JP2006141080A - モータコアの製造方法及びモータコア - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 モータコアの製造方法は、一定ピッチで形成された歯と歯の間の凹部に非磁性体の埋込部材が形成され、その歯と埋込部材で形成された複合面にメッキを施して形成されたモータコアであって、歯と歯の間の凹部を含めて予備メッキを施す工程、前記予備メッキを施す工程により、前記歯と凹部にメッキが施されたところに、前記凹部に埋込部材を充填する工程、前記埋込部材を充填する工程により凹部に埋込部材が充填された後に、歯の部分が露出するように歯及び埋込部材を研削する研削工程、前記研削工程により歯と埋込部材からなる複合面が研削された後に、その表面を仕上げるためのメッキを施す仕上げメッキ工程、からなる。
【選択図】 図1
Description
このような格子プラテン11は、平坦面に格子状に溝を切ることによって形成される。この格子プラテン11は磁性体で構成されている。スライダ部12は位置決めの対象物が載せられる。
浮揚手段13は、スライダ部12を格子プラテン11上に浮揚させる。スライダ部12の格子プラテン11と対向する面にはノズル14(図4参照)が設けられていて、このノズル14から浮揚手段13が圧縮空気を噴出させることによって、浮上力を得ている。スライダ部12と格子プラテン11の間をノズル14から噴出した空気が流れることによって、エアベアリングを構成している。
ノズル14から噴出した圧縮空気は溝22に沿って流れ、圧縮空気の圧力によりモータコア18を浮揚させる。埋込部材23は歯16の凹部24に充填されていることで圧縮空気が外に漏れるのを防いでいる。
(2)前記埋込部材は樹脂であることを特徴とする(1)に記載のモータコアの製造方法。
(4)前記埋込部材は樹脂であることを特徴とする(3)に記載のモータコア。
このようにすると、埋込部材23と歯16との間が熱膨張の違いにより隙間26が生じても、歯16の側壁面には予備のメッキ28が施されているから、空気に触れることなく錆の発生を防止できるのである。
(1)先ず、図2(A)に示すように、一定ピッチで形成された歯16と歯16の間の凹部24も含めて予備のメッキ28を施す。
(2)次に、図2(B)に示すように、歯16と凹部24に予備のメッキ28が施されたところに、凹部24に非磁性体で樹脂である埋込部材23を充填して硬化させる。
(3)そして、図2(C)に示すように、凹部24に埋込部材23が充填され、硬化した後に、歯16の部分が露出するように歯16及び埋込部材23を研削する。
(4)次に、図2(D)に示すように、歯16と埋込部材23からなる複合面が研削された後に、その表面を仕上げるためのメッキ(本メッキでニッケルメッキ25)を施す。
このようにして、最後に防塵用のニッケルメッキ25を施して完成するが、樹脂の埋込部材23が硬化すると熱膨張の差により、歯16と埋込部材23との間には隙間26が生じることになる。しかし、例え、隙間26が生じても歯16には予備のメッキ28が施されているからその隙間26から空気が直接歯に触れない構造となり、結果として歯16に発生する錆を抑制或は防止することができるのである。
12 スライダ部
13 浮揚手段
14 ノズル
15 Y軸モータ
16 歯
17 コイル
18 モータコア
19A X軸モータ
19B Y軸モータ
21 連結部材
22 溝
23 埋込部材
24 凹部
25 ニッケルメッキ(本メッキ)
26 隙間
27 錆
28 メッキ(予備のメッキ)。
Claims (4)
- 一定ピッチで形成された歯と歯の間の凹部に非磁性体の埋込部材が形成され、その歯と埋込部材で形成された複合面にメッキを施して形成されたモータコアであって、
歯と歯の間の凹部を含めて予備メッキを施す工程、
前記予備メッキを施す工程により、前記歯と凹部にメッキが施されたところに、前記凹部に埋込部材を充填する工程、
前記埋込部材を充填する工程により凹部に埋込部材が充填された後に、歯の部分が露出するように歯及び埋込部材を研削する研削工程、
前記研削工程により歯と埋込部材からなる複合面が研削された後に、その表面を仕上げるためのメッキを施す仕上げメッキ工程、からなるモータコアの製造方法。 - 前記埋込部材は樹脂であることを特徴とする請求項1に記載のモータコアの製造方法。
- 一定ピッチで形成された歯と歯の間の凹部に非磁性体の埋込部材を充填した後に、前記歯と埋込部材からなる複合面上にメッキを施して形成されたモータコアであって、
前記埋込部材を充填する前に、前記歯と歯の間の凹部に予備メッキを施したことを特徴とするモータコア。 - 前記埋込部材は樹脂であることを特徴とする請求項3に記載のモータコア。
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JP2004326109A JP2006141080A (ja) | 2004-11-10 | 2004-11-10 | モータコアの製造方法及びモータコア |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US8159093B2 (en) | 2008-06-20 | 2012-04-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Motor apparatus, manufacturing method, exposure apparatus, and device fabrication method |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0318267A (ja) * | 1989-06-14 | 1991-01-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | リニアパルスモータ |
JPH0487551A (ja) * | 1990-07-26 | 1992-03-19 | Nippon Seiko Kk | リニアモータ装置 |
-
2004
- 2004-11-10 JP JP2004326109A patent/JP2006141080A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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