JPH03231061A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野７ 本発明は、軌道と、該軌道上を走行する台車とを備えた
搬送装置に関する。

［従来の技術］ この種の装置は、例えばＩＣ製造工場において、半導体
チップを搬送するなどに多用されている。

［発明が解決しようとする課題］ 従来の装置において、交差点における方向変換は、例え
ば、ターンテーブルなどの変換器によって行っていた。

したがって、変換器を必要とすると共に、方向変換には
余分な時間がかかっていた。

本発明は、方向変換を迅速に行うことができる構造が簡
単な搬送装置を提供することを目的としている。

［課題を解決するための手段］ 本発明によれば、軌道をまたぐ跨座式台車に軌道をまた
ぐ窓部を直交して設けると共に、直交する軌道の交差部
に前記台車の通過を許す隙間を形成している。

上記台車の駆動は、リニアモータ方式で構成し、軌道へ
の支持は、磁気浮上方式に構成するのが好ましい。この
磁気浮上方式は、軌道側の電磁石と台車側の鋼製ポデー
又は永久磁石によるのが好ましい。

また、軌道に台車の底部、側部との隙間を検出する隙間
センサをそれぞれ設け、吸引力を介して浮上刃及びヨー
イングを制御するのが好ましい。

また、軌道の隙間により分離された交差部に、直交方向
にリニアモータを設けるのが好ましい。

［作用］ 上記のように構成された搬送装置においては、搬送に際
し、台車を一方向から直交方向に方向変換するには、走
行している台車を交差部で一旦停止する。次いで、直交
する方向のりニアモータにより該方向に台車を起動する
ことにより、迅速な方向変換が行われる。

［実施例］ 以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。

第１図及び第２図において、直角に交差して設けられた
軌道１ａ、ｌｂ（以下総称する場合は符号１を用いる）
の断面は、水平部２と垂直部３とからなるＴ字状に形成
され、複数のスタンド４により床面Ｆから所定高さに支
持されている。

この軌道１の水平部２の下面両側には、磁気浮上用すな
わちＺ方向の電磁石５．５が設けられ、隙間センサ６に
より吸引力が制御されるようになっている。また、垂直
部３の両側には、ガイド用すなわちＸ又はＹ方向の電磁
石７．７が設けられ、隙間センサ８により吸引力を介し
て横方向の位置決め及びヨーイングが制御されるように
なっている。なお、電磁石５．７は、図示しない制御装
置を介して図示しない電源に接続されている。

これら軌道１ａ１１ｂの交差部Ａには、それぞれ後記す
る台車１３の通過を許す隙間９ａ、９ａ及び９ｂ、９ｂ
が設けられている。そして、隙間９ａ、９ｂにより軌道
から分離された部分１０には、軌道１ａ方向すなわちＸ
方向のリニアモータ１１．１１と、軌道１ｂ方向すなわ
ちＹ方向のリニアモータ１２．１２とが設けられ、また
、軌道１ａ及び１ｂの適所にも、それぞれリニアモータ
１１及び１２が設けられている。

他方、台車１３は、軌道１をまたぐ跨座式に構成されて
いる。その台車１３のボデー１４は、鋼材で平面か正方
形に、断面が軌道１及び電磁石５．７を隙間を設けて覆
うような形状に形成されている。したがって、ポデー１
３の周面には、それぞれ下方部分が開いた窓部１５が形
成されている。

搬送に際し、台車１３は電磁石５．５により浮上され、
電磁石７．７によりガイドされる。第１図において、リ
ニアモータ１２により始動された台車１３は、矢印ａ方
向に走行するが、矢印ａ方向を直角方向である矢印す方
向に走行する際は、交差部Ａで一旦停止させる。次いで
、リニアモータ１１．１１により矢印す方向に始動する
ことにより迅速に方向変換が行われる。

［発明の効果］ 本発明は、以上説明したように構成されているので、従
来のターンテーブルなどの変換器を用いない簡単な構造
で、台車走行用のりニアモータにより迅速に方向変換を
行うことができ便利である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は台車
及び軌道の垂直断面図である。 Ａ・・・交差部　　１ａ、ｌｂ・・・軌道５．７・・・
電磁石　　９ａ、９ｂ・・・隙間１３・・・台車　　１
５・・・窓部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 軌道をまたぐ跨座式台車に軌道をまたぐ窓部を直交して
   設けると共に、直交する軌道の交差部に前記台車の通過
   を許す隙間を形成したことを特徴とする搬送装置。