KR20190080386A

KR20190080386A - 자기 부상이송 장치

Info

Publication number: KR20190080386A
Application number: KR1020170182795A
Authority: KR
Inventors: 임광윤
Original assignee: (주)가온솔루션
Priority date: 2017-12-28
Filing date: 2017-12-28
Publication date: 2019-07-08
Also published as: KR102213655B1

Abstract

본 발명은 자기 부상이송 장치에 관한 것이다. 구체적으로 본 발명의 일 실시예에 따르면, 타겟을 지지하면서, 상기 타겟을 이송시키기 위해 제공되는 트레이; 및 내측에 상기 트레이가 수용될 수 있도록 상면이 개방되고, 내측에 수용된 상기 트레이를 부상시키면서 상기 트레이의 이동을 안내하는 안내부를 포함하는 이송 궤도를 포함하고, 상기 안내부는, 하부에 제공되는 궤도측 부상 자석; 상기 궤도측 부상 자석의 상측에 제공되는 궤도측 안내 자석; 및 상기 트레이가 수용되는 공간을 향해 자력을 발생시키도록 구비되는 안내 전자석을 포함하고, 상기 트레이는, 상기 궤도측 부상 자석에 대향하는 위치에 제공되는 트레이측 부상 자석; 상기 궤도측 안내 자석에 대향하는 위치에 제공되는 트레이측 안내 자석; 및 상기 안내 전자석에 대향하는 위치에 제공되는 판형 부재를 포함하고, 상기 궤도측 부상 자석과 상기 트레이측 부상 자석간의 자력에 의해 상기 트레이가 부상되고, 상기 궤도측 안내 자석과 상기 트레이측 안내 자석간의 자력에 의해 상기 트레이의 수직 방향 진동이 억제되며, 상기 안내 전자석이 상기 판형 부재에 작용하는 자력에 의해 상기 트레이의 수평 방향 위치가 제어되는, 자기 부상이송 장치가 제공될 수 있다.

Description

자기 부상이송 장치{MAGNETIC LEVITATION TRANSPORTATION APPARATUS}

본 발명은 자기 부상이송 장치에 대한 것이다.

일반적인 제품 생산 공장 내의 생산 라인에서 반도체 웨이퍼, LCD 패널, OLED 패널 등의 운반에 사용되던 종래의 자동화용 운반시스템은 주로 컨베이어 시스템을 활용하였다. 이러한 시스템은 전기 모터에 의해 회전력을 얻고 중간에 감속 시스템을 적용하여 회전 운동을 직선운동으로 변환하여 원자재 및 제품을 이송한다.

그러나 이러한 컨베이어 시스템은 구성 기기들의 메커니즘상 속도 증가 및 조절에 한계가 있고, 기계장치들의 적용에 따라 구성품이 바뀌는 부분마다 마찰이 발생하므로 소음과 진동, 분진 발생이 필연적일 수 밖에 없다. 이러한 소음과 진동, 분진의 발생량과 마모에 의한 고장 빈도를 감소시키기 위해서는 수시로 해당 구성품의 점검과 부품교체,수리 등을 주기적으로 수행해야만 하며, 이는 유지 보수비의 증가로 이어질 수 밖에 없다.

이러한 종래의 컨베이어 시스템이 가진 문제점을 해결하기 위해, 최근 자기 부상 원리를 이용한 자기 부상 이송 시스템이 도입된 바 있다. 이와 같은 자기 부상 이송 시스템은 자기 부상을 이용한 추진 원리가 적용되어 구성되는 시스템으로서, 구체적으로 전자력이나 영구 자석을 이용하여 궤도로부터 일정한 높이로 타겟을 부상시킨 상태에서 추진력을 가해 목적지까지 이송하는 시스템이다.

종래의 자기 부상 이송 시스템을 구성하는 자기 부상 이송 장치의 예가 특허문헌 1 및 2로서 공지된 바 있다. 먼저, 특허문헌 1에 따른 자기 부상 이송 장치는, 일 방향을 따라 이어진 궤도와, 궤도 상에 부상하여 이동하는 대차를 포함하는 구성을 갖는다. 특히, 궤도의 하면에 부착된 강자성체와 대차에 고정된 부상 전자석을 이용하여 대차를 궤도로부터 부상시키도록 구성된다. 이 경우, 동일한 부상력을 구현하기 위해 영구자석을 사용할 경우에 비해 부상력을 위한 장치의 부피가 10배 이상 커져야 하는 단점이 있으며, 부상된 상태를 유지하기 위한 많은 수의 센서가 이송방향을 따라 배치되어야 한다는 단점이 있으며, 이로 인해 장치의 소형화 및 저비용화를 달성하기가 어렵다는 문제가 있다.

또한, 특허문헌 2에 따른 자기 부상 이송 장치는 궤도로부터 대차를 부상시키고 추진시키기 위해 영구자석만을 사용하여 구성되며, 대차의 좌우 움직임을 저감하기 위해 접촉식 가이드 베어링이 대차에 접촉되도록 제공된다. 이 경우, 상술한 특허문헌 1이 가진 문제점을 일부 극복할 수는 있으나, 대차의 부상 및 추진을 위해 영구자석만을 사용할 경우, 자력을 제어할 수 없으므로, 대차의 이송 과정에서 좌우 편하중이 발생하여 접촉식 가이드 베어링에 큰 마찰력이 작용할 수 있다. 이는 베어링의 마모 등 구성 부품의 수명을 줄이고, 베어링의 접촉에 따른 분진 발생으로 인한 전체 생산 설비의 오작동 발생률의 증가로 이어질 수 있다는 문제가 있다.

특허문헌 1: 한국등록특허 제10-1049222호 (2011.07.07. 등록) 특허문헌 2: 한국공개특허 제10-2017-0110065호 (2017.10.10. 공개)

본 발명은 상술한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 소형화와 저비용화가 가능하고, 베어링의 접촉이 불필요하여 구성 부품의 수명을 대폭 늘릴 수 있으면서, 특히 분진 발생의 가능성을 원천적으로 차단할 수 있는 자기 부상 이송 장치를 제공하고자 한다,

본 발명의 일 측면에 따르면, 타겟을 지지하면서, 상기 타겟을 이송시키기 위해 제공되는 트레이; 및 내측에 상기 트레이가 수용될 수 있도록 상면이 개방되고, 내측에 수용된 상기 트레이를 부상시키면서 상기 트레이의 이동을 안내하는 안내부를 포함하는 이송 궤도를 포함하고,상기 안내부는,하부에 제공되는 궤도측 부상 자석;상기 궤도측 부상 자석의 상측에 제공되는 궤도측 안내 자석; 및 상기 트레이가 수용되는 공간을 향해 자력을 발생시키도록 구비되는 안내 전자석을 포함하고,상기 트레이는,상기 궤도측 부상 자석에 대향하는 위치에 제공되는 트레이측 부상 자석;상기 궤도측 안내 자석에 대향하는 위치에 제공되는 트레이측 안내 자석; 및상기 안내 전자석에 대향하는 위치에 제공되는 판형 부재를 포함하고,상기 궤도측 부상 자석과 상기 트레이측 부상 자석간의 자력에 의해 상기 트레이가 부상되고, 상기 궤도측 안내 자석과 상기 트레이측 안내 자석간의 자력에 의해 상기 트레이의 수직 방향 진동이 억제되며, 상기 안내 전자석이 상기 판형 부재에 작용하는 자력에 의해 상기 트레이의 수평 방향 위치가 제어되는,자기 부상 이송 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 이송 궤도는, 자력을 통해 상기 트레이의 이동을 위한 추진력을 제공하는 추진 전자석을 포함하는 레일부를 더 포함하고,상기 트레이는,하면이 개방되어 상기 레일부의 상부가 수용되는 자성부 수용홈이 요입 형성되고,상기 추진 전자석의 양 측에 대향하는 위치에 제공되는 추진 영구 자석을 포함하고,상기 추진 영구 자석은 상기 자성부 수용홈의 내측벽에 고정되는,자기 부상 이송 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 추진 영구 자석은 상기 트레이의 이동 방향을 따라 서로 다른 극성이 교번하여 배치되도록 복수 개가 배열되는, 자기 부상 이송 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 레일부는,상기 추진 전자석의 하측에 제공되어 상기 추진 전자석을 지지하는 거더를 더 포함하고, 상기 트레이는,상기 자성부 수용홈의 하측에 형성되어 상기 거더를 수용하는 거더 수용홈을 더 포함하고,상기 자성부 수용홈은 상기 거더 수용홈보다 더 넓은 폭을 갖는,자기 부상 이송 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 트레이는, 측면에 상기 판형 부재가 결합되고, 내부에 상기 자성부 수용홈이 형성되는 메인 바디; 및 상기 메인 바디의 하부에 제공되고, 상기 트레이측 안내 자석과 상기 트레이측 부상 자석이 고정 설치되는 자석 고정부를 더 포함하고,상기 자석 고정부의 양 측면이 상기 메인 바디의 다른 부분의 양 측면보다 돌출되는 형상을 갖고,상기 거더 수용홈은 상기 자석 고정부의 내부에 형성되는,자기 부상 이송 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 궤도측 부상 자석, 상기 궤도측 안내 자석, 상기 트레이측 부상 자석 및 상기 트레이측 안내 자석은 모두 영구 자석으로 구비되는, 자기 부상 이송 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 궤도측 부상 자석과 상기 트레이측 부상 자석간에는 척력이 작용하고, 상기 궤도측 안내 자석과 상기 트레이측 안내 자석간에는 인력이 작용하도록 구성되는, 자기 부상 이송 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 궤도측 안내 자석은 상기 트레이의 양 측에 각각 제공되고, 상기 트레이의 일 측에 제공된 상기 궤도측 안내 자석과 상기 트레이측 안내 자석 간 인력이 타 측에 제공된 상기 궤도측 안내 자석과 상기 트레이측 안내 자석 간 인력보다 크게 설정된,자기 부상 이송 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 안내부는, 상기 트레이를 향해 상기 안내부의 내벽면으로부터 돌출되도록 제공되는 댐핑 롤러를 더 포함하고, 상기 댐핑 롤러는, 상기 트레이가 상기 안내부의 내벽면에 밀착될 경우, 상기 트레이에 접촉되어 완충 작용을 하도록 구비되는, 자기 부상 이송 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 안내부는, 상기 안내 전자석과 상기 트레이 사이의 갭을 측정하는 갭 센서를 더 포함하고, 상기 갭 센서에 의해 센싱되는 상기 안내 전자석과 상기 트레이 사이의 갭이 소정 값 이상으로 유지되도록 상기 안내 전자석의 자력이 조절되는, 자기 부상 이송 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 궤도측 안내 자석과 상기 트레이측 안내 자석 간 자력 방향과, 상기 궤도측 부상 자석과 상기 트레이측 부상 자석 간 자력 방향은 서로 교차하는, 자기 부상 이송 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 궤도측 안내 자석과 상기 트레이측 안내 자석 간 자력 방향은 수평 방향이고, 상기 궤도측 부상 자석과 상기 트레이측 부상 자석 간 자력 방향은 수직 방향인, 자기 부상 이송 장치가 제공될 수 있다.

또한, 타겟을 지지하면서, 상기 타겟을 이송시키기 위해 제공되는 트레이; 및상기 트레이를 부상시킨 상태로 이동시키는 이송 궤도를 포함하고, 상기 이송 궤도는, 자력을 통해 상기 트레이의 이동을 위한 추진력을 제공하는 추진 전자석을 포함하는 레일부를 포함하고,상기 트레이는, 하면이 개방되어 상기 레일부의 상부가 수용되는 자성부 수용홈이 요입 형성되고,상기 추진 전자석의 양 측에 대향하는 위치에 제공되는 추진 영구 자석을 포함하고,상기 추진 영구 자석은 상기 자성부 수용홈의 내측벽에 고정되는, 자기 부상 이송 장치가 제공될 수 있다.

또한, 상기 레일부는, 상기 추진 전자석의 하측에 제공되어 상기 추진 전자석을 지지하는 거더를 더 포함하고,상기 트레이는,상기 자성부 수용홈의 하측에 형성되어 상기 거더를 수용하는 거더 수용홈을 더 포함하고,상기 자성부 수용홈은 상기 거더 수용홈보다 더 넓은 폭을 갖는, 자기 부상 이송 장치가 제공될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 종래 기술에 비하여 자기 부상 이송 장치의 소형화 및 저비용화가 가능하고, 구성 부품의 수명을 대폭 늘릴 수 있으면서 분진 발생 가능성을 원천적으로 차단할 수 있다는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상이송 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 이송 궤도를 도시한 평면도이다.
도 3은 도 1의 A-A 단면도이다.
도 4는 도 1의 B-B 단면도이다.
도 5는 도 3의 추진 영구 자석과 추진 전자석의 배열 구조를 도시한 개념도이다.

이하에서는 본 발명의 사상을 구현하기 위한 구체적인 실시예에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.

아울러 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.

또한, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 '연결', '공급'된다고 언급된 때에는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결, 공급될 수도 있지만 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.

본명세서에서 사용된 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로 본 발명을 한정하려는 의도로 사용된 것은 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다.

또한, 본 명세서에서 상측, 하측, 측면 등의 표현은 도면에 도시를 기준으로 설명한 것이며 해당 대상의 방향이 변경되면 다르게 표현될 수 있음을 미리 밝혀둔다.

이하, 도면를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상이송 장치의 구체적인 구성에 대하여 설명한다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치(1)는 반도체 웨이퍼, PDP 패널, LCD 패널, OLED 패널 등의 타겟(T)을 제조하기 위한 라인에 설치되어 제조 중인 타겟(T)을 이송시키는데 사용된다. 이를 위해, 자기 부상 이송 장치(1)는 이송 궤도(10), 트레이(20) 및 제어부(도 3, 30)를 포함할 수 있다. 타겟(T)은 트레이(20)에 고정되어 이송 궤도(10) 상에서 이송될 수 있으며, 자력을 이용하여 타겟(T)이 고정된 트레이(20)가 이송 궤도(10) 상에서 부상된 상태로 타겟(T)의 이송이 이루어질 수 있다.

도 3 및 도 4를 참조하면, 이송 궤도(10)는 일 방향으로 길게 이어져서 형성되며, 타겟(T)이 고정된 트레이(20)를 부상시킨 상태로 이동시키도록 제공된다. 이때, 트레이(20)의 이동은 이송 궤도(10)에 의해 안내되며, 트레이(20)를 부상시키고 추진시키며 자세를 제어하는 것 모두 자력에 의해 이루어질 수 있다. 이러한 이송 궤도(10)는 기저판(110), 안내부(120) 및 레일부(130)를 포함할 수 있다.

기저판(110)은 지면에 배치되어 이송 궤도(10)의 저면을 구성하도록 제공된다. 이러한 기저판(110)은 이송 궤도(10)가 연장 형성된 전체 길이에 대하여 단일의 판으로 구성될 수도 있고, 복수 개의 판이 서로 접촉 또는 소정 간격 이격되어 이어져서 배치될 수도 있다.

안내부(120)는 기저판(110) 상에 제공되어 이송 궤도(10)의 양 측벽을 구성하도록 제공될 수 있다. 이때, 안내부(120)는 기저판(110)으로부터 상방으로 연장 형성되는 두 개의 평평한 판 형상으로 제공될 수도 있고, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 내측 면에 계단 형상으로 1단 이상의 단차가 형성된 형상으로 제공될 수도 있다. 또한, 안내부(120)는 내측에 트레이(20)가 수용될 수 있도록 상면이 개방되고, 내측에 수용된 트레이(20)를 부상시키면서 트레이(20)의 이동을 안내한다. 이러한 안내부(120)는 궤도측 부상 자석(122), 궤도측 안내 자석(124), 안내 전자석(126), 지지 브라켓(127), 갭 센서(128) 및 댐핑 롤러(129)를 포함할 수 있다.

궤도측 부상 자석(122)은 안내부(120)의 하부에 제공되고, 상면이 노출되도록 설치될 수 있다. 이러한 궤도측 부상 자석(122)은 트레이(20)를 부상시키기 위해 필요한 자력을 제공하기 위해 구비된다. 또한, 궤도측 부상 자석(122)은 영구 자석으로 제공될 수 있으며, 복수 개의 영구 자석이 이송 궤도(10)의 연장 형성된 방향을 따라 이송 궤도(10) 전체 길이에 걸쳐서 배치될 수 있다. 또한, 궤도측 부상 자석(122)은 안내부(120)의 양 측에 제공될 수 있다.

궤도측 안내 자석(124)은 궤도측 부상 자석의 상측에 제공될 수 있으며, 안내부(120)의 내측을 향하는 면이 노출되도록 설치될 수 있다. 이를 위해, 궤도측 부상 자석(122)이 설치되는 부분과 궤도측 안내 자석(124)이 설치되는 부분은 계단식으로 단차지게 형성될 수 있다. 이러한 궤도측 안내 자석(124)은 트레이(20)의 수직 방향 진동을 억제하기 위해 제공된다. 또한, 궤도측 안내 자석(124)은 궤도측 부상 자석(122)과 마찬가지로 영구 자석으로 제공될 수 있으며, 복수 개의 영구 자석이 이송 궤도(10)의 연장 형성된 방향을 따라 이송 궤도(10) 전체 길이에 걸쳐서 배치될 수 있다. 또한, 궤도측 안내 자석(124)은 안내부(120)의 양 측에 제공될 수 있다.

안내 전자석(126)은 안내부(120)의 트레이(20)가 수용되는 공간을 향해 자력을 발생시키도록 구비되며, 일 예로, 궤도측 안내 자석(124)의 상측에 제공될 수 있다. 그러나 이는 예시적인 것으로서, 안내 전자석(126)의 위치는 궤도측 안내 자석(124)의 상측이 아닌 위치에 설치되도록 변형 실시되는 것도 가능하다. 이러한 안내 전자석(126)은 트레이(20)의 수평 방향 위치를 제어하기 위해 제공되며, 이를 위해 안내 전자석(126)은 안내용 코어(1262)와 안내용 코일(1264)을 포함할 수 있다.

안내용 코어(1262)는 안내부(120)의 내측 벽면으로부터 돌출되어 형성되며, 안내용 코일(1264)이 권취될 수 있다. 또한, 안내용 코일(1264)은 전력 인가를 위해 별도로 제공되는 전원 장치(미도시)와 연결되어 전력을 공급받을 수 있으며, 이에 따라 자력을 생성할 수 있다.

안내 전자석(126)은 제어부(30)와 연결되어, 제어부(30)에 의해 안내 전자석(126)의 온오프 및 자력의 세기가 제어될 수 있다.

또한, 안내 전자석(126)은 복수 개로 제공될 수 있으며, 이송 궤도(10)의 연장 형성된 방향을 따라 소정 간격으로 이격되어 이송 궤도(10) 전체 길이에 걸쳐서 배치될 수 있다. 또한, 안내 전자석(126)은 안내부(120)의 양 측에 제공될 수 있다.

갭 센서(128)는 안내 전자석(126)과 트레이(20) 사이의 갭을 측정하기 위해 제공된다. 이러한 갭 센서(128)는 트레이(20)의 수평 방향 위치를 조정하기 위해, 안내 전자석(126)과 트레이(20) 사이의 갭을 실시간 측정하여 제어부(30)로 송신할 수 있다. 제어부(30)는 센싱 값을 이용하여 안내 전자석(126)으로 흐르는 전류량을 제어함으로써 안내 전자석(126)이 후술하는 트레이(20)의 판형 부재(250)에 작용하는 자력을 제어할 수 있다. 이에 따라, 안내 전자석(126)과트레이(20) 사이의 갭이 소정 값 이상으로 유지되도록 안내 전자석(126)의 자력이 제어될 수 있다.

갭 센서(128)는 지지 브라켓(127)에 의해 지지될 수 있다. 지지 브라켓(127)은 안내부(120)의 양 측벽에 형성된 홀에 고정 설치되어 갭 센서(128)가 지지되도록 제공될 수 있다.

한편, 안내부(120)는 댐핑 롤러(129)를 포함할 수 있으며, 댐핑 롤러(129)에 대한 구체적인 구성 및 작용은 후술하겠다.

레일부(130)는 안내부(120)의 내측 수용 공간에 제공되며, 기저판(110)으로부터 상방으로 돌출 형성되어 트레이(20)에 적어도 일부 수용될 수 있다. 이에 따라, 트레이(20)의 이동을 위한 추진력이 레일부(130)에 의해 발생될 수 있다. 또한, 레일부(130)는 이송 궤도(10)의 전체 길이에 걸쳐서 연장 형성될 수도 있고, 도 2에 도시된 바와 같이 복수 개로 분절되어 소정 간격으로 이격 형성되는 것도 가능하다. 또한, 이때의 이격되는 간격은 분절 형성된 각각의 레일부(130)들의 길이에 대응되거나 다소 길게 형성될 수 있다. 이 경우, 레일부(130)가 형성되지 않은 부분에서 트레이(20)가 추진력을 얻지는 못하지만, 그 부분을 통과하기 전에 받은 추진력이 관성으로 작용하여, 트레이(20)가 레일부(130) 미 형성 영역을 지나더라도 이동이 멈추게 되지는 않는다. 이러한 기능을 발휘하기 위해 레일부(130)는 지지판(132), 거더(134) 및 추진 전자석(136)을 포함할 수 있다.

지지판(132)은 기저판(110)의 상면에 고정되어 레일부(130)의 다른 부분들을 지지하기 위해 제공된다. 거더(134)는 지지판(132)의 상면에 고정되어 지지판(132)에 의해 지지될 수 있도록 제공되며, 추진 전자석(136)의 하측에 제공되어 추진 전자석(136)을 지지하도록 구비된다. 또한, 거더(134)는 후술할 트레이(20)의 거더 수용홈(216)에 수용되는 부분이다.

추진 전자석(136)은 자력을 발생시켜서 트레이(20)의 이동을 위한 추진력을 제공한다. 또한, 추진 전자석(136)은 일 예로 코어리스 전자석(coreless electromagnet)으로 구성될 수 있다. 다시 말해서, 추진 전자석(136)은 거더(134)의 상면으로부터 코일이 별도의 코어 없이 복수 회 허공에서 권취된 상태로 제공될 수 있다. 이와 같이 권취된 코일은 일 예로 에폭시(epoxy) 수지로 서로 접착되어 고정될 수 있다. 만약 추진 전자석(136)에 코어가 포함될 경우, 편심 하중이 발생되어 트레이(20)의 자세 제어가 어려울 수 있으나, 추진 전자석(136)이 코어리스 전자석으로 제공되는 경우 추진 전자석(136)의 편심 하중을 제거할 수 있다는 효과가 있다.

또한, 추진 전자석(136)은 전력 인가를 위해 별도로 제공되는 전원 장치(미도시)와 연결되어 전력을 공급받을 수 있으며, 이에 따라 자력을 생성할 수 있다. 이때, 추진 전자석(136)은 3상 구조를 갖도록 구성될 수 있으며, 이에 따라 3상 교류 전력을 전원 장치로부터 공급받도록 구비될 수 있다.

추진 전자석(136)은 제어부(30)와 연결되어, 제어부(30)에 의해 추진 전자석(136)의 온오프 및 자력의 세기가 제어될 수 있다.

한편, 트레이(20)는 타겟(T)을 지지하면서, 이송 궤도(10) 상에서 타겟(T)을 이송시키기 위해 제공된다. 또한, 트레이(20)는 하면이 개방되어 레일부(130)의 상부가 수용되는 수용홈(214, 216)이 요입 형성될 수 있다. 또한, 트레이(20)는 이송 궤도(10) 상에서 부상된 상태로 이동할 수 있다. 이를 위해, 트레이(20)는 메인 바디(210), 트레이측 부상 자석(220), 트레이측 안내 자석(230), 추진 영구 자석(240) 및판형 부재(250)를 포함할 수 있다.

메인 바디(210)는 측면에 판형 부재(250)가 결합되고, 내부에 자성부 수용홈(214)이 형성된다. 또한, 메인 바디(210)의 상면은 타겟(T)이 고정될 수 있는 타겟 고정부(211)로 구성되며, 하부에는 트레이측 부상 자석(220) 및 트레이측 안내 자석(230)이 고정 설치되는 자석 고정부(212)가 제공될 수 있다. 이때, 자석 고정부(212)의 양 측면은 메인 바디(210)의 다른 부분의 양 측면보다 돌출되는 형상을 가질 수 있다.

메인 바디(210)의 내부에는 하면이 개방된 수용홈(214, 216)이 형성되며, 보다 상세하게는 내부에추진 전자석(136)이 수용될 수 있는 자성부 수용홈(214)과, 자성부 수용홈(214)의 하측에 형성되는 거더 수용홈(216)이 형성될 수 있다. 이때, 거더 수용홈(216)은 자석 고정부(212)의 내부에 형성되며, 자성부 수용홈(214)은 거더 수용홈(216)보다 더 넓은 폭을 갖도록 형성될 수 있다.

트레이측 부상 자석(220)은이송 궤도(10)의궤도측 부상 자석(122)에 대향하는 위치에 제공되며, 트레이측 안내 자석(230)은 이송 궤도(10)의궤도측 안내 자석(124)에 대향하는 위치에 제공된다. 다시 말해서, 트레이측 부상 자석(220)은 하면이 노출되도록 자석 고정부(212)의 하면에 고정 설치되고, 트레이측 안내 자석(230)은 메인 바디(210)의 외측 방향을 향하는 면이 노출되도록 자석 고정부(212)의 측면에 고정 설치될 수 있다. 이로써, 궤도측 안내 자석(124)과트레이측 안내 자석(230) 간 자력 방향과, 궤도측 부상 자석(122)과트레이측 부상 자석(220)간 자력 방향은 서로 교차하게 되며, 보다 상세하게는 궤도측 안내 자석(124)과 트레이측 안내 자석(230) 간 자력 방향은 수평 방향이고,궤도측 부상 자석(122)과 트레이측 부상 자석(220) 간 자력 방향은 수직 방향일 수 있다.

트레이측 부상 자석(220)과 트레이측 안내 자석(230)은 메인 바디(210)의 양 측에 제공될 수 있다. 또한, 트레이측 부상 자석(220)과 트레이측 안내 자석(230)은 모두 영구 자석으로 구비될 수 있다.

이에 따라, 트레이측 부상 자석(220)과 궤도측 부상 자석(122) 간에 자력이 작용하게 되고, 트레이측 안내 자석(230)과 궤도측 안내 자석(124) 간에 자력이 작용하게 된다. 이때, 궤도측 부상 자석(122)과 트레이측 부상 자석(220) 간의 자력에 의해 트레이(20)가 부상된 상태로 유지될 수 있으며, 궤도측 안내 자석(124)과 트레이측 안내 자석(230) 간의 자력에 의해 트레이(20)의 수직 방향 진동이 억제될 수 있다. 또한, 궤도측 부상 자석(122)과 트레이측 부상 자석(220)간에는 척력이 작용하고, 궤도측 안내 자석(124)과 트레이측 안내 자석(230)간에는 인력이 작용하도록 각각의 영구 자석의 극성이 설정될 수 있다.

여기서, 수직 방향 진동이란, 트레이(20)가 이송 궤도(10)를 따라 이동하면서 지면을 기준으로 상하 방향으로 흔들리는 현상을 말하며, 수직 방향 진동이 발생되는 이유는 복수의 영구 자석들로 이루어지는 궤도측 부상 자석(122)과 트레이측 부상 자석(220) 사이의 자력이 구간별로 미차가 존재하게 되어, 이러한 자력 차이로 인해 이동 중에 진동이 발생될 수 있다. 또한, 경우에 따라서는 제조 라인을 따라 배설되는 이송 궤도(10)의 일부 구간에는 궤도측 부상 자석(122)이 제공되지 않는 구간이 존재할 수 있다. 이와 같이 궤도측 부상 자석(122)이 제공되지 않는 구간을 트레이(20)가 통과할 때 급격한 자력 변화에 의해 상하 방향으로 진동이 발생될 수 있다. 나아가, 통상 수백 kg에 달하는 트레이(20)가 고속으로 이송 궤도(10) 상에서 이동하므로, 트레이(20)의 중량 및 이동 속도에 의한 진동도 상당한 수준으로 발생될 수 있다. 이러한 수직 방향 진동은 트레이(20)의 양 측에서 작용하는 궤도측 안내 자석(124)과 트레이측 안내 자석(230) 간의 인력에 의해 댐핑 작용이 이루어짐으로써 저감 내지는 제거할 수 있게 된다. 이때의 댐핑 정도는 궤도측 안내 자석(124)과 트레이측 안내 자석(230) 간에 설정된 인력의 세기에 따라 달라질 수 있다.

한편, 트레이(20)의 일 측에 제공된 궤도측 안내 자석(124)과트레이측 안내 자석(230) 간 인력이 타 측에 제공된 궤도측 안내 자석(124)과 트레이측 안내 자석(230) 간 인력보다 크게 설정될 수 있다. 이에 따라, 외부 전원 차단 등에 의해 안내 전자석(126)에서 발생되던 자력이 제거되었을 때, 인력 차이로 인해 트레이(20)가 인력이 강한 쪽으로 이동되어 안내부(120)의 내벽면에 부착될 수 있다. 이로써 장치의 동작 정지시 트레이(20)가 간편하게 보관될 수 있다.

이와 같이 트레이(20)가 안내부(120)의 내벽면을 향해 이동될 때, 안내부(120)의 내벽면과의 충돌을 최소화하기 위해,안내부(120)에 댐핑 롤러(129)가 제공될 수 있다. 댐핑 롤러(129)는 트레이(20)를 향해안내부(120)의내벽면으로부터 돌출되도록 제공된다.이에 따라, 트레이(20)가 안내부(120)의 내벽면을 향해 이동할 때 댐핑 롤러(129)가 트레이(20)와 가장 먼저 맞닿음으로써 완충 작용이 이루어질 수 있다.

한편, 메인 바디(210)의 측면에는 판형 부재(250)가 결합되며, 판형 부재(250)는안내 전자석(126)에 대향하는 위치에 제공된다. 또한,안내 전자석(126)이 판형 부재(250)에 작용하는 자력에 의해 트레이(20)의 수평 방향 위치가 제어될 수 있다.

여기서, 수평 방향 위치란, 트레이(20)가 이송 궤도(10)를 따라 이동할 때 이동 방향을 기준으로 좌측 또는 우측 방향으로 치우쳐진 위치를 말하며, 원칙적으로는 트레이(20)가 안내부(120)의 수평 방향 중심에 위치한 상태에서 이동하는 것이 바람직하나, 트레이(20) 양 측의 궤도측 안내 자석(124)과 트레이측 안내 자석(230) 간의 인력 차이에 따라 트레이(20)가 미세하게 좌측 또는 우측 방향으로 치우쳐질 수 있다. 이러한 수평 방향 위치는 트레이(20)의 양 측에서안내 전자석(126)이 판형 부재(250)에 작용하는 자력의 세기를 제어함으로써 조정될 수 있다.

추진 영구 자석(240)은 안내부(120)의 추진 전자석(136)의 양 측에 대향하는 위치에 제공되며, 트레이(20)의 수용홈(214, 126)의 내측벽에 고정될 수 있다. 더웅 상세하게는, 트레이(20)의 내부에 형성되는 자성부 수용홈(124)의 내측 벽에 고정 설치될 수 있다. 이러한 추진 영구 자석(240)은 레일부(130)의 추진 전자석(136)에서 발생되는 자력의 영향을 받아 추진력을 발생시킬 수 있으며, 이렇게 발생된 추진력에 의해 트레이(20)가 이동할 수 있다.

이하에서는 추진 영구 자석(240)과 추진 전자석(136)에 의해 트레이(20)가 추진력을 받아서 이동하는 원리를 도 5를 참조하여 설명하겠다.

도 5를 참조하면, 이러한 추진 영구 자석(240)은 복수 개의 영구 자석이 배열된 형태로 구성될 수 있으며, 트레이(20)의 이동 방향을 따라 서로 다른 극성의 영구 자석들이 교번하여 배치될 수 있다.이에 따라, 추진 전자석(136)에 3상 교류 전류가 공급되면, 추진 전자석(136)에 의한 자기장이 형성되고,형성된 자기장이 추진 영구 자석(240)에 영향을 미치면서 추진 영구 자석(240)은 추진 전자석(136)으로부터 흡인력과 반발력을 받게 된다. 이렇게 작용하는 흡인력과 반발력에 의해 추진력이 발생되며, 이렇게 발생되는 추진력에 의해 트레이(20)가 이동하게 된다. 다시 말해서, 추진 영구 자석(240)과 추진 전자석(136)은 리니어 모터(linear motor)의 원리로 트레이(20)를 이동시키기 위한 추진력을 발생시킬 수 있다.

다시 도 3 및 도 4로 돌아오면, 판형 부재(250)는 메인 바디(102)의 양 측벽에 제공되고, 안내 전자석(126)에 대향하는 위치에 설치될 수 있다. 이러한 판형 부재(250)는 금속 등 자력에 노출되면 자성을 띄는 물체로서 제공될 수 있으며, 일 예로 철판으로 구성될 수 있다.판형 부재(250)는 안내 전자석(126)에 의해 형성되는 자기장의 영향을 받아서 인력 또는 척력을 받을 수 있으며, 양 측으로부터 받는 힘으로 인해 트레이(20)의 이동 중 수평 방향 위치가 조정 및 유지될 수 있다.

제어부(30)는 추진 전자석(136) 및 안내 전자석(126)으로의 전력 공급을 제어할 수 있으며, 갭 센서(128)로부터 안내 전자석(126)과 트레이(20) 사이의 갭에 관한 센싱 결과를 수신하여 이를 안내 전자석(126)의 제어에 이용하도록 구성될 수 있다. 이를 위해 제어부(30)는 예컨대 소형 내장형 컴퓨터로 이루어질 수 있고, 프로그램, 메모리, CPU로 이루어지는 데이터 처리부 등을 구비할 수 있다. 제어부(30)의 프로그램은, 갭 센서(128)로부터 센싱 정보를 수신받아서 안내 전자석(126)으로 인가되는 전류 값을제어하기 위한 알고리즘을 포함할 수 있다.또한, 제어부(30)의 프로그램은 기 설정되었거나 별도로 제공되는 입력 장치(미도시)에 의해 입력된 정보 및/또는 별도로 제공되는 센서 장치(미도시)에 의해 센싱된 정보를 기반으로 추진 전자석(136)으로 인가되는전류 값을 제어하여 트레이(20)의 이동 속도 및 방향을 제어하기 위한 알고리즘을 포함할 수 있다.이러한 제어부(30)의 프로그램은, 컴퓨터 기억 매체 예컨대 플렉시블 디스크, 컴팩트 디스크, 하드 디스크, MO(광자기 디스크) 등의 메모리에 저장되어 제어부(30)에 설치될 수 있다.

이하에서는, 상술한 바와 같은 구성을 갖는 본 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치(1)의 작용 및 효과에 대하여 설명하겠다.

본 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치(1)는 반도체 웨이퍼, PDP 패널, LCD 패널 등의 타겟(T)을 제조하기 위한 라인상에 설치되어 제조 중인 타겟(T)을 제조 라인을 따라 이송시키기 위해 제공된다. 이때, 타겟(T)이 고정된 트레이(20)가 이송 궤도(10) 상에서 부상된 상태로 이송 궤도(10)에 의해 안내되면서 추진력을 받아 이동할 수 있다.

이때, 트레이(20)의 부상은 이송 궤도(10)의 안내부(120)에 제공된 궤도측 부상 자석(122)과 트레이(20)에 제공된 트레이측 부상 자석(220) 간에 작용하는 자력(척력)에 의해 이루어질 수 있다. 또한,트레이(20)는 이송 궤도(10) 상에서 부상하는 상태로 항상 유지될 수 있다. 따라서, 트레이(20)는 외부 전원 차단 등에 의해 안내 전자석(126)에서 발생되던 자력이 제거되었을 때에도 부상하는 상태로 유지될 수 있다.

트레이(20)가 이동하는 중에 궤도측 부상 자석(122)과트레이측 부상 자석(220) 간에 작용하는 자력이 이동 방향을 따라 일정하지 않고 미차가 존재할 수 있다. 이에 따라 트레이(20)에 수직 방향 진동이 발생될 수 있다. 이러한 수직 방향 진동은, 이송 궤도(10)의 안내부(120)에 제공된 궤도측 안내 자석(124)과 트레이(20)에 제공된 트레이측 안내 자석(230) 간에 작용하는 자력(인력)에 의해 저감 내지는 억제될 수 있다.

이때, 트레이(20)의 양 측에 대하여 작용하는 자력이 서로 차이가 발생되는 경우가 있을 수 있다. 이러한 자력 차이는 트레이(20)의 수평 방향 위치를 이송 궤도(10)의 중앙으로부터 좌측 또는 우측으로 치우쳐지도록 하는 원인이 된다. 이러한 트레이(20)의 수평 방향 위치를 조정하기 위해 이송 궤도(10)의 안내부(120)에는 안내 전자석(126)이 제공되고, 트레이(20)에는 판형 부재(250)가 제공될 수 있다.판형 부재(250)는 안내 전자석(126)에서 형성되는 자기장의 영향을 받아 자성을 띄게 되며, 안내 전자석(126)으로부터 자력을 받게 된다. 이에 따라, 트레이(20)의 양 측에 대향하여 제공되는 안내 전자석(126)에 의해 발생되는 자기장의 세기를 조절함으로써, 트레이(20)의 수평 방향 위치가 조정될 수 있다.

이러한 수평 방향 위치 조절에 있어서, 갭 센서(128)가 이용될 수 있으며, 구체적으로 갭 센서(128)가 센싱한 안내 전자석(126)과 트레이(20) 사이의 갭이 소정 거리로 유지되도록 제어부(30)에서 안내 전자석(126)의 공급 전력을 제어할 수 있다.

한편, 트레이(20)의 이동을 위한 추진력은 이송 궤도(10)의 레일부(130)에 제공된 추진 전자석(136)과 트레이(20)에 제공된 추진 영구 자석(240) 간에 작용하는 흡인력과 반발력에 의해 발생된다. 다시 말해서, 추진 전자석(136)과 추진 영구 자석(240)은 리니어 모터를 구성할 수 있다. 또한, 추진 전자석(136)의 공급 전력이 제어부(30)에 의해 제어됨에 따라, 트레이(20)를 이동시키기 위한 추진력이 제어될 수 있다.

자기 부상 이송 장치(1)의 가동이 중지될 때, 즉 안내 전자석(126)과 추진 전자석(136)에 공급되는 전력의 공급이 중지될 때, 트레이(20)의 수평 방향 위치를 제어하던 안내 전자석(126)의 자기장이 제거된다. 이에 따라 트레이(20)는 양 측 중 안내 자석들(124, 230) 간의 인력이 더 강한 측 방향으로 이동되어 안내부(120)의 내측 벽면에 부착되어 보관될 수 있다. 이 때에도 부상 자석들(122, 220) 간의 자력은 유지되므로, 부상된 상태로 부착되어 보관된다. 또한, 트레이(20)가 안내부(120)에 부착될 때 댐핑 롤러(129)에 의해 완충되어 충격에 의한 파손이 방지될 수 있다.

본 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치(1)에 따르면, 종래의 이송 장치들에 비하여 전자석의 사용이 대폭 줄어들게 되어 장치의 소형화 및 저비용화가 가능하고, 접촉식 베어링 대신 궤도측 안내 자석(124)과 트레이측 안내 자석(230) 간의 자력 및 안내 전자석(126)과 판형 부재(250) 간의 자력에 의해 트레이(20)의 위치가 조정 및 유지되므로, 접촉식 베어링 부재의 마모 등에 의해 구성 부품의 수명이 줄어드는 것을 차단할 수 있고, 분진 발생 가능성 또한 원천적으로 차단할 수 있다는 효과가 있다.

이상 본 발명의 실시예들을 구체적인 실시 형태로서 설명하였으나, 이는 예시에 불과한 것으로서, 본 발명은 이에 한정되지 않는 것이며, 본 명세서에 개시된 기초 사상에 따르는 최광의 범위를 갖는 것으로 해석되어야 한다. 당업자는 개시된 실시형태들을 조합/치환하여 적시되지 않은 형상의 패턴을 실시할 수 있으나, 이 역시 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 것이다. 이외에도 당업자는 본 명세서에 기초하여 개시된 실시형태를 용이하게 변경 또는 변형할 수 있으며, 이러한 변경 또는 변형도 본 발명의 권리범위에 속함은 명백하다.

1: 자기 부상이송 장치 10: 이송 궤도
110: 기저판 120: 안내부
122: 궤도측 부상 자석 124: 궤도측 안내 자석
126: 안내 전자석 1262: 안내용 코어
1264: 안내용 코일 127: 지지 브라켓
128: 갭 센서 129: 댐핑 롤러
130: 레일부 132: 지지판
134: 거더 136: 추진 전자석
20: 트레이 210: 메인 바디
211: 타겟 고정부 212: 자석 고정부
214: 자성부 수용홈 216: 거더 수용홈
220: 트레이측 부상 자석 230: 트레이측 안내 자석
240: 추진 영구 자석 250: 판형 부재

Claims

타겟을 지지하면서, 상기 타겟을 이송시키기 위해 제공되는 트레이; 및
내측에 상기 트레이가 수용될 수 있도록 상면이 개방되고, 내측에 수용된 상기 트레이를 부상시키면서 상기 트레이의 이동을 안내하는 안내부를 포함하는 이송 궤도를 포함하고,
상기 안내부는,
하부에 제공되는 궤도측 부상 자석;
상기 궤도측 부상 자석의 상측에 제공되는 궤도측 안내 자석; 및
상기 트레이가 수용되는 공간을 향해 자력을 발생시키도록 구비되는 안내 전자석을 포함하고,
상기 트레이는,
상기 궤도측 부상 자석에 대향하는 위치에 제공되는 트레이측 부상 자석;
상기 궤도측 안내 자석에 대향하는 위치에 제공되는 트레이측 안내 자석; 및
상기 안내 전자석에 대향하는 위치에 제공되는 판형 부재를 포함하고,
상기 궤도측 부상 자석과 상기 트레이측 부상 자석간의 자력에 의해 상기 트레이가 부상되고, 상기 궤도측 안내 자석과 상기 트레이측 안내 자석간의 자력에 의해 상기 트레이의 수직 방향 진동이 억제되며, 상기 안내 전자석이 상기 판형 부재에 작용하는 자력에 의해 상기 트레이의 수평 방향 위치가 제어되는,
자기 부상이송 장치.
제1 항에 있어서,
상기 이송 궤도는,
자력을 통해 상기 트레이의 이동을 위한 추진력을 제공하는 추진 전자석을 포함하는 레일부를 더 포함하고,
상기 트레이는,
하면이 개방되어 상기 레일부의 상부가 수용되는 자성부 수용홈이 요입 형성되고,
상기 추진 전자석의 양 측에 대향하는 위치에 제공되는 추진 영구 자석을 포함하고,
상기 추진 영구 자석은 상기 자성부 수용홈의 내측벽에 고정되는,
자기 부상이송 장치.
제2 항에 있어서,
상기 추진 영구 자석은 상기 트레이의 이동 방향을 따라 서로 다른 극성이 교번하여 배치되도록 복수 개가 배열되는,
자기 부상이송 장치.
제2 항에 있어서,
상기 레일부는,
상기 추진 전자석의 하측에 제공되어 상기 추진 전자석을 지지하는 거더를 더 포함하고,
상기 트레이는,
상기 자성부 수용홈의 하측에 형성되어 상기 거더를 수용하는 거더 수용홈을 더 포함하고,
상기 자성부 수용홈은 상기 거더 수용홈보다 더 넓은 폭을 갖는,
자기 부상이송 장치.
제4 항에 있어서,
상기 트레이는,
측면에 상기 판형 부재가 결합되고, 내부에 상기 자성부 수용홈이 형성되는 메인 바디; 및
상기 메인 바디의 하부에 제공되고, 상기 트레이측 안내 자석과 상기 트레이측 부상 자석이 고정 설치되는 자석 고정부를 더 포함하고,
상기 자석 고정부의 양 측면이 상기 메인 바디의 다른 부분의 양 측면보다 돌출되는 형상을 갖고,
상기 거더 수용홈은 상기 자석 고정부의 내부에 형성되는,
자기 부상이송 장치.
제1 항에 있어서,
상기 궤도측 부상 자석, 상기 궤도측 안내 자석, 상기 트레이측 부상 자석 및 상기 트레이측 안내 자석은 모두 영구 자석으로 구비되는,
자기 부상 이송 장치.
제1 항에 있어서,
상기 궤도측 부상 자석과 상기 트레이측 부상 자석간에는 척력이 작용하고, 상기 궤도측 안내 자석과 상기 트레이측 안내 자석간에는 인력이 작용하도록 구성되는,
자기 부상이송 장치.
제7 항에 있어서,
상기 궤도측 안내 자석은 상기 트레이의 양 측에 각각 제공되고,
상기 트레이의 일 측에 제공된 상기 궤도측 안내 자석과 상기 트레이측 안내 자석 간 인력이 타 측에 제공된 상기 궤도측 안내 자석과 상기 트레이측 안내 자석 간 인력보다 크게 설정된,
자기 부상이송 장치.
제8 항에 있어서,
상기 안내부는,
상기 트레이를 향해 상기 안내부의 내벽면으로부터 돌출되도록 제공되는 댐핑 롤러를 더 포함하고,
상기 댐핑 롤러는,
상기 트레이가 상기 안내부의 내벽면에 밀착될 경우, 상기 트레이에 접촉되어 완충 작용을 하도록 구비되는,
자기 부상이송 장치.
제1 항에 있어서,
상기 안내부는,
상기 안내 전자석과 상기 트레이 사이의 갭을 측정하는 갭 센서를 더 포함하고,
상기 갭 센서에 의해 센싱되는 상기 안내 전자석과 상기 트레이 사이의 갭이 소정 값 이상으로 유지되도록 상기 안내 전자석의 자력이 조절되는,
자기 부상이송 장치.
제1 항에 있어서,
상기 궤도측 안내 자석과 상기 트레이측 안내 자석 간 자력 방향과, 상기 궤도측 부상 자석과 상기 트레이측 부상 자석 간 자력 방향은 서로 교차하는,
자기 부상이송 장치.
제11 항에 있어서
상기 궤도측 안내 자석과 상기 트레이측 안내 자석 간 자력 방향은 수평 방향이고,
상기 궤도측 부상 자석과 상기 트레이측 부상 자석 간 자력 방향은 수직 방향인,
자기 부상이송 장치.
타겟을 지지하면서, 상기 타겟을 이송시키기 위해 제공되는 트레이; 및
상기 트레이를 부상시킨 상태로 이동시키는 이송 궤도를 포함하고,
상기 이송 궤도는,
자력을 통해 상기 트레이의 이동을 위한 추진력을 제공하는 추진 전자석을 포함하는 레일부를 포함하고,
상기 트레이는,
하면이 개방되어 상기 레일부의 상부가 수용되는 자성부 수용홈이 요입 형성되고,
상기 추진 전자석의 양 측에 대향하는 위치에 제공되는 추진 영구 자석을 포함하고,
상기 추진 영구 자석은 상기 자성부 수용홈의 내측벽에 고정되는,
자기 부상이송 장치.
제13 항에 있어서,
상기 추진 영구 자석은 상기 트레이의 이동 방향을 따라 서로 다른 극성이 교번하여 배치되도록 복수 개가 배열되는,
자기 부상이송 장치.
제13 항에 있어서,
상기 레일부는,
상기 추진 전자석의 하측에 제공되어 상기 추진 전자석을 지지하는 거더를 더 포함하고,
상기 트레이는,
상기 자성부 수용홈의 하측에 형성되어 상기 거더를 수용하는 거더 수용홈을 더 포함하고,
상기자성부 수용홈은 상기 거더 수용홈보다 더 넓은 폭을 갖는,
자기 부상이송 장치.