JPH0487551A - リニアモータ装置 - Google Patents

リニアモータ装置

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JPH0487551A
JPH0487551A JP2200077A JP20007790A JPH0487551A JP H0487551 A JPH0487551 A JP H0487551A JP 2200077 A JP2200077 A JP 2200077A JP 20007790 A JP20007790 A JP 20007790A JP H0487551 A JPH0487551 A JP H0487551A
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JP
Japan
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teeth
magnetic pole
movable body
linear motor
thin film
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JP2200077A
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English (en)
Inventor
Atsushi Kenjo
見城　篤
Takashi Kataoka
隆 片岡
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NSK Ltd
Original Assignee
NSK Ltd
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    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K5/00—Casings; Enclosures; Supports
    • H02K5/04—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
    • H02K5/10—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof with arrangements for protection from ingress, e.g. water or fingers
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors

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  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Linear Motors (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は可動体と固定体の一方に磁極歯を、他方に該磁
極歯に僅少のギャップを介して対向する歯を夫々備え、
前記磁極歯と歯とが対向しながら可動体が移動する構造
のリニアモータ装置の改良に関するものである。
（従来の技術） 従来の工作機械のテーブル移送装置等に用いられるリニ
アモータ装置は、複数の磁極歯を有する可動体と、該磁
極歯に僅少のギャップを介して対向する複数の固定歯を
有する固定体を備え、前記可動体が前記固定体に沿って
移動可能であるように構成されている（特開昭６３−１
８０４４３号公報） 又、上記従来のリニアモータ装置においては、可動体に
取付けられた掻き取り部材が、固定体の固定歯間の溝を
被覆する防塵カバーに摺接して該カバーの表面の塵埃を
掻き取るようにされている。
（発明が解決しようとする課題） この種のリニアモータ装置において、該装置の推力を向
上させるためには、可動体の磁極歯と固定休の固定歯間
のギャップ（間隙）を狭くすることが望ましい。そのた
めには従来、両歯面を研磨加工し、該両歯面を狭いギャ
ップを介して対向させる構造にしている。しかしながら
、このようにギャップが狭いためギャップ間に塵埃を巻
き込み固定体の固定歯面及び可動体の磁極歯面を損傷す
る可能性がある。更に上記研磨加工した磁極歯面及び固
定歯面が直接大気に露呈しているために該歯面に腐食や
錆が発生し易い。また、このリニアモータ装置をクリー
ンルーム内あるいは真空中で使用する場合、磁極歯及び
固定歯が露出しているために塵埃及びガスを発生すると
いう問題点もある。　そこで、上記従来のリニアモータ
装置は防塵カバーと掻き取り部材とを設けているが、上
記ギャップへの塵埃の侵入を防止する掻き取り部材は防
塵カバーの表面を摺接しているので、前記カバーの表面
との摩擦抵抗によりリニアモータ装置の推力が低下する
不具合がある。
本発明は、かかる従来の問題点を解決するためになされ
たもので、リニアモータ装置の推力を低下させることな
く塵埃のギャップへの巻き込みを防止できると共に、磁
極歯面及び固定歯面の耐腐食性及び耐錆性の向上を図り
且つ真空雰囲気中の塵埃及びガスのＲ”ｔＥを低減する
ことができるリニアモータ装置を提供することを目的と
する。
（課題を解決するための手段） 本発明は上記目的を達成するために、可動体と固定体の
一方に磁極歯を、他方に該磁極歯に僅少のギャップを介
して対向する歯を夫々設け、前記可動体が前記固定体に
沿って移動可能であるリニアモータ装置において、前記
磁極歯間及び前記歯間に形成される凹所を非磁性体から
成る充填材で充填するとともに前記磁極歯及び前記歯の
少なくとも一方の端面を非磁性体から成る薄膜で被覆し
、且つ、塵埃除去板を前記可動体及び前記固定体の少な
くともいずれか一方に取り（−１けると共に、前記塵埃
除去板は対向する固定体または可動体との間隙が前記ギ
ャップより狭く且つ固定体または可動体に対して非接触
状態となるようにしたことを特徴とするリニアモータ装
置を提供する。
（作用） 磁極歯間及び歯間の凹所に非磁性体の充填材が充填され
且つ前記磁極歯及び歯の少なくとも一方に非磁性体の薄
膜を被覆した状態で可動体及び固定体の歯同士が対向し
ながら可動体が固定体に沿って移動する。
更に、可動体の移動に伴って、対向する固定体または可
動体の歯との間隙が前記磁極歯と歯とのギャップより狭
く且つ固定体または可動体に対して非接触状態に配され
た塵埃除去板により、リニアモータ装置の推力を低下す
ることなく、前記固定体上または可動体上の塵埃の前記
ギャップへの巻き込みを防止する。
（実施例） 次に図面に基づいて本発明の一実施例を説明する。
第１図は本発明の一実施例に係るリニアモータ装置の縦
断面図である。可動体ｌは固定体２の長手方向に摺動自
在に取り付けられている。前記可動体ｌは図示しないボ
ール循環式ベアリングを介して固定体２に摺動自在に取
り付けられたテーブル３と、該テーブル３の内面に固着
された可動子４とから構成され、一方、固定体２はレー
ル状の基台５と、該基台５の上面に固着された固定子６
とから構成されている。前記可動体１の可動子４の固定
子６側には、各々複数の磁極歯４ａを有する磁極４ｂが
複数個一体に形成されている。一方、固定子６には前記
磁極歯４ａに対向する固定歯６ａが長手方向、即ち可動
体１の移動方向に一定のピッチで一体に配列形成されて
いる。更に、前記可動子４の各磁極４ｂには電磁コイル
７が巻装され磁極４ｂと共にリニアモータ装置の駆動部
を形成している。
第２図に示すように、前記磁極歯４ａ間に形成される複
数の溝４ｃ及び前記磁極４ｂ間の溝４ｄ並びに前記固定
歯６ａ間に形成される複数の溝６ｂから成る各凹所には
非磁性体、例えばエポキシ樹脂から成る充填材８が充填
されている。更に、前記磁極歯４ａの端面及び溝４ｃ、
４ｄ内の充填材８の表面は研磨加工されており、それら
の面には非磁性体から成る薄膜９が接着され一様に被覆
されている。この薄膜９は非磁性体としてはガス発生度
合が小さいいわゆる低発ガス材料、例えばステンレスが
好ましい。同様に、前記固定歯６ａの端面及び溝６ｂ内
の充填材８の表面にも上記と同じ薄膜９が接着され一様
に被覆されている。
一方、前記可動体ｌの前後両端に固着された支持部材１
０の各々には塵埃除去板１１がボルト１２により取り付
けられ、その先端部１１ａは第３図に示すように、該先
端部１１ａと固定子６側の薄膜９間の間隙Ａが、前記可
動子４側の薄膜９と固定子６側の薄膜９間の間隙Ｂ（ギ
ャップ）より狭く、且つ固定子６側の薄膜９に接触しな
いように配されている。
上記構成のリニアモータ装置は、電磁コイル７を図示し
ないパルス発生源によって順次通電することにより、可
動子４の各磁極４ｂと固定子６の固定歯６ａとの間に磁
気的吸引力が生じ、可動体ｌが一定ピッチずつ歩進する
。
可動体１の移動に伴って、該可動体ｌの前後両端に取付
けられた塵埃除去板１１．ＩＩの進行方向前側の一方は
、固定子６側の薄膜９上に付着した塵埃の間隙Ｂへの巻
き込みを防止する。本実施例では塵埃除去板１１の先端
部１１ａが薄膜９に接触しないので先端部１１ａと薄膜
９との間の摩擦抵抗によるリニアモータの推進力の低下
が生じない。且つ、先端部１１ａと８Ｍ９との間隙Ａ（
第３図）を間隙Ｂより狭くしたので薄膜９，９を損傷す
る程の大きさの塵埃を効果的に掃き取ることができる。
一方、前記可動子４と固定子６の溝４ｃ、６ｔ）及び磁
極４ｂ間の溝４ｄを充填材８で充填したので、研磨加工
時に返り（ぼり）が少なくなると共に、研磨加工により
磁極歯４ａの端面と＊４Ｃ及び溝４ｄ内の充填材８の表
面及び固定歯６ａの端面と溝６ｂ内の充填材８の表面が
共に平坦な同一面になるので、前記薄膜９，９を極力薄
く、且つ平坦に被覆できる。従って、前記ギャップＢを
十分に狭くできることによりリニアモータ装置の推力を
向上することができる。
更に、前記置溝４ｃ、４ｄ及び６ｂを充填材８で充填し
、これらの溝４ｃ、４ｄ及び６ｂと磁極歯４ａ及び固定
歯６ａを夫々薄膜９．９とで被覆したので、前記各歯の
表面及び溝の壁面の腐食を防止できると共に、クリーン
ルーム内等の真空雰囲気中における塵埃の発生あるいは
防錆油、洗滌油の残滓からのガスの発生を低減すること
ができる。
尚、本実施例では薄膜を可動体と固定体の双方に設けた
が、一方のみに設けても塵埃及びガスの発生を低減する
効果が得られる。
また、可動体の駆動は同期駆動のほかマイクロステップ
駆動としても良い。さらに、可動体と固定体の対向歯面
を被覆する薄膜は塵埃の発生の点から言えば固定体側は
その影響が少ないので省略しても良い。
第４図は、本発明のリニアモータ装置の別の実施例を示
すもので、第１図に示す実施例とは反対に、固定体２側
に磁極歯６ｃと塵埃除去板１１とを配置したもので、リ
ニアモータ装置はこの実施例の構成に依り前記実施例と
同様に作動すると共に、前記塵埃除去板１１は可動体ｌ
の移動に伴って可動体ｌ側の薄膜９上に付着した塵埃を
掃き取るものである。
（発明の効果） 以上詳述したように本発明に依れば、可動体と固定体の
一方に磁極歯を、他方に該磁極歯に僅少のギャップを介
して対向する歯を夫々設け、前記可動体が前記固定体に
沿って移動可能であるリニアモータ装置において、前記
磁極歯間及び前記歯間に形成される凹所を非磁性体から
成る充填材で充填するとともに前記磁極歯及び前記歯の
少なくとも一方の端面を非磁性体から成る薄膜で被覆し
、且つ、塵埃除去板を前記可動体及び前記固定体の少な
（ともいずれか一方に取り付けると共に、前記塵埃除去
板は対向する固定体または可動体との間隙が前記ギャッ
プより狭く且つ固定体または可動体に対して非接触状態
となるようにしたことを特徴とするので、リニアモータ
の推力を低下することなく塵埃を除去できると共に、磁
極歯面及び４゜ 歯面の腐食を防止し、且つ、真空雰囲気中の塵埃及びガ
スの発生を低減すると云う優れた効果を奏することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例に係るリニアモータ装置を示
す縦断面図、第２図は第１図の装置の一磁極近傍部分の
拡大断面図、第３図は第１図の装置の塵埃除去板近傍部
分の拡大断面図、第４図は本発明の別の実施例に係るリ
ニアモータ装置を示す縦断面図である。 ｌ・・・可動体、２・・・固定体、４ａ、６ｃ・・・磁
極歯、４ｃ、４ｄ、６ｂ−溝（凹所）、６ａ・・・固定
歯（歯）、８・・・充填材、９・・・薄膜、１１・・・
塵埃除去板、Ａ・・・間隙、Ｂ・・・ギャップ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １、可動体と固定体の一方に磁極歯を、他方に該磁極歯
    に僅少のギャップを介して対向する歯を夫々設け、前記
    可動体が前記固定体に沿って移動可能であるリニアモー
    タ装置において、前記磁極歯間及び前記歯間に形成され
    る凹所を非磁性体から成る充填材で充填するとともに前
    記磁極歯及び前記歯の少なくとも一方の端面を非磁性体
    から成る薄膜で被覆し、且つ、塵埃除去板を前記可動体
    及び前記固定体の少なくともいずれか一方に取り付ける
    と共に、前記塵埃除去板は対向する固定体または可動体
    との間隙が前記ギャップより狭く且つ固定体または可動
    体に対して非接触状態となるようにしたことを特徴とす
    るリニアモータ装置。
JP2200077A 1990-07-26 1990-07-26 リニアモータ装置 Pending JPH0487551A (ja)

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