JPH0743048Y2

JPH0743048Y2 - 搬送部材用除振装置

Info

Publication number: JPH0743048Y2
Application number: JP1993003877U
Authority: JP
Inventors: 浩史緑川; 幹雄鷹野; 憲一箭野; 孝之水野; 龍児中野; 立太片村
Original assignee: Ebara Corp; Kajima Corp
Current assignee: Ebara Corp; Kajima Corp
Priority date: 1993-02-10
Filing date: 1993-02-10
Publication date: 1995-10-04
Anticipated expiration: 2005-10-04
Also published as: JPH0663514U

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、ベルトコンベア、パレ
ット等搬送部材の除振装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ベルトコンベア、パレット等の搬送部材
により、製品を送りながら加工する工場においては、搬
送部材上の製品の位置決めが非常に重要となり、そのた
めに搬送部材の除振が必要となる。

【０００３】しかしながら、従来のベルトコンベヤやロ
ーラコンベヤのような搬送部材ではその外乱振動によっ
て製品の位置ずれが起こり、特に超精密加工をする場合
は不良品が発生するおそれがある。

【０００４】精密加工を行うために、往復台に空気軸受
を設け、碇盤をエアクッションで支持した旋盤は、特公
昭６０−３３６０１号公報に開示されている。しかしな
がら、かかる公知技術は搬送手段に適用することはでき
ない。また特開平４−２００１７７号公報には、ＣＣＤ
カメラを磁気浮上により防振支持する技術が開示されて
いる。しかしながら、かかる公知技術も搬送手段に適用
できず、また磁石の反発力を利用しているので不安定で
ある。

【０００５】さらに、特開昭６３−８１１１号公報には
空気圧を利用したローラの駆動装置が開示されている。
しかしながら空気作動で信号空気にしろ作動空気にしろ
時間遅れを生ずるので、位置の制御が困難であり、振動
が生じない。また、特開昭５８−７８１４１号公報には
軸受に遊嵌された軸が磁力で浮遊しており、また駆動装
置の電磁石コイルと軸とも非接触状態にした技術が開示
されている。しかしながら、かかる公知技術は磁石の反
発力を利用したものであり不安定である。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】したがって本考案の目
的は、外乱振動に対して製品の位置ずれがなく、安定し
て搬送部材を搬送できる搬送部材用除振装置を提供する
にある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本考案の搬送部材用除振
装置によれば、床（Ｆ）に電磁アクチュエータ（１０）
を介して作業台（１）が設置され、隣接する作業台
（１）間の床（Ｆ）には固定台（４）が設置され、その
固定台（４）と作業台（１）とはフレキシブルなジョイ
ント（５）に連結され、作業台（１）の上面に設けたロ
ーラ（３）で案内される搬送部材（６）が設けられ、電
磁アクチュエータ（１０）には作業台を支持するロータ
（１１）と床（Ｆ）に設置されたステータ（１５）とを
備え、ステータ（１５）には水平方向制御用電磁石（１
７）と浮上及び鉛直方向制御用電磁石（１８）と水平ギ
ャップセンサ（２０）と鉛直ギャップセンサ（２１）と
鉛直方向加速度センサ（２４）とが設けられ、作業台
（１）には鉛直方向加速度センサ（２２）と水平方向加
速度センサ（２３）とが設けられ、前記の各センサ（２
０、２１、２２、２３、２４）からの信号と目標値との
差の信号を鉛直制御用電磁石（１８）および水平制御用
電磁石（１７）に入力するコントローラ（３５）を備え
ている。

【０００８】さらに本考案の搬送部材用除振装置によれ
ば、床（Ｆ）に複数のシャフト（４１）が固設され、そ
のシャフト（４１）には隙間を有して搬送部材（９）に
搬送するローラ（４２）が設けられ、そのローラ（４
２）には複数の電磁石（４３）と前記隙間のギャップを
計る３個のギャップセンサ（４４）とが設けられ、床
（Ｆ）には鉛直方向加速度センサ（５４）が設けられ、
鉛直方向加速度センサ（４５）とギャップセンサ（４
４）からの信号を受けて目標値と各センサからの信号の
差により電磁石（４３）を制御してローラ（４２）の浮
上位置を制御するコントローラ（４４）からの信号を受
けて目標値と各センサからの信号の差により電磁石（４
３）を制御してローラ（４２）の浮上位置を制御するコ
ントローラ（４６）が設けられている。

【０００９】

【作用効果の説明】したがって請求項１に記載した考案
では作業台上を搬送される搬送部材は、ロータがコント
ローラにより水平および鉛直の全方向に制御されている
ので、正しく支持されており、浮上しているので、床か
らの振動の影響は受けない。したがって、例えば作業機
械による振動を受けずに加工することができる。

【００１０】また請求項２に記載した考案によれば、ロ
ーラは３つのギャップセンサによってコントローラで電
磁石を制御されてシャフトを中心にして浮上支持されて
いるので、ローラ上を搬送される搬送部材は外乱振動の
影響を受けない。

【００１１】

【実施例】以下図面を参照して本考案の実施例を説明す
る。図１において、床Ｆには、複数の作業台１が、それ
ぞれ複数の電磁アクチュエータ１０を介して間隔を設け
て直列に設置されている。それらの相隣る作業台１、１
の間の床Ｆには固定台４が設置され、この固定台４と作
業台１とは、フレキシブルアコーディオン状のジョイン
ト５で連結されている。

【００１２】その作業台１の側面には、作業機械２が付
設され、また、複数の作業台１の上面には、搬送部材で
あるベルトコンベア６を面一に支持する複数のベルトコ
ンベア用ローラ３が回転自在に設けられている。

【００１３】図２において、電磁アクチュエータ１０に
は、作業台１を支持するロータ１１と、床面Ｆに設置さ
れたステータ１５とが設けられている。そのロータ１１
は、断面が横Ｈ字状に形成され、支持用フランジ１２、
縦部１３及び浮上用フランジ１４が設けられている。他
方、ステータ１５には、ロータ１１の縦部１３及び浮上
用フランジ１４を隙間を設けて収める逆Ｔ字状の溝１６
が形成されている。この隙間１６の縦部１３の上部寄り
に対向する部分には、水平方向制御用電磁石１７が設け
られ、浮上用フランジ１４の上面に対向する部分には、
浮上及び鉛直方向制御用電磁石１８が設けられている。
また、水平方向制御用電磁石１７に近接して水平ギャッ
プセンサ２０が設けられ、溝１６の底部には、鉛直ギャ
ップセンサ２１が設けられている。なお、図３に示すよ
うに、作業台１には、鉛直方向加速度センサ２２と水平
方向加速度センサ２３とが設けられ、ステータ１５に
は、鉛直方向加速度センサ２４が設けられている。

【００１４】図３には、電磁アクチュエータ１０の制御
回路のブロック線図が示されている。

【００１５】水平方向加速度センサ２３で検出された作
業台１上の水平方向加速度、鉛直方向加速度センサ２
２、２４で検出された作業台１上の鉛直方向加速度及び
床Ｆの鉛直方向加速度はコントローラ３５にフィードバ
ックされる。また、水平ギャップセンサ２０、鉛直ギャ
ップセンサ２１で検出されたステータ１５とロータ１１
の相対変位もコントローラ３５にフィードバックされ、
センサ２０〜２４により得られた各信号と目標値との差
の信号が、補償回路３１、３４、パワーアップ３０、３
３を介してそれぞれ鉛直制御用電磁石１８、水平制御用
電磁石１７に入力される。

【００１６】上記の制御により、ロータ１１は、水平及
び鉛直の全方向に制御され、床Ｆの振動が除振される。
また、作業機械２による振動が床Ｆに伝播するのが防止
される。

【００１７】図４は本考案の別の実施例を示し、搬送部
材が製品Ｗを搭載したパレットＰに対し、パレット用ロ
ーラを面一に配列された磁気軸受４０で構成した例であ
る。この軸受４０のシャフト４１は、床Ｆに固設され、
ローラ４２とシャフト４１との間には、隙間が形成され
ている。そのローラ４２には、複数（図示の例では８
個）の電磁石４３と、３個のギャップセンサ４４とが設
けられ、また、床には図５に示す鉛直方向加速度センサ
４５が設けられている。

【００１８】図５には、磁気軸受４０の制御回路のブロ
ック線図が示されている。

【００１９】鉛直方向加速度センサ４５で検出された床
の鉛直加速度は、コントローラ４６へフィードバックさ
れる。また、ギャップセンサ４４で検出されたシャフト
４１とローラ４２間の相対変位もコントローラ４６にフ
ィードバックされ、目標値と各信号の差の信号が補償回
路４７、パワーアップ４８を介して電磁石４３に入力さ
れ、ローラ４２の浮上位置を制御する。

【００２０】

【考案の効果】以上の通り、いずれの実施例でも下記の
すぐれた効果を奏する。（１）ギャップセンサからの信号をコントローラで処
理して電磁石を作動させるので、安定した制御ができ、
位置決めが確実である。（２）搬送部材を浮上させた状態で正しく搬送でき、
外乱の影響を全く受けない。（３）したがって、精密加工等に実施して製品の位置
ずれがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す側面図。

【図２】図１の電磁アクチュエータを示す側断面図。

【図３】電磁アクチュエータの制御回路のブロック線
図。

【図４】本考案の別の実施例を示す一部を断面で示した
側面図。

【図５】図４の磁気軸受の制御回路のブロック線図。

【符号の説明】

Ｆ・・・床Ｐ・・・パレットＷ・・・製品１・・・作業台２・・・作業機械３・・・ベルトコンベア用ローラ４・・・固定台５・・・ジョイント６・・・ベルトコンベア１０・・・電磁アクチュエータ１１・・・ロータ１２・・・支持用フランジ１３・・・縦部１４・・・浮上用フランジ１５・・・ステータ１６・・・溝１７・・・水平方向制御用電磁石１８・・・浮上及び鉛直方向制御用電磁石２０・・・水平ギャップセンサ２１・・・鉛直ギャップセンサ２２・・・鉛直方向加速度センサ２３・・・水平方向加速度センサ２４、４５・・・鉛直方向加速度センサ３０、３３、４８・・・パワーアップ３１、３４、４７・・・補償回路４０・・・磁気軸受４１・・・シャフト４２・・・ローラ４３・・・電磁石４４・・・ギャップセンサ３５、４６・・・コントローラ

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｂ６５Ｇ 21/12 Ｂ 39/12 Ｆ１６Ｃ 32/04 Ｚ (72)考案者箭野憲一東京都調布市飛田給二丁目19番１号鹿島建設株式会社技術研究所内 (72)考案者水野孝之東京都調布市飛田給二丁目19番１号鹿島建設株式会社技術研究所内 (72)考案者中野龍児東京都調布市飛田給二丁目19番１号鹿島建設株式会社技術研究所内 (72)考案者片村立太東京都調布市飛田給二丁目19番１号鹿島建設株式会社技術研究所内 (56)参考文献特開平４−200177（ＪＰ，Ａ) 特開昭63−8111（ＪＰ，Ａ) 特開昭58−78141（ＪＰ，Ａ) 特開平１−141227（ＪＰ，Ａ) 特開平３−41214（ＪＰ，Ａ) 特開昭61−133804（ＪＰ，Ａ) 特開平４−78315（ＪＰ，Ａ) 実開昭60−90436（ＪＰ，Ｕ) 特公昭60−33601（ＪＰ，Ｂ２)

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】床（Ｆ）に電磁アクチュエータ（１０）
を介して作業台（１）が設置され、隣接する作業台
（１）間の床（Ｆ）には固定台（４）が設置され、その
固定台（４）と作業台（１）とはフレキシブルなジョイ
ント（５）に連結され、作業台（１）の上面に設けたロ
ーラ（３）で案内される搬送部材（６）が設けられ、電
磁アクチュエータ（１０）には作業台を支持するロータ
（１１）と床（Ｆ）に設置されたステータ（１５）とを
備え、ステータ（１５）には水平方向制御用電磁石（１
７）と浮上及び鉛直方向制御用電磁石（１８）と水平ギ
ャップセンサ（２０）と鉛直ギャップセンサ（２１）と
鉛直方向加速度センサ（２４）とが設けられ、作業台
（１）には鉛直方向加速度センサ（２２）と水平方向加
速度センサ（２３）とが設けられ、前記の各センサ（２
０、２１、２２、２３、２４）からの信号と目標値との
差の信号を鉛直制御用電磁石（１８）および水平制御用
電磁石（１７）に入力するコントローラ（３５）を備え
ていることを特徴とする搬送部材用除振装置。
【請求項２】床（Ｆ）に複数のシャフト（４１）が固
設され、そのシャフト（４１）には隙間を有して搬送部
材（９）に搬送するローラ（４２）が設けられ、そのロ
ーラ（４２）には複数の電磁石（４３）と前記隙間のギ
ャップを計る３個のギャップセンサ（４４）とが設けら
れ、床（Ｆ）には鉛直方向加速度センサ（５４）が設け
られ、鉛直方向加速度センサ（４５）とギャップセンサ
（４４）からの信号を受けて目標値と各センサからの信
号の差により電磁石（４３）を制御してローラ（４２）
の浮上位置を制御するコントローラ（４４）からの信号
を受けて目標値と各センサからの信号の差により電磁石
（４３）を制御してローラ（４２）の浮上位置を制御す
るコントローラ（４６）が設けられていることを特徴と
する搬送部材用除振装置。