JP2004317485A - X−yステージ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ベース100上に一軸方向に延びるように固定された2本のガイドレール110、120と、これらのガイドレールに前記一軸方向と直角な方向に延びるように組み合わされ、かつこれらのガイドレールに沿って前記一軸方向に走行可能にされたYスライダ130と、Yスライダに沿って前記一軸方向に直角な方向に走行可能にYスライダに組み合わされたXスライダ140とを備える。Yスライダは、2本のガイドレールにそれぞれころがり軸受け111、121を介して支持されてベース表面から離れて走行可能に構成されており、Xスライダは、Yスライダとの間にころがり軸受けが介在されて走行可能に構成されていると共に、ベース表面に対向する下面に複数の静圧軸受け141〜143が設けられていることによりベース表面から浮上した状態で走行可能にされている。また、ブレーキ機構190により停止精度を向上させている。
【選択図】 図1
Description
110、120、131 ガイドレール
111、121 ころがり軸受け
130 Yスライダ
140 Xスライダ
141〜143 静圧軸受けパッド
150、160 リニアモータ
152、153 永久磁石
200 架枠
Claims (5)
- 表面加工されたベースと、
該ベース上に一軸方向に延びるように固定されたガイド部材と、
該ガイド部材に前記一軸方向と直角な方向に延びるように組み合わされ、かつ該ガイド部材に沿って前記一軸方向に走行可能にされた第1のスライダと、
該第1のスライダに沿って前記一軸方向に直角な方向に走行可能に該第1のスライダに組み合わされた第2のスライダとを備え、
前記第1のスライダは、前記ガイド部材にころがり軸受けを介して支持されて前記ベース表面から離れて走行可能に構成されており、
前記第2のスライダは、前記第1のスライダとの間にころがり軸受けを介在させて走行可能に構成されていると共に、前記ベース表面に対向する下面に少なくとも1つの静圧軸受けが設けられていることにより前記ベース表面上をそこから浮上した状態で走行可能にされていることを特徴とするX−Yステージ装置。 - 請求項1に記載のX−Yステージ装置において、前記第2のスライダの下側にはまた、前記ベース表面に吸着可能な減圧式の吸着パッドによる少なくとも1個のブレーキ機構が設けられていることを特徴とするX−Yステージ装置。
- 請求項2に記載のX−Yステージ装置において、前記ブレーキ機構においては、前記第2のスライダに取り付けられて前記ベース表面に接近、離反する方向に変形可能な板ばねに前記吸着パッドが取り付けられていることを特徴とするX−Yステージ装置。
- 請求項1〜3のいずれかに記載のX−Yステージ装置において、前記第1、第2のスライダは、それぞれリニアモータを駆動源として走行することを特徴とするX−Yステージ装置。
- 請求項1〜4のいずれかに記載のX−Yステージ装置において、前記ガイド部材は、所定間隔をおいて互いに平行に前記一軸方向に延びる第1、第2のガイド部材から成り、前記第1のスライダは前記第1、第2のガイド部材の間に架け渡されて、その両端部においてそれぞれ前記ころがり軸受けを介して支持されていることを特徴とするX−Yステージ装置。
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007101444A (ja) * | 2005-10-06 | 2007-04-19 | Nsk Ltd | 位置決め装置 |
JP2007216349A (ja) * | 2006-02-17 | 2007-08-30 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ステージ装置 |
JP2007266585A (ja) * | 2006-03-02 | 2007-10-11 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ステージ装置 |
KR101049722B1 (ko) | 2008-03-31 | 2011-07-19 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | Xy 스테이지장치 |
KR101087529B1 (ko) * | 2006-03-02 | 2011-11-28 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 스테이지장치 |
CN107671557A (zh) * | 2017-11-16 | 2018-02-09 | 天津奇昌阀门制造有限公司 | 一种新型多功能阀门加工导向装置 |
KR101848396B1 (ko) | 2014-04-01 | 2018-04-12 | 닛뽄 세이꼬 가부시기가이샤 | 테이블 장치, 반송 장치, 반도체 제조 장치, 및 검사 장치 |
CN108119540A (zh) * | 2017-12-06 | 2018-06-05 | 哈尔滨工业大学 | 一种高精度高定位稳定性形状测量仪导轨装置 |
CN110449609A (zh) * | 2019-08-15 | 2019-11-15 | 南京领锐科技有限公司 | 一种箱式三轴联动主轴箱架及其数控加工设备 |
-
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007101444A (ja) * | 2005-10-06 | 2007-04-19 | Nsk Ltd | 位置決め装置 |
JP2007216349A (ja) * | 2006-02-17 | 2007-08-30 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ステージ装置 |
JP4545697B2 (ja) * | 2006-02-17 | 2010-09-15 | 住友重機械工業株式会社 | ステージ装置 |
JP2007266585A (ja) * | 2006-03-02 | 2007-10-11 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ステージ装置 |
KR101087529B1 (ko) * | 2006-03-02 | 2011-11-28 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 스테이지장치 |
KR101049722B1 (ko) | 2008-03-31 | 2011-07-19 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | Xy 스테이지장치 |
KR101848396B1 (ko) | 2014-04-01 | 2018-04-12 | 닛뽄 세이꼬 가부시기가이샤 | 테이블 장치, 반송 장치, 반도체 제조 장치, 및 검사 장치 |
CN107671557A (zh) * | 2017-11-16 | 2018-02-09 | 天津奇昌阀门制造有限公司 | 一种新型多功能阀门加工导向装置 |
CN108119540A (zh) * | 2017-12-06 | 2018-06-05 | 哈尔滨工业大学 | 一种高精度高定位稳定性形状测量仪导轨装置 |
CN108119540B (zh) * | 2017-12-06 | 2019-04-16 | 哈尔滨工业大学 | 一种高精度高定位稳定性形状测量仪导轨装置 |
CN110449609A (zh) * | 2019-08-15 | 2019-11-15 | 南京领锐科技有限公司 | 一种箱式三轴联动主轴箱架及其数控加工设备 |
CN110449609B (zh) * | 2019-08-15 | 2024-05-07 | 南京领锐科技有限公司 | 一种箱式三轴联动主轴箱架及其数控加工设备 |
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