JPH0534881B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本発明は、磁性流体を介在させて搬送台を浮上
させ前記搬送台をリニアモータで移送させる搬送
装置に係り、特に前記搬送台を所定位置で停止さ
せる停止制御装置を有する搬送装置に関する。

(ロ) 従来技術 搬送台を浮上させる方法の如何を問わずリニア
モータで駆動する従来からの搬送装置は、一般に
始動及び加速は容易であるが、停止位置を精度良
く確保するためには、制御に於ける多くの配慮が
必要である。

従来、リニアモータで駆動する搬送装置の停止
制御装置としては通常搬送台に溝付プレートを取
付け、パルスカウンタ式センサー等により速度及
び位置を検出して制御する事が行われているが、
いづれの方法に於いてもリニアモータ本体で精度
良く停止させる為に必要な制動力を生じさせるこ
とが困難である為、停止のために別の機構例えば
機械的な制動装置、ポジシヨナー等を必要として
いる。

又、リニアモータの鉄心に分割巻線を施し、そ
の分割巻線を逆方向にそれぞれ励磁することによ
り、その分割巻線の境界において搬送台に対し電
機的制動力を与え停止させる方法等も提案されて
いる。しかし、この方法のみでもつて、搬送台を
精度良く常に一定位置に停止させるのは困難であ
り、又停止点付近で搬送台がハンチングを起こ
し、停止に時間がかかるという不具合もあつた。

(ハ) 目的 本発明は、簡単な構成でもつて搬送台の停止位
置を精度良く確保出来る搬送装置を提供すること
を目的としている。

(ニ) 構成 本発明は、非磁性材質で形成される搬送路と、
下部に永久磁石が配設され、前記搬送路面の上方
に位置する搬送台とを含み、前記搬送台は前記搬
送路面に配された磁性流体と前記永久磁石とによ
り前記搬送路面上を浮上させ、リニアモータによ
り、前記搬送台を移送させる搬送装置において、
前記搬送路裏面の予め定めた位置に前記永久磁石
との吸引力を発生させる吸引手段を設け、その吸
引手段を動作させることにより前記搬送台を前記
予め定めた位置で停止させることを特徴とする搬
送装置である。

(ホ) 実施例 第１図は本発明の第１実施例の搬送装置におけ
る搬送台の進行方向に直角に切つた断面図であ
り、第２図は第１図のＡ−A′断面図である。

第１図及び第２図において、１は図示しないフ
レームによつて固設された非磁性材質からなる搬
送路であり、その搬送路１の断面は開溝又は略蟻
溝状に形成されて、本体部１１、カバー部１２及
び収納部１３と区別されている。

２はリニアモータの固定子であり、前記カバー
部１２の上面にその長手方向に所定間隔を経て複
数個対で配設されている。

３は被搬送物を搬送する搬送台であり、前記搬
送路１に沿つて走行するように配置される。この
搬送台３は、図示しない被搬送物が載置される底
面３１と、搬送路１の収納部１３に配置される略
Ｔ字形の脚部３２とで構成されている。前記底面
３１は、リニアモータのリアクシヨンプレートと
して作用するものであり、例えばアルミニウムや
銅板等の導電性材料にて構成され、固定子２と所
定の空隙を介して相対向し、前記固定子２とでも
つてリニアモータを構成する。脚部３２の底面に
は、永久磁石４が固設さており、この永久磁石４
と搬送路１の収納部１３との間には、所定の磁性
流体５が介在されている。Ｃは搬送台３が停止す
べき目的地である。６は図示しないフレームで搬
送路１の裏面に搬送台３を停止させるべき目的地
Ｃに固設された鉄片部（説明後記）を昇降させる
プランジヤ機構であり、鉄片部６１、ロツド６２
及び励磁コイルと鉄心部よりなる励磁部６３とで
構成され、鉄片部６１はロツド６２の先端に固着
され、励磁部６３を励磁することによりロツド６
２を上昇させ、励磁を解くとロツド６２が下降す
る構造とする。

次に、上述した構成の搬送装置の停止制御方法
の動作について説明する。

まず、搬送台３の脚部３２に設けた永久磁石４
によつて発生される磁界の影響で、磁性流体５は
磁化される。即ち、常に搬送台３は浮上した状態
を維持しているから、リニアモータの駆動力にて
適宜方向に搬送台３を搬送路１に沿つて移送させ
ることができる。搬送台３が停止するべき目的地
Ｃの近傍に接近すると、プランジヤ機構６の励磁
部６３を励磁しロツド６２を上昇させ鉄片部６１
を搬送路１の裏面に近接させる。

搬送台３が停止するべき目的地Ｃに移送されて
くると、鉄片部６１と搬送台３の脚部３２の底面
に固設された永久磁石４との相互の電磁作用によ
り吸引力が発生し、その作用で搬送台３には停止
制動力が生じることになり前記相互の吸引力が最
大になる永久磁石４の中心と鉄片部６１の中心が
一致する位置すなわち目的地Ｃで搬送台３は停止
することになる。このように搬送台３を電磁気的
吸引力により停止させるので精度良く安定して停
止させることができる。

尚、搬送台３が停止するべき目的地Ｃで停止時
にロツド６２を上昇させておけば搬送台３に常時
吸引力が作用するので、その位置で搬送台３は制
動力の作用した状態を保持できる。

又、固定子２を停止目的地Ｃに配設し、搬送台
３を移送する為の推力を発生させると共に、搬送
台３の停止時に逆相励磁を行い搬送台３の進行方
向と逆方向の推力を発生させ、その逆推力を上記
鉄片部６１と永久磁石４との相互作用により発生
する停止制動力を付加さすことにより、一層効率
良く搬送台３を停止させることもできる。

搬送台３を停止させるべき目的地Ｃより再起動
し、次の目的地へ移送する時は、励磁部６３の励
磁を解きロツド６２を所定の位置まで下降させ、
鉄片部６１と永久磁石４とによる相互吸引力によ
る停止制動力を解除し、固定子２に励磁を行い推
力を発生させることにより搬送台３を移送させる
ことが出来る。

停止させるべき目的地Ｃで搬送台３を停止させ
る必要が無い場合は、鉄片部６１を上昇させずに
下降させた状態とすることにより可能なのは勿論
である。

鉄片部６１を昇降させる機構は本実施例ではプ
ランジヤ機構としたがこの機構はこれに限定され
るものでなく例えばシリンダー等の昇降可能な機
構であれば良い。

第３図は本発明の第２実施例の搬送装置におけ
る搬送台３の進行方向に直角に切つた断面図であ
り、第４図は第３図のＡ−A′断面図である。

本実施例において第１の実施例と異なるところ
は、第１の実施例の鉄片部６１を永久磁石７１の
構成としたことである。７は、図示しないフレー
ムで搬送路１の裏面に搬送台３を停止させるべき
目的地Ｃに固設された永久磁石７１を昇降させプ
ランジヤ機構であり、永久磁石部７１、ロツド７
２及び励磁コイルと鉄心部よりなる励磁部７３と
で構成される。永久磁石部７１はロツド７２の先
端に固着され、励磁部７３を励磁することにより
ロツド７２を上昇させ励磁を解くとロツド７２が
下降する構造とする。搬送台脚部３２の底面に固
設される永久磁石４とプランジヤ機構７の永久磁
石７１は相互にそれぞれ吸引し合う配置とする。
前記以外の構成は第１の実施例と同様である。

搬送台３が停止するべき目的地Ｃの近傍に接近
すると、プランジヤ機構７の励磁部７３を励磁
し、ロツド７２を上昇させ永久磁石７１を搬送路
１の下面に近接させる。

搬送台３が停止する目的地Ｃに移送されてくる
と、永久磁石７１と搬送台３の脚部３２の底面に
固設された永久磁石４との相互の電磁作用により
吸引力が発生し、その作用で搬送台３には停止制
動力が生じることになり前記相互の吸引力が最大
になる永久磁石４の中心と永久磁石７１の中心と
が一致する位置、すなわち停止すべき目的地Ｃで
搬送台３が停止することになる。

このように、本装置は電磁気的吸引力により搬
送台３を停止させるので、精度良く安定して停止
させることができ、第１の実施例と同様の効果を
奏する。

第５図は本発明の第３実施例の搬送装置におけ
る搬送台３の進行方向に直角に切つた断面図であ
り、第６図は第５図のＡ−A′断面図である。

本実施例において第１の実施例と異なるところ
は、第１の実施例の鉄片部６１を昇降させる機構
を電磁石８の構成としたことである。電磁石８は
図示しないフレーム搬送路１の裏面に搬送台３を
停止させるべき目的地Ｃに固設され励磁すること
により磁力を発生させる構造とする。前記以外の
構成は第１の実施例と同様である。

搬送台３が停止するべき目的地Ｃの近傍に接近
すると、電磁石８が励磁される。搬送台３が停止
させるべき目的地Ｃに移送されてくると、電磁石
８により発生する磁力と搬送台１の脚部３２の底
面に固設された永久磁石４との相互の電磁作用に
より吸引力が発生し、その作用で搬送台３には停
止制動力が生じることになり、前記相互の吸引力
が最大になる永久磁石４の中心と電磁石８の中心
が一致する位置すなわち停止目的地Ｃで停止する
ことになる。このように本装置は電磁気的吸引力
により停止させるので、搬送台３を精度良く安定
して停止させることができる。

尚、搬送台３が停止目的地Ｃで停止時に電磁石
８を励磁しておけば搬送台３に常時吸引力が作用
するので、その位置で搬送台３は制動力が作用し
た状態を保持できる。

搬送台３を停止させるべき目的地Ｃより再起動
し、次の目的地へ移送する時は、電磁石８の励磁
を解き永久磁石４とによる相互吸引力による停止
制動力を解除し、固定子２に励磁を行い推力を発
生させることにより搬送台３が移送することが出
来る。

停止させるべき目的地Ｃで停止させる必要がな
い場合は、電磁石８を励磁しなければ良いことは
勿論である。本実施例によると、第１の実施例に
よる効果の他に機械的に動作する部分が無く構造
も簡単であり、動作音も発生しない効果を奏す
る。

又塵埃が殆ど発生することがないので特にクリ
ーンルーム内において使用するのに最適である。

前記説明した如くいづれの実施例においても搬
送台を停止させるに際してリニアモータの巻線の
励磁を切替える等の複雑な制御回路を必要とせず
に、搬送装置を精度良く定位置に停止させること
が実現出来る。

(ヘ) 効果 本発明によれば、前記実施例で説明した如く、
下記の効果を有する。

(1) 簡単な構成でもつて複雑な制御回路も必要と
せず搬送台を常に安定した一定位置に精度良く
停止させることが実現できる。

(2) 機械的方法でなく、電磁気的方法で停止させ
るので搬送台の停止時の衝撃が少ない。

(3) 停止中も制動力を作用させることが可能なの
で搬送台を安定した状態に保持できる。

(4) 鉄片及び永久磁石の昇降機構の上昇下降又は
電磁石の励磁の有無により搬送台の停止点を簡
単に自由に選択できる。

(5) 塵埃を発生せず装置が簡便なので、設備費用
及び維持費用の面において優れているのでクリ
ーンルーム内における搬送装置としも好適であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例の搬送装置におけ
る搬送台の進行方向に直角に切つた断面図、第２
図は第１図のＡ−A′断面図、第３図は第２実施
例の搬送装置における搬送台の近行方向に直角に
切つた断面図、第４図は第３図のＡ−A′断面図、
第５図は第３実施例の搬送装置における搬送台の
進行方向に直角に切つた断面図、第６図は第５図
のＡ−A′断面図である。 １…搬送路、２…固定子、３…搬送台、４…永
久磁石、５…磁性流体、６…鉄片部昇降用プラン
ジヤ機構、６１…鉄片部、６２…ロツド、６３…
励磁部、７…永久磁石昇降用プランジヤ機構、７
１…永久磁石、７２…ロツド、７３…励磁部、８
…電磁石、Ｃ…停止目的地。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 非磁性材質で形成される搬送路と、下部に永
   久磁石が配設され、前記搬送路面の上方に位置す
   る搬送台とを含み、前記搬送台は前記搬送路面に
   配された磁性流体と前記永久磁石とにより前記搬
   送路面上を浮上させ、リニアモータにより、前記
   搬送台を移送させる搬送装置において、前記搬送
   路裏面の予め定めた位置に前記永久磁石との吸引
   力を発生させる吸引手段を設け、その吸引手段を
   動作させることにより前記搬送台を前記予め定め
   た位置で停止させることを特徴とする搬送装置。 ２ 前記吸引手段は昇降可能な鉄片を含み構成さ
   れ、前記搬送台を停止させる際、前記鉄片を上昇
   させることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
   載の搬送装置。 ３ 前記吸引手段は昇降可能な永久磁石を含み構
   成され、前記搬送台を停止させる際、前記永久磁
   石を上昇させることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載の搬送装置。 ４ 前記吸引手段は電磁石を含み構成され、前記
   搬送台を停止させる際、前記電磁石を励磁させる
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の搬
   送装置。