JPS6169306A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、磁性流体を介在さ−ｌて搬送台をｌ′メ１−
さ・Ｕ前記１般送台をリニアモータで移送さ一ロるＩ般
送装置に係り、’ｌ！Ｉ”に前記ＩＩＩ送台を所定（１
冒ｉＧ：　（１’ｒ月１さゼる停止制御装置を有する搬
送装置ｎに関する。

（ロ）従来技術 Ｉｌｌ送台をｔｐ−ｌ−させイＪ方法の如何を問わすリ
ニアモータで駆動する従来からの搬送Ｗ置Ｕ５１、−・
般に始動及び加速は容易であるが、停止位置をオ′１１
度良く確保するためにＣ５ｒ、制御に於＆Ｊる多くの配
慮が必要である。

従来、リニアモータで駆動する１般送ｕｌ　ｉｉ！Ｘ　
（’）　（’ｘ’　Ｉｔ制御装置としては通常搬送台に
溝付プし・−１を取（＝ｔ　４Ｊ、パルスカウンタ式セ
ンサー等により速度及び位置を検出して制御する事が行
われているが、いづれの方法に於いてもリニアモータ本
体で精度良く停止させる為に必要な制動力をルしさせる
ことが困難である為、停止１−のために別の機構例えば
機械的な制動装置、ポジショナ−等を必要としている。

又、リニアモータの鉄心ｔこ分割巻線を施し、その分割
巻線を逆方向にそれぞれ励磁するごとにより、その分割
巻線の境界において１ｉｔ）送台に対し電機的制動力を
与え停止させる方法等も提案されている。しかし、この
方法のめでもって、）絞込台を精度良く當に一定位置に
停止にさ（るのば困難であり、又停止点伺近で１収送台
がハンチングを起こし、停止に時間がかかるという不具
合もあった。

（ハ）目的 本発明は、簡単な構成でもって１絞込台の停止に位置を
精度良（確保出来る１駁送装置を１に供すること″　　
　　　　　を目ｒ杓としている。

（ニ）構成 本発明は、非磁性材質で形成される搬送路と、下部に永
久磁石が配設され、前記搬送路面の一１方に位置するＩ
ｌｌ送台とを含み、０ｉ１記１般送台番：１前記ＩＡＩ
Ｉ送路面に配された磁性流体と前記永久磁石とにより前
記１ｕｌｌ送路面一１−を浮上さ−Ｕ、リニアモータに
より、前記ＩＭ送台を移送させる搬送装（〃において、
前記）絞送路裏面の予め定めた位置に前記永久磁石との
吸引力を発生させる吸引手段を設け、その吸引手段を動
作さ−Ｕることにより前記１１Ｑ送台を前記予め定めた
４ｉ／、　ｔＷで停止ｌさ・ｌることを特徴とする１１
１１！送装置である。

（ポ）実施例 第１図は本発明の第１実施例のＩ！ｌｉ送装置における
１収速台の進行方向に直角ｔこ切った断１Ｔｉｉ図であ
り、第２図は第１図の八−八“断面図である。

第１図及び第２図において、１は図示しないフレームに
よって固設されたＪＩｆａ性＋Ａ質からなる搬送路であ
り、その１駁送路１の断面は開ｌ＋！ｆｊ又は１（１ｈ
蟻溝状に形成されて、本体部ＩＩ、カバ一部１２及び収
納部１３と区別されている。

２はリニアモータの固定子であり、前記カバ一部１２の
上面にその長手方向に所定間隔を経て複数＋ＩＩＩＩ対
で配設されている。

３は被１般送物をＩｌｉ送するｊ絞込台であり、前記１
１ｉ１送路ｌに沿って走行するように配置される。この
１１１送台３は、図示しない被搬送物が載置される底面
３１と、）駁送路１の収納部１３に配置される略Ｔ字形
の肪１部３２とで構成されている。前記底面３１は、リ
ニアモータのリアクションプレ−１・とじて作用するも
のであり、例えばアルミニウムや銅板等の導電性材料に
て構成され、固定子２と所定の空隙を介して相対向し、
前記固定子２とでもってリニアモータを構成する。脚部
３２の底面には、永久磁石４が固設さており、この永久
磁石４と搬送路１の収納部Ｉ３との間には、所定の磁性
流体５が介在されている。ＣはＩＭ送台３が停止ずべき
目的地である。６は図示しないフレームで搬送路１の下
面に１収送台３を停止させるべき目的地Ｃに固設された
鉄片部（説明後記）を昇降させるプランジャ機構であり
、鉄片？ｉ１；旧、ロット６２及び励磁＝Ｊイルと鉄心
部よりなる励磁部６３とで構成され、鉄片部旧はロッド
６２の先端に固着され、励磁部６；）を励磁することに
よりロソｔ”　６２を上昇さ−Ｕ、励磁を解くとロッド
ｆｉ２が下降する構造とする。

次に、−１−述した構成の１ｕｌｌ送装置の停止制御方
法の動作について説明する。

まず、ＩＭ送台３の脚部３２に設けた永久磁石４によっ
て発生される磁界の影響で、磁性流体５は磁化される。

即ち、常に搬送台３ば浮上した状態を維持しているから
、リニアモータの駆動力にて適宜方向にｔｉｌｌ送台３
を搬送路１に沿って移送さゼることかできる。搬送台３
が停止するべき目的地Ｃの近傍に接近すると、プランジ
ャ機構６の励磁部６３を励磁しロッド６２を上昇させ鉄
片部６１を搬送路１の下面に近接させる。

搬送台３が停止するべき目的地Ｃに移送されてくると、
鉄片部６１とＩｌｌ送台３の脚部３２の底面に固設され
た永久磁石４との相互の電磁作用により吸引力が発生し
、その作用で）絞込台３には停止制動力が生じることに
なり前記相互の吸引力が最大になる永久磁石４の中心と
鉄片部旧の中心が一致する位置すなわち目的地Ｃで搬送
台３は停止することになる。このようにＩｌｌ送台３を
電磁気的吸引力により停止さ−Ｕるので精度良く安定し
て停止させることができる。

尚、搬送台３が停止１−るべき目的地Ｃで停止時にロッ
ド６２を１−昇させておけば搬送台３に常時吸引力が作
用するので、その位置で搬送台３は制動力の作用した状
態を保持できる。

又、固定子２を停止目的地Ｃに配設し、搬送台３を移送
する為の推力を発生さ・けると共に、搬送台３の停止時
に並相励磁を行い１絞込台３の進行方向と逆方向の推力
を発生させ、その逆推力を−に記鉄片部６１と永久磁石
４との相互作用により発生する停止制動力を伺加さずこ
とにより、一層効率良く搬送台３を停止させることもで
きる。

＋１ｉ送台３を停止させるべき目的地Ｃより再起動し、
次の目的地へ移送する時は、励磁部６３の励磁２、　　
　　　　　を解き’　ｙ　Ｆ’６２を所定の位置まで下
降させ・鉄片部６１と永久磁石４とによる相互吸引力に
よる停止制動力を解除し、固定子２に励磁を行いＨ１力
を発生さゼるごとにより搬送台３を移送させるごとが出
来る。

停止させるべき「１的池Ｃで）絞込台３を停」Ｉさせる
必要が無い場合番、１、鉄片部６１を−１−昇さ−Ｕず
に下降させた状態とするごとにより可能なのは勿論であ
る。

鉄片部旧を昇降させる機構は本実施例ではプランジャ機
構としたがこの機構はこれに限定されるものでな（例え
ばシリンダー等の昇降ｉｉＪ能な機構であれば良い。

第３図は本発明の第２実施例の旧法装置に才ｉＪる１絞
込台３の進行方向に直角に切った１ＩＪｉ面図であり、
第４図は第３図のＡ−Ａ“断面図である。

本実施例において第１の実施例と異なるとごろは、第１
の実施例の鉄片部６１を永久磁；７−＋　７１の構成と
したことである。７は、図示しないフレーム（１駁送路
１の下面に搬送台３を件１トさ一υるへきＩ−１ｒｌ’
Ｊ地Ｃに固設された永久磁石７１を屏隆さｌプランジャ
機構であり、永久磁石部７１、ロッド７２及び励磁コイ
ルと鉄心部よりなる励磁部７３とで構成される。

永久磁石部７１はロッド７２の先端に固着され、励磁部
７３を励磁することによりロッド７２を上昇させ励磁を
解くと１１ソド７２が下降する構造とする。搬送台脚部
３２の底面に固設される永久磁石４とプランジャ機構７
の永久磁石７１は相互にそれぞれ吸引し合う配置とする
。前記以外の構成は第１の実施例と同様である。

搬送台３が停止にするべき目的地Ｃの近傍に接近すると
、プランジャ機構７の励磁部７３を励磁し、ロッド７２
を上昇させ永久磁石７１を搬送路１の下面に近接させる
。

搬送台３が停止する目的地Ｃに移送されてくると、永久
磁石７１と１ｕｌｌ送台３の脚部３２の底面に左折され
た永久磁石４との相互の電磁作用により吸引力が発生し
、その作用でＩＭ送台３には停止制動力が生しることに
なり前記相互の吸引力が最大になる永久磁石４の中心と
永久磁石７１の中心とが一致する位置、ずなわち停止ず
べき目的地ｃＴ：ｌｌＪ送台３が停止することになる。

このように、本装置は電磁気的吸引力により１絞込台３
を停＋Ｌさせるので、精度良く安定して停止１゛。

させることができ、第１の実施例と同様のリノ果を奏す
る。

第５図は本発明の第３実施例の１般送装置におりる１ｕ
ｌｌ送台３の進行方向に直角に切った断面図であり、第
６図は第５図のＡ−Ａ′断面図である。

本実施例において第１の実施例と異なるところは、第１
の実施例の鉄片部６１を昇降させる機構を電磁石８の構
成としたことである。電磁石８ば図示しないフレームで
１ｕｌｌ送路１の下面にＩＭ、送台３を停止させるべき
目的地Ｃに左折され励磁することにより磁力を発生させ
る構造とする。前記以外の構成は第１の実施例と同様で
ある。

搬送台３が停止するべき目的地Ｃの近傍に接近すると、
電磁石８が励磁される。搬送台３が停止１させるべき目
的地Ｃに移送されてくると、電磁石８により発生ずる磁
力と搬送台１の脚部３２の底面に固設された永久磁石４
との相互の電磁作用により吸引力が発生し、その作用で
）絞込台３には停止制動力が生じることになり、前記用
Ｊ７．の吸引力が最大になる永久磁石４の中心と電磁石
８の中心が一致する位置ずなわち停止Ｆ目的地Ｃで停止
トするごとになる。このように本装置は電磁気的吸引力
により停止さ−けるので、１順送台３を精度良く安定し
てｆ亭１）二さ−ｌることかできる。

尚、１順送台３が停＋１．　［１的地０で停止１時に電
磁石８を励磁しておｉＪぽ）絞込台３に常時吸引力が作
用するので、その位置で１順送台３Ｇ、［制動力が作用
した状態を保持できる。

１順送台３を停止さ−ｌ゛るべき目的地Ｃ３Ｌ、り再起
動し、次の目的地へ移送する時は、電磁石８の励磁を解
き永久磁石４とによる相互吸引力による停止１゜制動力
を解除し、固定イ２に励磁を行いｌ仕方を発生さゼるこ
とにより１ｕｌｌ送台３が移送することが１１１来る。

停止させるべき目的地Ｃで停止させる泊・要がない場合
は、電磁石８を励磁しなりＪれば良いことは挿　　　　
　　勿論である。本実施例によると、第１の実施例によ
るりｊ果の他に機械的に動作する部分か無く横浩も簡１
１゛１であり）、動作音も発生しない信用を秦１ｒ１゜
又塵埃か殆ど発生ずることがないので特にクリーンルー
ム内において使用するのに最適であ乙。

前記説明した如くいづれの実施例に才几）でも毘送台を
停止さ−ｌるに際し′Ｃリニアモータの巻線の励磁を切
替える等の凍着（な制御回路を必要と−１ずに、１般送
装置を精度良く定位置に停止１さ・けることが実現出来
る。

（・＼）効果 本発明によれば、前記実施例で説明した如く、下記の効
果を有する。

（１）簡ｒｌ′ｉな構成でもって複雑な制御回路も必要
と−１ずＩＭｊス台を常に安定した一定位置に精度良く
停止トさ〜ｌることが実現できる。

（２）機械的方法でなく、電磁気的方法で停止さ一υる
ので１！！）送台の停止時の衝撃が少ない。

（３）Ｉ亭＋Ｌ　’１１４）制動力を作用さ−Ｕること
が可能なので１順送台を安定した状態に保持できる。

（４）鉄片及び永久磁石の昇降機構の一１昇下Ｉｌｌ又
番１１−電磁石の励磁の有無によりＩｔ！！送台の停止
に点を簡ｒｌｊに自由ｔこ選択できる。

（５１Ｖｌｉ埃を発生−Ｕず装置が簡便なので、設備費
用及び維持費用の面において優れているのでクリーンル
ーム内におｉＪる搬送装置としも好適である。

【図面の簡単な説明】

第１図番才本発明の第１実施例の搬送装置における搬送
台の進行方向に直角に切った断面図、第２図は第１図の
Ａ−Ａ’断面図、第３図は第２実施例の搬送装置におけ
る搬送台の進行方向に直角に切った断面図、第４図は第
３図のＡ−Ａ′断面図、第５図は第３実施例の搬送装置
におりる＋１！Ｉ送右の進行方向に直角に切った断面図
、第６図は第５図のＡ−Ａ“断面図である。 １・・・搬送路、２・・・固定子、３・・・ｔｌｔｉ送
台、４、永久磁石、５・・・磁性流体、６・・・鉄片部
昇降用プランジャ機構、６１・・・鉄片部、６２・・・
ロッド、６３・・・励磁部、７・・・永久磁石昇降用プ
ランジャ機構、７Ｉ・・・永久磁石、７２・・・ロッド
、７３・・・１励磁部、８　・・・電磁石、Ｃ・・・停
止１目的地。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）非磁性材質で形成される搬送路と、下部に永久磁
   石が配設され、前記搬送路面の上方に位置する搬送台と
   を含み、前記搬送台は前記搬送路面に配された磁性流体
   と前記永久磁石とにより前記搬送路面上を浮上させ、リ
   ニアモータにより、前記搬送台を移送させる搬送装置に
   おいて、前記搬送路裏面の予め定めた位置に前記永久磁
   石との吸引力を発生させる吸引手段を設け、その吸引手
   段を動作させることにより前記搬送台を前記予め定めた
   位置で停止させることを特徴とする搬送装置。
2. （２）前記吸引手段は昇降可能な鉄片を含み構成され、
   前記搬送台を停止させる際、前記鉄片を上昇させること
   を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の搬送装置。
3. （３）前記吸引手段は昇降可能な永久磁石を含み構成さ
   れ、前記搬送台を停止させる際、前記永久磁石を上昇さ
   せることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の搬送
   装置。
4. （４）前記吸引手段は電磁石を含み構成され、前記搬送
   台を停止させる際、前記電磁石を励磁させることを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の搬送装置。