JPS61236304A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 主に■程且分■ 本発明は、搬送路と搬送台の支持脚部との間に磁性流体
を介在させて搬送台を浮上させリニアモータで移送する
搬送装置に関する。

従来夏技血 この種の搬送装置の従来例としては、例えば搬送台に設
けたりニアモータの平板状の可動子に、下方から圧縮空
気を前記可動子に対応したテーブルに設けた多数のノズ
ルから噴射させ、搬送台を浮上させながらリニアモータ
の固定子の励磁によって移送させる搬送装置が知られて
いる。

Ｂ　（ンしよ°と　るｐ　占 しかしながら、上記装置においては圧縮空気源を必要と
し、このため設備費用が高価となる。さらには、かかる
タイプの搬送装置では搬送台を常に安定良く移送するに
は、そのための装置を別途装備する必要があり、構造が
複雑になるという欠点があった。

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、搬送台を浮
上させるのに圧縮空気を必要とせず、磁性流体により搬
送台を浮上させる簡単な構成で、且つ、磁性流体で発生
さす浮上刃を有効に利用でき、搬送台を常に安定良く移
送させることができる搬送装置を提供することを目的と
する。

占　　゛　るた　の　　　び 本発明は搬送路の溝部分に磁性流体を所定量大れると共
に搬送台の脚部に永久磁石を設け、前記磁性流体と磁石
との磁気力によって搬送台を浮上させ、リニアモータに
よって搬送台を走行さすように構成したものである。し
かし、磁性流体との作用により浮上刃を得るための搬送
台脚部に設けた永久磁石及び磁極が水平面に対し直角な
断面を有していると、搬送台が浮上状態にあっても、永
久磁石は常に若干磁性流体から沈んで安定しており、永
久磁石が完全に磁性流体表面に浮上していないため、永
久磁石の進行側面すなわち搬送台は液体としての抵抗力
をうける。

この抵抗力は、機械的モーメントとなって、浮上中の永
久磁石すなわち搬送台を沈下させる作用となり、磁性流
体と永久磁宕との相互作用により、発生する浮上刃を有
効に利用できないことになる。

このため、本発明は前記磁性流体による搬送台の進行中
にうける液体としての抵抗°力を利用し、これを浮上刃
にかえるために搬送台の永久磁石を設けた脚部の進行面
に水平な面に対し磁性流体に接する面に仰角を有する磁
極を具備することにより前記抵抗力を上方向への分力を
発生させ浮上刃とする構成としたことを特徴とする。

１１皿 第１図は本発明に係る搬送装置の実施例を示す搬送台の
進行方向に直角に切った断面図、第２図は第１のＡ−Ａ
”断面図、第３図は第２図に示す磁極部の拡大詳細図、
第３図は磁極部の実施例を示す斜視図である。

図において、１・１は図示しないフレームによって固設
された搬送路であり、該俗世送路１・１には、搬送路本
体１１・１１に凹設された１条の凹条溝と、該本体１１
の上面に設けられたカバ一部１２とでもって、２条の溝
部１３が形成されている。

２はリニアモータの固定子であり搬送路１・１に対応し
て長手方向にわたって所定間隔をもって定置されている
。

６は搬送台であり図示しない被搬送物が載置される底面
６１と、下端面に設けた永久磁石３１と、永久磁石３１
の搬送台６の進行方向円外側に磁性流体４（説明後記）
に接する面に仰角を有する断面形状が円弧状の磁極３・
３を取付けた１組の支持脚５とで構成されている。脚部
５は、それぞれ前記搬送路１の溝部１３に配置され、前
記搬送台６を２ケ所で支持している。

前記底面６１は、リニアモータのリアクションプレート
として作用するもので、例えばアルミニウム、又は銅板
等の導電性材料で構成され、前記固定子２と所定の空隙
を介して相対向し、リニアモータを構成する。

４は磁性流体であり、永久磁石３１の磁界が作用するよ
うに前記脚部５の下端面と搬送路１　（溝部１３）の底
面との間に設けられている。該磁性流体４は、例えばフ
ェライト等の磁性微粒子の粒子表面を長鎖不飽和脂肪酸
で被覆し、界面活性剤を使って溶液中に分散させたコロ
イド溶液で公知のものである。

しかして、前記磁性流体４は磁気的には永久磁気モーメ
ントをもった分子の集合体であり、超常磁性の性質をも
っているので搬送台６の脚部５の下端面に設けたそれぞ
れの永久磁石３１により発生する磁界の影響によって、
それぞれの磁性流体４は磁化される結果、搬送台６がリ
ニアモータの駆動力により進行するに際して、前記永久
磁石３１と共に移動することとなる。この際、搬送台７
を２個所で支持させ、リニアモータで駆動することとな
るので、搬送台６は、第２図の矢符に示す方向に移動を
開始する。

このとき、磁極３は、磁性流体４と接する下面は仰角を
有しているので、磁性流体４による進行時の液体抵抗が
上方向への分力を示すことになり搬送台６は浮上刃が増
加することになり、搬送台６を常に安定良く移送さすこ
とができる。

従って、本発明によるときは、磁性流体４と永久磁石３
１との相互作用による浮上刃と、前記磁極３を設けたこ
とによる浮上刃の増加分とを合わせた大きな浮上刃を得
ることができる。

このため、磁極を有しない場合よりも、磁性流体と永久
磁石との相互作用による浮上刃を有効に利用できること
になる。

第４図（Ａ）は、磁極３の断面形状が円弧状の実施例で
ある。第４図（Ｂ）は、搬送台６の進行時の磁性流体に
対する凌波性を増すため磁極３を仰角を有するほかに先
端を尖頭状にした実施例を示すものである。

なお、本発明における磁極３の形状は前述した実施例に
限らず搬送台６が進行時に磁性流体４での抵抗を上方向
への分力とし、浮上刃を増加するものであればよいのは
勿論である。

また、搬送路１に上部カバ一部１２を設けることにより
、搬送路１の内部より、磁性流体４の外部への流出を防
止し、さらに磁性流体４の溶媒の蒸発量を低減できる。

なお、搬送台６の速度制御・停止等の制御手段は周知の
ものであるからその説明は省略する。

さらに、本実施例では、搬送台６を２組の脚部５で支持
する場合を示したが、搬送台６を支持する脚部は１組に
限らず１組又は３組以上とすることが可能なのは勿論で
ある。

血皿豊立来 本発明によれば前記実施例で説明した如く下記の効果を
有する。

搬送台の進行中にうける磁性流体の抵抗力を搬送台脚部
の永久磁石の外側方に設けた仰角を有する磁極により、
上方向への分力を浮上刃とし搬送台を浮上させる力を増
加させる。

従って、本発明では磁性流体と永久磁石との相互作用に
よる浮上刃と、前記磁極を設けたことによる浮上刃の増
加分とを合わせた大きな浮上刃を得ることができ、簡単
な構成でもって、搬送台を常に安定良く移送させ、且つ
、磁性流体で発生さす浮上刃を有効に利用できる搬送装
置が提供できる。

さらに、塵埃がほとんど発生することがないので、特に
クリーンルーム内において使用する搬送装置として最適
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る搬送装置の実施例を示す搬送台の
進行方向に直角に切った断面図、第２甲は第１のＡ−Ａ
・断面図、第３図は第２図に示す磁極部の拡大詳細図、
第４図は磁極部の実施例を示す斜視図である。 １・・・搬送路、２・・・固定子、３・・・磁極、３１
・・・永久磁石、４・・・磁性流体、５・・・脚部、６
・・・搬送台、６１・・・搬送台底面。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）搬送台の底面をリアクションプレートとし、前記
   リアクションプレートに対向して設けた固定子と前記リ
   アクションプレートとからなるリニアモータを用いた搬
   送装置において、断面が開溝状又は略蟻溝状に形成され
   た搬送路と、前記搬送路と前記搬送路に沿って走行する
   搬送台の脚部との間に介在せしめた磁性流体と、前記搬
   送台の脚部に配設された永久磁石と、前記永久磁石の搬
   送台の進行方向外側方に水平面に対し仰角を有する磁極
   とを具備しており、前記搬送台が常に磁性流体により搬
   送路から浮上されつつ、リニアモータの推力によって移
   送されるようにしたことを特徴とする搬送装置。