JP2542139B2 - 電磁式ブレ―キ装置 - Google Patents
電磁式ブレ―キ装置Info
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- JP2542139B2 JP2542139B2 JP3265952A JP26595291A JP2542139B2 JP 2542139 B2 JP2542139 B2 JP 2542139B2 JP 3265952 A JP3265952 A JP 3265952A JP 26595291 A JP26595291 A JP 26595291A JP 2542139 B2 JP2542139 B2 JP 2542139B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、軌道と、該軌道上を移
動する搬送台と、該搬送台を前記軌道から浮上させて非
接触状態にする磁力手段と、該搬送台を駆動する駆動手
段とを備えた電磁式搬送装置における電磁式ブレーキ装
置に関する。
動する搬送台と、該搬送台を前記軌道から浮上させて非
接触状態にする磁力手段と、該搬送台を駆動する駆動手
段とを備えた電磁式搬送装置における電磁式ブレーキ装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般的に、電磁式非接触搬送装置におい
ては、搬送台の移動、停止、保持等の各種作動が、永久
磁石或いはコイルを用いた電磁石の磁気的な手段により
行われる。そして、磁気的手段により搬送台が軌道から
浮上して非接触状態を維持しつつ移動するので、埃塵の
発生について非常に厳格な半導体製造設備において利用
される場合が多い。
ては、搬送台の移動、停止、保持等の各種作動が、永久
磁石或いはコイルを用いた電磁石の磁気的な手段により
行われる。そして、磁気的手段により搬送台が軌道から
浮上して非接触状態を維持しつつ移動するので、埃塵の
発生について非常に厳格な半導体製造設備において利用
される場合が多い。
【０００３】かかる搬送装置における従来の停止手段
は、停止すべき位置に電磁石等の磁気的手段を配置し
て、磁気的な吸引力により搬送台を該磁気的手段を配置
した箇所に停止、保持させる形式のものが一般的であっ
た。
は、停止すべき位置に電磁石等の磁気的手段を配置し
て、磁気的な吸引力により搬送台を該磁気的手段を配置
した箇所に停止、保持させる形式のものが一般的であっ
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の停止
手段では、搬送台に継鉄を取り付け、また軌道側に電磁
石を配置して、電磁石の磁気的吸引力で停止するか、或
いは、搬送台及び軌道に永久磁石を取り付け、両永久磁
石の極性を磁石間に磁気的吸引力が作用する様に配置し
ている。
手段では、搬送台に継鉄を取り付け、また軌道側に電磁
石を配置して、電磁石の磁気的吸引力で停止するか、或
いは、搬送台及び軌道に永久磁石を取り付け、両永久磁
石の極性を磁石間に磁気的吸引力が作用する様に配置し
ている。
【０００５】しかし、いずれの場合にも、停止のための
磁気的吸引力が垂直方向下方へ作用するため、搬送台を
浮上せしめる浮上用電磁石に対して負荷を及ぼしてしま
うという欠点を有していた。また、搬送台が移動方向に
往復振動するため、位置決めに非常に長時間かかるとい
う欠点を有していた。
磁気的吸引力が垂直方向下方へ作用するため、搬送台を
浮上せしめる浮上用電磁石に対して負荷を及ぼしてしま
うという欠点を有していた。また、搬送台が移動方向に
往復振動するため、位置決めに非常に長時間かかるとい
う欠点を有していた。
【０００６】本発明は、上記した従来技術の問題点に鑑
みて提案されたもので、浮上用電磁石に対して余分な負
荷を及ぼすことが無く、かつ搬送台の往復運動を防止し
て、搬送台を正確かつ迅速に所定箇所へ停止することが
できる電磁式ブレーキ装置を提供することを目的として
いる。
みて提案されたもので、浮上用電磁石に対して余分な負
荷を及ぼすことが無く、かつ搬送台の往復運動を防止し
て、搬送台を正確かつ迅速に所定箇所へ停止することが
できる電磁式ブレーキ装置を提供することを目的として
いる。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、軌道
と、該軌道上を移動する搬送台と、該搬送台を前記軌道
から浮上させて非接触状態にする磁力手段と、該搬送台
を駆動する駆動手段とを備えた電磁式搬送装置における
電磁式ブレーキ装置において、前記搬送台に、その移動
方向に間隔をおいて一対の磁極を設けると共に、該磁極
間の中央にセンサターゲットを設け、また前記軌道側
に、前記磁極の間隔と異なる間隔で前記搬送台の移動方
向に間隔をおいて、一対の電磁石を設けると共に、該電
磁石間の中央に前記センサターゲットに対する移動量検
出手段を設け、かつ該移動量検出手段からの信号に基づ
き前記各電磁石に与える電流値を増減制御して一対の電
磁石の磁気求心力を強弱に制御する制御コントローラを
設けるものとする。
と、該軌道上を移動する搬送台と、該搬送台を前記軌道
から浮上させて非接触状態にする磁力手段と、該搬送台
を駆動する駆動手段とを備えた電磁式搬送装置における
電磁式ブレーキ装置において、前記搬送台に、その移動
方向に間隔をおいて一対の磁極を設けると共に、該磁極
間の中央にセンサターゲットを設け、また前記軌道側
に、前記磁極の間隔と異なる間隔で前記搬送台の移動方
向に間隔をおいて、一対の電磁石を設けると共に、該電
磁石間の中央に前記センサターゲットに対する移動量検
出手段を設け、かつ該移動量検出手段からの信号に基づ
き前記各電磁石に与える電流値を増減制御して一対の電
磁石の磁気求心力を強弱に制御する制御コントローラを
設けるものとする。
【０００８】
【作用】上記のように構成された電磁ブレーキ装置にお
いて、軌道側の移動量検出手段（センサ）は搬送台のセ
ンサターゲットを検出し、センサからの位置情報信号に
基づき制御コントローラは各電磁石に制御電流をフィー
ドバックして励磁し、各電磁石で発生する磁気求心力を
制御し、一対の電磁石の磁気求心力の合力でもって搬送
台を所定位置に停止させる。
いて、軌道側の移動量検出手段（センサ）は搬送台のセ
ンサターゲットを検出し、センサからの位置情報信号に
基づき制御コントローラは各電磁石に制御電流をフィー
ドバックして励磁し、各電磁石で発生する磁気求心力を
制御し、一対の電磁石の磁気求心力の合力でもって搬送
台を所定位置に停止させる。
【０００９】今、例えば軌道側の電磁石の間隔が搬送台
の磁極の間隔より大きい場合、両磁極が両電磁石の間隔
中に進入すると、両電磁石の磁気求心力により搬送台が
制動される。この際、搬送台が自体の慣性力により移動
方向に動こうとすると、軌道側のセンサと搬送台のセン
サターゲットとにより搬送台の移動量を検出し、その移
動量に基づき制御コントローラは、移動方向後側の電磁
石へ与える電流を増大してその電磁石の磁気求心力を強
め、搬送台に復元力と減衰力とが作用し、搬送台は、往
復動を持続することなく搬送台のセンサターゲットが軌
道側のセンサに正対した正規位置に停止する。
の磁極の間隔より大きい場合、両磁極が両電磁石の間隔
中に進入すると、両電磁石の磁気求心力により搬送台が
制動される。この際、搬送台が自体の慣性力により移動
方向に動こうとすると、軌道側のセンサと搬送台のセン
サターゲットとにより搬送台の移動量を検出し、その移
動量に基づき制御コントローラは、移動方向後側の電磁
石へ与える電流を増大してその電磁石の磁気求心力を強
め、搬送台に復元力と減衰力とが作用し、搬送台は、往
復動を持続することなく搬送台のセンサターゲットが軌
道側のセンサに正対した正規位置に停止する。
【００１０】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図１、図２において、図示しない公知の磁力手段
である浮上用電磁石により浮上されて図示しない軌道上
を非接触で移動する搬送台１の底面には、搬送台１の移
動方向である矢印ａ及びｂで示す方向に間隔Ａをおいて
２個の磁極２、３が固設されており、これら磁極２、３
の中央位置には、板状のセンサターゲット４が固設され
ている。
する。図１、図２において、図示しない公知の磁力手段
である浮上用電磁石により浮上されて図示しない軌道上
を非接触で移動する搬送台１の底面には、搬送台１の移
動方向である矢印ａ及びｂで示す方向に間隔Ａをおいて
２個の磁極２、３が固設されており、これら磁極２、３
の中央位置には、板状のセンサターゲット４が固設され
ている。
【００１１】他方、軌道側には、搬送台１の移動方向に
間隔Ａと異なる間隔Ｂ（図１で示す例では間隔Ｂ＞間隔
Ａ）をおいて２個の電磁石５、６が固設されており、こ
れら電磁石５、６の中央位置には、移動量検出手段であ
るセンサ１１が固設されている。そして、電磁石５、６
のヨーク７、８に巻かれたコイル９、１０とセンサ１１
とは、それぞれ制御コントローラ１２に接続されてい
る。なお、センサ１１には、渦電流センサ、電磁誘導型
センサなどを用いるのが好ましい。前記実施例の作動を
説明するに先立ち、磁気求心力及び本発明の制御の原理
について説明する。一対の電磁石と一対の磁極の個々の
磁極間に発生する磁束により磁気力が発生し、その磁気
力を２次元平面で見ると、図３に示すように法線方向Ｘ
の磁気力である吸引力Ｆｘと接線方向Ｚの磁気力である
磁気求心力Ｆｚとに分けられ、磁気求心力Ｆｚは接線方
向の磁気的平衡状態において零となる力である。
間隔Ａと異なる間隔Ｂ（図１で示す例では間隔Ｂ＞間隔
Ａ）をおいて２個の電磁石５、６が固設されており、こ
れら電磁石５、６の中央位置には、移動量検出手段であ
るセンサ１１が固設されている。そして、電磁石５、６
のヨーク７、８に巻かれたコイル９、１０とセンサ１１
とは、それぞれ制御コントローラ１２に接続されてい
る。なお、センサ１１には、渦電流センサ、電磁誘導型
センサなどを用いるのが好ましい。前記実施例の作動を
説明するに先立ち、磁気求心力及び本発明の制御の原理
について説明する。一対の電磁石と一対の磁極の個々の
磁極間に発生する磁束により磁気力が発生し、その磁気
力を２次元平面で見ると、図３に示すように法線方向Ｘ
の磁気力である吸引力Ｆｘと接線方向Ｚの磁気力である
磁気求心力Ｆｚとに分けられ、磁気求心力Ｆｚは接線方
向の磁気的平衡状態において零となる力である。
【００１２】本発明は、磁力発生部を２箇所備え、かつ
両磁力発生部が共に磁気的平衡点となることのない構成
とし、磁気求心力Ｆｚを搬送台に対するブレーキ力とし
て用いたものである。すなわち、左右一対の磁極間それ
ぞれに発生する磁気求心力の合力は搬送台を停止位置へ
戻そうとする復元力となり、また搬送台の移動量を検出
し、動的補償を行うことにより、左右一対の磁極それぞ
れで発生する磁気求心力は減衰力となる。
両磁力発生部が共に磁気的平衡点となることのない構成
とし、磁気求心力Ｆｚを搬送台に対するブレーキ力とし
て用いたものである。すなわち、左右一対の磁極間それ
ぞれに発生する磁気求心力の合力は搬送台を停止位置へ
戻そうとする復元力となり、また搬送台の移動量を検出
し、動的補償を行うことにより、左右一対の磁極それぞ
れで発生する磁気求心力は減衰力となる。
【００１３】図５において、電磁石５、６のうち一方の
電磁石、例えば電磁石５のコイル９へ与える電流を増す
と、磁気力が増し、磁気求心力Ｆｚが強くなる。逆に、
他方の電磁石６のコイル１０へ与える電流を減らすと、
磁気求心力Ｆｚが弱くなる。したがって、電磁石５のコ
イル９の電流を増大させ、電磁石６のコイル１０の電流
を減少させると、図５において距離ａは縮まり、距離ｂ
は拡がる。そこで、搬送台１の移動量をセンサ１１で検
出し、搬送台１を停止させるための力を電磁石５のコイ
ル９と電磁石６のコイル１０へ与える電流値を制御（増
減させる）することで発生させる。つまり、一方の電磁
石５と他方の電磁石６の磁気求心力Ｆｚを制御（変化さ
せる）ことで搬送台１の停止位置決めができる。
電磁石、例えば電磁石５のコイル９へ与える電流を増す
と、磁気力が増し、磁気求心力Ｆｚが強くなる。逆に、
他方の電磁石６のコイル１０へ与える電流を減らすと、
磁気求心力Ｆｚが弱くなる。したがって、電磁石５のコ
イル９の電流を増大させ、電磁石６のコイル１０の電流
を減少させると、図５において距離ａは縮まり、距離ｂ
は拡がる。そこで、搬送台１の移動量をセンサ１１で検
出し、搬送台１を停止させるための力を電磁石５のコイ
ル９と電磁石６のコイル１０へ与える電流値を制御（増
減させる）することで発生させる。つまり、一方の電磁
石５と他方の電磁石６の磁気求心力Ｆｚを制御（変化さ
せる）ことで搬送台１の停止位置決めができる。
【００１４】再び図１において、搬送台１が例えば矢印
ａ方向に移動し、軌道側のセンサ１１が搬送台１のセン
サターゲット４を検出すると、センサ１１からの移動方
向ａの変位量の位置情報信号に基づき制御コントローラ
１２は電磁石５、６のコイルに制御電流をフィードバッ
クして励磁し、図３に示す磁気求心力Ｆｚ（Ｆｘは磁気
吸引力を示す）を制御する。そして、搬送台１の磁極
２、３が電磁石５、６のヨーク７、８の間隔中に進入す
ると、左右一対の電磁石５、６の磁気求心力Ｆｚの合力
により搬送台１が制動される。
ａ方向に移動し、軌道側のセンサ１１が搬送台１のセン
サターゲット４を検出すると、センサ１１からの移動方
向ａの変位量の位置情報信号に基づき制御コントローラ
１２は電磁石５、６のコイルに制御電流をフィードバッ
クして励磁し、図３に示す磁気求心力Ｆｚ（Ｆｘは磁気
吸引力を示す）を制御する。そして、搬送台１の磁極
２、３が電磁石５、６のヨーク７、８の間隔中に進入す
ると、左右一対の電磁石５、６の磁気求心力Ｆｚの合力
により搬送台１が制動される。
【００１５】搬送台１が制動される際、それ自体の慣性
力により搬送台１が移動方向に動こうとすると、軌道側
のセンサ１１と搬送台１のセンサターゲット４とにより
搬送台１の移動量を検出し、その移動量に基づき制御コ
ントローラ１２は、移動方向後側の電磁石３へ与える電
流を増大してその電磁石３の磁気求心力Ｆｚを強め、搬
送台１に復元力と減衰力とが作用し、搬送台１は、往復
動を持続することなく搬送台１のセンサターゲット４が
軌道側のセンサ１１に正対した正規位置に停止する。
力により搬送台１が移動方向に動こうとすると、軌道側
のセンサ１１と搬送台１のセンサターゲット４とにより
搬送台１の移動量を検出し、その移動量に基づき制御コ
ントローラ１２は、移動方向後側の電磁石３へ与える電
流を増大してその電磁石３の磁気求心力Ｆｚを強め、搬
送台１に復元力と減衰力とが作用し、搬送台１は、往復
動を持続することなく搬送台１のセンサターゲット４が
軌道側のセンサ１１に正対した正規位置に停止する。
【００１６】図４は本発明の別の実施例を示し、磁極１
３を両突部１３ａ、１３ｂを備えた一体型に形成し、そ
の中央部１３ｃをセンサターゲットとし、電磁石５ａ、
６ａのヨーク１４ａ、１４ｂを磁性体１４の両端部とし
て一体に構成し、他を図１と同様構成した例である。こ
の実施例でも前記実施例と同じ作用効果がある。
３を両突部１３ａ、１３ｂを備えた一体型に形成し、そ
の中央部１３ｃをセンサターゲットとし、電磁石５ａ、
６ａのヨーク１４ａ、１４ｂを磁性体１４の両端部とし
て一体に構成し、他を図１と同様構成した例である。こ
の実施例でも前記実施例と同じ作用効果がある。
【００１７】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、浮上用電磁石により搬送台を軌道から浮上
させて非接触状態で搬送台を移動させる電磁式搬送装置
において、電磁石の磁気求心力により搬送台を停止させ
るものであることからして、搬送台を浮上させる浮上用
電磁石に対して余分な負荷を及ぼすことが無いものであ
る。また、搬送台自体の慣性力による往復運動は、電磁
石の磁気求心力の復元力と減衰力とにより搬送台を正確
かつ迅速に所定位置に停止させることができる。
ているので、浮上用電磁石により搬送台を軌道から浮上
させて非接触状態で搬送台を移動させる電磁式搬送装置
において、電磁石の磁気求心力により搬送台を停止させ
るものであることからして、搬送台を浮上させる浮上用
電磁石に対して余分な負荷を及ぼすことが無いものであ
る。また、搬送台自体の慣性力による往復運動は、電磁
石の磁気求心力の復元力と減衰力とにより搬送台を正確
かつ迅速に所定位置に停止させることができる。
【図１】本発明の一実施例を示す搬送方向の側面図。
【図２】図１の実施例のＲ矢視図。
【図３】磁気求心力を説明する図面。
【図４】本発明の別の実施例を示す図１に相当する図
面。
面。
【図５】磁気求心力による制動原理を説明する図面。
Ｆｘ・・・磁気吸引力 Ｆｚ・・・磁気求心力 １・・・搬送台 ２、３、１３・・・磁極 ４・・・センサターゲット ５、５ａ、６、６ａ・・・電磁石 ７、８、１４ａ、１４ｂ・・・ヨーク ９、１０・・・コイル １１・・・センサ １２・・・制御コントローラ
Claims (1)
- 【請求項１】 軌道と、該軌道上を移動する搬送台と、
該搬送台を前記軌道から浮上させて非接触状態にする磁
力手段と、該搬送台を駆動する駆動手段とを備えた電磁
式搬送装置における電磁式ブレーキ装置において、前記
搬送台に、その移動方向に間隔をおいて一対の磁極を設
けると共に、該磁極間の中央にセンサターゲットを設
け、また前記軌道側に、前記磁極の間隔と異なる間隔で
前記搬送台の移動方向に間隔をおいて、一対の電磁石を
設けると共に、該電磁石間の中央に前記センサターゲッ
トに対する移動量検出手段を設け、かつ該移動量検出手
段からの信号に基づき前記各電磁石に与える電流値を増
減制御して一対の電磁石の磁気求心力を強弱に制御する
制御コントローラを設けてなることを特徴とする電磁式
ブレーキ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3265952A JP2542139B2 (ja) | 1991-10-15 | 1991-10-15 | 電磁式ブレ―キ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3265952A JP2542139B2 (ja) | 1991-10-15 | 1991-10-15 | 電磁式ブレ―キ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05106660A JPH05106660A (ja) | 1993-04-27 |
| JP2542139B2 true JP2542139B2 (ja) | 1996-10-09 |
Family
ID=17424348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3265952A Expired - Fee Related JP2542139B2 (ja) | 1991-10-15 | 1991-10-15 | 電磁式ブレ―キ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2542139B2 (ja) |
-
1991
- 1991-10-15 JP JP3265952A patent/JP2542139B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05106660A (ja) | 1993-04-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |