JPH05199616A

JPH05199616A - 搬送装置の制御装置

Info

Publication number: JPH05199616A
Application number: JP4006366A
Authority: JP
Inventors: Tadayuki Kojima; 忠幸小島; Naoto Iwamura; 直人岩村
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1992-01-17
Filing date: 1992-01-17
Publication date: 1993-08-06

Abstract

(57)【要約】【目的】リニア誘導モータを用いてウェーハやマスク
等を各半導体デバイス製造装置間に搬送する搬送装置の
制御装置に関し、サーボ系の応答性の高速化、拘束範囲
の広域化及び信頼性の向上を目的とする。【構成】位置検出部Ｂは永久磁石Ｈが取り付けられた
搬送台車Ａの目標停止位置付近の位置を検出する。制御
部Ｃは搬送台車Ａを目標停止位置に停止させるための制
御信号を発生する。ドライバ部Ｄはコイル切換部Ｇを通
してコイル部Ｅを構成する一つ又は二つのコイルに駆動
電流を供給し、永久磁石Ｈの磁界との相互作用により搬
送台車Ａに制動力を与える。コイル選択信号発生部Ｆは
位置検出部Ｂよりの信号に基づいて搬送台車Ａの位置情
報及び移動速度を検出して、それらに応じたコイル選択
信号を発生し、コイル部Ｅのうちの一つ又は二つのコイ
ルを選択する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は搬送装置の制御装置に係
り、特に直流リニアモータを用いて、ウェーハやマスク
等を各半導体デバイス製造装置間に搬送する搬送装置の
制御装置に関する。

【０００２】近年、半導体デバイスの大規模、大容量化
の要求に伴い、そのデザインルールは益々微細化されて
きており、例えば半導体デバイスの製造過程において発
塵が起こった場合、発塵によって配線等に障害が生じ製
品不良を生じるおそれがある。従って、半導体デバイス
製造過程では発塵の無いクリーンな環境が必要である。

【０００３】発塵の原因は大別すると、(1) 人的要因と
(2) デバイス製造装置内部（搬送装置も含む）の要因と
に分けられる。発塵を抑えるためには(1) の人的要因に
関しては人的削減、つまり工場の自動化（ＦＡ化）を行
なうことであり、(2) のデバイス製造装置内部の要因に
関しては、装置個々に発塵対策を施すことである。特に
ウェーハやマスク等を各半導体デバイス製造装置間の搬
送を行なう搬送装置においては、高速、高信頼で、しか
もクリーンな（発塵の無い）搬送が要求されているた
め、搬送ライン（レール）との摺動部分を持たない磁気
浮上搬送台車が用いられている。

【０００４】ところが、この磁気浮上搬送台車を所望の
デバイス製造装置の位置に高速停止させるようにしよう
とした場合、目標停止位置にある方向から進入してくる
磁気浮上台車に対して、台車移動方向と反対方向に制動
力（リニアモータ等で）を与え、目標停止位置で台車速
度がゼロとなるようにすれば良いが、台車が常時浮上し
ているため台車とレールとの摩擦が無く、よって僅かな
外乱要素（例えばレールの傾き等）が加わっただけでも
台車は移動していってしまう。従って、磁気浮上台車で
ある搬送装置を所望の停止位置に高速で、しかも正確に
停止制御することが重要とされる。

【０００５】

【従来の技術】図１２は従来装置の一例の概略構成図を
示し、同図（Ａ）は側面図、同図（Ｂ）は正面図を示
す。同図中、磁気浮上台車１は断面がＴ字状のレール２
を覆うべく断面が略Ｃ字状とされており、上面に被搬送
物が載置される。この磁気浮上台車１のレール２の対向
部分には磁石（図示）が形成されており、この磁石とレ
ール２との間に作用する磁気力によって磁気浮上台車１
が浮上する。

【０００６】また、磁気浮上台車１には側面より外側に
Ｌ字状部材３を介して磁性材（一般には鉄等）４が固定
されている。この磁性材４の高さ位置より若干高い位置
と若干低い位置であって、かつ、磁性材４を挟むように
目標停止位置に電磁石５ａ，５ｂが設けられている。

【０００７】図示しないリニアモータによって図１２
（Ａ）中、右方向に力を付勢されて磁気浮上台車が移動
してきた場合、磁気浮上台車１は電磁石５ａ及び５ｂと
磁性材４との間の磁気吸引力によって、電磁石５ａ及び
５ｂの在る目標停止位置に停止位置決めされる。

【０００８】しかし、この従来の搬送装置の制御装置で
は、拘束範囲が狭く、拘束範囲を広げようとすると台車
側の磁性材４を大型にする必要があるため、磁気浮上台
車１の重量が増加し、停止時間の増加を招く。更に上記
の従来装置では磁気浮上台車１とレール２との間の摩擦
が無いため、停止位置決めの際にバネ等に類似した減衰
振動状態となり、目標停止位置で完全に静止するまでに
時間がかかってしまう。

【０００９】そこで、本出願人は先に特願平２−１９４
２８３号にて図１３に示す如き搬送装置を提案した。同
図中、台車６は断面が略Ｃ字状とされており、外部上面
にはウェーハやマスク等が載置される載置台７が設けら
れ、内部側面には案内用磁石８ａ，８ｂが設けられ、内
部下面上には浮上用磁石９ａ，９ｂが形成され、内部上
面には２次導体１８が形成されている。

【００１０】また、台車６は断面がＴ字状のレール１０
を内包している。レール１０の上面の所定位置にはリニ
ア誘導モータ１１が設けられ、また下面に複数の磁性材
製の突部１２ａ，１２ｂが形成されている。突部１２ａ
は浮上用磁石９ａに離間対向し、突部１２ｂは浮上用磁
石９ｂに離間対向配置されるため、磁石９ａ，９ｂによ
る磁気吸引力によって台車６がレール１０に離間した浮
上状態とされる。

【００１１】また、台車６の外側下面にはバッテリ１３
と永久磁石１４ａ及び１４ｂが設けられ、更にスリット
板１５が設けられている。バッテリ１３は案内用磁石８
ａ，８ｂ，浮上用磁石９ａ，９ｂ等を駆動するために設
けられている。永久磁石１４ａ及び１４ｂは所定距離離
間して配置されている。スリット板１５は等間隔でスリ
ットが複数穿設された薄板である。

【００１２】一方、台車３の目標停止位置には前記リニ
ア誘導モータ１１が設けられ、また電磁石１６が永久磁
石１４ａ，１４ｂ間の隙間に丁度位置する高さに配設さ
れると共に、スリット板１５を挟むようにエンコーダ１
７が固定配置されている。エンコーダ１７は発光素子と
受光素子からなり、それらによって形成される光路をス
リット板１５が横切ることにより、台車６の位置を検出
する。リニア誘導モータ１１は磁界を発生して台車６に
設けられた２次導体１８にうず電流を流し、台車６に対
して制動力又は起動力を与える。

【００１３】上記の本出願人の提案装置によれば、台車
６が目標停止位置（ステーション）付近にくると、リニ
ア誘導モータ１１によって減速される一方、スリット板
１５がエンコーダ１７によって検出され、エンコーダ１
７から台車６の速度に応じた周期の検出パルスが取り出
される。この検出パルスは図示しない制御回路を通して
図１４（Ａ）のドライバ部１９に供給され、ここで制御
信号の周期に応じたレベルの電流に変換された後、電磁
石１６に駆動電流として供給される。これにより、電磁
石１６と永久磁石１４ａ，１４ｂ間で作用する力の強さ
及び向きが可変制御される。

【００１４】このようにして、上記提案装置によれば台
車６が目標停止位置より近付くにつれて台車６に対して
反発力を徐々に弱くなるように付与し、目標停止位置に
台車６が来たときに吸引力に切換えることで、短時間で
目標停止位置に台車６を停止位置決めすることができ
る。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】上記の本出願人の提案
装置では、目標停止位置付近での台車停止位置決め拘束
範囲を広く取るため、電磁石１６のコイル部の長さを長
くしている。しかるに、この電磁石１６のコイル部は図
１４（Ａ）に示すコイル部の左端から右端までを同図
（Ｂ）に示す如く一本のコイル１６ａで指定回数巻いた
構成であるため、コイル部が長くなると当然にコイル抵
抗が必然的に大きくなる。

【００１６】上記の電磁石１６は図１５（Ａ）に示す等
価回路で表わされ、コイル１６ａのインダクタンスＬと
コイル抵抗Ｒとが直列接続された構成であるから、コイ
ル抵抗Ｒが大きくなると、同図（Ｂ）に示す如く電圧Ｖ
がステップ的に印加された場合、同図（Ｃ）に示す如く
駆動電流の立ち上がりが遅くなり、サーボ系の応答性に
遅れが生じるという問題が生じる。

【００１７】また、コイル１６ａの内部で熱（消費電力
はｉ²・Ｒ（Ｗ））が発生するため、特に搬送頻度が高
くなると、コイル１６ａ内部で発生した熱の放熱がうま
くいかない場合、コイル１６ａの内部で蓄熱状態とな
り、益々コイル抵抗Ｒの増加を招き、このことからもサ
ーボ系の応答性に遅れを生じてしまう。また、コイル内
部の発熱は、コイル１６ａの巻線（一般にはエナメル
線）の絶縁劣化を招き、信頼性を低下させてしまう。

【００１８】本発明は上記の点に鑑みなされたもので、
台車停止位置決め拘束範囲を広く取ることができ、応答
性が速くしかも低消費電力の搬送装置の制御装置を提供
することを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】図１は本発明の原理構成
図を示す。同図中、位置検出部Ｂは永久磁石Ｈが取り付
けられた搬送台車Ａの目標停止位置付近の位置を検出す
る。制御部Ｃは位置検出部Ｂからの検出信号を演算して
前記搬送台車Ａを前記目標停止位置に停止させるための
制御信号を出力する。ドライバ部Ｄは制御部Ｃからの制
御信号を駆動電流に変換する。

【００２０】コイル部Ｅは搬送台車Ａの目標停止位置
に、搬送台車Ａの進行方向に沿って設けられた複数個の
コイルからなる。コイル選択信号発生部Ｆは、位置検出
部Ｂからの検出信号に基づき、前記永久磁石Ｈがコイル
部Ｅ内の複数個のコイルのうち磁力が有効に作用する領
域にあるコイルを選択する選択信号を発生する。

【００２１】コイル切換部Ｇはコイル選択信号発生部Ｆ
からの選択信号により、ドライバ部Ｄからの駆動電流
を、前記永久磁石Ｈからの磁力がコイル部Ｅ内の有効に
作用する領域のコイルに切換入力する。

【００２２】

【作用】本発明のコイル部Ｅは図２に示す如く搬送台車
Ａの進行方向と平行な方向に複数個（例えば５個）配列
されたコイルＣａ〜Ｃｅよりなり、各々のコイル長はｌ
₂である。一方、位置検出部Ｂは図２に示す如く、コイ
ルＣａ〜Ｃｅの各々に対応して位置検出センサＳａ〜Ｓ
ｅがピッチｌ₃で設けられた構成とされている。

【００２３】搬送台車Ａにはスリット板２０と永久磁石
Ｈが対応して取り付けられており、スリット板２０の長
さは位置検出センサＳａ〜Ｓｅの配列ピッチｌ₃より若
干長めとされている。また、永久磁石Ｈの長さｌ₁は１
個のコイルの長さｌ₂の２倍より少し短めとしている。

【００２４】スリット板２０と永久磁石Ｈの位置は対応
しているから、位置検出センサＳａ〜Ｓｅにより検出さ
れたスリット板２０の位置から、コイルＣａ〜Ｃｅのう
ち永久磁石Ｈの磁界が有効に作用するコイルの位置を検
索できる。

【００２５】また、コイル切換部Ｇは図３に示す如く、
ドライバ部Ｄから取り出される駆動電流を通過又は遮断
するスイッチＫ１〜Ｋ５を有し、スイッチＫ１〜Ｋ５は
コイル部Ｅ内のコイルＣａ〜Ｃｅに夫々専用に設けられ
ている。スイッチＫ１〜Ｋ５は位置検出センサＳａ〜Ｓ
ｅの検出信号が入力されるコイル選択信号発生部Ｆから
の信号によってスイッチング制御される。

【００２６】これにより、或る方向から進入してきた搬
送台車Ａをステーションの目標位置（コイル部Ｅの範囲
内）に制動停止位置決めを行なう場合、搬送台車Ａの位
置に対応したコイルにのみ駆動電流がコイル切換部Ｇを
通して供給されるため、コイル抵抗を本出願人の提案装
置に比し低減することができる。

【００２７】

【実施例】図４は本発明の第１実施例の構成図を示す。
同図中、図１〜図３と同一構成部分には同一符号を付し
てある。図４において、位置検出板３１は搬送台車（図
示せず）の例えば側面に取付固定された四角錐状の板
で、横断面が図示の如く三角形状とされている。

【００２８】光学変位センサ３２はステーションにおい
て位置検出板３１と同一高さ位置に配置されたセンサ
で、位置検出板３１との変位量に応じて図５に示す如き
特性に基づきアナログ信号電圧を出力する。位置検出板
３１と光学変位センサ３２は位置検出部Ｂを構成してい
る。

【００２９】搬送台車と共に移動する永久磁石Ｈはコイ
ルＣａ〜Ｃｅを両側から挟み込む構成とされており、コ
イル面に対し磁極が同極（この場合、Ｎ極）となるよう
に取り付けてある。また、コイル選択信号発生部Ｆは図
２と共に説明したように、搬送台車と共に移動するスリ
ット板２０が、ステーションに固定された位置検出セン
サＳａ〜Ｓｅのどの位置検出センサで検出されるかの検
出信号に応じてコイル切換部Ｇへ選択信号を出力する。

【００３０】次に本実施例の動作について説明する。例
えば搬送台車が図の左から右方向へ移動してきてＰ３の
位置に停止させるものとする場合、まず台車位置がＰ１
のときにはスリット板２０が位置検出センサＳａのみに
よって検出され、かつ、光学変位センサ３２からは位置
検出板３１との距離が最長のため、例えば負極性の最大
レベルの位置検出信号が取り出される。

【００３１】位置検出センサＳａのみから検出信号が取
り出されるときはコイル切換部ＧはコイルＣａにのみ駆
動電流を選択出力するように内部のリレー接点がスイッ
チング制御される。一方、光学変位センサ３２の出力信
号は制御部Ｃ及びドライバ部Ｄに入力されて例えば最大
レベルの負極性の駆動電流に変換された後、コイル切換
部Ｇを通してコイルＣａに供給される。これにより、コ
イルＣａに流れる電流と永久磁石Ｈによる磁界とにより
フレミングの左手の法則に従って最大の反発力が生じ、
搬送台車に対して大きな制動力が働く。

【００３２】搬送台車Ａがこの制動力に抗して更に移動
してＰ２の位置にくると、スリット板２０が位置検出セ
ンサＳｂ及びＳｃにより検出され、また光学変位センサ
３２と位置検出板３１との距離が前回より若干長くな
る。これにより、光学変位センサ３２から負極性で前回
よりややレベルの小なる検出信号が取り出され、制御部
Ｃ，ドライバ部Ｄ及びコイル切換部Ｇを夫々通してコイ
ルＣｂ及びＣｃにのみ中レベルの駆動電流が流される。

【００３３】すると、コイルＣｂ及びＣｃに流れる電流
と永久磁石Ｈの磁界とによりフレミングの左手の法則に
従って前回よりやや弱い中程度の反発力が生じ、搬送台
車に対して弱い制動力が働く。更に、搬送台車がＰ３の
位置にまで移動すると、光学変位センサ３２の出力信号
がゼロとなり、コイルＣａ〜Ｃｅは通電されない。更に
搬送台車が慣性によりＰ４の位置にまで進むと、今度は
光学変位センサ３２より正極性で中程度のレベルの検出
信号が取り出される。すると、ドライバ部Ｄからは今ま
でとは逆極性の駆動電流が取り出される。このとき、ス
リット板２０が位置検出センサＳｃ及びＳｄにより検出
されるために、上記駆動電流はコイル選択部Ｇからコイ
ルＣｃ及びＣｄに供給され、コイルＣｃ及びＣｄと永久
磁石Ｈとの間に比較的小なる吸引力を発生させ、搬送台
車に対して移動方向と反対方向に力を付勢する。

【００３４】搬送台車が更にＰ５，Ｐ６の位置に進むほ
ど上記の説明から明らかに類推できるように、大なる吸
引力がコイルＣｄ，Ｃｅと永久磁石Ｈとの間に発生し、
搬送台車をより強く引き戻そうとする力が働く。このよ
うにして、搬送台車は光学変位センサ３２の出力信号が
ゼロとなる位置Ｐ３に、短時間で停止位置決めされる。

【００３５】このとき、本実施例によれば、コイル部Ｅ
を構成する５つのコイルＣａ〜Ｃｅのうちの一つ又は二
つのみに駆動電流が通電されるため、本出願人が先に提
案した装置に比しコイル長が短いコイルに通電されるこ
ととなり、コイル抵抗が減少し、応答特性を高速にでき
ると共にコイル内の発熱量も低減できるため、信頼性を
向上することができる。なお、コイル切換部Ｇのスイッ
チＫ１〜Ｋ５はトランジスタ等の半導体スイッチング素
子でもよいことは勿論である。

【００３６】次に本発明の第２実施例について図６の構
成図と共に説明する。同図中、図４と同一構成部分には
同一符号を付し、その説明を省略する。本実施例はコイ
ル選択信号発生部Ｆがスリット板２０と位置検出センサ
Ｓａ〜Ｓｅとの構成によるものではなく、演算増幅器を
使用したウィンドコンパレータ３５を複数個並列に配し
た構成とした点に特徴がある。

【００３７】図６において、光学変位センサ３２の出力
信号は制御部Ｃに入力される一方、複数個のウィンドコ
ンパレータ３５に夫々入力される。これらの複数個のウ
ィンドコンパレータ３５は互いにしきい値範囲が異なる
ように構成されている。すなわち、ウィンドコンパレー
タ３５が５個並列に設けられているものとすると、光学
変位センサ３２の出力信号は正の最大値から負の最大値
までのレベル範囲を重複部分があるように５等分に分割
されて検出される。従って、５個のウィンドコンパレー
タ３５のうちの１個又は２個から所定論理レベルの信号
が取り出され、コイル切換部Ｇの５つのスイッチＫ１〜
Ｋ５をスイッチング制御する。

【００３８】本実施例も第１実施例と同様にして搬送台
車を非接触で、高速の応答特性により停止位置決めする
ことができる。

【００３９】次に本発明の第３実施例について図７乃至
図９と共に説明する。図７は本発明の第３実施例の構成
図、図８は図７の要部の構成図、図９は図７の要部の動
作説明用タイムチャートで、図７中、図１と同一構成部
分には同一符号を付し、その説明を省略する。本実施例
はコイル選択信号発生部Ｆとして第１実施例のようなス
リット板２０と位置検出センサＳａ〜Ｓｅの構成や、第
２実施例のような位置検出板３１と光学変位センサ３２
とウィンドコンパレータ３５との構成ではなく、図７及
び図８に示す如く搬送台車Ａの例えば進行方向右側と左
側に各々第１及び第２のリニアエンコーダ４１ａ及び４
１ｂを夫々設けると共に、目標停止位置であるステーシ
ョンの入口と出口にリニアエンコーダセンサ４２ａ（４
２ｂ）と４３ａ（４３ｂ）を設けた構成とした点に特徴
を有する。

【００４０】リニアエンコーダ４１ａ及び４１ｂは夫々
直線部材の表面に同じ一定周期の凹凸形状が形成されて
おり、かつ、互いに位相が９０°異なるように配置され
ている。移動方向弁別のためである。リニアエンコーダ
センサ４２ａ，４３ａはリニアエンコーダ４１ａの凹凸
を光学的に検出するセンサ、リニアエンコーダセンサ４
２ｂ，４３ｂはリニアエンコーダ４１ｂの凹凸を光学的
に検出するセンサであり、図８ではリニアエンコーダセ
ンサ４２ｂ，４３ｂは４２ａ，４３ａにより隠れている
ために見えない。

【００４１】また、リニアエンコーダセンサ４２ａと４
３ａ（４２ｂと４３ｂ）はリニアエンコーダ４１ａ（４
１ｂ）の凹凸部を同時に検出するときは、同じ形状部分
を検出するように搬送台車Ａの移動方向上の取り付け位
置が設定されている。

【００４２】図７において、リニアエンコーダセンサ部
４４は上記のリニアエンコーダセンサ４２ａ，４２ｂ，
４３ａ及び４３ｂと移動方向識別回路を有した構成とさ
れており、リニアエンコーダセンサ４２ａ，４３ａの論
理和信号であるＡ相信号とリニアエンコーダセンサ４２
ｂ，４３ｂの論理和信号であるＢ相信号と、それらによ
って識別された方向識別信号とを発生してカウンタ４５
に供給する。

【００４３】ここで、搬送台車Ａの移動方向が図８中右
から左方向のときには、上記のＡ相信号及びＢ相信号は
図９（Ａ），（Ｂ）に示す如くＢ相信号の方が９０°進
んだ相対位相関係になる。一方、搬送台車Ｂの移動方向
が図８中左から右方向のときには、上記のＡ相信号及び
Ｂ相信号は図９（Ｃ），（Ｄ）に示す如くＡ相信号の方
が９０°進んだ相対位相関係になる。

【００４４】カウンタ４５は上記のＡ相信号とＢ相信号
との相対位相関係により弁別された移動方向信号によっ
て加算又は減算動作制御されるアップダウンカウンタ
で、Ａ相信号又はＢ相信号を計数する。このカウンタ４
５の計数値出力は中央処理装置（ＣＰＵ）４６に供給さ
れ、ここで搬送台車Ａのステーションに対する位置情報
と、計数値出力の変化の速さから搬送台車Ａの移動速度
情報とを生成させる。

【００４５】ＣＰＵ４６から取り出された搬送台車Ａの
上記位置情報及び移動速度情報に応じて決定されたサー
ボ定数の値のデータはＤ／Ａ変換器４７でディジタル・
アナログ変換された後、パワーアンプ４８に供給され、
ここで電力増幅されてサーボ定数に応じたレベルの駆動
電流とされる。この駆動電流はコイル切換部Ｇを通して
コイル部Ｅ内の選択されたコイルに供給される。コイル
切換部ＧはＣＰＵ４６からの搬送台車Ａの位置情報に応
じたコイル切換信号により切換え制御される。

【００４６】次に本発明の第４実施例について図１０の
構成図及び図１１の構造図と共に説明する。ここで、図
１０及び図１１中、図４，図７及び図１３と同一構成部
分には同一符号を付し、その説明を省略する。本実施例
では図１０及び図１１に示すように、台車６（すなわち
搬送台車Ａ）の側面に、四角錐状で台車６の幅が漸次大
なるように配置された位置検出板３１と、位置検出板３
１の高さ位置と同じ高さ位置でステーションに設けられ
た光学変位センサ３２とを有し、光学変位センサ３２の
出力アナログ信号を図１０に示すＡ／Ｄ変換器５１に供
給する。

【００４７】図１１に示すコイル部５３はコア５３ａに
コイル５３ｂが巻回された構成のコイル（電磁石）が、
複数個、紙面と垂直方向に直列に整列され、かつ、それ
ら複数個のコイル（電磁石）の総全長が前記本出願人の
提案装置の電磁石１６と同一長か又はそれより長くされ
た構成とされており、前記コイル部Ｅを構成している。
この複数個のコイル（電磁石）の各々は互いに独立して
通電されるようになされている。

【００４８】また、光学変位センサ３２の出力アナログ
信号はレベルが光学変位センサ３２と位置検出器３１と
の間の距離、すなわち台車６（搬送台車Ａ）のステーシ
ョンでの位置を示しており、またそのレベル変化の割合
及び方向が台車６（搬送台車Ａ）の移動速度及び移動方
向を示している。

【００４９】従って、図１０のＡ／Ｄ変換器５１からは
光学変位センサ３２の出力アナログ信号をアナログ・デ
ィジタル変換して得た台車６の位置情報及び速度情報デ
ータが取り出され、ＣＰＵ５２に供給される。ＣＰＵ５
２は上記の位置情報に応じてコイル切換部Ｇを切換え制
御すると共に、位置情報及び速度情報データに応じてサ
ーボ定数を決定し、パワーアンプ４８よりコイル駆動電
流を出力させる。本実施例も上記の各実施例と同様の特
長を有する。

【００５０】

【発明の効果】上述の如く、本発明によれば、搬送台車
の進行方向に沿って設けられた複数個のコイルのうち、
搬送台車の位置に応じて一又は二つのコイルのみに駆動
電流を流すようにしたため、複数のコイルの各コイル長
の総和に等しい長さのコイルに駆動電流を流して搬送台
車を移動する本出願人の提案装置に比し、コイル抵抗を
小さくでき、よって応答特性を高速にできると共にコイ
ル内の発熱量及び消費電力も削減でき、大幅に信頼性を
向上でき、また前記提案装置に比し搬送台車の停止位置
決め拘束範囲を広げることができる等の特長を有するも
のである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の原理構成図である。

【図２】位相検出部及びコイル部の関係を示す図であ
る。

【図３】コイル部及びコイル切換部の関係を示す図であ
る。

【図４】本発明の第１実施例の構成図である。

【図５】光学変位センサの特性図である。

【図６】本発明の第２実施例の構成図である。

【図７】本発明の第３実施例の構成図である。

【図８】図７の要部の構成図である。

【図９】図７の動作説明用タイムチャートである。

【図１０】本発明の第４実施例の構成図である。

【図１１】本発明の第４実施例の構造図である。

【図１２】従来装置の一例の概略構成図である。

【図１３】本出願人が先に提案した搬送装置の一例の構
造図である。

【図１４】本出願人の提案装置の概略構成図である。

【図１５】図１３の課題説明図である。

【符号の説明】

Ａ搬送台車Ｂ位置検出部Ｃ制御部Ｄドライバ部Ｅコイル部Ｆコイル選択信号発生部Ｇコイル切換部Ｈ永久磁石Ｃａ〜ＣｅコイルＳａ〜Ｓｅ位置検出センサＫ１〜Ｋ５スイッチ２０スリット板３１位置検出板３２光学変位センサ３５ウィンドコンパレータ４１ａ，４１ｂリニアエンコーダ４４リニアエンコーダセンサ部４６，５２中央処理装置（ＣＰＵ）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】永久磁石（Ｈ）が取り付けられた搬送台
車（Ａ）の目標停止位置付近の位置を検出する位置検出
部（Ｂ）と、該位置検出部（Ｂ）からの検出信号を演算して前記搬送
台車（Ａ）を前記目標停止位置に停止させるための制御
信号を出力する制御部（Ｃ）と、該制御部（Ｃ）からの制御信号を駆動電流に変換するド
ライバ部（Ｄ）と、前記搬送台車（Ａ）の目標停止位置に、搬送台車（Ａ）
の進行方向に沿って設けられた複数個のコイルからなる
コイル部（Ｅ）と、前記位置検出部（Ｂ）からの検出信号に基づき、前記永
久磁石（Ｈ）が前記コイル部（Ｅ）内の複数個のコイル
のうち磁力が有効に作用する領域にあるコイルを選択す
る選択信号を発生するコイル選択信号発生部（Ｆ）と、該コイル選択信号発生部（Ｆ）からの選択信号により、
前記ドライバ部（Ｄ）からの駆動電流を、前記永久磁石
（Ｈ）からの磁力が前記コイル部（Ｅ）内の有効に作用
する領域にあるコイルに切換入力し、該コイルに流れる
電流と該永久磁石（Ｈ）の磁力により生じる力により前
記搬送台車（Ａ）を制動させるコイル切換部（Ｇ）とを
有することを特徴とする搬送装置の制御装置。
【請求項２】前記位置検出部（Ｂ）及び前記コイル選
択信号発生部（Ｆ）は、前記搬送台車（Ａ）に固定され
たスリット板（２０）と、前記コイル部（Ｅ）を構成す
る複数個のコイルの位置に対応して設けられた複数個の
位置検出センサ（Ｓａ〜Ｓｅ）とからなることを特徴と
する請求項１記載の搬送装置の制御装置。
【請求項３】前記コイル選択信号発生部（Ｆ）は、前
記位置検出部（Ｂ）からの検出信号に基づき、前記搬送
台車（Ａ）の前記コイル部（Ｅ）に対する相対位置情報
と共に、該搬送台車（Ａ）の移動速度情報に応じた選択
信号を発生することを特徴とする請求項１記載の搬送装
置の制御装置。
【請求項４】前記位置検出部（Ｂ）は、前記搬送台車
（Ａ）に取り付けられ、該搬送台車（Ａ）の幅を進行方
向に漸次大又は小とする位置検出板（３１）と、前記目
標停止位置に固定され、該位置検出板（３１）との相対
距離に応じたレベルの信号を発生する光学変位センサ
（３２）とよりなることを特徴とする請求項１記載の搬
送装置の制御装置。
【請求項５】前記コイル選択信号発生部（Ｆ）は、前
記光学変位センサ（３２）の出力信号の最大値から最小
値までのレベル範囲を複数個の検出レベル範囲に分割し
て、各々の検出レベル範囲毎に別々に該光学変位センサ
（３２）の出力信号をレベル比較して選択信号を発生す
る複数個のウィンドコンパレータ（３５）よりなること
を特徴とする請求項４記載の搬送装置の制御装置。
【請求項６】前記位置検出部（Ｂ）は前記搬送台車
（Ａ）に取り付けられた、一定周期の凹凸形状のリニア
エンコーダ（４１ａ，４１ｂ）と、該リニアエンコーダ
（４１ａ，４１ｂ）の凹凸部を、前記目標停止位置付近
で検出するリニアエンコーダセンサ部（４４）とよりな
ることを特徴とする請求項１記載の搬送装置の制御装
置。
【請求項７】前記コイル選択信号発生部（Ｆ）は前記
光学変位センサ（３２）又はリニアエンコーダセンサ部
（４４）からの信号に基づいて前記搬送台車（Ａ）と目
標停止位置との相対位置関係を示す情報と相対速度情報
とに応じた選択信号を発生する中央処理装置（４６，５
２）を含む回路手段であることを特徴とする請求項４又
は６記載の搬送装置の制御装置。