JPH04244776A - 磁気浮上搬送装置及び搬送方法 - Google Patents
磁気浮上搬送装置及び搬送方法Info
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- JPH04244776A JPH04244776A JP854891A JP854891A JPH04244776A JP H04244776 A JPH04244776 A JP H04244776A JP 854891 A JP854891 A JP 854891A JP 854891 A JP854891 A JP 854891A JP H04244776 A JPH04244776 A JP H04244776A
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- 238000005339 levitation Methods 0.000 title claims description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 27
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、曲線部のガイドレール
を有する磁気浮上搬送装置及び搬送方法に関するもので
ある。近年の半導体装置の製造工場においては、半導体
装置の高集積化に伴い工場内を清浄化及び製品取り扱い
の自動化が要求されており、製品を自動的に搬送できる
磁気浮上搬送装置が開発されているが、直線部のガイド
レールに沿って搬送する場合においても、曲線の経路に
沿って搬送する場合と同様に搬送速度を減速して低速で
搬送しなければならない。
を有する磁気浮上搬送装置及び搬送方法に関するもので
ある。近年の半導体装置の製造工場においては、半導体
装置の高集積化に伴い工場内を清浄化及び製品取り扱い
の自動化が要求されており、製品を自動的に搬送できる
磁気浮上搬送装置が開発されているが、直線部のガイド
レールに沿って搬送する場合においても、曲線の経路に
沿って搬送する場合と同様に搬送速度を減速して低速で
搬送しなければならない。
【０００２】以上のような状況からガイドレールの曲線
部においては低速で、ガイドレールの直線部においては
高速で走行可能な磁気浮上搬送装置及び搬送方法が要望
されている。
部においては低速で、ガイドレールの直線部においては
高速で走行可能な磁気浮上搬送装置及び搬送方法が要望
されている。
【０００３】
【従来の技術】従来の磁気浮上搬送装置及び搬送方法に
ついて図４〜図５により詳細に説明する。図４は従来の
磁気浮上搬送装置の停止状態の概略構造を示す図であり
、図５は従来の磁気浮上搬送装置の走行状態の概略構造
を示す図である。
ついて図４〜図５により詳細に説明する。図４は従来の
磁気浮上搬送装置の停止状態の概略構造を示す図であり
、図５は従来の磁気浮上搬送装置の走行状態の概略構造
を示す図である。
【０００４】図４に示すように、リニアモータ１１を中
心にしてＬ字形のガイドレール１２が設けられており、
リニアモータ１１の上にはアルミニウム板１４ａ を下
面に備え被搬送物を搭載する台車１４が設けられている
。この台車１４には磁極を上方向に有する電磁石１５が
台車１４の四隅に設けられており、この電磁石１５に電
流を流すための電池１６及び図示しないガイドレール１
２と電磁石１５の磁極面とのギャップを検知してこの電
流を制御するギャップセンサが搭載されている。
このような磁気浮上搬
送装置を作動させるには、まずこのような静止状態で台
車１４に被搬送物を搭載し、図５に示すように電磁石１
５に通電してガイドレール１２と電磁石１５の磁極面と
の間隙をギャップセンサによって検知して所望のギャッ
プを形成した後、リニアモータ１１に通電して台車１４
を搬送させている。
心にしてＬ字形のガイドレール１２が設けられており、
リニアモータ１１の上にはアルミニウム板１４ａ を下
面に備え被搬送物を搭載する台車１４が設けられている
。この台車１４には磁極を上方向に有する電磁石１５が
台車１４の四隅に設けられており、この電磁石１５に電
流を流すための電池１６及び図示しないガイドレール１
２と電磁石１５の磁極面とのギャップを検知してこの電
流を制御するギャップセンサが搭載されている。
このような磁気浮上搬
送装置を作動させるには、まずこのような静止状態で台
車１４に被搬送物を搭載し、図５に示すように電磁石１
５に通電してガイドレール１２と電磁石１５の磁極面と
の間隙をギャップセンサによって検知して所望のギャッ
プを形成した後、リニアモータ１１に通電して台車１４
を搬送させている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来の磁
気浮上搬送装置及び搬送方法においては、台車を浮上さ
せる電磁石とガイドレールのみを有しているので、ガイ
ドレールの曲線部は勿論直線部においてもガイドレール
から逸脱しないような低速で走行させなければならない
という問題点があった。
気浮上搬送装置及び搬送方法においては、台車を浮上さ
せる電磁石とガイドレールのみを有しているので、ガイ
ドレールの曲線部は勿論直線部においてもガイドレール
から逸脱しないような低速で走行させなければならない
という問題点があった。
【０００６】本発明は以上のような状況から、台車の走
行速度をガイドレールの直線部においては高速にし、曲
線部においては低速にすることが可能となる磁気浮上搬
送装置及び搬送方法の提供を目的としたものである。
行速度をガイドレールの直線部においては高速にし、曲
線部においては低速にすることが可能となる磁気浮上搬
送装置及び搬送方法の提供を目的としたものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気浮上搬送装
置は、支持部により支持され、リニアモータを上面に設
けたガイドレールと、このガイドレールの水平部と対向
して台車に設けられ、この台車をこのガイドレールに対
して浮上した状態で保持する電磁石と、このガイドレー
ルの垂直部と対向してこの台車に設けられ、この台車の
水平方向の位置を規制する電磁石と、これらの電磁石の
電源となる電池とを具備する磁気浮上搬送装置において
、曲線部においては垂直部を有せず水平部のみを備えた
このガイドレールと、このガイドレールの直線部と曲線
部との接続部に設けた光源とセンサとからなる検知手段
と、この台車に設けられ、この検知手段を作動させる位
置検出板とを具備するように構成する。
置は、支持部により支持され、リニアモータを上面に設
けたガイドレールと、このガイドレールの水平部と対向
して台車に設けられ、この台車をこのガイドレールに対
して浮上した状態で保持する電磁石と、このガイドレー
ルの垂直部と対向してこの台車に設けられ、この台車の
水平方向の位置を規制する電磁石と、これらの電磁石の
電源となる電池とを具備する磁気浮上搬送装置において
、曲線部においては垂直部を有せず水平部のみを備えた
このガイドレールと、このガイドレールの直線部と曲線
部との接続部に設けた光源とセンサとからなる検知手段
と、この台車に設けられ、この検知手段を作動させる位
置検出板とを具備するように構成する。
【０００８】本発明の搬送方法は、上記の磁気浮上搬送
装置を用いる搬送方法であって、このガイドレールが直
線部から曲線部に変化する位置にこの検知手段とこのリ
ニアモータとを配設し、直線部のガイドレールに沿って
高速で移動してくるこの台車の位置検出板によってこの
検知手段が作動した場合には、このリニアモータにより
台車の移動速度を減速し、このガイドレールが曲線部か
ら直線部に変化する位置にこの検知手段とこのリニアモ
ータとを配設し、曲線部のこのガイドレールの水平部に
沿って低速で移動してくるこの台車のこの位置検出板に
よってこの検知手段が作動した場合には、このリニアモ
ータにより台車の移動速度を増速するように構成する。
装置を用いる搬送方法であって、このガイドレールが直
線部から曲線部に変化する位置にこの検知手段とこのリ
ニアモータとを配設し、直線部のガイドレールに沿って
高速で移動してくるこの台車の位置検出板によってこの
検知手段が作動した場合には、このリニアモータにより
台車の移動速度を減速し、このガイドレールが曲線部か
ら直線部に変化する位置にこの検知手段とこのリニアモ
ータとを配設し、曲線部のこのガイドレールの水平部に
沿って低速で移動してくるこの台車のこの位置検出板に
よってこの検知手段が作動した場合には、このリニアモ
ータにより台車の移動速度を増速するように構成する。
【０００９】
【作用】即ち本発明においては、台車に設けた板により
作動する検知手段をガイドレールが直線部から曲線部に
変化する位置に設け、この位置のガイドレール上にリニ
アモータを配設して直線部を高速で走行してきた台車の
走行速度を減速してガイドレールの曲線部では低速で走
行させ、ガイドレールが直線部から曲線部に変化する位
置にも同様に検知手段とリニアモータとを配設して曲線
部を低速で走行してきた台車の走行速度を増速し、ガイ
ドレールの直線部では高速で台車を走行させることが可
能となる。
作動する検知手段をガイドレールが直線部から曲線部に
変化する位置に設け、この位置のガイドレール上にリニ
アモータを配設して直線部を高速で走行してきた台車の
走行速度を減速してガイドレールの曲線部では低速で走
行させ、ガイドレールが直線部から曲線部に変化する位
置にも同様に検知手段とリニアモータとを配設して曲線
部を低速で走行してきた台車の走行速度を増速し、ガイ
ドレールの直線部では高速で台車を走行させることが可
能となる。
【００１０】
【実施例】以下図１〜図３により本発明の一実施例の磁
気浮上搬送装置及び搬送方法について詳細に説明する。 図１は本発明による一実施例の磁気浮上搬送装置の直線
部の断面図、図２は本発明による一実施例の磁気浮上搬
送装置の曲線部の断面図、図３は本発明による一実施例
の磁気浮上搬送装置の平面図である。
気浮上搬送装置及び搬送方法について詳細に説明する。 図１は本発明による一実施例の磁気浮上搬送装置の直線
部の断面図、図２は本発明による一実施例の磁気浮上搬
送装置の曲線部の断面図、図３は本発明による一実施例
の磁気浮上搬送装置の平面図である。
【００１１】図１に示すように支持部３の上には水平部
２ａと垂直部２ｂとを有するガイドレール２が設けられ
ており、水平部２ａの上面にはリニアモータ１が設けら
れている。下部にガイドレール２の水平部２ａと対向す
る磁極を有する電磁石５を、側壁の内面にガイドレール
２の垂直部２ｂと対向する磁極を有する電磁石６を備え
た台車４がリニアモータ１の上面に搭載されている。こ
の台車４の側壁の下部には光源８ａとセンサ８ｂとから
なる検知手段を作動させる位置検出板９が設けられてい
る。
２ａと垂直部２ｂとを有するガイドレール２が設けられ
ており、水平部２ａの上面にはリニアモータ１が設けら
れている。下部にガイドレール２の水平部２ａと対向す
る磁極を有する電磁石５を、側壁の内面にガイドレール
２の垂直部２ｂと対向する磁極を有する電磁石６を備え
た台車４がリニアモータ１の上面に搭載されている。こ
の台車４の側壁の下部には光源８ａとセンサ８ｂとから
なる検知手段を作動させる位置検出板９が設けられてい
る。
【００１２】ガイドレール２の曲線部においてはガイド
レール２の垂直部２ｂが電磁石６と接触するので、図２
に示すようにこの垂直部２ｂを除去している。ガイドレ
ール２の直線部と曲線部との接続部は図３に示すように
、台車４に設けた位置検出板９により作動する光源８ａ
とセンサ８ｂとからなる検知手段をガイドレール２が直
線部から曲線部に変化する位置に設け、この位置のガイ
ドレール２上にリニアモータ１−１ を配設しており、
ガイドレール２が曲線部から直線部に変化する位置にも
同様に検知手段とリニアモータ１−２ とを配設してい
るので、直線部を高速で走行してきた台車の走行速度を
リニアモータ１−１ で減速してガイドレール２の曲線
部では低速で走行させ、曲線部を低速で走行してきた台
車４の走行速度をリニアモータ１−２ で増速し、ガイ
ドレール２の直線部では台車４を高速で走行させること
が可能となる。
レール２の垂直部２ｂが電磁石６と接触するので、図２
に示すようにこの垂直部２ｂを除去している。ガイドレ
ール２の直線部と曲線部との接続部は図３に示すように
、台車４に設けた位置検出板９により作動する光源８ａ
とセンサ８ｂとからなる検知手段をガイドレール２が直
線部から曲線部に変化する位置に設け、この位置のガイ
ドレール２上にリニアモータ１−１ を配設しており、
ガイドレール２が曲線部から直線部に変化する位置にも
同様に検知手段とリニアモータ１−２ とを配設してい
るので、直線部を高速で走行してきた台車の走行速度を
リニアモータ１−１ で減速してガイドレール２の曲線
部では低速で走行させ、曲線部を低速で走行してきた台
車４の走行速度をリニアモータ１−２ で増速し、ガイ
ドレール２の直線部では台車４を高速で走行させること
が可能となる。
【００１３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によればガイドレールの直線部と曲線部との接続部に検
知手段とリニアモータを設け、検知手段により台車の到
来を検知して走行速度を増減することができるので、ガ
イドレールの形状に応じて効率良く台車を搬送させるこ
とが可能となる利点があり、著しい経済的及び、信頼性
向上の効果が期待できる磁気浮上搬送装置及び搬送方法
の提供が可能である。
によればガイドレールの直線部と曲線部との接続部に検
知手段とリニアモータを設け、検知手段により台車の到
来を検知して走行速度を増減することができるので、ガ
イドレールの形状に応じて効率良く台車を搬送させるこ
とが可能となる利点があり、著しい経済的及び、信頼性
向上の効果が期待できる磁気浮上搬送装置及び搬送方法
の提供が可能である。
【図１】 本発明による一実施例の磁気浮上搬送装置
の直線部の断面図、
の直線部の断面図、
【図２】 本発明による一実施例の磁気浮上搬送装置
の曲線部の断面図、
の曲線部の断面図、
【図３】 本発明による一実施例の磁気浮上搬送装置
の平面図、
の平面図、
【図４】 従来の磁気浮上搬送装置の停止状態を示す
図、
図、
【図５】 従来の磁気浮上搬送装置の走行状態を示す
図、
図、
１はリニアモータ、２はガイドレール、２ａは水平部、
２ｂは垂直部、３は支持部、４は台車、５は電磁石、６
は電磁石、７は電池、８は検知手段、８ａは光源、８ｂ
はセンサ、９は位置検出板、
２ｂは垂直部、３は支持部、４は台車、５は電磁石、６
は電磁石、７は電池、８は検知手段、８ａは光源、８ｂ
はセンサ、９は位置検出板、
Claims (2)
- 【請求項１】 支持部（３） により支持され、リニ
アモータ（１） を上面に設けたガイドレール（２）
と、前記ガイドレール（２） の水平部（２ａ）と対向
して台車（４） に設けられ、該台車（４） を前記ガ
イドレール（２） に対して浮上した状態で保持する電
磁石（５） と、前記ガイドレール（２） の垂直部（
２ｂ）と対向して前記台車（４） に設けられ、前記台
車（４） の水平方向の位置を規制する電磁石（６）
と、前記電磁石（５） 及び（６） の電源となる電池
（７） と、を具備する磁気浮上搬送装置において、曲
線部においては垂直部（２ｂ）を有せず水平部（２ａ）
のみを備えた前記ガイドレール（２） と、前記ガイド
レール（２） の直線部と曲線部との接続部に設けた光
源（８ａ）とセンサ（８ｂ）とからなる検知手段（８）
と、前記台車（４） に設けられ、前記検知手段（８
） を作動させる位置検出板（９） と、を具備するこ
とを特徴とする磁気浮上搬送装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の磁気浮上搬送装置を用
いる搬送方法であって、前記ガイドレール（２） が直
線部から曲線部に変化する位置に前記検知手段（８）
と前記リニアモータ（１−１） とを配設し、直線部の
前記ガイドレール（２） に沿って高速で移動してくる
前記台車（４） の前記位置検出板（９） によって前
記検知手段（８） が作動した場合には、前記リニアモ
ータ（１−１） により台車（４） の移動速度を減速
し、前記ガイドレール（２） が曲線部から直線部に変
化する位置に前記検知手段（８） と前記リニアモータ
（１−２） とを配設し、曲線部の前記ガイドレール（
２） の水平部（２ａ）に沿って低速で移動してくる前
記台車（４） の前記位置検出板（９） によって前記
検知手段（８） が作動した場合には、前記リニアモー
タ（１−２） により台車（４） の移動速度を増速す
ることを特徴とする搬送方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP854891A JPH04244776A (ja) | 1991-01-28 | 1991-01-28 | 磁気浮上搬送装置及び搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP854891A JPH04244776A (ja) | 1991-01-28 | 1991-01-28 | 磁気浮上搬送装置及び搬送方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04244776A true JPH04244776A (ja) | 1992-09-01 |
Family
ID=11696189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP854891A Pending JPH04244776A (ja) | 1991-01-28 | 1991-01-28 | 磁気浮上搬送装置及び搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04244776A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08509353A (ja) * | 1993-04-14 | 1996-10-01 | バーデュ、エルバート | 永久磁石および間に差し込まれた鉄および鋼を使用した浮揚推進装置 |
| JP2010247163A (ja) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Jfe Engineering Corp | 固定管の内外面兼用溶接機 |
| JP2017507870A (ja) * | 2014-03-19 | 2017-03-23 | メカトロニクス・アクチェンゲゼルシャフトＭｅｃａｔｒｏｎｉｘ ＡＧ | 物体を移動および／または位置決めするための搬送装置 |
-
1991
- 1991-01-28 JP JP854891A patent/JPH04244776A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08509353A (ja) * | 1993-04-14 | 1996-10-01 | バーデュ、エルバート | 永久磁石および間に差し込まれた鉄および鋼を使用した浮揚推進装置 |
| JP2010247163A (ja) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Jfe Engineering Corp | 固定管の内外面兼用溶接機 |
| JP2017507870A (ja) * | 2014-03-19 | 2017-03-23 | メカトロニクス・アクチェンゲゼルシャフトＭｅｃａｔｒｏｎｉｘ ＡＧ | 物体を移動および／または位置決めするための搬送装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010130 |