一次コイル(4)の上側面
と前記鉄板(9)の下側面との間に形成される空間を通
過する間に、推力を与えられるようにしているのであ
る。
従って、前記移動体(A)には、二次導体(D)の非
磁性導体(7)のみを備えさせるので、前記移動体
(A)の軽量化を図ることができる。
但し、前記磁性体として作用する鉄板(9)は、前記
二次導体(D)としての非磁性導体(7)の支持枠
(8)が通過する間隔を設けるために、前記案内レール
(B)の横幅方向中央部分で左右に二分割して配置して
ある。そして、前記二次導体(D)に与えられる推力
は、前記一次コイル(4)から発生する磁力が大なるほ
ど大となり、且つ、前記一次コイル(4)と前記鉄板
(9)との間隔が小なるほど大となるが、前記一次コイ
ル(4)と前記鉄板(9)との間での前記非磁性導体
(7)の位置には無関係となる。
尚、第1図中、(10)は前記移動体(A)に取り付け
られたエンコーダ板(11)に対して検出作用して前記移
動体(A)が前記一次コイル(4)上に位置するか否か
を検出する在席検出用センサー、(12)は前記移動体
(A)に取り付けられた速度検出板(13)に作用して前
記移動体(A)の速度を検出する速度検出用センサー、
(14)は前記浮上用電磁石(Ma)に対する通電停止時に
前記浮上用磁性体(3)と前記浮上用電磁石(Ma)との
上下方向での間隔を一定に保つためのガイドローラであ
って、前記移動体(A)の前後左右に各一個が設けられ
ている。又、(15)は前記移動体(A)と前記浮上用磁
性体(3)の内側横面とが衝突しないように前記案内レ
ール(B)に対する横幅方向での間隔を設定値より小に
保持させるためのガイドローラである。
又、第2図中、(16)は前記浮上用電磁石(Ma)に対
する作動用電力を供給するバッテリー、(17)は前記浮
上用電磁石(Ma)に対する通電を制御する制御部であ
る。
ちなみに、詳述はしないが、前記在席検出用センサー
(10)の検出情報は、前記移動体(A)を前記ステーシ
ョン(ST)において停止させたり一次コイル(4)の設
置箇所において加速又は減速させるために前記一次コイ
ル(4)に対する通電を制御するための情報として用い
られることになり、前記速度検出用センサー(12)の検
出情報は、前記移動体(A)の停止位置の制御や、前記
移動体(A)の減速停止時や加速発進時における速度を
制御するために、前記一次コイル(4)に対する通電を
制御するための情報として用いられることになる。
〔別実施例〕
上記実施例では、浮上用電磁石(Ma)及び停止用電磁
石(Mb)の夫々に、互いに異なる磁極を発生する一対の
磁気作用部を備えさせるに、異なる磁極を発生する一帯
の電磁石(M1及びM2),(M3及びM4)を設けるようにし
た場合を例示したが、例えば、第5図に示すように、一
つの電磁石を横向きに取り付けると共に、その磁心
(M)を両端で上方に屈曲させて、前記磁心(M)の両
端部において異なる磁極を発生させるように構成しても
よい。つまり、前記磁心(M)の両端部が一対の磁気作
用部として機能することになる。
又、上記実施例では、停止用電磁石(Mb)を移動体
(A)に対して下方から吸引作用させるように設けた場
合を例示したが、横方向や上方から吸引作用させるよう
にしてもよく、具体的な配置や具体構成は各種変更でき
る。その他、本発明を実施する上で必要となる各部の具
体構成は各種変更できる。
尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を便利にする
為に符号を記すが、該記入により本発明は添付図面の構
造に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明に係る磁気浮上式の搬送設備の実施例を示
し、第1図は移動体及び案内レールの正面図、第2図は
同切欠側面図、第3図は案内レールのレイアウトの概略
平面図、第4図は電磁石と磁性体との間で形成される磁
気ループの説明図、第5図は浮上用電磁石及び停止用電
磁石の別実施例の構造を示す側面図である。 (A)……移動体、(B)……案内レール、 (Ma)……浮上用電磁石、(Mb)……停止用電磁石、
(M1),(M2)……浮上用電磁石の一対の磁気作用部、
(M3),(M4)……停止用電磁石の一対の磁気作用部、
(3)……浮上用磁性体、(5)……停止用磁性体。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−166706(JP,A) 特開 昭62−126414(JP,A) 特開 昭61−262008(JP,A) 特開 昭62−191318(JP,A) 特開 昭63−194502(JP,A) 実開 昭63−63001(JP,U) 実開 昭61−195702(JP,U) 実公 昭59−2023(JP,Y2)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】移動体(A)に、それが走行する案内レー
    ル(B)の長手方向視で左右方向に間隔を隔てて並ぶよ
    うに配置され、且つ、前記移動体(A)が浮上維持され
    るように電磁力が調整される左右一対の浮上用電磁石
    (Ma)と、前記移動体(A)を前記案内レール(B)上
    で停止保持するための停止用磁性体(5)とが設けら
    れ、 前記案内レール(B)に、前記左右の浮上用電磁石(M
    a)が下向きに吸引作用する左右の浮上用磁性体(3)
    と、前記停止用磁性体(5)に対して吸引作用する停止
    用電磁石(Mb)が設けられた磁気浮上式の搬送設備であ
    って、 前記浮上用電磁石(Ma)は、前記浮上用磁性体(3)に
    対して前記案内レール(B)の横幅方向に向けて磁気ル
    ープを形成するように、前記移動体(A)の横幅方向に
    並び且つ互いに異なる磁極を発生する一対の磁気作用部
    (M1),(M2)を備えるように構成され、 前記停止用電磁石(Mb)は、前記停止用磁性体(5)に
    対して上下方向に吸引作用するように構成され、且つ、
    前記停止用磁性体(5)に対して前記移動体(A)の前
    後方向に向けて磁気ループを形成するように、前記案内
    レール(B)の長手方向に並び且つ互いに異なる磁極を
    発生する一対の磁気作用部(M3),(M4)を備えるよう
    に構成され、 前記停止用磁性体(5)及び前記停止用電磁石(Mb)
    は、前記案内レール(B)の長手方向視で、前記左右一
    対の浮上用磁性体(3)及び浮上用電磁石(Ma)の左右
    方向内方側に配置されている磁気浮上式の搬送設備。
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JPH02270726A (ja) 1990-11-05

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