JPH04125224A - 浮上式搬送装置の分岐装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、台車が搬送路に沿って浮上した状態で走行
して、物品等の搬送を行う浮上式搬送装置の分岐装置に
関する。

「従来の技術」 近年、半導体集積回路の高集積化、極微細化に伴い、そ
れを製造するクリーンルームには高クリーン度が要求さ
れている。このようなりリーンルーム内において、シリ
コンウェハ等を搬送する搬送装置には、塵埃の発生を極
力抑える必要上、台車が搬送路上を浮上した状態で、す
なわち非接触で走行する磁気浮上式搬送装置が理想的で
あるとして、注目を集めている。

第３図〜第５図は、従来の磁気浮上式搬送装置の一例を
示す図である。これらの図において、ｌは搬送路に沿っ
て設けられた箱状のフレームであり、その上面には、搬
送路に沿って延びる開口部ｌａが形成されている。この
フレームｌの天井面には、鋼材によって構成された１対
の浮上用レール２Ｌ、２Ｒが搬送路に沿って各々架設さ
れており、また、同様にフレームｌの左右の内側面にも
、鋼材によって構成されたｌ対の案内用レール３Ｌ。

３Ｒが各々架設されている。５は搬送路上を走行する台
車であり；この台車５には、浮上用レール２Ｌ、２Ｈの
各下面と各々対向する４個の浮上用電磁石７ａ〜７ｄと
、案内用レール３Ｌ、３Ｒの各側面と各々対向する４個
の案内用電磁石８ａ〜８ｄとか設けられている。さらに
、図示しないか、充電式のバッテリと、浮上用電磁石７
８〜７ｄと浮上用レール２Ｌ、２Ｒの各下面との間の垂
直ギャップＧｖ、および案内用電磁石８８〜８ｄと案内
用レール３Ｌ　　３Ｒの各側面との間の水平ギャップｃ
ｈを各々検出するギャップセンサと、これらのギャップ
センサの検出信号に基づいて、バッテリーから浮上用電
磁石７８〜７ｄおよび案内用電磁石８８〜８ｄに各々供
給される励磁電流を制御し、垂直ギャップＧｖおよび水
平ギャップＧｈを常に一定とする電流制御回路とが設け
られている。

ここで、浮上用電磁石７ａは、第６図に示すように、コ
字状の一次側コア７Ａと、このコア７Ａの各磁極７　Ａ
　１．７　Ａ　ｔに各々巻回されたコイル７Ｂ　　７Ｃ
とによって構成されており、一対の磁極７　Ａ　＋　、
　７　Ａ　ｔを台車５の幅方向に一致させた状態で配設
されている。また、その他の浮上用電磁石７ｂ〜７ｄも
同様に構成されている。このような浮上用電磁石７８〜
７ｄか浮上用レール２Ｌ、２Ｒの下面を磁気的に吸引す
ることにより、台車５が浮上し、さらに、浮上用レール
２Ｌ、２Ｒの幅寸法の範囲内で、その幅方向への移動が
緩やかに規制される。さらに、案内用電磁石８ａ〜８ｄ
が、案内用レール３Ｌ、３Ｒの各側面を磁気的に吸引す
ることにより台車５の幅方向の移動が、強固に規制され
る。

また、フレーム１の内底面にはリニアインダクションモ
ータの一次側コイル１５．１５・・が所定間隔を隔てて
取り付けられており、台車５には一次側コイル１５と所
定のギャップを隔てて上下に対向する二次側導体１６が
取り付けられている。

この場合、二次側導体１６としては鉄心を有する場合と
有しない場合がある。さらに、台車５の上面には、支柱
１７を介して荷台１８が取り付けられ、この荷台１７上
に荷物１９が積載される。

この上うな構成において、浮上用電磁石７３〜７ｄおよ
び案内用電磁石８ａ〜８ｄに対して励磁電流が供給され
ると、台車５が浮上し、一方、リニアインダクンヨンモ
ータの一次側コイル１５に交流電流が供給されると、こ
の一次側コイル１５上に図に矢印で示す直進方向Ｆへの
進行磁界が発生し、これにより、台車５が一次側コイル
１５の上方を通過する毎に直進方向Ｆへ加速され、その
他の区間においては惰性により走行する。この結果、台
車５は浮上した状態で加速と惰性走行を交互に繰り返し
ながら連続的に走行する。

また、このような磁気浮上式搬送装置においては、自動
移載装置による荷物１９の積み下ろしや、自動充電装置
によるバッテリの充電等を行うために、搬送路に沿って
複数のステーションが設けられている。この場合、策７
図に示すように、ループ状の主搬送路Ｍの側方に複数の
ステーションＳＴ＋−５Ｔｎを配設し、これらの各ステ
ーションＳＴ、−５Ｔｎと主搬送路Ｍとの間を分岐路Ｂ
、〜Ｂｎで接続し、主搬送路Ｍ上を循環走行している台
車５を、必要に応じて各ステーションＳＴ、〜ＳＴｎに
分岐させるようになっている。

ここで、主搬送路Ｍから各分岐路Ｂｌ−Ｂｎが直角に分
岐する分岐点には、従来、第８図に示すような分岐装置
が設けられていた。この分岐装置には、直進方向Ｆへ進
行磁界を発生する直進用一次側コイル１５ａと、直進方
向Ｆと直交する分岐方向Ｂへ進行磁界を発生する分岐用
一次側コイル１５ｂ、１５ｃとが設けられている。そし
て、台車５を分岐させる場合は、この分岐点の手前の一
次側コイル１５を逆相で励磁して直進方向Ｆと逆方向の
進行磁界を発生させ、これにより台車５を充分に減速さ
せた後、分岐装置に設けられた位置決め停止用電磁石（
図示路）に励磁電流を供給し、台車５を停止させる。次
に、直進用レール１２ａに代えて、図に２点鎖線で示す
分岐用レール１２ｂ、１２ｃを設置した後、位置決め停
止用電磁石に対する励磁電流の供給を止め、分岐用一次
側コイル１５ｂ、１５ｃを励磁して、分岐方向臼への進
行磁界を発生させて、同方向に台車・５を走行させる。

「発明が解決しようとする課！ｉＪ ところで、上述した従来の分岐装置においては、台車５
を直進方向Ｆへ移動させるための直進用−次０１’ｌコ
イル＋５ａと、この直進方向Ｆと直交する分岐方向Ｂへ
移動させるための分岐用一次側コイル１５ｂ、１５ｃを
各々設置しなければならなかった。このような３台のリ
ニアインダクンヨンモータの一次側コイル１５ａ＝ｒ５
ｃを、搬送路の分岐点の限られた設置空間内に設置する
ためには、個々の一次側コイル１５ａ−１５ｃの外形寸
法が極め制限され、したがって、一次側コイル１５ａ＝
１５ｃとしては小型のものを設置する他なく、直進方向
Ｆもしくは分岐方向Ｂの２方向に対して各々十分な推力
が得られないという問題があった。さらに、上述した浮
上式搬送装置をクリーンルーム内の天井直下に吊り下げ
て設置する場合、従来の分岐装置では、３台の一次側コ
イル１５ａ〜１５ｃを設けなければならないため必然的
に重−が大となり、したがって、その重量を支えるため
に、十分な剛性を有する支柱や支持フレーム等を用いな
ければならず、これにより占有空間が大となって、クリ
ーンルーム内の限られた空間内を有効利用する事ができ
ないという問題もあった。

この発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、搬送
路に沿う直進方向もしくは分岐路に沿う分岐方向の２方
向に対して各々十分な推力を得ることができると共に、
省スペース化を図り、搬送路の分岐点の限られた設置空
間内にも設置することができる浮上式搬送装置の分岐装
置を提供することを目的としている。

「課題を解決するための手段」 この発明は、搬送路に、該搬送路に沿って進行磁界を発
生する一次側進行磁界発生手段を設ける一方、前記搬送
路上を浮上した状態で走行する台車には前記一次側進行
磁界発生手段とギャップを隔てて対句する二次側導体を
設けてなる浮上式搬送装置において、前記搬送路から略
直角に分岐する分岐路が設けられた分岐点に、訂記搬送
路に沿う直進方向と、前記分岐路に沿う分岐方向の２方
向の内の任意の方向の進行磁界を発生する２方向進行磁
界発生手段を設けたことを特徴としている。

１作用」 上述した構成によれば、１台の２方向進行磁界発生手段
によって、搬送路に沿う直進方向と、分岐路に沿う分岐
方向の２方向の内の任意の方向の進行磁界を発生するこ
とかて゛きるので、直進方向もしくは分岐方何の２方向
に対して各々十分な推力が得られ、さらに省スペース化
が図られ、搬送路の分岐点の限られた設置空間内にも設
置することが可能となる。

「実施例」 以下、図面を参照し、この発明の実施例について説明す
る。

第１図はこの発明の一実施例の外観構成を示す一部切欠
平面図である。この図において、３２Ｌ。

３２Ｒは搬送路の分岐点に設けられた旋回レールであり
、これら旋回レール３２Ｌ、３２Ｒは、旋回駆動装置３
３Ｌ、３３Ｒによって、各々浮上用レール２Ｌ、２Ｈの
架設面と同じ水平面内において旋回自在に支持され、そ
れらの旋回中心は浮上用レール２Ｌ、２Ｒの延長線上で
あって、台車５の浮上用電磁石７ｃ、７ｂの停止位置Ｐ
　ｃ；Ｐ　ｂに各々位置している。そして、これら旋回
レール３２Ｌ。

３２Ｒは、浮上用レール２Ｌ、２Ｒと各々平行な位置か
ら、図に２点鎖線によって示すように、分岐方向日に沿
って架設された分岐レール３２Ｌｂ。

３２Ｒｂと各々平行となる位置まで旋回駆動される。

また、上記搬送路の分岐点には、２方向進行磁界発生装
置２０が設置されている。この２方向進行磁界発生装置
２０は、第２図（イ）および（ロ）に示すように、格子
状のスロットを形成する上部一次側鉄心２１及び下部一
次側鉄心２２と、スロット内に配置され、矢印Ｆ方向と
平行なＸ軸方向に進行磁界を発生するＸ方向巻線２３と
、矢印Ｂ方向と平行なＹ軸方向に進行磁界を発生す柩Ｙ
軸カ向巻線２４とから構成されている。この場合、Ｘ軸
方向巻線２３及びＸ軸方向巻線２４はスロット内で直交
するように配置され、スロット内においては、Ｘ軸方向
巻線２３が上層に、Ｙ軸方向巻線２４が下層に位置して
いる。また、上部一次側鉄心２１及び下部一次側鉄心２
２は共に電気鉄板を積層して構成され、上部一次側鉄心
２１の積層方向はＸ軸に平行で、下部一次側鉄心２２は
Ｙ軸に平行となっている。

このような構成において、台車５を直進させる場合は、
２方向進行磁界発生装置２０の上方に台車５が到来した
時点で、そのＸ軸方向巻線２３に３相交流を供給する。

すると、台車５の下面に取り付けられた二次側導体１６
（第３図参照）に対して矢印Ｆ方向の推力が与えられ、
これにより台車５が直進走行する。

一方、台車５を分岐させる場合は、まず、この分岐装置
の手前に設けられた一次側コイル１５を逆相で励磁して
矢印Ｆと逆方向の進行磁界を発生させ、これにより台車
５を充分に減速させた後、この分岐装置に設けられた位
置決め停止用電磁石（図示路）に励磁電流を供給し、台
車５を位置決め停止させる。この場合、台車５の各浮上
用電磁石７８〜７ｄが第１図に示す停止位置Ｐａ−Ｐｄ
に各々位置する状態で、台車５を位置決め停止させる。

次に、旋回駆動装置３３Ｌ、３３Ｒによって、旋回レー
ル３２Ｌ、３２Ｒを図に示す矢印Ｒ方向へ各々旋回駆動
し、これら旋回レール３２Ｌ　　３２Ｒを、図に２点鎖
線で示すように、分岐方向Ｂに沿って架設された分岐レ
ール２２　Ｌｂ、２２　Ｒｂと各々平行となる位置で停
止させる。その後、位置決め停止用電磁石に対する励磁
電流の供給を止め、２方向進行磁界発生装置２０のＹ方
向巻線２４に３相交流を供給する。すると、台車５の二
次側導体１６に対して矢印Ｂ方向の推力が与えられ、こ
れにより、台車５が分岐方向Ｂへ送り出される。

なお、上述した一実施例においては、磁気浮上式搬送装
置に適用した場合を例に説明したが、空気圧で台車５を
浮上させる空気浮上式搬送装置に適用しても勿論構わな
い。

「発明の効果」 以上説明したように、この発明によれば、１台の２方向
進行磁界発生手段によって、搬送路に沿う直進方向と、
分岐路に沿う分岐方向の２方向の内の任意の方向の進行
磁界を発生することができるので、直進方向もしくは分
岐方向の２方向に対して各ｌ十分な推力を得ることがで
き、また、省スペース化が図られ、搬送路の分岐点の限
られた設置空間内にも十分に設置することができ、さら
に、装置全体を小型かつ軽量に構成することができるの
で、特にクリーンルームの天井直下に設置する場合に顕
著な効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の外観構成を示す一部切欠
平面図、第２図（イ）および（ロ）は同実施例の要部の
構成を示す平面図および正面図、第３図は従来の磁気浮
上式搬送装置の外観構成を示す一部切欠側面図、第４図
は同磁気浮上式搬送装置の外観構成を示す平面図、第５
図は同磁気浮上式搬送装置の外観構成を示す正断面図、
第６図は同磁気浮上式搬送装置の浮上用電磁石の構成を
示す正断面図、第７図は同磁気浮上式搬送装置の搬送ル
ートの一例を示す図、第８図は同磁気浮上式搬送装置の
分岐装置の構成を示す一部切欠平面図である。 ５・・・・・台車、 １５・・・・・一次側コイル （一次側進行磁界発生手段）、 １６・・・・・−二次側導体、 ２０・・・・・・２方向進行磁界発生装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 搬送路に、該搬送路に沿って進行磁界を発生する一次側
   進行磁界発生手段を設ける一方、前記搬送路上を浮上し
   た状態で走行する台車には前記一次側進行磁界発生手段
   とギャップを隔てて対向する二次側導体を設けてなる浮
   上式搬送装置において、 前記搬送路から略直角に分岐する分岐路が設けられた分
   岐点に、前記搬送路に沿う直進方向と、前記分岐路に沿
   う分岐方向の２方向の内の任意の方向の進行磁界を発生
   する２方向進行磁界発生手段を設けたことを特徴とする
   浮上式搬送装置の分岐装置。