JP3421095B2 - 超伝導磁気浮上搬送装置 - Google Patents
超伝導磁気浮上搬送装置Info
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Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超伝導磁気浮上搬送装置
に係り、特に超伝導材料を搬送台に設置し、移動磁場を
搬送路側の電磁石で発生させて、搬送台を非接触で浮上
走行させる超伝導磁気浮上搬送装置に関する。
に係り、特に超伝導材料を搬送台に設置し、移動磁場を
搬送路側の電磁石で発生させて、搬送台を非接触で浮上
走行させる超伝導磁気浮上搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気浮上搬送装置は、搬送路に沿って配
列された永久磁石または電磁石の磁気力により、搬送台
を浮上せしめ、リニアモータ等により非接触で駆動する
ことにより、搬送台を非接触で搬送路に沿って移動させ
ることのできる装置である。搬送台が、搬送路に沿って
非接触で移動することができるから、発塵という問題が
発生することなく、また潤滑に油を使う必要がないた
め、特に高清浄度の要求される半導体製造等の分野にそ
の応用が検討されている。
列された永久磁石または電磁石の磁気力により、搬送台
を浮上せしめ、リニアモータ等により非接触で駆動する
ことにより、搬送台を非接触で搬送路に沿って移動させ
ることのできる装置である。搬送台が、搬送路に沿って
非接触で移動することができるから、発塵という問題が
発生することなく、また潤滑に油を使う必要がないた
め、特に高清浄度の要求される半導体製造等の分野にそ
の応用が検討されている。
【０００３】図９は、従来の超伝導磁気浮上搬送装置の
一例を示す説明図である。搬送台６の搬送路であるレー
ル１には、永久磁石２が敷きつめられており、搬送台６
には超伝導材料のバルク材７が備えられている。超伝導
材料のバルク材７のピン止め効果及びマイスナー効果に
より、搬送台６は永久磁石２の磁束の存在により永久磁
石２上に一定の磁束がバルク材７を貫通するように浮上
した状態で保持される。
一例を示す説明図である。搬送台６の搬送路であるレー
ル１には、永久磁石２が敷きつめられており、搬送台６
には超伝導材料のバルク材７が備えられている。超伝導
材料のバルク材７のピン止め効果及びマイスナー効果に
より、搬送台６は永久磁石２の磁束の存在により永久磁
石２上に一定の磁束がバルク材７を貫通するように浮上
した状態で保持される。
【０００４】搬送台６を搬送路に沿って走行させるため
には、水平方向の駆動力が必要である。設置床３には、
搬送路のレール１の下面にリニアモータ４がレール１に
沿って列設されている。リニアモータ４に三相交流電流
を印加すると水平方向に移動磁場を形成することができ
る。搬送台は、超伝導材料のバルク材７により、移動磁
場にピン止めされ、水平方向に駆動され走行する。
には、水平方向の駆動力が必要である。設置床３には、
搬送路のレール１の下面にリニアモータ４がレール１に
沿って列設されている。リニアモータ４に三相交流電流
を印加すると水平方向に移動磁場を形成することができ
る。搬送台は、超伝導材料のバルク材７により、移動磁
場にピン止めされ、水平方向に駆動され走行する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、係る従
来の超伝導搬送装置では、レールに永久磁石を敷きつめ
るため、永久磁石のコストが高くなる。また、永久磁石
のコストを低減するために安価なフェライト系の磁石を
用いた場合には、磁気浮上させるための磁束密度が足り
なくなるという問題を生じる。また、係る従来の超伝導
磁気浮上搬送装置では、磁気浮上した搬送台を水平方向
に走行させるためのリニアモータのような駆動装置が別
に必要となる。
来の超伝導搬送装置では、レールに永久磁石を敷きつめ
るため、永久磁石のコストが高くなる。また、永久磁石
のコストを低減するために安価なフェライト系の磁石を
用いた場合には、磁気浮上させるための磁束密度が足り
なくなるという問題を生じる。また、係る従来の超伝導
磁気浮上搬送装置では、磁気浮上した搬送台を水平方向
に走行させるためのリニアモータのような駆動装置が別
に必要となる。
【０００６】本発明は、係る従来技術の問題点に鑑み為
されたもので、高価なコストの永久磁石を用いることな
く、また浮上装置と水平方向の駆動装置とが一体的に構
成されたコンパクトな構造の超伝導磁気浮上搬送装置を
提供することを目的とする。
されたもので、高価なコストの永久磁石を用いることな
く、また浮上装置と水平方向の駆動装置とが一体的に構
成されたコンパクトな構造の超伝導磁気浮上搬送装置を
提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の超伝導磁気浮上
搬送装置は、超伝導材料を搬送台に設置し、移動磁場を
電磁石で発生させて該搬送台を非接触で浮上移動する超
伝導磁気浮上搬送装置において、搬送路に設けられた強
磁性体のベースと、該強磁性体のベース上に長手方向に
多数配列された強磁性体のＵ字形磁極を有する電磁石
と、該磁極は長手方向に三相交流のＵ，Ｖ，Ｗ相の順と
なるようにそれぞれ独立に配線されたコイルを備え、前
記Ｕ字形磁極のＵ，Ｖ，Ｗ各相のＮまたはＳ極同士を接
続するように橋渡し磁極を前記Ｕ字形磁極の先端の磁極
面に取付けたことを特徴とする。
搬送装置は、超伝導材料を搬送台に設置し、移動磁場を
電磁石で発生させて該搬送台を非接触で浮上移動する超
伝導磁気浮上搬送装置において、搬送路に設けられた強
磁性体のベースと、該強磁性体のベース上に長手方向に
多数配列された強磁性体のＵ字形磁極を有する電磁石
と、該磁極は長手方向に三相交流のＵ，Ｖ，Ｗ相の順と
なるようにそれぞれ独立に配線されたコイルを備え、前
記Ｕ字形磁極のＵ，Ｖ，Ｗ各相のＮまたはＳ極同士を接
続するように橋渡し磁極を前記Ｕ字形磁極の先端の磁極
面に取付けたことを特徴とする。
【０００８】
【作用】Ｕ字形の磁極をレールの長手方向に列設して、
順番に三相交流のＵＶＷ相の順となるようにそれぞれ独
立に磁極コイルに配線して、隣合う磁極コイルに１２０
°位相の異なる交流電流と直流電流を重畳して流すこと
ができるようにしたものである。従って、直流電流と交
流電流の重畳した磁極コイルの電流により、移動磁場を
発生し、搬送台に設置された超電導材のマイスナー効果
及びピン止め効果により搬送台を浮上させ、搬送台を走
行させることができる。
順番に三相交流のＵＶＷ相の順となるようにそれぞれ独
立に磁極コイルに配線して、隣合う磁極コイルに１２０
°位相の異なる交流電流と直流電流を重畳して流すこと
ができるようにしたものである。従って、直流電流と交
流電流の重畳した磁極コイルの電流により、移動磁場を
発生し、搬送台に設置された超電導材のマイスナー効果
及びピン止め効果により搬送台を浮上させ、搬送台を走
行させることができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の第１乃至第３実施例を添付図
１乃至図８を参照しながら説明する。
１乃至図８を参照しながら説明する。
【００１０】図１は、本発明の第１実施例の超伝導磁気
浮上搬送装置の要部断面図である。搬送路のレール１上
には、強磁性体のベース１１が配設されている。ベース
１１には、Ｕ字形の磁極がレールの長手方向に多数配列
されている。Ｕ字型磁極の両極は、搬送路に対して直角
方向（案内方向）に配置されている。Ｕ字形の磁極１４
には、それぞれコイル１５が巻回されている。コイル１
５は、順番に三相交流のＵＶＷ相の順となるようにそれ
ぞれ独立に配線されている。Ｕ字形の磁極の磁極面に
は、Ｕ，Ｖ，Ｗ各相のＮまたはＳ極どうしをつなぐよう
に橋渡し磁極１６が磁極先端に取付けられている。
浮上搬送装置の要部断面図である。搬送路のレール１上
には、強磁性体のベース１１が配設されている。ベース
１１には、Ｕ字形の磁極がレールの長手方向に多数配列
されている。Ｕ字型磁極の両極は、搬送路に対して直角
方向（案内方向）に配置されている。Ｕ字形の磁極１４
には、それぞれコイル１５が巻回されている。コイル１
５は、順番に三相交流のＵＶＷ相の順となるようにそれ
ぞれ独立に配線されている。Ｕ字形の磁極の磁極面に
は、Ｕ，Ｖ，Ｗ各相のＮまたはＳ極どうしをつなぐよう
に橋渡し磁極１６が磁極先端に取付けられている。
【００１１】搬送台６に設置された超電導バルク材７
は、磁極の例えばＵ相から次のＵ相までを１ピッチとし
て、１ピッチの幅に一致する間隔に設置されている。ま
た、バルク材７の幅はＵ字形磁極の両極ピッチ（間隔）
に一致した幅で設置されている。
は、磁極の例えばＵ相から次のＵ相までを１ピッチとし
て、１ピッチの幅に一致する間隔に設置されている。ま
た、バルク材７の幅はＵ字形磁極の両極ピッチ（間隔）
に一致した幅で設置されている。
【００１２】各磁極のコイル１５には、図示していない
が直流と交流の重畳された電流を磁極コイルに与えるこ
とのできる電源装置を備えている。さらに、コイルに電
流を供給する電源装置に与える、直流と交流の重畳信号
を発生し、その振幅を任意に可変できる信号発生装置を
備えている。従って、図示しない信号発生装置によれ
ば、任意の大きさの直流電流、及び任意の振幅、周波数
の三相交流電流をＵ，Ｖ，Ｗの各相のコイル１５に供給
することができる。磁極１４Ｕ，１４Ｖ，１４Ｗの各コ
イル１５に供給される三相交流の各相の電流はそれぞれ
１２０°の位相差を持ち、それぞれは独立した信号であ
り、各相毎に独立した電源装置に接続されている。
が直流と交流の重畳された電流を磁極コイルに与えるこ
とのできる電源装置を備えている。さらに、コイルに電
流を供給する電源装置に与える、直流と交流の重畳信号
を発生し、その振幅を任意に可変できる信号発生装置を
備えている。従って、図示しない信号発生装置によれ
ば、任意の大きさの直流電流、及び任意の振幅、周波数
の三相交流電流をＵ，Ｖ，Ｗの各相のコイル１５に供給
することができる。磁極１４Ｕ，１４Ｖ，１４Ｗの各コ
イル１５に供給される三相交流の各相の電流はそれぞれ
１２０°の位相差を持ち、それぞれは独立した信号であ
り、各相毎に独立した電源装置に接続されている。
【００１３】固定側の橋渡し磁極１６と浮上走行する搬
送台６との間には非磁性の材料でできた隔壁１８により
隔てられている。隔壁１８は、例えばアルミ、ステンレ
ス等の材質で構成されており、隔壁１８で搬送路から隔
てられた例えば高真空等の高度の清浄度空間内を搬送台
６が走行できるようになっている。
送台６との間には非磁性の材料でできた隔壁１８により
隔てられている。隔壁１８は、例えばアルミ、ステンレ
ス等の材質で構成されており、隔壁１８で搬送路から隔
てられた例えば高真空等の高度の清浄度空間内を搬送台
６が走行できるようになっている。
【００１４】次にこの超伝導磁気浮上搬送装置の動作に
ついて説明する。図２に示すように、Ｕ字形の磁極でバ
ルク材７を貫通する磁束φを作ることによってバルク材
７はマイスナー効果及びピン止め効果により浮上した位
置でピン止めされる。バルク材７は、ピン止めした磁束
密度を補足し続けるために、移動磁場の中でピン止め磁
束密度の位置に移動する。図３に示すようなバルク材７
が位置ａにある時に、太線で示す磁束密度の移動磁場α
が発生していた場合を考える。磁束密度がｃの強さでピ
ン止めした場合に、バルク材７はｘの位置にある。ここ
で、移動磁場が細線βの位置に移動したならば、位置ａ
の磁束密度はｙに下がることになる。ところがピン止め
の磁束密度ｃの磁束密度を補足し続けようとするバルク
材７は、ｚの位置に移動することになる。よって、バル
ク材７はａからａ′に移動する。同一の搬送台に、バル
ク材７Ａ及び７Ｂが収納されていれば、搬送台は水平を
保って移動することができる。
ついて説明する。図２に示すように、Ｕ字形の磁極でバ
ルク材７を貫通する磁束φを作ることによってバルク材
７はマイスナー効果及びピン止め効果により浮上した位
置でピン止めされる。バルク材７は、ピン止めした磁束
密度を補足し続けるために、移動磁場の中でピン止め磁
束密度の位置に移動する。図３に示すようなバルク材７
が位置ａにある時に、太線で示す磁束密度の移動磁場α
が発生していた場合を考える。磁束密度がｃの強さでピ
ン止めした場合に、バルク材７はｘの位置にある。ここ
で、移動磁場が細線βの位置に移動したならば、位置ａ
の磁束密度はｙに下がることになる。ところがピン止め
の磁束密度ｃの磁束密度を補足し続けようとするバルク
材７は、ｚの位置に移動することになる。よって、バル
ク材７はａからａ′に移動する。同一の搬送台に、バル
ク材７Ａ及び７Ｂが収納されていれば、搬送台は水平を
保って移動することができる。
【００１５】また、電源装置の回路構造を簡単にするた
め、通常はピン止め磁束密度ｃの値より移動磁場の磁束
密度の片振幅を小さくする。また図示するような磁極１
４の先端部に設けられた橋渡し磁極１６を設けることに
よって、各相の磁極間、即ち各相のコイルが配置された
スペース部分の磁束密度の低下を防ぐことができ、滑ら
かな移動磁場を作ることができる。同様に、ベース磁極
１１も滑らかな移動磁場の形成に有用であると考えられ
る。
め、通常はピン止め磁束密度ｃの値より移動磁場の磁束
密度の片振幅を小さくする。また図示するような磁極１
４の先端部に設けられた橋渡し磁極１６を設けることに
よって、各相の磁極間、即ち各相のコイルが配置された
スペース部分の磁束密度の低下を防ぐことができ、滑ら
かな移動磁場を作ることができる。同様に、ベース磁極
１１も滑らかな移動磁場の形成に有用であると考えられ
る。
【００１６】従来の技術に示すようなリニアモータの構
成では、移動磁場を作ることはできるが、静止浮上位置
を保つための直流磁場を作ることは不可能である。本実
施例のように、磁極に巻回したコイルに直流と交流の重
畳電流を供給することによって搬送台を鉛直方向に浮上
させ、且つ水平方向に駆動走行させることができる。ま
た、電源装置に与える直流と交流の信号を発生しその振
幅を任意に可変できる信号発生装置を備えることから、
直流電流の大きさにより、搬送台の鉛直方向浮上位置を
任意に調整することができる。また交流電流の振幅及び
周波数を任意に可変できることから、搬送台のレールに
沿った走行速度を任意に調整することができる。
成では、移動磁場を作ることはできるが、静止浮上位置
を保つための直流磁場を作ることは不可能である。本実
施例のように、磁極に巻回したコイルに直流と交流の重
畳電流を供給することによって搬送台を鉛直方向に浮上
させ、且つ水平方向に駆動走行させることができる。ま
た、電源装置に与える直流と交流の信号を発生しその振
幅を任意に可変できる信号発生装置を備えることから、
直流電流の大きさにより、搬送台の鉛直方向浮上位置を
任意に調整することができる。また交流電流の振幅及び
周波数を任意に可変できることから、搬送台のレールに
沿った走行速度を任意に調整することができる。
【００１７】図４は、本発明の第２実施例の超電導磁気
浮上搬送装置の要部断面図である。本実施例では、搬送
路のレール１側と搬送台６側の上下関係が、第１実施例
と逆になっている。即ち、搬送台が、上部にある磁極の
磁気力により吊り下げられ、移動磁界に従って走行す
る。バルク材７と電磁石の磁極１４との位置関係は、上
下逆であっても超電導材料のピン止め効果（いわゆるフ
ィッシング効果）によれば、上部の磁極が下部の搬送台
を吊り下げて走行させることを可能にする。
浮上搬送装置の要部断面図である。本実施例では、搬送
路のレール１側と搬送台６側の上下関係が、第１実施例
と逆になっている。即ち、搬送台が、上部にある磁極の
磁気力により吊り下げられ、移動磁界に従って走行す
る。バルク材７と電磁石の磁極１４との位置関係は、上
下逆であっても超電導材料のピン止め効果（いわゆるフ
ィッシング効果）によれば、上部の磁極が下部の搬送台
を吊り下げて走行させることを可能にする。
【００１８】図５は、本発明の第３実施例の超電導磁気
浮上搬送装置の要部断面図である。本実施例において
は、搬送台６に固定された超電導材料のバルク材７は、
磁極の例えばＵ相から次のＵ相迄の１ピッチの間隔で搬
送台に固定されている。従って、搬送台に固定されたバ
ルク材７は、例えばＵ相の移動磁界にすべてピン止めさ
れて、搬送台６を移動させる。
浮上搬送装置の要部断面図である。本実施例において
は、搬送台６に固定された超電導材料のバルク材７は、
磁極の例えばＵ相から次のＵ相迄の１ピッチの間隔で搬
送台に固定されている。従って、搬送台に固定されたバ
ルク材７は、例えばＵ相の移動磁界にすべてピン止めさ
れて、搬送台６を移動させる。
【００１９】図６は、本発明の第４実施例の超伝導磁気
浮上搬送装置の要部断面図である。本実施例において
は、搬送台６に固定された超伝導材料のバルク材７は、
磁極の例えばＵ相から次のＵ相までの１ピッチの１／２
ピッチに搬送台に固定されている。このように、バルク
材を搬送台上に配置することにより、搬送台６は、従来
の１ピッチ間の１８０°空間的に位相のずれた処で鉛直
方向の浮上力及び水平方向の駆動力をピン止め効果によ
り受けることになる。したがって、搬送台の浮上保持力
及び水平方向への走行駆動力を安定強化することができ
る。
浮上搬送装置の要部断面図である。本実施例において
は、搬送台６に固定された超伝導材料のバルク材７は、
磁極の例えばＵ相から次のＵ相までの１ピッチの１／２
ピッチに搬送台に固定されている。このように、バルク
材を搬送台上に配置することにより、搬送台６は、従来
の１ピッチ間の１８０°空間的に位相のずれた処で鉛直
方向の浮上力及び水平方向の駆動力をピン止め効果によ
り受けることになる。したがって、搬送台の浮上保持力
及び水平方向への走行駆動力を安定強化することができ
る。
【００２０】図７及び図８は、本発明の第５実施例の超
伝導磁気浮上搬送装置の要部断面図である。本実施例に
おいては、搬送台に設置されたバルク材７には、それぞ
れ橋渡しバックアイアン１９が備えられている。このよ
うに、橋渡しバックアイアンを設置することによって、
バルク材を通過する磁束が安定し、ピン止め力が増し
て、浮上力及び水平方向の駆動力が増加する。
伝導磁気浮上搬送装置の要部断面図である。本実施例に
おいては、搬送台に設置されたバルク材７には、それぞ
れ橋渡しバックアイアン１９が備えられている。このよ
うに、橋渡しバックアイアンを設置することによって、
バルク材を通過する磁束が安定し、ピン止め力が増し
て、浮上力及び水平方向の駆動力が増加する。
【００２１】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明は、レー
ル上に多数のＵ字型の磁極を配列し、隣合う磁極コイル
に１２０°ずつ位相の異なる交流電流と直流電流を重畳
して印加できるように構成したものである。したがっ
て、搬送台の浮上と水平方向の走行駆動を行うことがで
きる。
ル上に多数のＵ字型の磁極を配列し、隣合う磁極コイル
に１２０°ずつ位相の異なる交流電流と直流電流を重畳
して印加できるように構成したものである。したがっ
て、搬送台の浮上と水平方向の走行駆動を行うことがで
きる。
【図１】本発明の第１実施例の超伝導磁気浮上搬送装置
の搬送方向に沿った要部断面図。
の搬送方向に沿った要部断面図。
【図２】本発明の第１実施例の超伝導磁気浮上搬送装置
の案内方向に沿った要部断面図。
の案内方向に沿った要部断面図。
【図３】図１に示す超伝導磁気浮上搬送装置の動作を説
明する要部断面図。
明する要部断面図。
【図４】本発明の第２実施例の超伝導磁気浮上搬送装置
の搬送方向に沿った要部断面図。
の搬送方向に沿った要部断面図。
【図５】搬送台のバルク材の配置を説明する要部断面
図。
図。
【図６】搬送台のバルク材の配置を説明する要部断面
図。
図。
【図７】本発明の第３実施例の超伝導磁気浮上搬送装置
の搬送方向に沿った要部断面図。
の搬送方向に沿った要部断面図。
【図８】図７に示す超伝導磁気浮上搬送装置の動作を説
明する要部断面図。
明する要部断面図。
【図９】従来の超伝導磁気浮上搬送装置の搬送方向に沿
った要部断面図。
った要部断面図。
１ レール
２ 永久磁石
４，１４ Ｕ字形磁極
６ 搬送台
７ バルク材
１１ ベース
１５ コイル
１６ 橋渡し磁極
１８ 隔壁
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平４−29506（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−83812（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B65G 54/00 - 54/02
B60L 13/02 - 13/10
Claims (5)
- 【請求項１】 超伝導材料を搬送台に設置し、移動磁場
を電磁石で発生させて該搬送台を非接触で浮上移動する
超伝導磁気浮上搬送装置において、搬送路に設けられた
強磁性体のベースと、該強磁性体のベース上に長手方向
に多数配列された強磁性体のＵ字形磁極を有する電磁石
と、該磁極は長手方向に三相交流のＵ，Ｖ，Ｗ相の順と
なるようにそれぞれ独立に配線されたコイルを備え、前
記Ｕ字形磁極のＵ，Ｖ，Ｗ各相のＮまたはＳ極同士を接
続するように橋渡し磁極を前記Ｕ字形磁極の先端の磁極
面に取付けたことを特徴とする超伝導磁気浮上搬送装
置。 - 【請求項２】 前記搬送台に設置した超伝導材料は、前
記磁極のＵ相から次のＵ相までを１ピッチとして、該１
ピッチの幅に一致する間隔に設置し、且つ、Ｕ字形磁極
の両極ピッチに一致した幅で設置されていることを特徴
とする請求項１記載の超伝導磁気浮上搬送装置。 - 【請求項３】 前記搬送台に設置した超伝導材料は、前
記磁極のＵ相から次のＵ相までを１ピッチとして、該１
ピッチの１／２の幅に一致する間隔に設置され、且つ、
前記Ｕ字形磁極の両極ピッチに一致した幅で設置されて
いることを特徴とする請求項１記載の超伝導磁気浮上搬
送装置。 - 【請求項４】 直流磁場中でピン止めを行い、該磁束密
度より強い磁束密度の移動磁場を前記直流磁場に加えて
発生することのできる直流と交流の電流を前記磁極コイ
ルに印加することのできる電源装置を更に備えたことを
特徴とする請求項１乃至３に記載の超伝導磁気浮上搬送
装置。 - 【請求項５】 前記電源装置に与える直流と交流の信号
を発生し、該信号の振幅を任意に可変できる信号発生装
置を更に備えたことを特徴とする請求項４記載の超伝導
磁気浮上搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26437493A JP3421095B2 (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | 超伝導磁気浮上搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26437493A JP3421095B2 (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | 超伝導磁気浮上搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0797051A JPH0797051A (ja) | 1995-04-11 |
| JP3421095B2 true JP3421095B2 (ja) | 2003-06-30 |
Family
ID=17402271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26437493A Expired - Fee Related JP3421095B2 (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | 超伝導磁気浮上搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3421095B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR101525875B1 (ko) * | 2013-06-03 | 2015-06-03 | 한국교통대학교산학협력단 | 자기 부상 가이드 시스템 |
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-
1993
- 1993-09-28 JP JP26437493A patent/JP3421095B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0797051A (ja) | 1995-04-11 |
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