JPS6231304A - 磁気浮上走行装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、半導体製造工場や生命工学関連の工＃ｈ等に
おける搬送設置Ｓ等に用いて好適な磁気浮上定行装置に
関する。

「従来の技術」 定何体を磁気乞用いて受甲に浮かして軌道に浴つて走行
させる磁気浮上走行装置は１足行体と軌道との接触がな
いため、塵埃が発生することがなく、シＤ・も振動や騒
音もほとんどない。そこで。

近年、この撞の走行装置を、塵埃乞極端に嫌う半導ｆ＊
製造工場や生命工学関連の工場等における搬送装置とし
て利用することが試みられている。第２図は半導体＃！
造工場においてウェハーケースＷ乞搬送する搬送装置と
して上記の昌気浮上足行装置ｔを用いた例を示すもので
１図中１は吊具２によって懸吊された鉄製の軌道、３は
フェノ・〜ケースＷの支持体となる走行体である。上記
軌道１にはｍ数のリニアモータの一仄醐固定子４が該軌
道１の長手方向に所定の間隔で付設されている。また、
上ｄＣ足行体３は、下面にクエハーケースＷ？：係止す
るフック５を備えた底板部３ａと、該１成板部３ａの左
右に鉛直に４役された左右の側板部３ｈと、該左右の側
板部３ｂの上れｂに内方に突出して設けられた左右の上
板部３Ｃと、上記１圧板部３ａ工り若干上方に水平に設
けられた上板部３ｄとから成るもので、その底板部３ａ
と上板部３ｄとの間には蓄電池６と該蓄電池６に連絡さ
れた制御器７とが収容され、Ｄ・つ、下仮都３ｄの上面
の四方の隅部には、上記制御器７に連絡された電磁石８
とセンサ９とがそれぞれ設けられると共に、上板部３ｄ
の上面中央にはりニアモータの２次測町動子（図示せず
Ｊが取付けられている。そして、各電磁石８が軌道工を
吸引して、走行体３が七の１恵とウェハーケースＷの１
遭に抗して上方に浮上させられると同時に、谷センサ９
が走行体３と軌道ｌとの間隙を検知し、その検知信号が
′ＩｔｉＩＪ御器７に送られて各電磁石８の吸引力が制
御され、これにＬす。

走行体３と軌道ｌとの間隙が一定に保たれる一方。

ＩＪ　ニアモータが作動して走行体３が浮上状態のまま
軌道１に漕つ工走行させられるようになっているっ 「発明が解決しようとする問題点」 ところで、上記磁気浮上走行装置χ用いて半導体製造工
場等の搬送設（１１！ｌ′ｌｔ構成する場合、他の設備
との取合いやスペースの有効利用等のために、２条の軌
道ｌを十字状に交差させて走行体３ン一方の軌道４から
他方の軌道ｆに乗り継ぎさせたり。

自動倉庫等の他の設備に乗り移らせたりする心安がある
ことがあり、七のような場合、一方の軌道ｌと他方の、
１ｌｌＬ逍１との間に間隙が生じろ。そして。

従来の磁気浮上走行装置では、このようなＩＩＬ通１間
の曲ｌ！ｉ！部分に走行体３が来ると、センサ９からの
１さ号が異常値になって！磁石８が軌道１に吸庸してし
まい、走行体３が軌迫工に接触してしまうという問題が
あった。

不発明は、上記事情に艦みてなされたもので、軌道と軌
道との間に間隙があっても走行体ケ軌迫に接触させるこ
となく円滑に乗り継ぎさせることができる磁気浮上走行
装置乞提共すること？目的とする。

「間４点を解決するための手段」 上記目的？達成するために、不発明の磁気浮上走行装置
は、軌道に削って走行させられろ走行体に、該走行体を
上記軌道に吸引させるｖＩ数のｔ！Ｌ磁石と、該各ｄｉ
石の近傍に走行体の走行方向に所定間隔をあけて並べて
配設され、走行体と軌道との間隙を検知する各一対のセ
ンサと、該各一対のセンナからの信号により上記各′４
磁石の吸引力を制御して走行体と軌道との間隙を一定に
保つ制御器とを設けて構成したものである。

「作用」 本発明の磁気浮上走行装置においては、各ＩＫ電磁石近
傍に設けた各一対のセンナで走行体と軌道との間隙を検
知し、その検知信号を制御器に送って該制御１５にエリ
谷底磁石の吸引力ＹＭＪ御し、走行体と軌道との間１！
Ｊ’に一定に保つが、軌道と軌道との間の間隙部分を上
記谷一対のセンサが通過する際は、各一対のセンサの内
、いずれか一方が該間隙部分く位置しても他方のセンナ
は軌道を検知しており、該他方のセンサからの検知信号
により制御器を介して′電磁石の吸引力な制御する。

「実施例」 以下、不発明の一実施例を第１図ン参照して説明する。

本実施例の走行体３は、上板部３ｄの上面の四方の隅部
の各１！磁石８の近傍に、それぞれ各一対のセンサ９ａ
、９ｂが設けられている点？除いて、従来例のものと同
一の構成℃ある。そして、上記香一対のセ／す９ａ、９
ｈは走行体３０走行方回に所定の間隔ｄをあけて並べて
配設されてＭす。

該間隔ｄは軌道ｌと軌道・ｌ）の間に形成される間隙１
０の長さＤより長くなるように設定されている。

しり・して、上記構成の磁気浮上走行装置においては、
軌道１が遅硬してい・る部分では各一対のセンサ９ａ　
Ｉ　９ｂの双方もしくは一方が各′電磁石８と軌道ｌと
の間隙？険矧し、その検知１吉号が制御器７（釘１図に
おいては図示が略されている］に送られて、走行体３と
軌、Ｉｎｌとの間隙が一定に保たれ、走行体３はリニア
モータの推力により軌道ｌに市って走行する。一方、走
行体３が軌道工に膚って走行して該軌道１と他の軌道Ｉ
との間隙１００都汁に至った場合は、走行体３の前方寄
りの各ｉ磁石８の近傍に設けられた各一対のセンサ９ａ
、９ｈの内、先ず、各前方のセンサ９ａが第１図（ａ）
の如く間隙１０の部分に来るが、その時、各一対ノセン
サ９ａ、９ｂの間隔ｄは上記間隙１ｏの長さＤ工り長く
なるようにａ足されているり・ら。

各後方のセンサ９ｂは軌道Ｉの下方部にあって１通ｌと
走行体３との間隙？正しくｉ矧している。

セし１、該各後方のセンサ９１１からの検矧痛号が制＃
器７に送られて上記前方寄りの谷１磁石８の吸引力が制
御される。久いで、第１図（ｂ）の如く各後方のセンサ
９ｂが間隙１０の部分に来た時は同僚にして各前方のセ
ンサ９ａの検知１ざ号に基ついて制御器７？弁して上記
前方寄りの各′電磁石８の吸引力が制御される。また、
後方寄りの各１磁石８の近傍に設げられた各一対のセン
サ９ａ、（１が上記間隙ＩＯの部分に来たときも上記と
同僚にして各七ン丈９ａ　、９．６が順欠作用し、後方
寄りの各電磁石８が制御される。

このＬ５に、上記構成の磁気浮上走行装置にあって、は
、軌道１と軌道１の間の間隙１００部分な各一対のセン
サ９ａ、９ｈが通過する際は、各−ズ・ｊのセンサ９ａ
　、９ｈの内、該間隙ＩＯの部分に位置していない方の
検知匿号に基ついて制御器７をブｒして各電磁石８の吸
引力が制御される。したかって、軌道１と軌道Ｉの間に
間隙１ｏが・あってｔ　　　も、走行体３は無接触状態
を保ったてま該軌道Ｉ馨乗り継ぎ、走１１する。

な２．上記′Ｘ、施例流調いて、谷一対のセンサ９ａ、
’Ｉｂは距＃：、［ヒンサであれば、その具体的形式は
如何なるものでも工（、また、その取付は位置も各ｉｍ
石８の前後ケ問わない。さらに、各電磁石８に永久賊石
馨併用しても＠ｒ＞ない。

「発明の効果」 以上説明した工５に、不発明の磁気浮上走行装置は、走
行体の各電磁石の近傍に各−河のセンサを設け、軌道間
のｊＢｊ隙部分では、上記一対のセンサの内、上記間、
！ｆＡ部分に位置していないいずれＤ・一方のセンサが
らの’ａｑ信号に基づき谷′ａ磁石ン制憫ｊする工うＶ
こし７こから、走行体が軌道間の間隙部分に米ても軌道
に接触してし１うおそれはなく２したかつて、臨吹、振
動、騒音等の完主が確冥に防止される。

【図面の簡単な説明】

第１図ｉａ）　、　ｆｂ）は不発明の磁気浮上走行装置
の一実施例を示す側面略図、第２図は従来例を示す要部
切欠ぎの斜視図である。 １・・・軌道、３・・・走行体、７・・・制御器、８・
、・電磁石。 ９ａ　、　９ｈ・・・センサ。 出願人　　石川島播磨東工業仕弐会肚 代理人　　弁理士　　志　β　正　武　°°、″−・□
ノ 第１図 ＣＧ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 軌道に沿って走行させられる走行体に、該走行体を上記
   軌道に吸引させる複数の電磁石と、該各電磁石の近傍に
   走行体の走行方向に所定間隔をあけて並べて配設され、
   走行体と軌道との間隙を検知する各一対のセンサと、該
   各一対のセンサからの信号により上記各電磁石の吸引力
   を制御して走行体と軌道との間隙を一定に保つ制御器と
   が設けられて成ることを特徴とする磁気浮上走行装置。