JPS61235258A

JPS61235258A - リニアモ−タ使用の搬送装置

Info

Publication number: JPS61235258A
Application number: JP60077401A
Authority: JP
Inventors: Toshiyuki Takeuchi; 俊之竹内
Original assignee: Daifuku Co Ltd
Current assignee: Daifuku Co Ltd
Priority date: 1985-04-11
Filing date: 1985-04-11
Publication date: 1986-10-20

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、例えば半導体のウェハなどのように塵埃をき
らうものを取扱うときに採用されるりニアモータ使用の
搬送装置に関するものである。

従来の技術例えばウェハを取扱う場合、搬送装置を配設する工場（
室）内をクリーン化すると共に、搬送装置を防塵化して
いる。すなわち従来では、固定部側にリニアモータの固
定子を配設すると共に、被搬送物支持台の下面にリニア
モータの移動子を設けたりニアモータ方式が採用されて
いる。そして固定子と移動子との間を多孔板で仕切り、
この多孔板の孔を通って上方に噴出されるエアーで支持
台を浮上させるか、あるいは給気ダクトから支持台の下
面に向けて噴出されるエアーで支持台を浮上させること
により、支持台を塵埃の発生しにくい非接触方式で移動
させるようにしている。

発明が解決しようとする問題点上記のような従来方式のうち多孔板で仕切る前者では、
この多孔板の存在によってリニア駆動力が弱まることに
なる。また多孔板を用いない後者では、リニアモータの
固定子側のカバー機能が全くない。さらに両者ともに、
被搬送物支持台の下面に移動子を直接取付けているため
、被搬送物への磁気影響が心配となる。

問題点を解決するための手段上記問題点を解決するために本発明におけるリニアモー
タ使用の搬送装置は、上部にスリットを形成した箱形ダ
クト内に可動体を配設し、前記箱形ダクトの底板上に長
さ方向適当間隔置きにりニアモータの固定子を配設する
と共に、前記可動体の下面にリニアモータの移動子を設
け、前記可動体は下向きの浮上用エアー受け面と横向き
のセンタリング用エアー受け面とを有し、前記箱形ダク
ト内に、前記浮上用エアー受け面に対向する浮上用エア
ー噴出口と、前記センタリング用エアー受け面に対向す
るセンタリング用エアー噴出口とを有する給気パイプを
配設し、前記可動体側の上面に荷受面を形成している。

作用かかる本発明構成によると、可動体の下面に取付けた移
動子が介在物なしに固定子に対向することから、強いリ
ニア駆動力で可動体を移動させ得、また被搬送物は、非
接触で可動体と一体的に移動する荷受面で支持されるこ
とから磁気影響が全くなく、さらに固定子はスリットを
有する箱形ダクトによりカバーし得、また可動体は、エ
アーをセンタリング用エアー受け面で受けることにより
非接触でセンタリングされることになる。

実施例以下に本発明の一実施例を第１図、第２図に基づいて説
明する。１は箱形ダクトで、底板１ａと、この底板１ａ
の両面から上方へ突出する左右一対の側板１ｂと、これ
ら側板１ｂの上端から内方へ突出する一対の天板１Ｃと
からなり、これら天板１Ｃの遊端間に長さ方向全長に亘
ってスリット２が形成される。なお側板１ｂから天板１
Ｃに亘っではエアー誘導板を形成し、また天板１Ｃの道
端は下方に折曲させて誘導部１ｄに形成しである。

３は箱形ダクト１内に配設される可動体で、横方向の浮
上板４と、この浮上板４の中央部から垂設した縦部材５
とにより正面視Ｔ字状に構成され、浮上１２４に下向き
の浮上用エアー受け面４ａを形成すると共に、縦部材５
に横向きのセンタリング用エアー受け面５ａを形成する
。前記浮上板４の中央部上面からは、前記スリット２を
通って箱形ダクト１の上方へ突出する連結杆６が突設さ
れ、この連結杆６の上端には荷受台７が固定される。

８はリニアモータで、前記箱形ダクト１の底板１ａ上に
固設された固定子９と、前記可動体３の縦部材５下面に
固設された移動子としての二次側導体１０とから構成さ
れ、前記固定子９は箱形ダクト１の長さ方向適当間隔置
きに配設されている。

前記箱形ダクト１内の上部には四角状の給気パイプ１１
が左右一対配設され、これら給気パイプ１１は適当間隔
置きのスペーサ１２を介して側板１ｂに固定される。こ
れにより給気パイプ１１の外面と側板１ｂの内面との間
に通路１３を形成する。前記給気パイプ１１の天板には
前記浮上用エアー受け面４ａに対向する多数の浮上用エ
アー噴出口１４が形成され、また内側板には前記センタ
リング用エアー受け面４ａに対向する多数のセンタリン
グ用エアー噴出口１５が形成される。一方の側板１ｂの
外面で且つ下部には吸引ダクト１６が配設され、この吸
引ダクト１６は適当間隔置きに形成した連通孔１７を介
して箱形ダクト１内に連通する。１８は被搬送物で、荷
受台７の上面である荷受面１９に支持される。

次に上記実施例の作用を説明する。可動体３は、固定子
９と二次側導体１０とにより構成されるりニアモータ８
によって、箱形ダクト１内において搬送経路上を往復走
行する。その際に可動体３の走行は、リニアモータ８で
あることから、スロースタート、中間高速、スロースト
ップが行なえ、精度よい停止が可能となる。可動体３の
走行時において、浮上用エアー噴出口１４からのエアー
を浮上板４の受け面４ａが受止め、この浮上板４を介し
て可動体３ならびに荷受台７が浮上することになる。ま
たセンタリング用エアー噴出口１５からのエアーを、縦
部材５の両側面であるセンタリング用エアー受け面５ａ
が受止め、この縦部材５を介して可動体３のセンタリン
グが行なわれることになる。したがって可動体３は、無
接触状態でセンタリングされ且つ走行することになる。

浮上に使用したエアーは、その一部が天板１Ｃの下面に
誘導されたのちスリット２内を上昇すると共に、誘導部
１ｄに案内されて箱形ダクト１内を下降し、また残りは
通路１３を通ったのち連通孔１７を介して吸引ダクト１
６に吸引除去される。またセンタリングに使用したエア
ーも同様の流れとなる。

このような構成、作用の本実施例によると、固定子９と
二次側導体１０とが仕切板などを介さずに直接対向して
いるため強いリニア推進力を得ることができる。また使
用したエアーの一部がスリット２内を上昇することによ
り、経路を覆うカバーを用いることなく防塵を期待でき
る。さらにりニアモータ８は箱形ダクト１によって、は
ぼ完全に保護することができる。

第３図は本発明の別の実施例を示す。すなわち荷受台７
を省略して、浮上板４の上面を荷受面１９に形成したも
ので、この場合に被搬送物１８の下部が箱形ダクト１内
に突入し、且つスリット２は広巾となる。

発明の効果上記構成の本発明におけるリニアモータ使用の搬送装置
によると、可動体の下面に取付けた移動子が介在物なし
に固定子に対向することから、常に強い駆動力で可動体
を確実に移動させることができる。またリニアモータの
固定子や可動子はスリットを有する箱形ダクトによりカ
バーすることができ、設備全体の小型化をはかることが
できる。

さらに可動体は、エアーにより浮上センタリングとが行
なわれることから、無接触で所期の走行を行なうことが
でき、走行に伴なう塵埃の発生を極減できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す縦断正面図、第２図は
同一部切欠き平面図、第３図は別の実施例を示す縦断正
面図である。１・・・箱形ダクト、１ａ・・・底板、１Ｃ・・・天板
、１ｄ・・・誘導部、２・・・スリット、３・・・可動
体、４・・・浮上板、４ａ・・・浮上用エアー受け面、
５・・・縦部材、５ａ・・・センタリング用エアー受け
面、７・・・荷受台、８・・・リニアモータ、９・・・
固定子、１０・・・二次側導体（移動子）、１１・・・
給気パイプ、１４・・・浮上用エアー噴出口、１５・・
・センタリング用エアー噴出口、１６・・・吸引ダクト
、１９・・・荷受面代理人　　　森　　本　　義　　弘第３図

Claims

【特許請求の範囲】

１、上部にスリットを形成した箱形ダクト内に可動体を
配設し、前記箱形ダクトの底板上に長さ方向適当間隔置
きにリニアモータの固定子を配設すると共に、前記可動
体の下面にリニアモータの移動子を設け、前記可動体は
下向きの浮上用エアー受け面と横向きのセンタリング用
エアー受け面とを有し、前記箱形ダクト内に、前記浮上
用エアー受け面に対向する浮上用エアー噴出口と、前記
センタリング用エアー受け面に対向するセンタリング用
エアー噴出口とを有する給気パイプを配設し、前記可動
体側の上面に荷受面を形成したことを特徴とするリニア
モータ使用の搬送装置。