JPS62238159A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPS62238159A JPS62238159A JP61080617A JP8061786A JPS62238159A JP S62238159 A JPS62238159 A JP S62238159A JP 61080617 A JP61080617 A JP 61080617A JP 8061786 A JP8061786 A JP 8061786A JP S62238159 A JPS62238159 A JP S62238159A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conveyance
- conveyance path
- vehicle
- path
- transport vehicle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 claims description 8
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 8
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005188 flotation Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
庵１上夏且ル８Ｌ
本発明は、半導体製造工場か医薬品用設備等におけるク
リーンルーム等での１般送などに通した、塵埃を外部に
発生させない搬送装置に関する。
リーンルーム等での１般送などに通した、塵埃を外部に
発生させない搬送装置に関する。
従来久孜歪
クリーンルーム等での搬送装置の従来例としては、塵埃
の発生および（般送物への塵埃の付着を防止する必要が
あるため、駆動部分に機械的な摩擦および摺動等の無い
非接触搬送が望まれ、空気浮上、磁気浮上等の方法が用
いられている。
の発生および（般送物への塵埃の付着を防止する必要が
あるため、駆動部分に機械的な摩擦および摺動等の無い
非接触搬送が望まれ、空気浮上、磁気浮上等の方法が用
いられている。
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しかし、これらの方法は装置が複雑になり、且つ、装置
の制御も精度の高いものが要求され、このため設備費用
が高価となる問題点があった。
の制御も精度の高いものが要求され、このため設備費用
が高価となる問題点があった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、特別な浮
上装置を必要とすることなく、簡虫な構成でもって塵埃
を外部へ発生させない１般送装置を堤供することを目的
とする。
上装置を必要とすることなく、簡虫な構成でもって塵埃
を外部へ発生させない１般送装置を堤供することを目的
とする。
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本発明は、断面が開溝状の１般送路と、前記搬送路にそ
って走行する搬送車と、搬送路内に配置され１ｕｌｌ送
車を支持する支持脚とを具備し、前記ＩＩ送路の開溝部
に搬送車の進行方向にそって互いに対向するように所定
の空隙を介して配置した２列の永久磁石と、前記空隙に
搬送路全長にわたって配置した磁性流体とを設けたこと
を特徴とする１般送装置である。
って走行する搬送車と、搬送路内に配置され１ｕｌｌ送
車を支持する支持脚とを具備し、前記ＩＩ送路の開溝部
に搬送車の進行方向にそって互いに対向するように所定
の空隙を介して配置した２列の永久磁石と、前記空隙に
搬送路全長にわたって配置した磁性流体とを設けたこと
を特徴とする１般送装置である。
ス１順１
以下本発明の実施例について図面に基づき説明を行う。
第１図は本発明に係る搬送装置の実施例を示す断面正面
図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図である。
図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図である。
図において、ｌは図示しないフレームによって固設され
た断面が開溝状に形成された搬送路であり、搬送路１の
内部に配置された支持脚２４で支持された図示しない被
搬送物を載置する搬送台２５を備えた搬送車２が配置さ
れる。支持脚２４には、搬送車２の下面を支持する搬送
車２の進行方向に２組設は搬送路１の底面を転勤する底
面ガイドホイール２１と、ｉｌｌ送車２の両側面をガイ
ドする２組の搬送路１の側面を転勤する側面ガイドホイ
ール２２と、＋１２送車２の上面をガイドする４組の上
面ガイドキャスタ２３が設けられている。
た断面が開溝状に形成された搬送路であり、搬送路１の
内部に配置された支持脚２４で支持された図示しない被
搬送物を載置する搬送台２５を備えた搬送車２が配置さ
れる。支持脚２４には、搬送車２の下面を支持する搬送
車２の進行方向に２組設は搬送路１の底面を転勤する底
面ガイドホイール２１と、ｉｌｌ送車２の両側面をガイ
ドする２組の搬送路１の側面を転勤する側面ガイドホイ
ール２２と、＋１２送車２の上面をガイドする４組の上
面ガイドキャスタ２３が設けられている。
搬送車２の駆動は図示しないサーボモータ等の駆動装置
で搬送車２に連結したロープ５を操作することで行い、
搬送車２は矢符で示す方向に走行することになる。
で搬送車２に連結したロープ５を操作することで行い、
搬送車２は矢符で示す方向に走行することになる。
搬送路１の上部開口２７には、搬送車２の進行方向にそ
って、互いに対向する極性に選定された永久磁石３を所
定の空隙を介して配置する。この空隙に磁性流体４を配
置し、永久磁石３の磁界の作用により磁性流体４を保持
させ搬送路１の全長に亘って開口部２７は磁性流体４に
よってシールされるようにする。従って、搬送路１は密
閉構造となる。
って、互いに対向する極性に選定された永久磁石３を所
定の空隙を介して配置する。この空隙に磁性流体４を配
置し、永久磁石３の磁界の作用により磁性流体４を保持
させ搬送路１の全長に亘って開口部２７は磁性流体４に
よってシールされるようにする。従って、搬送路１は密
閉構造となる。
次に、本発明に係る搬送装置の動作について説明する。
搬送車２を駆動すると、搬送車２の各底面ガイドホイー
ル２１、各側面ガイドホイール２２、各上面ガイドキャ
スタ２３が搬送路ｌの内面を転勤し、１般送車２は走行
することになる。このとき、各ガイドホイール２１．２
２および上面ガイドキャスタ２３と搬送路１との接触部
分で塵埃が発生しても、搬送路１は永久磁石３と磁性流
体４との相互作用によりシールされ密閉されているので
、この塵埃は搬送１の外部へは散乱することはない。
ル２１、各側面ガイドホイール２２、各上面ガイドキャ
スタ２３が搬送路ｌの内面を転勤し、１般送車２は走行
することになる。このとき、各ガイドホイール２１．２
２および上面ガイドキャスタ２３と搬送路１との接触部
分で塵埃が発生しても、搬送路１は永久磁石３と磁性流
体４との相互作用によりシールされ密閉されているので
、この塵埃は搬送１の外部へは散乱することはない。
このため、搬送車２の図示しない被搬送物を載置する搬
送台２５の部分に塵埃の影響をうけないので、被搬送部
をクリーンな伏態で搬送できることになる。
送台２５の部分に塵埃の影響をうけないので、被搬送部
をクリーンな伏態で搬送できることになる。
なお、本実施例では搬送車の駆動はロープ式としたが、
これに限定されることなく例えばりニアモータ電動機、
ボールネジ、シリンダー等を用いて行うことができるの
は勿論である。
これに限定されることなく例えばりニアモータ電動機、
ボールネジ、シリンダー等を用いて行うことができるの
は勿論である。
又、搬送車の構成も実施例に限定されずに他の実施例も
可能なのは勿論である。
可能なのは勿論である。
発明の効果
本発明によれば、搬送路の開口部に永久磁石と磁性流体
を配置するのみの簡単な構成で、１般送車の構造を特殊
なものとせず、又、空気浮上ないしは磁気浮上等の特別
な浮上を行わずとも、塵埃を外部に発生させない搬送装
置を提供することができ、特にクリーンルーム内におけ
る１ｉｆｔ送装置として好適なものである。
を配置するのみの簡単な構成で、１般送車の構造を特殊
なものとせず、又、空気浮上ないしは磁気浮上等の特別
な浮上を行わずとも、塵埃を外部に発生させない搬送装
置を提供することができ、特にクリーンルーム内におけ
る１ｉｆｔ送装置として好適なものである。
第１図は本発明に係る搬送装置の実施例を示す断面正面
図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図である。 １・・・搬送路、２・・・搬送車、３・・・永久磁石、
４・・・磁性流体、２１・・・底面ガイドホイール、２
２・・・側面ガイドホイール、２３・・・上面ガイドキ
ャスタ、２４・・・支持脚、２５・・・搬送台。
図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図である。 １・・・搬送路、２・・・搬送車、３・・・永久磁石、
４・・・磁性流体、２１・・・底面ガイドホイール、２
２・・・側面ガイドホイール、２３・・・上面ガイドキ
ャスタ、２４・・・支持脚、２５・・・搬送台。
Claims (1)
- （１）断面が開溝状の搬送路と、前記搬送路にそって走
行する搬送車と、搬送路内に配置され搬送車を支持する
支持脚とを具備し、前記搬送路の開溝部に搬送車の進行
方向にそって互いに対向するように所定の空隙を介して
配置した２列の永久磁石と、前記空隙に搬送路全長にわ
たって配置した磁性流体とを設けたことを特徴とする搬
送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61080617A JPS62238159A (ja) | 1986-04-07 | 1986-04-07 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61080617A JPS62238159A (ja) | 1986-04-07 | 1986-04-07 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62238159A true JPS62238159A (ja) | 1987-10-19 |
Family
ID=13723302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61080617A Pending JPS62238159A (ja) | 1986-04-07 | 1986-04-07 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62238159A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017206217A (ja) * | 2016-05-21 | 2017-11-24 | Ｓｋマシナリー株式会社 | 送り装置 |
-
1986
- 1986-04-07 JP JP61080617A patent/JPS62238159A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017206217A (ja) * | 2016-05-21 | 2017-11-24 | Ｓｋマシナリー株式会社 | 送り装置 |
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