JPS61154402A - 磁気浮上移動装置 - Google Patents

磁気浮上移動装置

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Publication number
JPS61154402A
JPS61154402A JP27400784A JP27400784A JPS61154402A JP S61154402 A JPS61154402 A JP S61154402A JP 27400784 A JP27400784 A JP 27400784A JP 27400784 A JP27400784 A JP 27400784A JP S61154402 A JPS61154402 A JP S61154402A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
movable body
composite
magnet
gap
permanent magnet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP27400784A
Other languages
English (en)
Inventor
Ryuichi Matsuda
隆一 松田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Telegraph and Telephone Corp filed Critical Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority to JP27400784A priority Critical patent/JPS61154402A/ja
Publication of JPS61154402A publication Critical patent/JPS61154402A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)
  • Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気力によって浮上して支持される磁気浮上
移動装置に関するものである。
〔従来の技術〕
第5図は過去に提案された磁気浮上移動装置(特開昭5
6−125984)の概略図である。第5図において、
1は紙面に垂直な方向に移動可能な可動体、2〜5は永
久磁石、6は固定バー、7は支持部材としての基盤、8
は電磁石、9はコイル、10は磁性材からなる側板、1
1はすきまである。永久磁石2〜5は可動体1の両側に
2組設けられており、互いに反発力を発生し、可動体l
を垂直方向に非接触に支える。しかしこれだけでは不安
定であるため、水平方向においては、側板10との間の
すきま11を検出し、その信号によって電磁石8の吸引
力を制御して非接触に支持しなければならない。なお垂
直方向を支持する永久磁石としては、永久磁石4.5を
欠いていても、可動体lを支持できる。
第5図に示す装置は、可動体1の高さが低い場合は、上
述したような構造でもよいが、通常は、第6図に示すよ
うな構造とする。第6図において、8a、8b、8cは
電磁石である。第6図において第5図と同一部分又は相
当部分には同一符号が付しである。第6図に示すような
装置においては、電磁石は片側に少なくとも3個備えら
れ、電磁石8aと8bとで垂直方向の軸のまわりの角度
回転運動34を制御し、電磁石8aと8bの組と電磁石
8cとの組み合わせで推進方向の軸のまわりの回転運動
35を制御する。
〔発明が解決しようとする問題点〕
第6図に示す装置においては、第5図に示す装置の場合
と同様に、電磁石8a、8b、8cが設けられている側
と反対の側に1個以上の電磁石を必要とする。また電磁
石毎に制御回路を必要とし、それらが多いことは経済的
に不利となる。また片側に永久磁石を設け、この吸引力
に対向して電磁石8a、8b、8cを設ける場合には、
電磁石数は減るが、これらの電磁石には制御電流の外に
すきまの規準値に対応し永久磁石の吸引力とつり合うた
めの直流電流を流さねばならず、この電力を供給するた
めの電力線を固定側から可動体1へと結ばねばならず、
線を伴っての移動は摩耗や発塵の原因となり、非接触支
持の有利点を減殺してしまうという問題がある。
(問題点を解決するための手段〕 このような問題点を解決するために本発明は、移動径路
の側方に吸引力を作用させるように可動体の一方の側に
配設された永久磁石と、可動体の他方の側に配設された
少なくとも3個の複合磁石と、移動径路の側方において
可動体とのすき間を検出する可動体搭載の変位センサと
を設けるようにしたものである。
〔作用〕
本発明においては、変位センサの出力信号によって複合
磁石のコイルを流れる電流を制御し可動体を非接触に支
持し移動させる。
〔実施例〕
第1図は本発明に係わる磁気浮上移動装置の一実施例の
概略図、第2図は本装置の正面図である。
第1図、第2図において、12は基盤、13は可動体、
14〜17.21〜23および29.30は永久磁石、
18〜20は複合磁石、24〜26は変位センサ、27
.28は側板、31はすきまである。第3図に複合磁石
18を示す。第3図において、32はコイル、33は磁
気コアである。
複合磁石19.20も同様の構造である。
次に本装置の作用について第1図、第2図、第3図を用
いて説明する。永久磁石14と16の組および永久磁石
15と17の組は各組の中で互いに反発するように組み
合わされており、可動体13は垂直方向に非接触に支持
される。−力水平方向においては、第2図に示す永久磁
石29.30と側板28との間には吸引力が作用し、他
方の側では、複合磁石18〜20がその磁気回路内に永
久磁石21〜23を含むため、側板27との間に吸引力
が作用する。すなわち、第3図に示すように、永久磁石
21を発した磁束はすきま31を貫き、側板27中を通
って再度すきま31を通り、磁気コア33を通ってもと
の永久磁石21へもどる。第2図に示す変位センサ24
〜26の検出信号に従って制御された電流が第3図に示
すコイル32を流れ、永久磁石21を発した磁束を変調
し、吸引力を制御してすきま31を一定に保つ。
第4図にすきま31を一定に保つための制御回路を示す
。第4図において、36は微分回路、37は信号加算と
電力増幅を行なう信号加算・電力増幅器である。この制
御回路においては、変位センサ24からの変位信号a、
それを微分した速度信号す、コイル32中を流れる電流
信号Cの3種類の信号をフィードバックし、可動体13
を含む制御系を安定化し、すきま31を一定に保つこと
ができる。この技術は周知のことである。
本装置の可動体13は複合磁石18〜20を用いている
ため、すきま31が規準の値を保った時にコイル32を
流れる電流をほぼ0とすることができ、このため非接触
支持に必要とする制御用の電力を少なくでき、可動体1
3に搭載した電池(図示せず)によってその電力を供給
することが可能となり、固定側と可動体13とを結ぶ電
力線を削除することが可能となり、非接触無発塵移動装
置として望ましいものとすることができる。
本装置の可動体13は複合磁石を少な(とも3個使用し
ている。その理由は、すでに述べたように、水平方向の
制御とともに第1図に示すような垂直方向の軸のまわり
の角度運動34を2個の複合磁石18と19で制御でき
、かつ、推進方向の軸まわりの角度運動35を上側2個
の複合磁石18.19の組と下側の複合磁石20とによ
り制御することができ、可動体13を非接触に支持でき
るからである。
可動体13は、リニアモータ等(図示せず)の手段によ
って駆動される。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、可動体の一方の側に配設
された永久磁石と、可動体の他方の側に配設された少な
くとも3個の複合磁石と、可動体とのすき間を検出する
可動体搭載の変位センサとを設けることにより、可動体
を非接触に支持し移動できるようにするとともに複合磁
石を構成する永久磁石に吸引力を発生させるようにした
ので、制御のための電力を小さくすることができ、固定
側と可動体とを結ぶ電力線を削除して可動体に搭載した
電池によって電力を供給することができ、非接触、無発
塵の移動装置を構成することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係わる磁気浮上移動装置の一実施例を
示す概略斜視図、第2図はその正面図、第3図は複合磁
石の構成図、第4図はすきまを制御するための制御回路
図、第5図は従来の磁気浮上移動装置を示す概略斜視図
、第6図はその正面図である。 13・・・・可動体、14〜17.21〜23.29.
30・・・・永久磁石、18〜20・・・・複合磁石、
24〜26・・・・変位センサ、27.28・・・・側
板、31・・・・すきま、32・・・・コイル、33・
・・・磁気コア、36・・・・微分回路、37・・・・
信号加算・電力増幅器。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 可動体が永久磁石の反発力によってその重量が支えられ
    て浮上し、支持部材との間にすき間を置いて垂直方向に
    非接触に支持される磁気浮上移動装置において、移動径
    路の側方に吸引力を作用させるように前記可動体の一方
    の側に配設された永久磁石と、前記可動体の他方の側に
    配設された、永久磁石と電磁石とを組み合わせた少なく
    とも3個の複合磁石と、前記移動径路の側方において前
    記可動体とのすき間を検出する可動体搭載の変位センサ
    とを具備してなり、前記変位センサの出力信号によって
    前記複合磁石のコイルを流れる電流を制御し前記可動体
    を非接触に支持し移動させることを特徴とする磁気浮上
    移動装置。
JP27400784A 1984-12-27 1984-12-27 磁気浮上移動装置 Pending JPS61154402A (ja)

Priority Applications (1)

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JP27400784A JPS61154402A (ja) 1984-12-27 1984-12-27 磁気浮上移動装置

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JP27400784A JPS61154402A (ja) 1984-12-27 1984-12-27 磁気浮上移動装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS61154402A true JPS61154402A (ja) 1986-07-14

Family

ID=17535649

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP27400784A Pending JPS61154402A (ja) 1984-12-27 1984-12-27 磁気浮上移動装置

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JP (1) JPS61154402A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4805761A (en) * 1987-07-14 1989-02-21 Totsch John W Magnetic conveyor system for transporting wafers
JPH01206802A (ja) * 1988-02-10 1989-08-21 Fujita Corp 超電導磁気浮上式輸送システム

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4805761A (en) * 1987-07-14 1989-02-21 Totsch John W Magnetic conveyor system for transporting wafers
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