JPS6339453A - 磁性流体搬送装置 - Google Patents

磁性流体搬送装置

Info

Publication number
JPS6339453A
JPS6339453A JP17974686A JP17974686A JPS6339453A JP S6339453 A JPS6339453 A JP S6339453A JP 17974686 A JP17974686 A JP 17974686A JP 17974686 A JP17974686 A JP 17974686A JP S6339453 A JPS6339453 A JP S6339453A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic fluid
magnetic
heater
conveyance
fluid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17974686A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroharu Waratani
藁谷 弘治
Toshiro Kato
加藤 俊郎
Makoto Yamamura
誠 山村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Original Assignee
Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Kiden Kogyo Ltd filed Critical Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Priority to JP17974686A priority Critical patent/JPS6339453A/ja
Publication of JPS6339453A publication Critical patent/JPS6339453A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)
  • Linear Motors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は搬送路と搬送台との間に磁性)+IK体を介在
させ搬送台をl平−Iさせ、駆動装置て圭t7さす磁性
流体搬送装置において、特に磁性流体を坂囲lムΔ度の
影響をうけずに搬送台を隼に安定した速度て走行できる
磁性流I4:搬送装置に関する。
〔従来の技術〕
この柚の搬送装置の従来例としては、例えは搬送台に設
けたりニアモータの平板状の可動子に、下方から圧縮空
気を前記可動イに対応したチーフルに設けた多数のノズ
ルかl;1lft射させ、搬送台を浮上させながらリニ
アモータの固定子の励磁によ−)で移送させる搬送装置
が知られている。
しかしながら、。上記装置においては圧縮空気源を必要
とし、このため設備費用が高価となる。さらには、かか
るタイプの搬送装置ては搬送台を常に安定良く移送する
には、そのための装置を別途装備する必要があり、構造
が複雑になるという問題点があった。
本田[預入は前記問題点を解決するものとして磁*、 
7i!を体を使用して搬送台を浮−ヒさせながらリニア
モータを用いて移送させる搬送装置を開発し、これらに
ついては、特開昭59−140179 (特開昭61−
183051 、特願昭59−168158 +特開昭
6l−46756)及び#51顧B759−16970
0 (特開昭61−467571等として特許を出願し
−Cいる。
この装置は例えは持前11ii 5916B158 (
1′IHd Toj61−467561においては、第
11図及び第12図に小すものである。第] ] Pa
はこの装置l!7の縦断i11’ri! lll、第1
2図は第11図のA−A断面L<lである。
図において、1は凹設された2条の凹条溝をイ1する搬
送路ており、2条の略蟻溝部13が形成されており、3
は搬送台て、被搬送物を截”+Rするl’(面31ど、
永久磁石4をそれぞれのF端面に設けた断面倒立丁字形
の一対の脚部32とて構成され、脚部32は搬送路1の
溝部13に配置Wされ、搬送台3を支持している。
磁性流体5を脚部32のF、端面と溝部13との底面に
設け、永久磁石4に11]介生ずる磁界の影響にJ”り
磁性流体が磁化されることになる。
2けリニアモータの固定子てあって、搬送台゛3の底面
はりニアモータのリアクションー7°レー1−と作用さ
せるのて、11r)送台3はリニア千−夕の駆動力によ
り進(jするに際して、6utq流(4;5は永久磁石
4と共に移動することになる。
このため、搬送台3は搬送路] J: ’l i’j 
l l−i’−状1再でリニアモータてf多送さtろこ
とかてきる。
このようにして、前記搬送装置は?+f’−来の圧縮空
気にJ−り搬送台を7:?−l−さゼリニア干−タて移
送させる搬送8!!iWの問題点を解消している。
しかし、搬送装置行を周囲温度の′4!fに品い場所及
び低い場所に用いる揚台においてけ磁1′l流体(1M
度にJ−って粘度が変化するため、特に湿度か低い場合
にl島度による粘度の変化か無視てきなくfJ+)、常
に安定して搬送台を走行さすことをa ンにされる用途
ては使用てきないという問題点かあった。
周囲温度が低く磁性流体がイ1(渇にな−)た揚台は磁
11流体の粘1aがK < ナリ、 ソノ粘(’I l
+(iA (走t−F抵抗)が増加し、永久磁石4か搬
送路1の、・14部13の底面に固着したようになり、
搬送li83を・定11I間経過峻初めて走行さす場合
に(コ、搬送台3をリニアモータで駆動し、搬送台3は
一度Ljえられたjj17動力てのみ走イ1し7、その
復は馬1)動力を与えられることなく走11できる慣性
十行訃離が減少することになり安定した走行を行うこと
ができなくなる。
この粘度の変化に」゛る。上行抵抗のη・化III 、
 fallλげある磁性流体では磁性流11・の温度か
8°(:のときは、温度が26℃のときに比へて粘度か
3倍、走fj抵抗が2倍になる場合もあ11、周囲渦電
か変化する環境で1吏用するt場合は磁+41ん1本を
ある温度層I。
になるように管理することが重要な技i、fi的課題−
Cあった。
又、磁性流体搬送装置は発明がないためクリーンルーム
内等で使用されることもあるので、搬送台を走行さす詩
の周囲温度は常温てあっても、低温である期間停止1−
させその間に点検や試運転を?rう場合もあl)、前述
した場合と同様に搬送台を安定して走行できなくなるの
で、磁性流体を温度管理する必要があった。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明は、磁性流体搬送装置において、特に周囲l島度
が低い場合でも磁11流体の粘度の変化をなくし、常に
安定して搬送台を磁+1流体で17−1−させ走行させ
ることができる磁性流体搬送装置を提(((することを
目的とする。
=5− 〔問題点を解決するための手段〕 本発明け、搬送路と該搬送路に脚部にて支持さ1+た搬
送台ど、0j1記搬送路と搬送台の脚部との間に介イ1
させた磁性流体と、前記搬送台の脚部に設けた7+<久
磁fiとを具備し、搬送台が磁+1jX?体にJ−り搬
送路から浮上されつつ移送されるJ゛うにした搬送装置
において、磁性流体の粘1ijを一定に保つ手段を備え
たものである。
〔実施例〕
以下本発明の実施例について図面に括づき説明を11な
う。
第1図は本発明の第一の実施例を示す縦断11:、面図
、第2図は第1図のB−B断面図である。
図において、1は図示しないフレーl、によって固設さ
れた搬送路であり、該搬送路1には、搬送路本体11に
凹設された2条の凹条溝と、該本体11の1−面に設け
られたカバ一部12とてもって2条の111! 4M溝
部13が形成されている。
2はりニアモータの固定子てあrl 、 +61送路1
の上面に長手方向に万っで所定間隔をもって定置されて
いる。
3は搬送台てあり、図示しない被11々送物が載置され
る底面31と、永久磁石4をそれぞれのド端面に設けた
断面倒立]゛字形一対の脚部32とて構成されている。
そして、脚部32はそれぞれ前記搬送路lの溝部13に
配置され、前記搬送台3を2制所で支持している。
前記底面31はリニアモータのリアクションプレートと
して作用するもので、例えばアルミニウム又は銅板等の
導電性材料で構成され、前記固定f2と所定の空隙を介
して相対向し、りエアモータを構成する。
5は磁性流体であり、永久磁石4の磁界が作用するよう
に前記脚部32の下端面と搬送i+’81(溝部13)
の底面との間に設けられている。該磁性流体5は、例え
ばフェライト等の磁性微粒子の粒子表面を長鎖不飽和脂
肪酸で被覆し、界面活性剤を使って溶滴中に分散させた
コロイド溶液て公知のものである。
しかして、前記磁性流体5は磁気的には永久磁気モーメ
ントをもった分子の集合体であり、超常磁性の11質を
もっているのて搬送台3の脚部32の下端面に設けたそ
れぞれの永久磁石4により発生ずる磁界の¥、う響によ
って、それぞれの磁性流体5は磁化される結束、搬送台
3かりニアモータの1動力により進行するに隨して、前
記永久磁石4と共に移動することとなる。この際、搬送
台3を2制所で支持させ、リニアモータて駆動すること
となるので、搬送台3を移動させることができる。
また、搬送路1にヒ部カバ一部12を設けることにより
、搬送路1の内部より磁性流体5の外部への流出を防1
1シ、更に磁性流体5の7合媒の、lIA発量を低減で
きる。なお、搬送台3の速度制御、停止等の制御手段は
周知のものであるからその説明は省略する。
次に磁+′+:流体5を一定の温度にIHち、低温にな
−)た場合に粘度が高くなり、走行抵抗が増加すること
を防1卜する構成及び作用の説明を行なう。
搬送路lの各溝部13の下面と接する面20::搬送路
本体11の長手方向に四条のヒータ用溝21を設け、こ
のヒータ溝21に沿ってヒータ等発熱f4・22を配設
する。このヒータ等発熱体22への給電は、搬送路本体
11の端部にヒータ等発熱f422と接続したターミナ
ル23により行なう。
このヒータ等発熱体22の材質は磁性体であるど、搬送
台3の脚部32の下端面に設けた永久磁石4とて相互の
磁気的吸引力による制動力が5e牛し、搬送台3の走行
に悪影響を与えるので、例えはプラスチックにカーボン
を混入して発熱体としたものを使用する。
このヒータ等発熱体22に通電することによン〕磁性流
体5を直接加熱し、磁性流体5を一定の温度になるよう
に温度検出し制御する。磁性流体5の温度の検出は図示
しない温度検出器をヒータ用溝21に配置し行い、この
温度検出器の信号によりヒータ等発熱体22の通電をO
N又はOFFすることにJ、り温度の制御を行う。温度
制御を行う手段は周知のものて可能であるのてその説明
は省略する。
この実施例では、磁性流体5を直接にヒータ等発熱体で
加熱するので、効率良く加熱することができるので、加
熱電力が小さくすむ利点がある。
従って、磁性流体5は一定の温度に保たれるので、走4
T抵抗の増加はなく、搬送台3を包に安定した状態にて
移動させることができる。
第3図は、本発明の第二の実施例を示す縦断正面図、第
4図は第1図のC−C断面図である。
本実施例が第一の実施例と異なるのは、前実施例ではヒ
ータ等発熱体を搬送路の各溝部13の下面と接する面2
0に凹条のヒータ用溝21を設け、このヒータ用溝21
にヒータ等発熱体22を配置したのに対し、本実施例て
は搬送路の各溝部13の下面と接する面20の面上にヒ
ータ等発熱体22を搬送路本体11の長手方向に配置し
た構成とし、磁性流体5を直接加熱するようにしたもの
である。
前記以外の構成は、第一の実施例と同様てあり、同一部
分には同一の符号を付した。
従って、磁性流It 5は一定の調度に保たれるので、
走f1抵抗の増加はなく、搬送台3を常に安定した状態
にて移動させることができる。
本実施例では、磁性流体5を直接ヒータ等発熱体で加熱
するので、効=4′良く加熱することができるので、加
熱電力が小さくてすむ利点がある。
第5図は、本発明の第三の実施例を示す縦断it而面、
第6図は第5 +Aの■)−D断面図である。
本実施例が第一の実施例と異なるのけ第 の′太施例で
はヒータ等発熱体を搬送路の各溝部13の1・面と接す
る面20に凹条のヒータ川1M21を設け1、二のヒー
タ用溝21にじ一夕等発熱体22を配置f? シたのに
対し、本実施例では搬送路1の溝部13の中央1ζ面に
近い搬送開本f;): 11 J:ヒータ用ダ々ト24
を搬送路1の長手方向に設け、このヒータ用ダクト24
内にヒータ等発熱(4:25を配;6した構成とし、こ
のヒータ等発熱体25に通電することにより搬送開本(
411を加熱し、磁性流体5を間接的に加熱する上るに
したものである。
前記以外の構成は、第一の実施例と同様であン]同一部
分には同一の符号をf−I L、た。
従って、磁性流体5は一定の温度に作たれるので、走行
抵抗の増加はなく、搬送台3を常に安定した状態にて移
動させることができる。
本実施例では、磁性流体5を直接に↑)〉することけな
いので、第一の実施例で説明したヒータ等発熱体25の
t4質は磁1′1体を使用してもその影響か小さい11
1点かある。
第7 I”l +j 、本発明の第四の実施例を示ず釘
;i断11面図、第8図は第7図のF −E断面図であ
る。
本実施例が第一の実施例と異なるの(J、第一の実施例
で(」ヒータ等発熱体を搬送路の各溝部13の下面と接
する面20に凹条のヒータ用溝21を殺け、このヒータ
用溝21にヒータ等発熱体22を配置したのに対し、本
実施例では搬送路1の溝部13の中央F而に近い搬送路
本体11に加熱流体用ダク128を搬送路1の長手方向
に設け、この加熱流体用ダクI・28に図示しない装置
に」;リダクト入1T126から温水又は温風等の加熱
流体を送り込み、この加熱流体用タク1〜28内を通過
さゼ、ダクト出「127より図示しない装置へ戻す構成
とし、この7昌水又は渇風雪の加熱流体によン]搬送路
本体11を加熱し、磁性lh体5を間接的に加熱するよ
うにしたものである。
前記以りlの構成は、第一の実施例と同様であり、同一
部分には同一の符号を付した。
従って、磁性流体5は一定の温度に保たれるので、走行
抵抗の増加はなく、搬送台3を常に安定した状態にて移
動させることができる。
本実施例では、l島水又は温風等の加熱流体によ1〕磁
性流体5を間接的に加熱を行うので、磁性流体5及び永
久磁石4に悪影響を及ぼすこともなく、永久磁石4の作
用も影響がない利点がある。渇水又は温風等の加熱流体
を通過させ、又は遮断させることにより温度制御を行う
ことができる。
第9図は、本発明の第五の実施例を示す縦断正面図、第
10図は第9図のF−F断面図である。
本実施例が第四の実施例と異なるのけ、第四の実施例で
は搬送路1の溝部13の中央下面に近い搬送路本体11
に加熱流体用ダクト28を設け、この加熱流体用ダクト
28に図示しない装置によりダクト人[126より渇水
又は?!!風等の加熱流体を送り込み、この加熱流体用
ダクト28内を通過させ、ダクト出[]27より図示し
ない装置へ戻す構成とし、この渇水又は温風等の加熱流
体により搬送路本体11を加熱し、磁性流体5を間接的
に加熱するようにしたものに対し、本実施例では、搬送
’J8 ]の溝部13の1一部の搬送路本体11のカバ
一部12の車面に加熱流体用ダクト28を搬送路1の長
手方向に配置し、カバ一部12(=搬送路1の長手方向
の適宜1[4所にカバ一部12を貫通する細孔31を設
け、この加熱流体用ダクト28に図示しない装置にJ:
 )’lダクト人口29から調風等の加熱流体を送り込
み、この加熱流体用ダクト28内を通過させ、このl島
風等の加熱流体を細孔31より噴出させ直接磁性流体5
に吹きかけ加熱するようにしたものであり、又加熱流体
用ダクト28を通過したものはダクト出口30により図
示しない装置へ戻す構成としたものである。
前記以外の構成は、第一の実施例と同様であり、同一部
分には同一の符号を付した。
従って、磁性流体5は一定の温度に保たれるので、走行
抵抗の増加はなく、搬送台3を常に安定した状態にて移
動させることができる。
本実施例では、温風等の加熱流体を直接磁性流体5に吹
きかけ加熱するので、効率良く加熱することができる利
点がある。
なお、第四の実施例及び第五の実施例では周囲温度が高
温の場合て磁+′+流体の温度が高くなる場合は、温水
又は温風等の加熱流体にかえて、冷水又は冷風等の冷却
流体とす才1ば磁性II!c体5の渇tすを下げて所定
の温度にすることも可能である。
なお、本発明は図示のいずれの実施例にも限定されず、
例えは搬送台3の脚部32を1紹又は複数組設けると共
に、磁性流体5が設けられる溝部13を前記脚部32に
対応して凹設するも可能であり、また、固定子2を複数
組定置するも可能である。
又、いずれの実施例においても、搬送台3を駆動する手
段はりニアモータににり進行さすものどして説明したが
、この駆動する手段はこれに限定されずに例えば搬送台
3をワイヤロープ等でけん引して、ワイヤロープを駆動
源にて操作し、移送させることも可能である。
〔発明の効果〕
本発明は、搬送台を4干させる磁性流体が周囲温度の影
響を受けることがなく、所定の走行抵抗に保つことがで
きるのて、搬送台を常に安定した速度で走行させられる
搬送装置を提供できる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は第一実施例の縦断iF面図、第2図は第1図の
B−B断面図、第3図は第二実施例の縦断7F面図、第
4図は第3図のC−〇断面図、第5図は第三実施例の縦
断正面図、第6図は第5図のD−り断面図、第7図は第
四実施例の縦断正面図、第8図は第7図のE−E断面図
、第9図は第五実施例の縦断正面図、第1θ図は第9図
のF−F断面図、第11図は従来例の縦断正面図、第1
2図は第11図のA−A断面図である。 1は搬送路、2はリニアモータの固定子、3は搬送台、
32は脚部、4は永久磁石、5は磁性流体特許出願人 
 日立機電工業株式会社 代  理  人    林         清   
 明ほか1名 第1V 第2図 第3図 第4図 第5凹 D− 第7V 第9V 第1111

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)搬送路と該搬送路に脚部にて支持された搬送台と
    、前記搬送路と搬送台の脚部との間に介在させた磁性流
    体と、前記搬送台の脚部に設けた永久磁石とを具備し、
    搬送台が磁性流体により搬送路から浮上されつつ移送さ
    れるようにした搬送装置において、磁性流体の粘度を一
    定に保つ手段を備えたことを特徴とする磁性流体搬送装
    置。
  2. (2)磁性流体の温度を検出する手段及び温度を制御す
    る制御装置を備えた特許請求の範囲第1項記載の磁性流
    体搬送装置。
JP17974686A 1986-07-30 1986-07-30 磁性流体搬送装置 Pending JPS6339453A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17974686A JPS6339453A (ja) 1986-07-30 1986-07-30 磁性流体搬送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17974686A JPS6339453A (ja) 1986-07-30 1986-07-30 磁性流体搬送装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6339453A true JPS6339453A (ja) 1988-02-19

Family

ID=16071141

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17974686A Pending JPS6339453A (ja) 1986-07-30 1986-07-30 磁性流体搬送装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6339453A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10234174A (ja) * 1997-02-19 1998-09-02 Toshiba Corp Xy移動用アクチュエータおよび半導体接続装置
JP2006031023A (ja) * 2004-07-21 2006-02-02 Hewlett-Packard Development Co Lp 温度が制御システムに及ぼす影響を補償する方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10234174A (ja) * 1997-02-19 1998-09-02 Toshiba Corp Xy移動用アクチュエータおよび半導体接続装置
JP2006031023A (ja) * 2004-07-21 2006-02-02 Hewlett-Packard Development Co Lp 温度が制御システムに及ぼす影響を補償する方法
US7710460B2 (en) 2004-07-21 2010-05-04 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method of compensating for an effect of temperature on a control system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR940005452A (ko) 자기부상식의 반송장치
JPS6115557A (ja) 浮上式搬送装置
JPS62114403A (ja) 搬送装置
JPS6339453A (ja) 磁性流体搬送装置
JPH0691683B2 (ja) 浮上式搬送装置
US3804997A (en) Contact system for high-speed electrically operated vehicles
JPS60170401A (ja) 浮上式搬送装置
JPS6146756A (ja) クリーンルームなどに用いる搬送装置
JPS61236304A (ja) 搬送装置
JPH01295606A (ja) 浮上搬送システム
JPS61236303A (ja) 搬送装置
JPH0327454B2 (ja)
JPH0785605B2 (ja) クリーンルームなどに用いる搬送装置
JPH07118847B2 (ja) 搬送装置
JPH0669852B2 (ja) 浮上式搬送装置
JPH0537773U (ja) 交流磁気浮上搬送装置
JPS622803A (ja) 浮上式搬送装置
JPH01157546A (ja) ウェハーの搬送装置
JPH04117111A (ja) 磁気浮上式搬送装置
JPS62126414A (ja) 搬送装置における移動体の位置決め停止装置
JP2976504B2 (ja) 磁気浮上式搬送装置
JPS627302A (ja) 浮上式搬送装置
JP2670169B2 (ja) 磁気浮上搬送装置
JPS5886808A (ja) 吸引力形磁気浮上車の支持装置
JPS62173907A (ja) リニアモ−タ利用の磁気浮上式搬送設備