JP2007127281A - 直線案内軸受装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基台1上を案内方向に移動可能な可動体としてのテーブル3と、テーブル3を気体によって支持・案内する空気軸受部4と、テーブル3を基台1に対して吸引する吸引力付与部5と、を備え、吸引力付与部5に異物侵入防止用のカバー6を設けた。
【選択図】図1
Description
1a 基準面
2 ガイドレール
3 テーブル
4 空気軸受部
4a 水平方向空気軸受
4b 上下方向空気軸受
5 吸引力付与部
5a 吸引部材
5b 永久磁石
5c スペーサ
6 異物侵入防止用カバー
6a 吸引部材カバー
6b 第1の磁石カバー
6c 第2の磁石カバー
Claims (1)
- 基台上を案内方向に移動可能な可動体と、当該可動体を当該基台に対して吸引する吸引力付与手段と、を備えた直線案内軸受装置であって、前記吸引力付与手段に異物侵入防止用のカバーを設けた直線案内軸受装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007001102A JP4591450B2 (ja) | 2007-01-09 | 2007-01-09 | 直線案内軸受装置 |
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JP2007001102A JP4591450B2 (ja) | 2007-01-09 | 2007-01-09 | 直線案内軸受装置 |
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JP31617598A Division JP3991177B2 (ja) | 1998-11-06 | 1998-11-06 | 直線案内軸受装置 |
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JP2007127281A true JP2007127281A (ja) | 2007-05-24 |
JP4591450B2 JP4591450B2 (ja) | 2010-12-01 |
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JP2007001102A Expired - Fee Related JP4591450B2 (ja) | 2007-01-09 | 2007-01-09 | 直線案内軸受装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015098122A1 (ja) * | 2013-12-26 | 2015-07-02 | 日本精工株式会社 | 直動案内軸受装置、搬送装置及び工作機械 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01216120A (ja) * | 1988-02-22 | 1989-08-30 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
JPH0487551A (ja) * | 1990-07-26 | 1992-03-19 | Nippon Seiko Kk | リニアモータ装置 |
JPH0645114U (ja) * | 1992-11-30 | 1994-06-14 | 株式会社日平トヤマ | スライドシール |
JPH07158639A (ja) * | 1993-12-06 | 1995-06-20 | Izumi Kikai Seisakusho:Kk | 直線摺動用ベアリングのカバ−ユニット |
-
2007
- 2007-01-09 JP JP2007001102A patent/JP4591450B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
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WO2015098122A1 (ja) * | 2013-12-26 | 2015-07-02 | 日本精工株式会社 | 直動案内軸受装置、搬送装置及び工作機械 |
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JP4591450B2 (ja) | 2010-12-01 |
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