JPS6288658A - 吊下げ搬送装置 - Google Patents
吊下げ搬送装置Info
- Publication number
- JPS6288658A JPS6288658A JP23193585A JP23193585A JPS6288658A JP S6288658 A JPS6288658 A JP S6288658A JP 23193585 A JP23193585 A JP 23193585A JP 23193585 A JP23193585 A JP 23193585A JP S6288658 A JPS6288658 A JP S6288658A
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- JP
- Japan
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- box
- shaped duct
- slit
- duct
- self
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- Pending
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、例えば半導体ウェハなどのように塵埃をきら
うものを取扱うときに採用され、主としてクリーンルー
ム内に配設される吊下げ搬送装置に関するものである。
うものを取扱うときに採用され、主としてクリーンルー
ム内に配設される吊下げ搬送装置に関するものである。
従来の技術
例えばウェハを取扱う場合、搬送装置を配設する工業（
室）内をクリーン化すると共に、搬送装置を防塵化して
いる。すなわち従来のこの種吊下げ搬送装置は、底板に
長手方向に沿うスリットが形成された箱型ダクトをレー
ルとして用い、この箱型ダクトの内部に駆動装置として
の電動機と走行車輪とを備えた自走台車を配設し１箱型
ダクトの下方に位置する被搬送物支持体と自走台車とを
、箱型ダクト底板のスリットを貫通する連結体により連
結し、自走台車を走行させることにより、被搬送物支持
体により支持された被搬送物を搬送するものであった。
室）内をクリーン化すると共に、搬送装置を防塵化して
いる。すなわち従来のこの種吊下げ搬送装置は、底板に
長手方向に沿うスリットが形成された箱型ダクトをレー
ルとして用い、この箱型ダクトの内部に駆動装置として
の電動機と走行車輪とを備えた自走台車を配設し１箱型
ダクトの下方に位置する被搬送物支持体と自走台車とを
、箱型ダクト底板のスリットを貫通する連結体により連
結し、自走台車を走行させることにより、被搬送物支持
体により支持された被搬送物を搬送するものであった。
また１箱型ダクト内に連通ずる吸引ダクトを設け、自走
台車の走行車輪と箱型ダクト底板との摩擦などにより発
生する塵埃を吸引ダクトに吸引していた。
台車の走行車輪と箱型ダクト底板との摩擦などにより発
生する塵埃を吸引ダクトに吸引していた。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、上記従来の構成では、箱型ダクト底板の
スリット近傍の塵埃が吸引ダクトに吸引されずにスリッ
トから箱型ダクト外へ飛び出し。
スリット近傍の塵埃が吸引ダクトに吸引されずにスリッ
トから箱型ダクト外へ飛び出し。
クリーンルームを汚染することがあるという問題があっ
た。
た。
本発明は上記従来の問題点を解消した吊下げ搬送装置を
提供することを目的とする。
提供することを目的とする。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するため、本発明の吊下げ搬送装置は
、底板に長手方向に沿うスリットが形成された箱型ダク
トと、この箱型ダクト内をその長手方向に沿って走行す
る自走台車と、前記箱型ダクトの下方に位置して被搬送
物を支持する被搬送物支持体と、前記スリットを貫通し
て前記自走台車と前記被搬送物支持体とを連結する連結
体と。
、底板に長手方向に沿うスリットが形成された箱型ダク
トと、この箱型ダクト内をその長手方向に沿って走行す
る自走台車と、前記箱型ダクトの下方に位置して被搬送
物を支持する被搬送物支持体と、前記スリットを貫通し
て前記自走台車と前記被搬送物支持体とを連結する連結
体と。
前記箱型ダクトに形成された多数の吸引孔を介して箱型
ダクト内に連通ずる吸引ダクトと、前記箱型ダクトの底
板の少なくとも前記スリット近傍に配設された発熱体と
を設けた構成としたものである。
ダクト内に連通ずる吸引ダクトと、前記箱型ダクトの底
板の少なくとも前記スリット近傍に配設された発熱体と
を設けた構成としたものである。
作用
上記構成によれば１箱型ダクトの底板の少なくともスリ
ット近傍に発熱体を配設したので、発熱体の熱により箱
型ダクト内に対流が生じ、スリット近傍の空気は上方へ
移動する。したがってスリット近傍の塵埃は空気の流れ
に乗って良好に吸引ダクトに吸引されるので、塵埃がス
リットから箱型ダクトの外へ飛び出してクリーンルーム
を汚染するということがない。
ット近傍に発熱体を配設したので、発熱体の熱により箱
型ダクト内に対流が生じ、スリット近傍の空気は上方へ
移動する。したがってスリット近傍の塵埃は空気の流れ
に乗って良好に吸引ダクトに吸引されるので、塵埃がス
リットから箱型ダクトの外へ飛び出してクリーンルーム
を汚染するということがない。
実施例
以下、本発明の実施例を第１図と第２図に基づいて説明
する。
する。
第１図は本発明の第１の実施例における吊下げ搬送装置
の縦断正面図で、１は断面矩形の箱型ダクトであり、こ
の箱型ダクト１の底板１ａには、幅方向中央部に、長手
方向全長にわたるスリット２が形成されている。前記箱
型ダクト１の内部には自走台車３が設けられており、こ
の自走台車３は台車本体４と、この台車本体４の両側に
回動自在に取付けられた複数の車軸５と、前記台車本体
４上に突設されたブラケット６の上端に取付けられたり
ニアモータの二次側導体からなる移動子７とにより構成
されている。前記箱型ダクト１の天板１ｂには、長手方
向適当間隔おきにリニアモータの一次側巻線などからな
る固定子８が配設されており、この固定子８と前記移動
子７とにより。
の縦断正面図で、１は断面矩形の箱型ダクトであり、こ
の箱型ダクト１の底板１ａには、幅方向中央部に、長手
方向全長にわたるスリット２が形成されている。前記箱
型ダクト１の内部には自走台車３が設けられており、こ
の自走台車３は台車本体４と、この台車本体４の両側に
回動自在に取付けられた複数の車軸５と、前記台車本体
４上に突設されたブラケット６の上端に取付けられたり
ニアモータの二次側導体からなる移動子７とにより構成
されている。前記箱型ダクト１の天板１ｂには、長手方
向適当間隔おきにリニアモータの一次側巻線などからな
る固定子８が配設されており、この固定子８と前記移動
子７とにより。
前記自走台車３の駆動装置としてのりニアモータ９が構
成されている。前記箱型ダクト１の下方には、被搬送物
ＩＯを支持する被搬送物支持体１１が配置されており、
この被搬送物支持体１１は、前記自走台車３の台車本体
４の下面に突設されて前記スリット２を貫通する連結体
１２の下端に固着されている。前記箱型ダクト１の両側
には吸引ダクト１３が設けられており、この吸引ダクト
１３の内部と前記箱型ダクト１の内部とは１箱型ダクト
１の側板１ｃの上半部に上下方向及び長手方向適当間隔
おきに穿設された多数の吸引孔１４を介して互いに連通
している。前記箱型ダクト１の底板１ａの下面には、発
熱体としてのヒータ１５が設置されている。
成されている。前記箱型ダクト１の下方には、被搬送物
ＩＯを支持する被搬送物支持体１１が配置されており、
この被搬送物支持体１１は、前記自走台車３の台車本体
４の下面に突設されて前記スリット２を貫通する連結体
１２の下端に固着されている。前記箱型ダクト１の両側
には吸引ダクト１３が設けられており、この吸引ダクト
１３の内部と前記箱型ダクト１の内部とは１箱型ダクト
１の側板１ｃの上半部に上下方向及び長手方向適当間隔
おきに穿設された多数の吸引孔１４を介して互いに連通
している。前記箱型ダクト１の底板１ａの下面には、発
熱体としてのヒータ１５が設置されている。
以下、上記構成における作用について説明する。
自走台車３は、リニアモータ９によって、搬送経路を構
成する箱型ダクト１内をその長手方向に走行し、被搬送
物ｌＯを搬送する５このとき、ヒータ１５の熱により、
箱型ダクト１内に対流を生じ、スリット２近傍の空気は
上方へ移動して良好に吸引孔１４を介して吸引ダクト１
３内に吸引される。したがって、スリット２近傍の塵埃
は空気と共に吸引ダクト１３に吸引されるので、スリッ
ト２から箱型ダクト１の外部へ飛び出してクリーンルー
ムを汚染することがない。
成する箱型ダクト１内をその長手方向に走行し、被搬送
物ｌＯを搬送する５このとき、ヒータ１５の熱により、
箱型ダクト１内に対流を生じ、スリット２近傍の空気は
上方へ移動して良好に吸引孔１４を介して吸引ダクト１
３内に吸引される。したがって、スリット２近傍の塵埃
は空気と共に吸引ダクト１３に吸引されるので、スリッ
ト２から箱型ダクト１の外部へ飛び出してクリーンルー
ムを汚染することがない。
第２図は本発明の第２の実施例における吊下げ搬送装置
の縦断正面図で、この実施例では、箱型ダクト１内の下
部に給気ダクト１６を設け、この給気ダクト１６に形成
された多数の噴気孔１７から台車本体４に向けて空気を
噴射することにより自走台車３を浮上させるようにして
いる。この実施例においても、第１の実施例と同様に、
ヒータ１５によってスリット２近傍の空気が上昇せしめ
られるので、噴気孔１７から噴射空気に混入している塵
埃がスリット２から箱型ダクト１の外部に飛び出すのを
良好に防止できる。
の縦断正面図で、この実施例では、箱型ダクト１内の下
部に給気ダクト１６を設け、この給気ダクト１６に形成
された多数の噴気孔１７から台車本体４に向けて空気を
噴射することにより自走台車３を浮上させるようにして
いる。この実施例においても、第１の実施例と同様に、
ヒータ１５によってスリット２近傍の空気が上昇せしめ
られるので、噴気孔１７から噴射空気に混入している塵
埃がスリット２から箱型ダクト１の外部に飛び出すのを
良好に防止できる。
なお上記各実施例においては、自走台車３の駆動装置と
してリニアモータ９を用いた例について説明したが、第
１の実施例のように車輪５を有する自走台車３の場合、
駆動装置としての通常の電動機を用いてもよいことは勿
論である。
してリニアモータ９を用いた例について説明したが、第
１の実施例のように車輪５を有する自走台車３の場合、
駆動装置としての通常の電動機を用いてもよいことは勿
論である。
また上記第２の実施例においては、噴射空気により自走
台車３を浮上支持した例について説明したが、噴射空気
の代わりに磁石を用い、磁力により浮上支持してもよい
。
台車３を浮上支持した例について説明したが、噴射空気
の代わりに磁石を用い、磁力により浮上支持してもよい
。
発明の効果
以上述べたごとく本発明によれば、箱型ダクトの底板の
少なくともスリット近傍に発熱体を設けたので、発熱体
の熱により箱型ダクト内に対流が生じて吸引ダクト内へ
の塵埃の吸引が助長され、またスリット近傍の空気が上
昇することから、塵埃がスリットを通って箱型ダクトの
外部に飛び出すのを良好に防止できる。
少なくともスリット近傍に発熱体を設けたので、発熱体
の熱により箱型ダクト内に対流が生じて吸引ダクト内へ
の塵埃の吸引が助長され、またスリット近傍の空気が上
昇することから、塵埃がスリットを通って箱型ダクトの
外部に飛び出すのを良好に防止できる。
第１図は本発明の第１の実施例における吊下げ搬送装置
の縦断正面図、第２図は本発明の第２の実施例における
吊下げ搬送装置の縦断正面図である。 １・・・箱型ダクト、１ａ・・・底板、２・・・スリッ
ト、３・・・自走台車、ｌＯ・・・被搬送物、１１・・
・被搬送物支持体、１２・・・連結体、 １３・・・吸
引ダクト、１４・・・吸引孔、１５・・・ヒータ 代理人 森 本 義 弘 第１図 第２図
の縦断正面図、第２図は本発明の第２の実施例における
吊下げ搬送装置の縦断正面図である。 １・・・箱型ダクト、１ａ・・・底板、２・・・スリッ
ト、３・・・自走台車、ｌＯ・・・被搬送物、１１・・
・被搬送物支持体、１２・・・連結体、 １３・・・吸
引ダクト、１４・・・吸引孔、１５・・・ヒータ 代理人 森 本 義 弘 第１図 第２図
Claims (1)
- １、底板に長手方向に沿うスリットが形成された箱型ダ
クトと、この箱型ダクト内をその長手方向に沿って走行
する自走台車と、前記箱型ダクトの下方に位置して被搬
送物を支持する被搬送物支持体と、前記スリットを貫通
して前記自走台車と前記被搬送物支持体とを連結する連
結体と、前記箱型ダクトに形成された多数の吸引孔を介
して箱型ダクト内に連通する吸引ダクトと、前記箱型ダ
クトの底板の少なくとも前記スリット近傍に配設された
発熱体とを設けたことを特徴とする吊下げ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23193585A JPS6288658A (ja) | 1985-10-16 | 1985-10-16 | 吊下げ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23193585A JPS6288658A (ja) | 1985-10-16 | 1985-10-16 | 吊下げ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6288658A true JPS6288658A (ja) | 1987-04-23 |
Family
ID=16931368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23193585A Pending JPS6288658A (ja) | 1985-10-16 | 1985-10-16 | 吊下げ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6288658A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008028419A (ja) * | 2007-10-01 | 2008-02-07 | Hirata Corp | ワーク搬送システム |
| JP2013005477A (ja) * | 2011-06-13 | 2013-01-07 | Panasonic Corp | 電動式ランナ |
-
1985
- 1985-10-16 JP JP23193585A patent/JPS6288658A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008028419A (ja) * | 2007-10-01 | 2008-02-07 | Hirata Corp | ワーク搬送システム |
| JP2013005477A (ja) * | 2011-06-13 | 2013-01-07 | Panasonic Corp | 電動式ランナ |
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