JPS62254605A - 磁性流体搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ｉ稟上夏■且分此 本発明は、搬送路と搬送台の支持脚部との間に磁性流体
を介在させて搬送台を浮上させ移送する搬送装置に関す
る。

止沫皇技街 半導体製造工場か医薬品用設備等におけるクリーンルー
ム等での発塵を嫌う場合に利用されるこの種の搬送装置
の従来例としては、例えば磁性流体を使用して搬送台を
浮上さす装置として第５図に示すような搬送装置が提案
されている。第６図は第５図のＡ−Ａ断面図を示し、第
７図は第６図の（イ）部の永久磁石と磁性流体との磁気
回路の状況を示す図である。

図において、１は図示しないフレームによって固設され
た凹条溝１１を有する搬送路であり、該搬送路１には前
記溝部１１に配置された２組の脚部４で支持された被搬
送物Ｇを載置する搬送台３が配置される。

脚部４の下端面には永久磁石５が設けられている。２は
磁性流体であり、永久磁石５の磁界が作用するように前
記脚部４の下端面と搬送路１　（溝部１１）の底面との
間に設けられている。

しかして、前記磁性流体２は磁気的には永久磁気モーメ
ントをもった分子の集合体であり、超常磁性の性質をも
っているので搬送台３の脚部４の下端面に設けたそれぞ
れの永久磁石５により発生する磁界の影響によって、そ
れぞれの磁性流体２は磁化される結果、搬送台３は永久
磁石５と磁性流体２との作用で搬送路より浮上すること
になる。

従って、搬送台３はリニアモータ等で駆動することによ
り矢符で示す方向に浮上し走行できることになる。

永久磁石の配置は、搬送台３の進行方向に対しては、第
５図に示す如く複数個を磁極の上面をＮ極下面をＳ極、
次は上面をＳ極下面をＮ極となるように交互に配置し、
この永久磁石を進行方向と直角の面では第６図に示す如
く、左右２列を互いに交互に配置している。

このときの永久磁石５と磁性流体２とで構成される磁気
回路は第７図に示す如くなり、磁性流体２は磁性流体搬
送装置が特に強い部分（ロ）に多く吸引されることにな
り、搬送台と搬送路間では浮上を発生して、主荷重を受
けることができる。

しかし、一方、搬送台と搬送路との側面間では、磁性流
体の付着が少ないので、側面へのガイド力が弱く、安定
走行に対する横ぶれ防止が不充分となる問題点があった
。

衾皿が解伏ρ孟立上工玉澗泗一点 本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、簡単な構
成でもって走行時搬送路側面方向のガイド力を強くし、
搬送台を安定して円滑に走行でき、かつ搬送台と搬送路
とが接触することがなく、接触により摩耗粉を発生する
ことなく、磁性流体の性能変化をおこさせない搬送装置
を提供することを目的とする。

１１Ｌｂた　　ゞ　　　　た　　の　−゛本発明は、断
面が開溝状又は略蟻溝状に形成された搬送路と、前記搬
送路に沿って走行する搬送台と、前記搬送台に設けた脚
部と、前記脚部底部に固設した永久磁石と、前記搬送路
と搬送台の脚部との間に介在せしめた磁性流体とを具備
し、前記永久磁石の配置を搬送台の進行方向に対して磁
極の向きが垂直になるような区間と水平方向になるよう
な区間とを設けたことを特徴とする磁性流体搬送装置で
ある。

尖■ガ 以下本発明の実施例について図面に基づき説明を行う。

第１図は本発明に係る磁性流体搬送装置の実施例を示す
断面正面図、第２図は第１図のＡ−Ａ面視図、第３図は
第１図のＢ−Ｂ断面図、第４図は第１図のＣ−Ｃ断面図
である。

図において、１は図示しないフレームによって固設され
た凹条溝１１を有する搬送路であり、該搬送路ｌには前
記溝部１１に配置された２個所に設けた脚部４で支持さ
れた被搬送物Ｇを載置する搬送台３が配置される。脚部
４の下端面には永久磁石５が設けられている。永久磁石
５の構成は、図に示すように搬送台３の進行方向の直角
方角には永久磁石列５１．５２で示す２列とし、搬送台
３の進行方向には、中央部区間Ｌ３とし、搬送台３の前
方及び後方側へＬ２、Ｌｌとの区間にそれぞれ中央部を
対称にして区別し、区間Ｌ１及びＬ２では脚部４に対し
て、上下方向にＳ極及びＮ極を有する永久磁石を上側を
Ｓ極下側をＮ極とする場合と、上側をＮ極下側をＳ極と
する場合とを交互に所定数配置する。又、区間Ｌ２では
、脚部４に対して水平に搬送台３の進行方向の直角方向
にＳ極及びＮ極を有する永久磁石を、磁極を左右交互に
有するように所定数配置する。

第３図は区間Ｌｌ及びＬ３における搬送台３の進行方向
と直角方向の永久磁石の配置を示す断面図であり、第４
図は区間Ｌ２における搬送台３の進行方向と直角方向の
永久磁石の配置を示す断面図である。図において、（ロ
）及び（ハ）は磁性流体が特に強く吸引される個所を示
す。

２は磁性流体であり、永久磁石５の磁界が作用するよう
に前記脚部４の下端面とｔａ送路１　（溝部１１）の底
面との間に設けられている。その結果、搬送台３は永久
磁石５と磁性流体２との作用で第３図に示す如く磁性流
体性吸引部（ロ）ができ１股送路より浮上することにな
る。従って、搬送台３はリニアモータ等で駆動すること
により矢符で示す方向に浮上し走行できることになる。

本実施例においては、区間Ｌ２においては、第４図に示
す如く永久磁石を５１．５２列に示す如く、搬送台３の
進行方向の直角方向では、脚部４に対して水平にＳ極、
Ｎ極が配置されているので、磁性流体２は、永久磁石５
１及び５２と搬送路１の側面との間にも磁性流体が特に
強く吸引される部分（ハ）ができ、搬送台３は搬送路側
面方向にもガイド力が強く働くことになり、搬送路側面
に接触することもなく安定して搬送台３は円滑に走行さ
れることになる。

第８図は本発明に係る磁性流体搬送装置をリニアモータ
で駆動する場合の一実施例を示す図である。前記各実施
例で説明した構成において、図示しないフレームにリニ
アモータの固定子２１を搬送台３の進行方向に対し所定
間隔をもって定置したものである。又、搬送台３の固定
子２１と対向する底面３１をリニアモータのリアクショ
ンプレートとして作用するように、例えばアルミニウム
又は銅板等の導電性材料で構成し、前記固定子２１と空
隙を介して相対向し、リニアモータを構成する。

このような構成により、１１！ｌ送台３は永久磁石５と
磁性流体２との作用で前述した如く搬送路より浮上し、
さらにリニアモータで駆動し搬送台３を走行さすことが
できる。

なお、搬送台３を駆動する方法は、リニアモータで行う
ことに限定されることな（、例えばローブトロリー等で
駆動できることは勿論である。

又、前記実施例においては、搬送台３の進行方向と直角
方向の支持脚４は２本としたが、支持脚の数はこれに限
定されず、例えば第９図に示す如く１本とした場合、さ
らに３本以上にすることも可能なのは勿論である。

前記実施例においては、永久磁石５の構成は、搬送台３
の進行方向と直角方向は２列としたが、これに限定され
ることはなく例えば１列とし、区間Ｌ２では第１０図に
示す如く配置し、区間Ｌ１及びＬ３では第１１図に示す
如く配置することも可能であり、更にこれらに限定され
ずに適宜可能なのは勿論である。又、搬送台３の進行方
向における永久磁石５の構成も前記実施例に限定されず
に適宜可能なのは勿論である。

光尻夏処果 本発明は、磁性流体搬送装置において、永久磁石の磁極
の構成により、簡単な構成でもって、搬送台を搬送路に
対して垂直方向及び側面方向とも安定して円滑に走行さ
せることができ、かつ搬送台と搬送路とが接触させるこ
とがな（、接触による摩耗粉を発生させることがなく、
磁性流体の性能変化をおこさせない搬送装置を提供でき
る効果を奏する。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明に係る磁性流体搬送装置の実施例を示す
断面正面図、第２図は第１図のＡ−Ａ面視図、第３図は
第１図のＢ−Ｂ断面図、第４図は第１図のＣ−Ｃ断面図
である。 第５図は従来の磁性流体搬送装置の実施例を示す断面正
面図、第６図は第５図のＡ−Ａ断面図、第７図は第６図
の要部拡大図、第８図は本発明に係る磁性流体搬送装置
をリニアモータで駆動する場合の一実施例を示す図、第
９図は本発明に係る磁性流体搬送装置をリニアモータで
駆動する場合の他の一実施例を示す図、第１０は本発明
に係る磁性流体搬送装置の他の一実施例を示す図、第１
１図は本発明に係る磁性流体搬送装置の他の一実施例を
示す図である。 特許出願人　　日立機電工業株式会社 代理人　弁理士　　大　西　孝　治 第３図 第４図 第７図 第８図 第９図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）断面が開溝状又は略蟻溝状に形成された搬送路と
   、前記搬送路に沿って走行する搬送台と、前記搬送台に
   設けた脚部と、前記脚部底部に固設した永久磁石と、前
   記搬送路と搬送台の脚部との間に介在せしめた磁性流体
   とを具備し、前記永久磁石の配置を搬送台の進行方向に
   対して磁極の向きが垂直方向になるような区間と水平方
   向になるような区間とを設けたことを特徴とする磁性流
   体搬送装置。