JP3121607B2 - 磁気浮上搬送装置 - Google Patents
磁気浮上搬送装置Info
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- JP3121607B2 JP3121607B2 JP02239875A JP23987590A JP3121607B2 JP 3121607 B2 JP3121607 B2 JP 3121607B2 JP 02239875 A JP02239875 A JP 02239875A JP 23987590 A JP23987590 A JP 23987590A JP 3121607 B2 JP3121607 B2 JP 3121607B2
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- Japan
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- transfer device
- transport
- magnetic levitation
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体工場のクリーンルームのような、ゴ
ミの発生を嫌い、かつ、スペースの効率的運用が重要な
場所において、荷物を搬送する搬送システムに関するも
のである。
ミの発生を嫌い、かつ、スペースの効率的運用が重要な
場所において、荷物を搬送する搬送システムに関するも
のである。
（従来の技術） 最近、半導体工場のクリーンルームに要求される清浄
度は、ますます高くなりゴミの発生の少ないクリーン搬
送装置の導入が進められている。
度は、ますます高くなりゴミの発生の少ないクリーン搬
送装置の導入が進められている。
また、オフィスオートメーションの一環としても、建
物内の複数の地点間において伝票、書類、現金、資料な
どを移動させるのに搬送装置を用いることが広く行われ
ている。
物内の複数の地点間において伝票、書類、現金、資料な
どを移動させるのに搬送装置を用いることが広く行われ
ている。
このような用途に用いられる搬送装置は、搬送物を速
やかに、かつ静かに移動させ得るものであることが要求
される。このため、この種の搬送装置においては、ガイ
ドレール上で搬送車を非接触で支持することが行われて
いる。中でも、搬送車を磁気的に非接触で支持する方法
は、ガイドレールに対する追従性や騒音、発塵防止効果
に優れている。
やかに、かつ静かに移動させ得るものであることが要求
される。このため、この種の搬送装置においては、ガイ
ドレール上で搬送車を非接触で支持することが行われて
いる。中でも、搬送車を磁気的に非接触で支持する方法
は、ガイドレールに対する追従性や騒音、発塵防止効果
に優れている。
しかし、搬送車を磁気力によって支持する場合、この
磁気力をすべて電磁石によって賄おうとすると、電磁石
を常時付勢しなければならず、消費電力が大きくならざ
るを得ない。
磁気力をすべて電磁石によって賄おうとすると、電磁石
を常時付勢しなければならず、消費電力が大きくならざ
るを得ない。
そこで、先に、電磁力で要求される起磁力の大部分を
永久磁石によって与え、消費電力の低減化を図った、い
わゆるゼロパワーフィードバック制御方式を提案した。
（特開昭61−102105号公報参照） この制御方式は、搬送車の重量が変動しても常に永久
磁石による磁気力と搬送車の重量が釣り合うように両者
間のギャップ（空隙）を制御しようとするものである。
これにより、電磁石に殆ど電流を流すことなく磁気浮上
させる事ができ、搬送車に搭載する電池の容量を小さく
することができる。
永久磁石によって与え、消費電力の低減化を図った、い
わゆるゼロパワーフィードバック制御方式を提案した。
（特開昭61−102105号公報参照） この制御方式は、搬送車の重量が変動しても常に永久
磁石による磁気力と搬送車の重量が釣り合うように両者
間のギャップ（空隙）を制御しようとするものである。
これにより、電磁石に殆ど電流を流すことなく磁気浮上
させる事ができ、搬送車に搭載する電池の容量を小さく
することができる。
第７図は、その具体的構成を示す。
同図において搬送路は、断面が逆Ｕ字状をなす軌道枠
１と、軌道枠１の上部壁下面の離れた位置に埋設され強
磁性体よりなる２本のガイドレール２と、軌道枠１の側
壁内面にそれぞれ断面がＬ字状をなし互いの開放側を対
向して取り付けられた非常用ガイドレール３と、軌道枠
１の２本のガイドレール２の中間に配置され、かつ長手
方向に所定の距離を隔てて取り付けられたリニアインダ
クションモータの固定子４とから構成されている。
１と、軌道枠１の上部壁下面の離れた位置に埋設され強
磁性体よりなる２本のガイドレール２と、軌道枠１の側
壁内面にそれぞれ断面がＬ字状をなし互いの開放側を対
向して取り付けられた非常用ガイドレール３と、軌道枠
１の２本のガイドレール２の中間に配置され、かつ長手
方向に所定の距離を隔てて取り付けられたリニアインダ
クションモータの固定子４とから構成されている。
また、この搬送路に沿って走行移動自在とした搬送車
５には、搬送車枠６の上部に上記したガイドレール２の
それぞれに所定のギャップをもって配置された複合電磁
石７と、これら複合電磁石７を固定すると共にガイドレ
ール２の下面と対向するように配置された平板状の基台
８を取り付けている。
５には、搬送車枠６の上部に上記したガイドレール２の
それぞれに所定のギャップをもって配置された複合電磁
石７と、これら複合電磁石７を固定すると共にガイドレ
ール２の下面と対向するように配置された平板状の基台
８を取り付けている。
なお、搬送車５の駆動は、一次側となる固定子４を搬
送路側に適当な距離をおいて配置する。
送路側に適当な距離をおいて配置する。
一方、二次側導体となるリニアインダクションモータ
駆動方式になっている。前記磁気浮上搬送車の浮上エネ
ルギーは、搭載した電池で行っているため、出来るだけ
他の目的に使用する消費電力を少なくしなければ長時間
の浮上運転が出来ない。
駆動方式になっている。前記磁気浮上搬送車の浮上エネ
ルギーは、搭載した電池で行っているため、出来るだけ
他の目的に使用する消費電力を少なくしなければ長時間
の浮上運転が出来ない。
このため、搬送車自体に移載装置など付加させること
が出来ず、荷物９の積み降ろしには、地上側に装置を設
けて、高所から作業面へ降ろしていた。
が出来ず、荷物９の積み降ろしには、地上側に装置を設
けて、高所から作業面へ降ろしていた。
しかし、この地上移載装置10には、荷物受取りの移載
台11と上下方向へ動かすボールネジ12とリニアガイド13
を設け電動機14で制御している為に、この地上移載装置
10の位置が固定され、将来レイアウト変更等の場合シス
テム変更、改造が大規模になり問題であった。
台11と上下方向へ動かすボールネジ12とリニアガイド13
を設け電動機14で制御している為に、この地上移載装置
10の位置が固定され、将来レイアウト変更等の場合シス
テム変更、改造が大規模になり問題であった。
（発明が解決しようとする課題） 自動化が進む半導体工場においては、発塵源である作
業者から、ウエハを隔離するハンドリング方式（例えば
米国の装置メーカーから提唱されている、いわゆるスミ
フポッド方式）の採用が増えている。これは、被搬送物
であるウエハカセットポッドの中に保護されており、ウ
エハカセットのポッドからの取り出し、処理装置への装
着、また逆に、処理装置からの取り出し、ポッドへの戻
しが自動化でき、自動搬送に適している。
業者から、ウエハを隔離するハンドリング方式（例えば
米国の装置メーカーから提唱されている、いわゆるスミ
フポッド方式）の採用が増えている。これは、被搬送物
であるウエハカセットポッドの中に保護されており、ウ
エハカセットのポッドからの取り出し、処理装置への装
着、また逆に、処理装置からの取り出し、ポッドへの戻
しが自動化でき、自動搬送に適している。
しかし、ゴミの発生がなく、スペース効率の良い搬送
装置、さらに搬送装置から地上側装置への自動移載装置
の実現に難があった。
装置、さらに搬送装置から地上側装置への自動移載装置
の実現に難があった。
本発明は、これら問題を解決すべく、前記磁気浮上搬
送装置に、被搬送物を搬送路側から直接積み降ろし出来
る機構を付加することにより、フレキシブルな搬送シス
テムを提供する。
送装置に、被搬送物を搬送路側から直接積み降ろし出来
る機構を付加することにより、フレキシブルな搬送シス
テムを提供する。
（課題を解決するための手段） 搬送車自体に移載装置を設けることは、前記で説明し
たように、浮上用エネルギーであるバッテリー電源を共
用することになり、その消耗を早めるため無理がある。
そこで、有線にてエネルギーが供給できる搬送路側に移
載装置を設け、そこから荷物の積み降ろしを可能とする
システムを考案した。
たように、浮上用エネルギーであるバッテリー電源を共
用することになり、その消耗を早めるため無理がある。
そこで、有線にてエネルギーが供給できる搬送路側に移
載装置を設け、そこから荷物の積み降ろしを可能とする
システムを考案した。
また、この移載装置を搬送路上の任意の位置に設置出
来るように、移載装置に移動手段を設けた。
来るように、移載装置に移動手段を設けた。
（作用） 搬送路上に設けた移載装置の位置で、搬送車を停止さ
せ、荷物を移載機構の荷台で受け取り荷物を作業面へ降
下させる。
せ、荷物を移載機構の荷台で受け取り荷物を作業面へ降
下させる。
搬送車の停止位置を変更する場合には、移動手段によ
り移載装置を移動させる。
り移載装置を移動させる。
（実施例） 第１図、第２図、第３図は、本発明による移載装置に
関する一実施例を示す断面図である。軌道枠（搬送路）
１の上部に移載装置15を設け、この中に巻き上げ用駆動
装置16と上下作用を司る巻き上げ滑車17を設ける。さら
に搬送車の停止制御、駆動制御用のリニアインダクショ
ンモータ、及びインバータ４を移載装置15内に設ける。
この滑車17には、移載基台18を吊り支える銅帯19が巻き
付けられるようになっている。
関する一実施例を示す断面図である。軌道枠（搬送路）
１の上部に移載装置15を設け、この中に巻き上げ用駆動
装置16と上下作用を司る巻き上げ滑車17を設ける。さら
に搬送車の停止制御、駆動制御用のリニアインダクショ
ンモータ、及びインバータ４を移載装置15内に設ける。
この滑車17には、移載基台18を吊り支える銅帯19が巻き
付けられるようになっている。
移載装置15内のリニアインダクションモータ及びイン
バータ４により搬送車５が停止位置で停止した後、移載
基台18を上昇させる。
バータ４により搬送車５が停止位置で停止した後、移載
基台18を上昇させる。
移載基台18には、第４図、第５図で示すように、荷物
９を止めるリンク機構20が設けられ、この駆動はモータ
21を制御することによりリンク機構20を動かす。
９を止めるリンク機構20が設けられ、この駆動はモータ
21を制御することによりリンク機構20を動かす。
要は、リンク機構20の短辺リンク20A,20Bの中央部を
固定した、いわゆる平行四辺形方式により、中央部貫通
穴の面積を大きくしたり、小さくしたりして制御する。
この貫通穴は荷物９全体が通る大きさである。
固定した、いわゆる平行四辺形方式により、中央部貫通
穴の面積を大きくしたり、小さくしたりして制御する。
この貫通穴は荷物９全体が通る大きさである。
第２図では、上記移載基台18のリンク機構20により、
貫通穴の面積をあらかじめ小さくしておくことにより荷
物９は上昇し、移載装置内15のリニアイングションモー
タおよびインバータ４により搬送車５は発進出来る。第
３図は、搬送車が移載機構位置から走り去った状態を示
す。
貫通穴の面積をあらかじめ小さくしておくことにより荷
物９は上昇し、移載装置内15のリニアイングションモー
タおよびインバータ４により搬送車５は発進出来る。第
３図は、搬送車が移載機構位置から走り去った状態を示
す。
この状態で、移載基台18を滑車17を回転させることに
より降下させる。
より降下させる。
第６図では、移載基台18を降下させて、荷物９を作業
面に下ろした状態を示す。
面に下ろした状態を示す。
作業面の位置に到着したら、リンク機構の短辺リンク
20A,20Bを元の位置に戻す（平行四辺形を長方形に戻
す）ことにより貫通穴の面積を大きくし、移載基台18を
上昇させることにより、搬送システム移載作業が完了と
なる。
20A,20Bを元の位置に戻す（平行四辺形を長方形に戻
す）ことにより貫通穴の面積を大きくし、移載基台18を
上昇させることにより、搬送システム移載作業が完了と
なる。
なお、この実施例では、搬送車の停止制御、駆動制御
用のリニアインダクションモータ、及びインバータ４を
移載装置15内に設け、移載装置15に車輪22を設けた。よ
って搬送車５を搬送路の任意の位置で停止、発進するこ
とが可能となり、これにより移載装置が搬送路の任意の
位置に容易に変更することができる。
用のリニアインダクションモータ、及びインバータ４を
移載装置15内に設け、移載装置15に車輪22を設けた。よ
って搬送車５を搬送路の任意の位置で停止、発進するこ
とが可能となり、これにより移載装置が搬送路の任意の
位置に容易に変更することができる。
以上説明したように、本発明によれば、従来方式であ
る地上側設置の移載装置と比べ、省スペースが実現で
き、かつ、システム変更に伴う移載位置の変更にも対応
でき、また、低コストなシステムが実現できる。
る地上側設置の移載装置と比べ、省スペースが実現で
き、かつ、システム変更に伴う移載位置の変更にも対応
でき、また、低コストなシステムが実現できる。
第１図，第２図および第３図は本発明の磁気浮上搬送装
置の各動作時の断面図、第４図および第５図は移載基台
のリンク機構の平面図、第６図は第５図の移載基台の断
面図、第７図は従来の磁気浮上搬送装置の断面図であ
る。 １……軌道枠、２……ガイドレール、 ３……非常用ガイドレール、 ４……リニアインダクションモータ及びインバータ、 ５……搬送車、６……搬送車枠、 ７……複合電磁石、８……基台、 ９……荷物、10……地上移載装置、 11……移載台、12……ボールネジ、 13……リニアガイド、14……電動機、 15……移載装置、16……巻き上げ用駆動装置、 17……巻き上げ滑車、18……移載基台、 19……銅帯、20……リンク機構、 20A,20B……短辺リンク、 21……モータ、22……車輪。
置の各動作時の断面図、第４図および第５図は移載基台
のリンク機構の平面図、第６図は第５図の移載基台の断
面図、第７図は従来の磁気浮上搬送装置の断面図であ
る。 １……軌道枠、２……ガイドレール、 ３……非常用ガイドレール、 ４……リニアインダクションモータ及びインバータ、 ５……搬送車、６……搬送車枠、 ７……複合電磁石、８……基台、 ９……荷物、10……地上移載装置、 11……移載台、12……ボールネジ、 13……リニアガイド、14……電動機、 15……移載装置、16……巻き上げ用駆動装置、 17……巻き上げ滑車、18……移載基台、 19……銅帯、20……リンク機構、 20A,20B……短辺リンク、 21……モータ、22……車輪。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−69204（ＪＰ，Ａ) 実開 昭56−20991（ＪＰ，Ｕ) 実公 昭63−6101（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B65G 54/02 B61B 13/06 B65G 47/52 101 B65G 47/61
Claims (2)
- 【請求項１】強磁性体のガイドレールが敷設された搬送
路と、この搬送路に長手方向に沿って配置された一次側
固定子と、この固定子と組み合わされてリニアインダク
ションモータを形成する二次導体と、前記ガイドレール
との間で磁力作用を生ぜしめる複合磁石と、この複合磁
石に流す電流を調整する制御装置と、前記二次導体と前
記複合磁石および前記制御装置が搭載されて前記磁力作
用により浮上してリニアインダクションモータの形成に
より前記搬送路に沿って走行移動する搬送車と、を備え
た磁気浮上搬送装置において、搬送車から荷物を受け取
る移載基台と、搬送車から移載基台へ荷物を積み降ろし
て作業面に移す移載機構と、を有する移載装置を搬送路
側に設置したことを特徴とする磁気浮上搬送装置。 - 【請求項２】請求項１において、移載装置が搬送路に沿
って移動する手段を具備したことを特徴とする磁気浮上
搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02239875A JP3121607B2 (ja) | 1990-09-12 | 1990-09-12 | 磁気浮上搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02239875A JP3121607B2 (ja) | 1990-09-12 | 1990-09-12 | 磁気浮上搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04121323A JPH04121323A (ja) | 1992-04-22 |
| JP3121607B2 true JP3121607B2 (ja) | 2001-01-09 |
Family
ID=17051181
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02239875A Expired - Fee Related JP3121607B2 (ja) | 1990-09-12 | 1990-09-12 | 磁気浮上搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3121607B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101759283B1 (ko) * | 2016-10-14 | 2017-07-31 | 주식회사 죽암기계 | 약제 시비 살포선 |
-
1990
- 1990-09-12 JP JP02239875A patent/JP3121607B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101759283B1 (ko) * | 2016-10-14 | 2017-07-31 | 주식회사 죽암기계 | 약제 시비 살포선 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04121323A (ja) | 1992-04-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |