JPH02193504A - 搬送体移送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、搬送体を所定の場所に移送する搬送体移送
装置に係り、特に、クリーンルーム内において好適に使
用される搬送体移送装置に関するものである。

「従来の技術」 周知の如（、半導体等塵埃を極端に嫌う機器、あるいは
薬品、食物等微生物を極端に嫌う物質は、クリーンルー
ムと呼ばれる空間内で一般的に製造される。クリーンル
ームとは、その領域内を浮遊する塵埃、微生物等の粒子
の径及び個数が一定のレベル内とされた高清浄度な雰囲
気に維持された空間である。

クリーンルーム内を一定の高清浄度な雰囲気に維持する
ためには、空調機等により内部を浮遊する粒子を捕獲す
ることは勿論、クリーンルーム内において可能な限り塵
埃等の発生を抑制することが必要である。従って、クリ
ーンルーム内部に配置される設備等には、このような発
塵対策が施されたものが必要となる。

第６図は、従来のクリーンルーム内に設置される搬送体
移送装置の例を示す図である。この搬送体移送装置は、
半導体製造工程におけるウェハ等の製造物の搬送に使用
されるものであり、図中、符号１は断面路Ｉ字状の磁性
体からなる軌道であり、この軌道１上には、これを覆う
ように断面略Ｃ字状のスライダ２が配置されている。こ
のスライブ２上には、クリーンルーム内を移送すべき製
造物等が搭載される。スライダ２の両裾部２ａ、２ａ内
方には、前記軌道１に相対向する浮上用電磁石３．３が
設けられている。また、スライダ２の両測部内方には、
前記軌道ｌの両側面に相対向する移動用電磁石４．４が
設けられている。

そして、浮上用電磁石３．３を励磁することで、これら
と軌道１との間の吸引力を利用してスライダ２を浮上さ
せると共に、移動用電磁石４．４により進行磁界を発生
させることで、スライダ２を軌道１に沿って移動させる
。これにより、スライダ２上に搭載された製造物等が所
定の場所に移送される。

この場合、スライダ２上に搭載される製造物等の積載荷
重の変化に対応して、浮上用電磁石３．３による吸引力
の制御を行う必要がある。これは、浮上用電磁石３と軌
道１との間の間隙を測定する位置センサ５．５及びスラ
イダ２上に搭載された制御回路６によって行われる。ま
た、浮上用電磁石３．３への電源供給は、外部から集電
子（ブラシ）等を用いて給電すると発塵の原因となるの
で、スライダ２内に搭載したバッテリー７．７から行う
構成となっている。

「発明が解決しようとする課題」 しかしながら、前記従来の如（、スライダ２浮上のため
の電源供給をバッテリー７．７に依存した構成とすると
、スライダ２上に搭載しうる）寸・ソテリー７の容量に
限界があるため、その寿命が通常４０〜１５０分程度と
短く、しかも浮上用電磁石３．３による磁力も１５ｋｇ
程度と小さい。従って、スライダ２上に搭載しうる製造
物等の重量に限界があり、クリーンルーム内での実際の
適用が困難な状況にあった。

この発明は前記事情に鑑みてなされたものであり、塵埃
の発生を極力抑制した状態での外部からの給電を可能と
することで、クリーンルーム内で十分実用に耐えうる搬
送物移送装置の提供を目的としている。

「課題を解決するための手段」 そこでこの発明は、磁性体からなる軸を有する搬送体と
、この搬送体の軸の長手方向に所定間隔を置いて設けら
れ、この軸を浮上させた状態で保持する浮上用電磁石と
、軸の長手方向に所定間隔を置いて設けられた磁石と、
これら磁石に相対向して設けられ、前記軸の長手方向に
沿う移動及び制動を行う移動用電磁石とを備えた搬送体
移送装置を構成することで、前記課題を解決せんとして
いる。

「実施例」 以下、この発明の実施例について図面を参照して説明す
る。

第１図ないし第５図は、この発明の搬送体移送装置をク
リーンルーム内のロボット移送に用いた一実施例を示す
図である。図中、符号１１は磁性体からなる断面円形の
軸であり、この軸１１には、その側面下方に断面Ｔ字状
のノ）ンガー１２が設けられていると共に、このハンガ
ー１２には図示されない吊下形のロボットが取り付けら
れている。

そして、これら軸１１、ハンガー１２及びロボット全体
として、クリーンルーム内を移送すべき搬送物が構成さ
れている。

また、クリーンルームの天井等（図示路）には、軸１１
の長手方向に等間隔を置いて浮上用電磁石１３．１３、
・・・が複数個設けられている。この浮上用電磁石１３
は、第２図に示すように、円筒状の磁性体からなるヨー
ク１４に６極のポール１５．１５、・・・が形成され、
かつ、これらポール１５、・・・にコイル（図示路）が
巻回されて構成されている。また、ヨーク１４は、前記
ハンガー１２に対応する部分が切欠かれて形成されてい
る。これら浮上用電磁石１３．１３、・・・は、前記軸
１１の全長が３つの電磁石１３．１３、・・・間の間隔
より若干長くなるように、その配置間隔が設定されてい
る。

さらに、前記軸１１には、第３図に示すように、その全
長を略３等分する位置の両側面に永久磁石１６．１６、
・・・がそれぞれ嵌め込まれている。この永久磁石１６
は、その極が軸１１の長手方向に沿って配置され、かつ
、これら全ての永久磁石１６．１６、・・・の極の方向
が一致されている。

そして、前記浮上用電磁石１３．１３、・・・の間には
、永久磁石１６．１６、・・・に相対向する位置に移動
用電磁石１７．１７、・・・が複数個配置されている。

この移動用電磁石１７は、励磁されたときの磁力線の方
向が前記軸１１の長手方向に略−致するように、その構
造及び配置方向が決定されている。また、これら移動用
電磁石１７、・・・の配置間隔は、永久磁石１６、・・
・間の配置間隔と路間−とされている。

そして、以上示した軸１１、ノ１ンガー１２、浮上用電
磁石１３、・・・、永久磁石１６、・・・及び移動用電
磁石１７、・・・により、この発明の一実施例たる搬送
体移送装置が構成されている。なお、これら浮上用電磁
石１３、・・・及び移動用電磁石１７、・・・には、ク
リーンルーム内の商用電源から電源が供給される構成と
なっている。

次に、以上のような構成を有する搬送体移送装置の作用
について説明する。

まず、軸１１を非接触状態で保持するために、浮上用電
磁石１３．１３、・・・に電源を供給して励磁する。こ
れにより、電磁石１３、・・・のポール１６、・・・及
び軸１１の周縁部には、第２図に示すような磁力線の閉
回路が形成され、これらの間に吸引力が発生することで
、軸１１が電磁石１３、・・・の中央部において非接触
状態で（すなわち浮上した状態で）保持される。

次に、吊下形ロボットが取り付けられた軸１１をその長
手方向に沿って移動させるには、例えば第１図において
軸１１を紙面の左方から右方へ移動させるには、最左端
の移動用電磁石１７．１７を励磁して、これらと永久磁
石１６．１６との間に反発力を生じさせる。これにより
、軸１１はその長手方向への力を受け、紙面の左方から
右方へと移動する。そして、軸１１の最左端の永久磁石
１６．１６が次の移動用電磁石１７．１７に相対向する
位置にまで移動したら、第２図に示すように、これら移
動用電磁石１７．１７を励磁して、さらに軸１１を右方
へと移動させる。また、軸１１を右方から左方へと移動
させるには、逆に軸１１の右端の電磁石との間に反発力
が生じるように移動用電磁石１７．１７を励磁すればよ
い。

そして、このように移動している軸１１を停止させるに
は、軸１１の左端の永久磁石１６．１６が停止箇所付近
の移動用電磁石１７．１７に相対向する位置まで移動し
た段階で、これら移動用電磁石１７．１７を励磁するこ
とで、永久磁石１６．１６との間の吸引力を生じさせる
。これにより、軸１１は移動方向と反対の長手方向に沿
う力を受け、励磁された電磁石１７．１７付近で停止す
ることになる。

従って、この実施例の搬送物移送装置によれば、吊下形
ロボ・７トが取り付けられた軸１１を全く非接触状態で
移動、停止させることができるので、移動に伴う発塵の
心配がなく、クリーンルーム内において用いるのに大変
好適である。また、移動する側の軸１１には駆動源が付
設されておらず、駆動源たる浮上用電磁石１３、・・・
及び移動用電磁石１７、−・・は全て固定側に位置され
ているので、これら電磁石１３．１７、・・・を商用電
源で駆動することが可能となる。これにより、従来の如
くバッテリーの寿命を心配する必要もなくなると共に、
大電力で電磁石１３．１７、・・・を励磁することが可
能となり、実用上必要とされる５０〜１００ｋｇの磁力
を発生させることが可能となる。よって、クリーンルー
ム内における各種搬送物移送装置として、十分に実用可
能なものが提供できる。

なお、この発明の搬送物移送装置は、その細部が前記実
施例に限定されず、種々の変形例が可能である。−例と
して、移送すべき搬送物は、前記実施例の如く吊下形ロ
ボットに限定されず、例えばウェハ等の製作物や扉等の
各種設備であってもよい。

「発明の効果」 以上詳細に説明したように、この発明によれば、磁性体
からなる軸を有する搬送体と、この搬送体の軸の長手方
向に所定間隔を置いて設けられ、この軸を浮上させた状
態で保持する浮上用電磁石と、軸の長手方向に所定間隔
を置いて設けられた磁石と、これら磁石に相対向して設
けられ、前記軸の長手方向に沿う移動及び制動を行う移
動用電磁石とを備えた搬送体移送装置を構成したので、
これら浮上用電磁石及び移動用電磁石を励磁することで
搬送体の軸を全く非接触状態で移動、停止させることが
できる。従って、移動に伴って塵埃が発生することがな
（、クリーンルーム内において用いるのに大変好適であ
る。また、移動側の軸には駆動源が付設されておらず、
駆動源たる浮上用電磁石及び移動用電磁石は全て固定側
に位置されているので、これら電磁石を商用電源で駆動
することが可能となる。これにより、従来の如くバッテ
リーの寿命を心配する必要もなくなると共に、大電力で
電磁石を励磁することが可能となり、実用上必要とされ
る大磁力を発生させることが可能となる。よって、この
発明によれば、クリーンルーム内における各種搬送物移
送装置として、十分に実用可能なものが提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第５図は、この発明の一実施例である搬送
物移送装置を示す図であって、第１図は全体構成を示す
概略平面図、第２図は第１図の■−■′線に沿う矢視断
面図、第３図は同ｍ−ｍ’線に沿う矢視断面図、第４図
は軸を移動させるための作用を説明するための図、第５
図は軸を停止させるための作用を説明するための図、第
６図は従来の搬送物移送装置を示す断面図である。 １１・・・・・・軸、１２・・・・・・ハンガー　１３
・・・・・・浮上用電磁石、１６・・・・・・永久磁石
、１７・・・・・・移動用電磁石。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 磁性体からなる軸を有する搬送体と、この搬送体の軸の
   長手方向に所定間隔を置いて設けられ、この軸を浮上さ
   せた状態で保持する浮上用電磁石と、軸の長手方向に所
   定間隔を置いて設けられた磁石と、これら磁石に相対向
   して設けられ、前記軸の長手方向に沿う移動及び制動を
   行う移動用電磁石とを備えた搬送体移送装置。