KR200463079Y1 - 기판 이송장치 - Google Patents

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KR200463079Y1 KR2020100012661U KR20100012661U KR200463079Y1 KR 200463079 Y1 KR200463079 Y1 KR 200463079Y1 KR 2020100012661 U KR2020100012661 U KR 2020100012661U KR 20100012661 U KR20100012661 U KR 20100012661U KR 200463079 Y1 KR200463079 Y1 KR 200463079Y1
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Abstract

본 고안 기판을 이동시키기 위한 암기구; 상기 암기구가 결합되는 본체; 상기 암기구를 승강(昇降)시키기 위한 볼스크류(Ball Screw), 및 상기 볼스크류가 회전함에 따라 승강하는 볼너트(Ball Nut)를 포함하고, 상기 본체에 결합되는 승강유닛; 및 상기 본체에 결합되고, 상기 볼스크류와 상기 볼너트로부터 발생한 이물질이 상기 암기구 쪽으로 전달되는 것을 차단하기 위한 커버기구를 포함하는 기판 이송장치에 관한 것으로,
본 고안에 따르면 볼스크류와 볼너트로부터 발생한 이물질이 비산되는 것에 의해 기판이 오염되는 것을 방지함으로써 수율을 향상시킬 수 있고, 다른 구성들이 오염됨에 따라 손상되는 것을 방지함으로써 교체 비용을 절감할 수 있으며, 이로 인해 기판을 이용한 전자부품의 제조 단가를 낮출 수 있다.

Description

기판 이송장치{Apparatus for Transferring Substrate}
본 고안은 태양전지, 반도체 소자, 디스플레이 장치 등을 제조하는데 사용되는 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치에 관한 것이다.
태양전지(Solar Cell), 반도체 소자, 디스플레이 장치 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정에는 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정, 이물질 등을 제거하기 위한 세정공정 등이 포함된다. 상기 공정들은 각각 별도의 공정챔버 내에서 이루어지는데, 상기 공정챔버들 간에 기판을 이송하는 시간 등을 최소화하여 생산성을 높이고 상기 공정챔버들의 유지관리를 용이하게 하기 위해 상기 공정챔버들을 일체화한 기판 처리장치가 이용되고 있다. 이러한 기판 처리장치는 상기 공정챔버들이 배치된 형태에 따라 클러스터 방식과 인라인 방식이 있다.
도 1은 클러스터 방식의 기판 처리장치에 대한 개략도이고, 도 2는 인라인 방식의 기판 처리장치에 대한 개략도이다.
도 1을 참고하면, 클러스터 방식의 기판 처리장치(100)는 이송챔버(101)를 중심으로 복수개의 공정챔버(102)들이 배치되는 구조이다. 즉, 상기 공정챔버(102)들이 원형태를 이루며 상기 이송챔버(101)를 둘러싸게 배치되는 구조이다. 도 2를 참고하면, 인라인 방식의 기판 처리장치(100)는 이송챔버(101)가 X축 방향으로 길게 형성되고, 상기 공정챔버(102)들이 X축 방향으로 소정 간격으로 이격되게 배치되는 구조이다. 상기 인라인 방식의 기판 처리장치(100)에 있어서, 상기 공정챔버(102)들은 상기 이송챔버(101)를 기준으로 상기 이송챔버(101)의 양측(Y축 방향)에 배치된다. 이와 같은 도 1에 도시된 클러스터 방식의 기판 처리장치(100)와 도 2에 도시된 인라인 방식의 기판 처리장치(100)에 있어서, 상기 이송챔버(101)에는 기판(미도시)을 이송하기 위한 기판 이송장치(103)가 설치된다.
상기 기판 이송장치(103)는 상기 기판을 공정 순서에 해당하는 공정챔버(102)에 로딩하고, 해당 공정챔버(102)에서 작업이 완료되면 상기 기판을 언로딩한 후, 다음 공정 순서에 해당하는 공정챔버(102)에 로딩하는 공정을 반복한다. 상기 기판 이송장치(103)는 상기 기판을 로딩 또는 언로딩하기 위해 기판을 지지하는 암(1031)을 포함한다. 상기 기판 이송장치(103)는 상기 암(1031)을 상기 공정챔버(102)와 상기 이송챔버(101) 간에 이동시킴으로써, 상기 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행한다. 상기 기판 이송장치(103)는 상기 암(1031)을 승강(昇降)시키기 위한 승강유닛(1032)을 포함한다. 상기 승강유닛(1032)은 상기 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정이 수행되는 과정에서 상기 암(1031)을 승강시킨다. 상기 승강유닛(1032)은 모터의 회전운동을 직선운동으로 변환하는 볼스크류(Ball Screw)와 볼너트(Ball Nut)를 포함한다. 이러한 종래 기술에 따른 기판 이송장치(103)는 다음과 같은 문제가 있다.
첫째, 상기 볼스크류와 상기 볼너트에는 마찰 부분에 그리스(Grease) 등과 같은 윤활유가 사용된다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(103)는 상기 암(1031)을 승강시키기 위해 상기 볼스크류가 회전하는 과정에서 윤활유가 비산(飛散)되는 문제가 있다. 또한, 상기 볼스크류와 상기 볼너트가 마찰함에 따라 분진(Dust) 등이 발생하고, 이러한 분진 등이 상기 볼스크류가 회전하는 과정에서 비산되는 문제가 있다. 이와 같이 윤활유와 분진 등(이하, '이물질'이라 함)은 상기 볼스크류가 회전하는 과정에서 비산됨에 따라 종래 기술에 따른 기판 이송장치(103)를 이루는 구성들과 상기 기판을 오염시키게 되는 문제가 있다.
둘째, 최근 태양전지, 디스플레이 장치 등에 사용되는 기판은 점차 대형화되고 있는 추세이다. 이와 같이 대형화된 기판을 승강시키기 위해, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(103)에는 대형화된 볼스크류와 볼너트가 구비되어야 한다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(103)는 대형화된 볼스크류와 볼너트로부터 더 많은 양의 이물질이 비산됨으로써, 기판을 비롯한 다른 구성들에 대한 오염문제를 심화시키는 문제가 있다.
셋째, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(103)는 상기 암(1031)이 상기 기판 전부를 상기 공정챔버(102) 내부에 위치시킬 수 있고, 상기 기판 전부를 상기 공정챔버(102) 외부에 위치시킬 수 있도록 충분한 길이를 갖도록 형성된다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(103)는 전체적으로 상당한 크기를 갖도록 형성되게 된다. 따라서, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(103)가 도 1에 도시된 클러스터 방식의 기판 처리장치(100)와 도 2에 도시된 인라인 방식의 기판 처리장치(100)에 적용되면, 각각 다음과 같은 문제가 있다.
우선, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(103)가 도 1에 도시된 클러스터 방식의 기판 처리장치(100)에 적용된 경우, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(103)는 상기 암(1031)이 상기 기판을 로딩 또는 언로딩하기 위한 공정챔버(102) 쪽을 향하도록 회전축을 중심으로 회전된다. 따라서, 클러스터 방식의 기판 처리장치(100)의 경우, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(103)가 상기 공정챔버(102)들과 충돌하지 않으면서 회전할 수 있도록 상기 이송챔버(101)가 상당한 크기를 갖도록 형성되어야 한다. 상기 이송챔버(101)의 크기가 커지면, 상기 암(1031) 또한 긴 스트로크(Stroke)로 이동하여야 하므로 종래 기술에 따른 기판 이송장치(103)가 더 큰 크기로 형성되어야 한다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(103)와 상기 이송챔버(101)를 제조하기 위한 제조비용이 증가할 뿐만 아니라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(103)가 상기 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 기판이 이동하는 거리 또한 증가하므로 작업 시간이 늘어나는 문제가 있다.
다음, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(103)가 도 2에 도시된 인라인 방식의 기판 처리장치(100)에 적용된 경우, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(103)는 상기 암(1031)이 상기 기판을 로딩 또는 언로딩하기 위한 공정챔버(102) 쪽에 위치하도록 X축 방향으로 이동된다. 그리고, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(103)는 상기 암(1031)이 상기 이송챔버(101)의 양측에 배치된 공정챔버(102)들 중 어느 하나를 향하도록 회전축을 중심으로 회전된다. 따라서, 인라인 방식의 기판 처리장치(100)의 경우, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(103)가 상기 공정챔버(102)들과 충돌하지 않으면서 회전할 수 있고 X축 방향으로 이동할 수 있도록 상기 이송챔버(101)가 상당한 크기를 갖도록 형성되어야 한다. 상기 이송챔버(101)의 크기가 커지면, 상기 암(1031) 또한 긴 스트로크(Stroke)로 이동하여야 하므로 종래 기술에 따른 기판 이송장치(103)가 더 큰 크기로 형성되어야 한다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(103)와 상기 이송챔버(101)를 제조하기 위한 제조비용이 증가할 뿐만 아니라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(103)가 상기 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 기판이 이동하는 거리 또한 증가하므로 작업 시간이 늘어나는 문제가 있다.
본 고안은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 본 고안의 목적은 볼스크류와 볼너트로부터 발생한 이물질이 비산되는 것에 의해 기판을 비롯한 다른 구성들이 오염되는 것을 방지할 수 있는 기판 이송장치를 제공하는 것이다.
본 고안의 다른 목적은 대형화된 기판을 승강시키기 위해 대형화된 볼스크류와 볼너트가 사용되더라도, 대형화된 볼스크류와 볼너트로부터 발생한 이물질이 비산되는 것에 의해 기판을 비롯한 다른 구성들이 오염되는 것을 방지할 수 있는 기판 이송장치를 제공하는 것이다.
본 고안의 다른 목적은 전체적인 크기를 줄일 수 있으면서도 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하기 위해 긴 스트로크(Stroke)로 이동할 수 있는 기판 이송장치를 제공하는 것이다.
상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 고안은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 고안에 따른 기판 이송장치는 기판을 이동시키기 위한 암기구; 상기 암기구가 결합되는 본체; 상기 암기구를 승강(昇降)시키기 위한 볼스크류(Ball Screw), 및 상기 볼스크류가 회전함에 따라 승강하는 볼너트(Ball Nut)를 포함하고, 상기 본체에 결합되는 승강유닛; 및 상기 본체에 결합되고, 상기 볼스크류와 상기 볼너트로부터 발생한 이물질이 상기 암기구 쪽으로 전달되는 것을 차단하기 위한 커버기구를 포함할 수 있다.
본 고안에 따른 기판 이송장치에 있어서, 상기 커버기구는 상기 볼스크류와 상기 암기구 사이에 위치되게 상기 본체에 결합되는 제1커버부재; 및 상기 볼스크류를 기준으로 상기 암기구 반대편에 위치되게 상기 본체에 결합되는 제2커버부재를 포함할 수 있다.
본 고안에 따른 기판 이송장치는 상기 암기구가 갖는 복수개의 암(Arm)들이 상기 본체에 설치된 베이스프레임으로부터 돌출되는 제1위치, 및 상기 베이스프레임에서 서로 중첩되게 적층되는 제2위치 간에 이동하도록 상기 암들 중 어느 하나를 이동시키는 구동유닛; 및 상기 암들에 결합되고, 상기 구동유닛이 상기 암들 중 어느 하나를 이동시킴에 따라 나머지 암들을 연동(連動)하여 이동시키기 위한 연동기구를 포함할 수 있다. 상기 연동기구는 상기 구동유닛에 의한 직선운동을 회전운동으로 변환하기 위한 복수개의 피니언기어, 및 상기 피니언기어에 맞물림되어 상기 피니언기어에 의한 회전운동을 직선운동으로 변환하기 위한 복수개의 랙기어를 포함할 수 있다.
본 고안에 따르면, 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.
본 고안은 볼스크류와 볼너트로부터 발생한 이물질이 비산되는 것에 의해 기판이 오염되는 것을 방지함으로써 수율을 향상시킬 수 있고, 다른 구성들이 오염됨에 따라 손상되는 것을 방지함으로써 교체 비용을 절감할 수 있으며, 이로 인해 기판을 이용한 전자부품의 제조 단가를 낮출 수 있다.
본 고안은 대형화된 기판을 승강시키기 위해 대형화된 볼스크류와 볼너트가 사용되더라도, 대형화된 볼스크류와 볼너트로부터 발생한 이물질이 비산되는 것에 의해 기판을 비롯한 다른 구성들이 오염되는 것을 방지함으로써 대형화된 기판을 처리하기 위한 기판 처리장치에 대해서도 적용범위를 확대할 수 있다.
본 고안은 전체적인 크기를 줄일 수 있으면서도 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하기 위해 긴 스트로크로 이동할 수 있도록 구현됨으로써, 재료비를 줄일 수 있고, 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는데 걸리는 시간을 단축시킬 수 있다.
본 고안은 피니언기어와 랙기어를 이용함으로써 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 온도 변화가 발생하더라도 기판을 정확한 거리로 이동시킬 수 있고, 이에 따라 로딩공정과 언로딩공정에 대한 정확성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 클러스터 방식의 기판 처리장치에 대한 개략도
도 2는 인라인 방식의 기판 처리장치에 대한 개략도
도 3은 본 고안에 따른 기판 이송장치의 개략적인 사시도
도 4는 본 고안에 따른 본체, 승강유닛, 커버기구, 및 지지기구의 개략적인 분해 사시도
도 5는 본 고안에 따른 승강유닛 및 커버기구에 대한 도 3의 I-I 선 단면도
도 6 및 도 7는 본 고안에 따른 베이스프레임, 암기구, 구동유닛의 개략적인 사시도
도 8은 본 고안에 따른 베이스프레임, 암기구, 연동기구, 구동유닛의 개략적인 측면도
도 9은 본 고안에 따른 베이스프레임, 암기구, 연동기구, 구동유닛의 개략적인 분해사시도
도 10 및 도 11은 본 고안에 따른 암기구와 연동기구의 작동관계를 설명하기 위한 개념도
도 12 및 도 13는 본 고안에 따른 서브피니언기어들의 작동관계를 설명하기 위한 개념도
도 14은 본 고안에 따른 제1연결피니언기어의 개략적인 사시도
도 15은 본 고안에 따른 가이드부재들의 결합관계를 나타낸 개략적인 정면도
도 16은 본 고안에 따른 제1백래쉬 보상기구와 제2백래쉬 보상기구의 개략적인 사시도
도 17 및 도 18은 본 고안에 따른 제1백래쉬 보상기구와 제2백래쉬 보상기구의 작동관계를 설명하기 위한 개념도
이하에서는 본 고안에 따른 기판 이송장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 살명한다.
도 3은 본 고안에 따른 기판 이송장치의 개략적인 사시도, 도 4는 본 고안에 따른 본체, 승강유닛, 커버기구, 및 지지기구의 개략적인 분해 사시도, 도 5는 본 고안에 따른 승강유닛 및 커버기구에 대한 도 3의 I-I 선 단면도이다.
도 3 및 도 4를 참고하면, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 태양전지, 반도체 소자, 디스플레이 장치 등의 전자부품을 제조하기 위한 기판 처리장치(미도시)에 설치된다. 상기 기판 처리장치는 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(미도시)에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정, 이물질 등을 제거하기 위한 세정공정 등을 수행한다. 상기 기판은 유리(Glass) 기판, 메탈(Metal) 기판 등일 수 있다. 상기 공정들은 각각 별도의 공정챔버(미도시) 내에서 이루어지는데, 상기 공정챔버들 간에 기판을 이송하는 시간 등을 최소화하여 생산성을 높이고 상기 공정챔버들의 유지관리를 용이하게 하기 위해 상기 공정챔버들을 일체화한 기판 처리장치가 이용되고 있다. 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 이러한 기판 처리장치에 설치된다. 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 기판을 공정 순서에 해당하는 공정챔버에 로딩하고, 해당 공정챔버에서 작업이 완료되면 상기 기판을 언로딩한 후, 다음 공정 순서에 해당하는 공정챔버에 로딩하는 공정을 수행한다.
도 3 및 도 4를 참고하면, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 본체(10), 승강유닛(20), 및 커버기구(30)를 포함한다.
상기 본체(10)에는 상기 기판을 이동시키기 위한 암기구(2)가 결합된다. 상기 암기구(2)는 상기 본체(10)로부터 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제1방향에 반대되는 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 기판은 상기 암기구(2)에 의해 상기 공정챔버에 로딩되거나 상기 공정챔버로부터 언로딩될 수 있다. 상기 본체(10)는 전체적으로 직방체 형태로 형성될 수 있다. 상기 본체(10)는 상기 암기구(2)가 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방항)으로 이동할 수 있도록 상기 제1방향(A 화살표 방향)을 향하는 면과 상기 제2방향(B 화살표 방향)을 향하는 면이 개방되게 형성될 수 있다. 상기 본체(10)에는 상기 암기구(2)가 복수개 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 암기구(2)들은 상하로 적층(積層)되게 상기 본체(10)에 결합될 수 있다. 예컨대, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 본체(10)에는 2개의 암기구(2)들이 상하로 적층되게 결합될 수 있다.
도 3 및 도 4를 참고하면, 상기 승강유닛(20)은 상기 본체(10)에 결합된다. 상기 승강유닛(20)은 상기 암기구(2)를 승강(昇降)시킬 수 있다. 상기 승강유닛(20)은 상기 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 암기구(2)를 승강시킬 수 있다. 예컨대, 상기 암기구(2)가 상기 공정챔버로부터 상기 기판을 언로딩하기 위해 상기 공정챔버 내부로 이동하면, 상기 승강유닛(20)은 상기 암기구(2)를 상승시킨다. 이에 따라, 상기 공정챔버 내부에 있는 기판은 상기 암기구(2)에 지지된다. 상기 암기구(2)가 상기 공정챔버에 상기 기판을 로딩하기 위해 기판을 지지한 상태로 상기 공정챔버 내부로 이동하면, 상기 승강유닛(20)은 상기 암기구(2)를 하강시킨다. 이에 따라, 상기 암기구(2)에 지지된 기판은 상기 공정챔버에 지지된다.
본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 본체(10)에 복수개의 암기구들이 상하로 적층되게 결합된 경우, 로딩공정과 언로딩공정을 연속적으로 수행할 수 있다. 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)가 로딩공정과 언로딩공정을 연속적으로 수행하는 과정에서, 상기 승강유닛(20)은 상기 암기구(2)를 승강시킬 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.
우선, 상기 본체(10)에 결합된 암기구들(2) 중 어느 하나는 기판을 지지한 상태이고, 상기 본체(10)에 결합된 암기구들(2) 중 다른 하나는 비어있는 상태이다. 다음, 상기 승강유닛(2)은 기판을 언로딩할 공정챔버에 상기 비어있는 암기구(2)가 위치되게 승강시킨다. 다음, 상기 비어있는 암기구(2)가 해당 공정챔버로부터 기판을 언로딩하면, 상기 승강유닛(2)은 해당 공정챔버에 상기 기판을 지지한 암기구(2)가 위치되게 승강시킨다. 그리고, 상기 기판을 지지한 암기구(2)가 해당 공정챔버에 상기 기판을 로딩한다. 이와 같이 상기 승강유닛(2)은 상기 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 연속적으로 수행하는 과정에서, 상기 암기구(2)를 승강시킬 수 있다.
도 3 내지 도 5를 참고하면, 상기 승강유닛(20)은 볼스크류(Ball Screw, 21) 및 볼너트(Ball Nut, 22)를 포함한다.
상기 볼스크류(21)는 상기 본체(10)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 볼스크류(21)는 모터(23)로부터 제공되는 회전력에 의해 회전한다. 상기 모터(23)는 상기 본체(10)에 결합된다. 도시되지는 않았지만, 상기 볼스크류(21)와 상기 모터(23)가 소정 거리 이격되게 설치된 경우, 상기 승강유닛(20)은 상기 볼스크류(21)와 상기 모터(23)를 연결하는 연결수단(미도시)을 포함할 수도 있다. 상기 연결수단은 풀리(Pulley), 벨트(Belt) 등일 수 있다.
상기 볼너트(22)는 상기 볼스크류(21)에 결합된다. 상기 볼너트(22)는 상기 볼스크류(21)가 회전함에 따라 승강한다. 상기 볼스크류(21)는 시계방향과 반시계방향으로 회전할 수 있고, 상기 볼너트(22)는 상기 볼스크류(21)가 회전하는 방향에 따라 상승 또는 하강할 수 있다. 상기 볼너트(22)가 승강함에 따라 상기 암기구(2)가 승강할 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 볼너트(22)에는 상기 암기구(2)가 결합될 수 있다.
도 3 및 도 5를 참고하면, 상기 커버기구(30)는 상기 본체(10)에 결합된다. 상기 커버기구(30)는 상기 볼스크류(21)와 상기 볼너트(22)로부터 발생한 이물질이 상기 암기구(2) 쪽으로 전달되는 것을 차단할 수 있다. 이에 따라, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 다음과 같은 작용효과를 도모할 수 있다.
첫째, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 볼스크류(21)가 회전함에 따라 윤활유와 분진 등과 같은 이물질이 비산(飛散)되더라도, 상기 커버기구(30)가 상기 이물질이 상기 암기구(2) 쪽으로 전달되는 것을 차단할 수 있다. 이에 따라, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 볼스크류(21)와 상기 볼너트(22)로부터 발생한 이물질에 의해 상기 기판이 오염되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 기판이 오염됨에 따라 불량이 발생하는 것을 방지함으로써, 수율을 향상시킬 수 있고, 상기 기판을 이용한 전자부품의 제조 단가를 낮출 수 있다.
둘째, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 대형화된 기판을 승강시키기 위해 상기 볼스크류(21)와 상기 볼너트(22)가 대형화됨에 따라 더 많은 양의 이물질이 비산되더라도, 상기 커버기구(30)가 상기 이물질이 상기 암기구(2) 쪽으로 전달되는 것을 차단할 수 있다. 따라서, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 대형화된 기판을 처리하기 위한 기판 처리장치에 대해서도 적용범위를 확대할 수 있다.
셋째, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 커버기구(30)가 상기 이물질이 상기 암기구(2) 쪽으로 전달되는 것을 차단함으로써, 상기 이물질에 의해 상기 본체(10), 모터(23) 등과 같은 다른 구성들이 오염되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 본체(10), 모터(23) 등과 같은 다른 구성들이 오염됨에 따라 부식 등에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 본체(10), 모터(23) 등이 손상됨에 따른 교체 비용을 절감할 수 있고, 이로 인해 상기 기판을 이용한 전자부품의 제조 단가를 낮출 수 있다.
도 3 및 도 5를 참고하면, 상기 커버기구(30)는 제1커버부재(31) 및 제2커버부재(32)를 포함한다. 상기 제1커버부재(31)는 상기 볼스크류(21)와 상기 암기구(2) 사이에 위치되게 상기 본체(10)에 결합된다. 상기 제2커버부재(32)는 상기 볼스크류(21)를 기준으로 상기 암기구(2) 반대편에 위치되게 상기 본체(10)에 결합된다. 이에 따라, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 볼스크류(21)와 상기 볼너트(22)로부터 발생한 이물질이 상기 암기구(2) 쪽으로 전달되는 것을 차단할 수 있을 뿐만 아니라, 상기 암기구(2) 반대편 쪽으로 전달되는 것 또한 차단할 수 있다. 따라서, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 다음과 같은 작용효과를 가질 수 있다.
첫째, 진공 환경을 갖는 기판 처리장치의 경우, 상기 볼스크류(21)가 회전함에 따라 윤활유와 분진 등과 같은 이물질이 비산되는 거리가 늘어나게 된다. 이에 따라, 상기 이물질은 상기 공정챔버 등과 같이 기판 처리장치를 이루는 구성들을 오염시킬 수 있다. 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 커버기구(30) 외부로 상기 이물질이 벗어나는 것을 차단함으로써, 상기 공정챔버 등과 같이 기판 처리장치를 이루는 구성들이 오염되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 공정챔버 등과 같이 기판 처리장치를 이루는 구성들이 오염됨에 따라 부식 등에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다.
둘째, 상술한 바와 같이 상기 공정챔버 등과 같이 기판 처리장치를 이루는 구성들이 오염되면, 오염된 구성을 세정하기 위한 세정작업이 요구되고, 세정작업이 이루어지는 동안에는 기판 처리장치의 작동을 정지시켜야 한다. 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 공정챔버 등과 같이 기판 처리장치를 이루는 구성들이 오염되는 것을 방지함으로써, 세정작업에 드는 비용을 절감할 수 있다. 또한, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 세정작업을 위해 기판 처리장치의 작동이 정지되는 것을 방지함으로써, 수율을 향상시킬 수 있고, 상기 기판을 이용한 전자부품의 제조 단가를 낮출 수 있다.
도 3 내지 도 5를 참고하면, 제1커버부재(31)와 상기 제2커버부재(32)는 상기 볼너트(22)가 승강되는 수직방향으로, 상기 볼너트(22)가 승강되는 거리에 상응하는 수직방향 길이를 갖도록 형성될 수 있다. 상기 제1커버부재(31)와 상기 제2커버부재(32)는 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있다. 상기 제2커버부재(32)는 상기 제1커버부재(31)보다 큰 크기를 갖도록 형성될 수 있다.
도 3 및 도 5를 참고하면, 상기 제1커버부재(31)에는 상기 볼스크류(21)가 위치되기 위한 제1수용홈(311)이 형성된다. 상기 제2커버부재(32)에는 상기 볼스크류(21)가 위치되기 위한 제2수용홈(321)이 형성된다. 이에 따라, 상기 볼스크류(21)는 상기 제1수용홈(311)에 의해 상기 제1커버부재(31) 내측에 위치될 수 있고, 상기 제2수용홈(321)에 의해 상기 제2커버부재(32) 내측에 위치될 수 있다. 따라서, 상기 제1커버부재(31)와 상기 제2커버부재(32)는 상기 볼스크류(21)에 더 가깝게 설치됨으로써, 상기 제1커버부재(31)와 상기 제2커버부재(32) 사이의 틈새로 상기 이물질이 새어나갈 가능성을 줄일 수 있다. 상기 제1수용홈(311)과 상기 제2수용홈(321)은 전체적으로 직방체 형태로 형성될 수 있다. 상기 제1수용홈(311)과 상기 제2수용홈(321)은 상기 볼너트(22)가 승강되는 수직방향으로, 상기 볼너트(22)가 승강하는 거리에 상응하는 수직방향 길이를 갖도록 형성될 수 있다. 따라서, 상기 제1커버부재(31)와 상기 제2커버부재(32)는 상기 볼스크류(21)가 회전함에 따라 상기 볼너트(22)가 승강하는 것에 방해되지 않도록 구현될 수 있다.
도 3 내지 도 5를 참고하면, 상기 제1커버부재(31)는 상기 암기구(2)에서 상기 볼스크류(21)를 향하는 방향으로 돌출되게 형성된 제1돌출부재(312)를 포함한다. 상기 제2커버부재(32)는 상기 볼스크류(21)에서 상기 암기구(2)를 향하는 방향으로 돌출되게 형성된 제2돌출부재(322)를 포함한다. 이에 따라, 상기 커버기구(30)는 상기 이물질을 차단하기 위한 면적이 증가됨으로써, 상기 제1커버부재(31)와 상기 제2커버부재(32) 사이의 틈새로 상기 이물질이 새어나갈 가능성을 더 줄일 수 있다. 상기 제1돌출부재(312)와 상기 제2돌출부재(322)는 상기 볼너트(22)가 승강되는 수직방향으로, 상기 볼너트(22)가 승강하는 거리에 상응하는 수직방향 길이를 갖도록 형성될 수 있다. 상기 제1돌출부재(312)와 상기 제2돌출부재(322)는 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제1커버부재(31)는 2개의 제1돌출부재(312)를 포함한다. 이에 따라, 상기 제1커버부재(31)는 전체적으로 'ㄷ' 형태로 형성된다. 상기 제2커버부재(32)는 2개의 제2돌출부재(322)를 포함한다. 이에 따라, 상기 제2커버부재(32)는 전체적으로 'ㄷ' 형태로 형성된다. 상기 제2커버부재(32)는, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 볼너트(22)로부터 소정 거리 이격되게 상기 본체(10)에 결합된다. 따라서, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 볼스크류(21)가 회전함에 따라 상기 볼너트(22)가 승강할 때, 상기 제2커버부재(32)와 상기 볼너트(22)가 마찰하는 것을 방지함으로써, 분진 등이 발생하는 것을 차단할 수 있다.
도 3 내지 도 5를 참고하면, 상기 볼너트(22)에는 상기 제1커버부재(31)가 삽입되는 설치공(221)이 형성된다. 상기 제1커버부재(31)는 상기 설치공(221)을 관통하여 상기 본체(10)에 결합된다. 이에 따라, 상기 제1커버부재(31)는 상기 볼스크류(21)가 회전함에 따라 상기 볼너트(22)가 승강하는 것에 방해되지 않도록 구현될 수 있다. 또한, 상기 제1커버부재(31)는 상기 설치공(221)에 의해 상기 볼스크류(21)에 더 가깝게 설치됨으로써, 이물질이 새어나갈 가능성을 줄일 수 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 볼너트(22)는 상기 제1커버부재(31)가 갖는 형태와 대략 일치하는 형태를 갖는 설치공(221)을 포함한다. 상기 볼너트(22)는 상기 제1커버부재(31)에서 상기 설치공(221)에 삽입되는 부분이 갖는 크기보다 큰 크기를 갖는 설치공(221)을 포함한다. 따라서, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 볼스크류(21)가 회전함에 따라 상기 볼너트(22)가 승강할 때, 상기 제1커버부재(31)와 상기 볼너트(22)가 마찰하는 것을 방지함으로써, 분진 등이 발생하는 것을 차단할 수 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 설치공(221)과 상기 제1커버부재(31)는 전체적으로 'ㄷ' 형태의 단면을 갖도록 형성된다.
도 3 내지 도 5를 참고하면, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 본체(10)에 승강 가능하게 결합되는 지지기구(40)를 포함한다. 상기 지지기구(40)는 상기 볼너트(22)에 결합되고, 이에 따라 상기 볼너트(22)가 승강함에 따라 함께 승강한다. 상기 암기구(2)는 상기 본체(10)에 설치된 베이스프레임(1a)에 결합되고, 상기 지지기구(40)에는 상기 베이스프레임(1a)에 결합된다. 따라서, 상기 볼스크류(21)가 회전함에 따라 상기 볼너트(22)가 승강하면, 상기 볼너트(22)에 결합된 상기 지지기구(40)가 승강하고, 이에 따라 상기 지지기구(40)에 결합된 상기 베이스프레임(1a)이 승강함으로써 상기 암기구(2)가 승강할 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 본체(10)에는 리니어가이드레일(Linear Guide Rail, LM Rail)이 결합되고, 상기 지지기구(40)에는 리니어가이드블록(Linear Guide Block, LM Block)이 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지기구(40)는 리니어가이드블록(LM Block)과 리니어가이드레일(LM Rail)에 가이드되어 직선으로 승강할 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 본체(10)에 리니어가이드블록(LM Block)이 결합되고, 상기 지지기구(4)에 리니어가이드레일(LM Rail)이 결합될 수도 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 볼너트(22)에는 상기 베이스프레임(1a)이 직접 결합될 수도 있다.
도 3 내지 도 5를 참고하면, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 2개의 승강유닛(20), 2개의 커버기구(30), 및 2개의 지지기구(40)를 포함할 수 있다. 상기 승강유닛(20)들 및 상기 지지기구(40)들은 상기 암기구(2)를 기준으로 양측에 위치되게 상기 본체(10)에 설치된다. 상기 커버기구(30)들은 각각 상기 암기구(2)의 양측에 설치된 상기 승강유닛(20)에 대응되게 상기 본체(10)에 설치된다.
이하에서는 본 고안에 따른 기판 이송장치에 있어서 상기 암기구와 상기 암기구를 이동시키기 위한 구성들의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 6 및 도 7는 본 고안에 따른 베이스프레임, 암기구, 구동유닛의 개략적인 사시도, 도 8은 본 고안에 따른 베이스프레임, 암기구, 연동기구, 구동유닛의 개략적인 측면도, 도 9은 본 고안에 따른 베이스프레임, 암기구, 연동기구, 구동유닛의 개략적인 분해사시도, 도 10 및 도 11은 본 고안에 따른 암기구와 연동기구의 작동관계를 설명하기 위한 개념도, 도 12 및 도 13는 본 고안에 따른 서브피니언기어들의 작동관계를 설명하기 위한 개념도, 도 14은 본 고안에 따른 제1연결피니언기어의 개략적인 사시도, 도 15은 본 고안에 따른 가이드부재들의 결합관계를 나타낸 개략적인 정면도, 도 16은 본 고안에 따른 제1백래쉬 보상기구와 제2백래쉬 보상기구의 개략적인 사시도, 도 17 및 도 18은 본 고안에 따른 제1백래쉬 보상기구와 제2백래쉬 보상기구의 작동관계를 설명하기 위한 개념도이다.
도 6 내지 도 8을 참고하면, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 암기구(2)가 갖는 복수개의 암(Arm, 21, 22, 23)들을 서로 연동(連動)하여 이동시키기 위한 연동기구(3, 도 8에 도시됨), 및 상기 암기구(2)를 이동시키기 위한 구동력을 제공하는 구동유닛(4)을 포함한다. 상기 암기구(2)는 상기 본체(10, 도 3에 도시됨)에 설치된 베이스프레임(1a)에 결합된다.
상기 암들(21, 22, 23)은 상기 구동유닛(4)과 상기 연동기구(3, 도 8에 도시됨)에 의해 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 암들(21, 22, 23)은 각각 로딩공정과 언로딩공정을 수행하기 위한 스트로크를 분담하여 구현할 수 있다. 따라서, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하기 위해 상기 암들(21, 22, 23)을 긴 스트로크(Stroke)로 이동시킬 수 있다. 상기 암들(21, 22, 23)은 상기 구동유닛(4)과 상기 연동기구(3, 도 8에 도시됨)에 의해 상기 베이스프레임(1a)에서 서로 중첩되어 적층(積層)되게 이동할 수 있다. 이에 따라, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 암들(21, 22, 23)이 구현하는 스트로크에 비해 상대적으로 작은 크기로 형성될 수 있다. 따라서, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 전체적인 크기를 줄일 수 있으면서도 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하기 위해 상기 암기구(2)를 긴 스트로크로 이동시킬 수 있다.
본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 연동기구(3)가 상기 암들(21, 22, 23)을 연동하여 이동시킨다. 상기 연동기구(3)는 상기 암들(21, 22, 23)에 각각 결합되는 피니언기어(Pinion Gear)와 랙기어(Rack Gear)를 포함할 수 있다. 상기 피니언기어들은 상기 구동유닛(4)에 의한 직선운동을 회전운동으로 변환하고, 상기 랙기어들은 상기 피니언기어에 의한 회전운동을 직선운동으로 변환한다. 이에 따라, 상기 암들(21, 22, 23) 중 어느 하나가 상기 구동유닛(4)에 의해 직선 운동하면, 상기 피니언기어들이 직선운동을 회전운동으로 변환하고, 상기 랙기어들이 상기 회전운동을 직선운동으로 변환함으로써, 상기 암들(21, 22, 23)은 서로 연동하여 직선 운동할 수 있다. 이에 따라, 상기 암들(21, 22, 23)은 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되도록 상기 연동기구(3)에 의해 연동하여 이동할 수 있고, 상기 베이스프레임(1a)에서 서로 중첩되어 적층되도록 상기 연동기구(3)에 의해 연동하여 이동할 수 있다. 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시키기 위해 벨트(Belt) 방식, 와이어(Wire) 방식, 볼스크류(Ballscrew) 방식, 실린더(Cylinder) 방식이 이용될 수 있는데, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 피니언기어들과 랙기어들을 이용한 연동기구(3)로 상기 암들(21, 22, 23)을 연동하여 이동시킴으로써, 다음과 같은 작용효과를 도모할 수 있다.
우선, 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시키기 위해 벨트 방식을 이용하는 경우, 다음과 같은 문제가 있다. 상기 기판에 대한 증착공정, 식각공정 등은 대략 80℃ ~ 180℃에 달하는 고온 환경에서 이루어지게 된다. 즉, 상기 증착공정, 식각공정 등을 수행하기 위한 공정챔버(미도시)들 내부는 상당한 고온 환경으로 설정되고, 공정의 종류에 따라 상기 공정챔버들마다 다른 온도로 설정될 수 있다. 이에 따라, 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시키기 위한 벨트가 상기 공정챔버들 간에 이동하면, 온도 변화에 의해 상기 벨트가 신축(伸縮)되게 된다. 따라서, 상기 공정챔버들 내부의 온도, 상기 암들(21, 22, 23)이 상기 공정챔버들 간에 머무르는 시간 등에 따라 상기 벨트가 신축되는 정도가 달라지고, 상기 벨트가 신축된 정도에 따라 상기 암들(21, 22, 23)이 이동하는 거리가 변동되게 된다. 따라서, 벨트 방식을 이용한 암들(21, 22, 23)은 상기 기판을 정확한 거리로 이동시킬 수 없는 문제가 있다. 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시키기 위해 와이어 방식을 이용하는 경우에도, 상기 와이어가 온도 변화에 따라 수축, 팽창 등에 의해 변형되므로 상기 기판을 정확한 거리로 이동시킬 수 없는 문제가 있다. 따라서, 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시키기 위해 벨트 방식 또는 와이어 방식을 이용하는 경우, 상기 로딩공정과 언로딩공정에 대한 정확성이 저하되는 문제가 있다.
이와 달리, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 피니언기어들과 랙기어들을 이용한 연동기구(3)를 이용함으로써, 상기 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 온도 변화가 발생하더라도 상기 기판을 정확한 거리로 이동시킬 수 있다. 따라서, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 로딩공정과 언로딩공정에 대한 정확성을 향상시킬 수 있다.
다음, 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시키기 위해 볼스크류 방식을 이용하는 경우, 상기 암들(21, 22, 23) 각각에 볼스크류가 결합되어야 하고, 상기 볼스크류들을 회전시키기 위한 모터가 구비되어야 한다. 즉, 상기 암들(21, 22, 23)의 개수만큼 모터가 복수개 구비되어야 한다. 이에 따라, 재료비가 상승하게 되고, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 모터들을 제어하는데 어려움이 있는 문제가 있다. 또한, 상기 모터들이 상기 암들(21, 22, 23) 각각에 결합되는 경우, 상기 암들(21, 22, 23)이 갖는 중량을 증가시켜 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 암들(21, 22, 23)에 처짐이 발생될 수 있는 문제가 있다.
이에 반해, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 피니언기어들과 랙기어들을 이용한 연동기구(3)로 상기 암들(21, 22, 23)을 연동하여 이동시킴으로써, 하나의 구동유닛(4)으로 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시킬 수 있으므로 재료비를 줄일 수 있고, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 암들(21, 22, 23)을 용이하게 제어할 수 있다. 또한, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 암들(21, 22, 23)이 갖는 중량을 줄일 수 있고, 이에 따라 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 암들(21, 22, 23)에 처짐이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
다음, 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시키기 위해 실린더 방식을 이용하는 경우, 상기 암들(21, 22, 23)에 실린더들이 각각 결합되어야 한다. 이에 따라, 재료비가 상승하게 되고, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 실린더들을 제어하는데 어려움이 있는 문제가 있다. 또한, 상기 실린더들이 상기 암들(21, 22, 23)에 각각 결합됨에 따라 상기 암들(21, 22, 23)이 갖는 중량을 증가시킴으로써, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 암들(21, 22, 23)에 처짐이 발생될 수 있는 문제가 있다.
이와 달리, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 피니언기어들과 랙기어들을 이용한 연동기구(3)로 상기 암들(21, 22, 23)을 연동하여 이동시킴으로써, 하나의 구동유닛(4)으로 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시킬 수 있으므로 재료비를 줄일 수 있고, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 암들(21, 22, 23)을 용이하게 제어할 수 있다. 또한, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 암들(21, 22, 23)이 갖는 중량을 줄일 수 있고, 이에 따라 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 암들(21, 22, 23)에 처짐이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
이하에서는 상기 암기구(2), 상기 연동기구(3), 및 상기 구동유닛(4)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 더 구체적으로 설명한다.
도 6 내지 도 8을 참고하면, 상기 암기구(2)는 이동암(21), 연결기구(22), 및 지지암(23)을 포함한다.
상기 이동암(21)은 상기 베이스프레임(1a)에 이동 가능하게 결합된다. 도 8을 기준으로 할 때, 상기 이동암(21)은 상기 베이스프레임(1a)의 상측에 위치되고, 상기 연결기구(22)는 상기 이동암(21)의 상측에 위치되며, 상기 지지암(23)은 상기 연결기구(22)의 상측에 위치된다. 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)은 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동할 수 있다. 상기 연결기구(22)는 상기 이동암(21)이 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출된 방향으로 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동할 수 있고, 상기 지지암(23)은 상기 이동암(21)이 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출된 방향으로 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)은 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하기 위한 스트로크를 분담하여 구현할 수 있다. 따라서, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하기 위해 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)을 긴 스트로크로 이동시킬 수 있다. 도 6 및 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)은 상기 베이스프레임(1a)에서 서로 중첩되어 적층되게 위치될 수 있다. 이에 따라, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)이 구현하는 스트로크에 비해 상대적으로 작은 크기로 형성될 수 있다.
따라서, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 전체적인 크기를 줄일 수 있으면서도 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하기 위해 상기 암기구(2)를 긴 스트로크로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 기판 처리장치에 있어서 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)가 설치되는 이송챔버(미도시)의 크기를 줄일 수 있다. 따라서, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 이송챔버를 제조하기 위한 제조비용을 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 상기 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 기판이 이동하는 거리 또한 줄일 수 있으므로 작업 시간을 단축시킬 수 있다.
상기 이동암(21)은 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동할 수 있다. 상기 이동암(21)은 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동할 수 있다. 상기 이동암(21)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동하면, 상기 연결기구(22)는 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동하고, 상기 지지암(23)은 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동할 수 있다. 상기 이동암(21)은 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동할 수 있다. 상기 이동암(21)이 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동하면, 상기 연결기구(22)는 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동하고, 상기 지지암(23)은 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동할 수 있다. 이와 같이, 상기 연결기구(22) 및 상기 지지암(23)은 상기 이동암(21)이 이동하는 방향에 따라 상기 베이스프레임(1a)을 기준으로 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향) 중 어느 한 방향으로 돌출되게 이동할 수 있다. 따라서, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 회전하지 않고도 상기 본체(10, 도 3에 도시됨)를 기준으로 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향) 쪽에 배치된 공정챔버들에 대해 로딩공정과 언로딩공정을 수행할 수 있다. 이에 따라, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)가 적용된 인라인 방식의 기판 처리장치(도 2에 도시됨)는 상기 이송챔버에 상기 기판 이송장치(1)가 회전하기 위한 공간을 확보하지 않아도 되므로, 상기 이송챔버의 크기를 더 줄일 수 있고, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는데 걸리는 작업시간을 더 단축시킬 수 있다.
상기 이동암(21)은 전체적으로 사각판형으로 형성된다. 상기 베이스프레임(1a)은 상기 이동암(21)과 대략 일치하는 크기 또는 상기 이동암(21)보다 큰 크기로 형성된다. 상기 베이스프레임(1a)은 전체적으로 사각판형으로 형성된다. 상기 베이스프레임(1a)은 상기 지지기구(40, 도 4에 도시됨)에 결합된다. 도시되지는 않았지만, 상기 베이스프레임(1a)은 상기 볼너트(22, 도 4에 도시됨)에 결합될 수도 있다.
도 6 내지 도 8을 참고하면, 상기 연결기구(22)는 상기 이동암(21)과 상기 지지암(23) 사이에 위치된다. 상기 연결기구(22)는 상기 이동암(21)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 연결기구(22)에는 상기 지지암(23)이 이동 가능하게 결합된다. 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 연결기구(22)는 상기 베이스프레임(1a)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 이동할 수 있다. 상기 이동암(21)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동하면, 상기 연결기구(22)는 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동할 수 있다. 상기 이동암(21)이 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동하면, 상기 연결기구(22)는 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동할 수 있다. 상기 연결기구(22)는 상기 베이스프레임(1a)에서 상기 이동암(21)과 상기 지지암(23) 사이에 중첩되어 적층되게 위치될 수 있다.
상기 연결기구(22)는 복수개의 연결암(221, 222)을 포함한다. 상기 연결암들(221, 222)은 상기 연동기구(3)에 의해 서로 연동하여 이동할 수 있다. 상기 이동암(21), 상기 연결암들(221, 222), 및 상기 지지암(23)은 상기 연동기구(3)에 의해 연동하여 이동할 수 있다. 예컨대, 상기 연결기구(22)는 제1연결암(221) 및 제2연결암(222)을 포함한다. 상기 제1연결암(221)은 상기 이동암(21)에 이동 가능하게 결합되고, 상기 연동기구(3)에 의해 상기 이동암(21)이 이동함에 따라 연동하여 이동할 수 있다. 상기 이동암(21)이 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동하면, 상기 제1연결암(221)은 상기 이동암(21)이 돌출된 방향으로 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동할 수 있다. 상기 제2연결암(222)은 상기 제1연결암(221)과 상기 지지암(23) 사이에 설치된다. 상기 제2연결암(222)은 상기 제1연결암(221)에 이동 가능하게 결합되고, 상기 연동기구(3)에 의해 상기 제1연결암(221)이 이동함에 따라 연동하여 이동할 수 있다. 상기 제1연결암(221)이 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동하면, 상기 제2연결암(222)은 상기 제1연결암(221)이 돌출된 방향으로 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동할 수 있다. 상기 지지암(23)은 상기 제2연결암(222)에 이동 가능하게 결합되고, 상기 연동기구(3)에 의해 상기 제2연결암(222)이 이동함에 따라 연동하여 이동할 수 있다. 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동하면, 상기 지지암(23)은 상기 제2연결암(222)이 돌출된 방향으로 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동할 수 있다.
도시되지는 않았지만, 상기 연결기구(22)는 하나의 연결암(221)을 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 연결암(221)에서 상기 베이스프레임(1a)을 향하는 일면은 상기 이동암(21)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 연결암(221)에서 상기 지지암(23)을 향하는 타면에는 상기 지지암(23)이 이동 가능하게 결합될 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 연결기구(22)는 3개 이상의 연결암(221)을 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 연결암(221)들은 상기 연동기구(3)에 의해 서로 연동하여 이동할 수 있다. 상기 연결암(221)들 중 상기 베이스프레임(1a)에 가장 가깝게 위치된 것은 상기 이동암(21)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 연결암(221)들 중 상기 지지암(23)에 가장 가깝게 위치된 것에는 상기 지지암(23)이 이동 가능하게 결합될 수 있다.
도 8 및 도 9을 참고하면, 상기 연결암들(221, 222)은 각각 상기 이동암(21)이 이동하는 방향으로 긴 바(Bar) 형태로 형성된 2개의 연결프레임들(221a, 221b, 222a, 222b)을 포함한다. 상기 연결프레임들(221a, 221b, 222a, 222b)에는 각각 상기 연동기구(3)가 결합되고, 상기 연동기구(3)에 의해 연동하여 이동할 수 있다. 상기 연결프레임들(221a, 221b, 222a, 222b)은 각각 상기 이동암(21)이 이동하는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향)으로 소정 거리 떨어져 위치된다. 이에 따라, 상기 연결암들(221, 222) 각각이 갖는 중량을 줄일 수 있고, 상기 연결암들(221, 222) 각각에 중량에 의한 처짐이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 상기 연결암들(221, 222)이 각각 2개의 연결프레임들(221a, 221b, 222a, 222b)을 포함하는 경우, 상기 연결암들(221, 222) 각각이 갖는 중량을 줄일 수 있으나 그만큼 상기 지지암(23)을 지지하기 위한 지지력이 저하될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지암(23)에 처짐이 발생될 수 있고, 상기 지지암(23)에 기판이 지지된 경우에는 상기 지지암(23)에 처짐이 발생될 가능성이 높아지게 된다. 이와 같이 상기 지지암(23)에 처짐이 발생하는 것을 방지하기 위해, 상기 연결암들(221, 222) 중 적어도 하나는 지지력을 보강하기 위한 보강부재(22a)를 포함한다. 상기 보강부재(22a)는 상기 연결암들(221, 222) 각각이 갖는 2개의 연결프레임들(221a, 221b, 222a, 222b)에 연결되게 형성됨으로써 상기 연결암들(221, 222)이 갖는 지지력을 보강할 수 있다. 예컨대, 상기 연결기구(22)가 상기 제1연결암(221)과 상기 제2연결암(222)을 포함하는 경우, 상기 보강부재(22a)는 상기 제1연결암(221)이 갖는 2개의 연결프레임들(221a, 221b)에 연결되게 형성된다. 이에 따라, 상기 보강부재(22a)는 상기 제2연결암(222)을 지지하기 위한 상기 제1연결암(221)의 지지력을 보강할 수 있고, 이로 인해 상기 지지암(23)을 지지하기 위한 상기 제2연결암(222)의 지지력을 보강할 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 보강부재(22a)는 상기 제2연결암(222)에만 형성될 수도 있고, 상기 제1연결암(221)과 상기 제2연결암(222) 모두에 형성될 수도 있다. 상기 보강부재(22a)는 상기 이동암(21)이 이동하는 방향으로 상기 연결암들(221, 222)이 갖는 길이보다 짧은 길이로 형성된다. 상기 보강부재(22a)는 전체적으로 사각판형으로 형성된다. 도시되지는 않았지만, 상기 보강부재(22a)는 상기 지지암(23)에도 형성될 수 있다.
도 6 내지 도 8을 참고하면, 상기 지지암(23)은 상기 연결기구(22)에 이동 가능하게 결합된다. 도 8을 기준으로 할 때, 상기 지지암(23)은 상기 연결기구(22)의 상측에 위치된다. 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 지지암(23)은 상기 베이스프레임(1a)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 이동할 수 있다. 상기 이동암(21)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동하면, 상기 지지암(23)은 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동할 수 있다. 상기 이동암(21)이 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동하면, 상기 지지암(23)은 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동할 수 있다. 상기 지지암(23)은 상기 베이스프레임(1a)에서 상기 이동암(21) 및 상기 연결기구(22)와 서로 중첩되어 적층되게 위치될 수 있다. 상기 연결기구(22)가 복수개의 연결암들(221, 222)을 포함하는 경우, 상기 지지암(23)은 상기 연결암들(221, 222) 중 상기 지지암(23)에 가장 가깝게 위치한 것에 이동 가능하게 결합된다. 예컨대, 상기 연결기구(22)가 상기 제1연결암(221)과 상기 제2연결암(222)을 포함하는 경우, 상기 지지암(23)은 상기 제2연결암(222)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 지지암(23)은 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동한 방향으로 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동할 수 있다.
도 8 및 도 9을 참고하면, 상기 지지암(23)은 상기 이동암(21)이 이동하는 방향으로 긴 바(Bar) 형태로 형성된 2개의 지지프레임들(23a, 23b)을 포함한다. 상기 지지프레임들(23a, 23b)에는 각각 상기 연동기구(3)가 결합되고, 상기 지지프레임들(23a, 23b)은 상기 연동기구(3)에 의해 연동하여 이동할 수 있다. 상기 제2연결암(222)이 2개의 연결프레임들(222a, 222b)을 포함하는 경우, 2개의 연결프레임들(222a, 222b)에는 각각 상기 지지프레임들(23a, 23b)이 이동 가능하게 결합된다. 상기 지지프레임들(23a, 23b)은 각각 상기 이동암(21)이 이동하는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향)으로 소정 거리 떨어져 위치된다. 이에 따라, 상기 지지암(23)이 갖는 중량을 줄일 수 있고, 상기 지지암(23)에 중량에 의한 처짐이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
상기 지지암(23)은 상기 기판을 지지할 수 있다. 도 8을 기준으로 할 때, 상기 기판은 상기 지지암(23)의 상측에 지지된다. 상기 지지암(23)은 상기 기판을 지지하기 위한 지지부재(231)를 포함한다. 도 7의 확대도에 도시된 바와 같이, 상기 지지부재(231)는 전체적으로 원반형태로 형성된다. 상기 지지부재(231)는 중앙 부분에 형성된 홈(2311)과 상기 홈(2311)에 의해 고리형태로 형성된 지지면(2312)을 포함한다. 상기 기판은 상기 지지면(2312)에 접촉되어 지지된다. 이에 따라, 상기 지지부재(231)는 상기 홈(2311)에 의해 상기 기판에 접촉되는 면적을 줄임으로써 상기 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있고, 상기 지지면(2312)에 의해 상기 기판을 충분한 지지력으로 지지할 수 있다. 상기 홈(2311)은 원반형태로 형성될 수 있고, 상기 지지면(2312)은 원형 고리형태로 형성될 수 있다. 상기 지지암(23)은 상기 지지부재(231)를 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 지지부재(231)는 상기 이동암(21)이 이동하는 방향으로 소정 간격으로 이격되어 복수개가 설치될 수 있다. 상기 지지암(23)이 2개의 지지프레임들(23a, 23b)을 포함하는 경우, 상기 지지부재(231)들은 상기 지지프레임들(23a, 23b)에 각각 복수개가 설치될 수 있다.
도 8 내지 도 11을 참고하면, 상기 연동기구(3)는 상기 암기구(2)가 갖는 암들(21, 22, 23)을 서로 연동하여 이동시킬 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 암기구(2)에 결합된다. 상기 연동기구(3)는 복수개의 피니언기어 및 복수개의 랙기어를 포함한다. 상기 피니언기어들은 상기 구동유닛(4)에 의한 직선운동을 회전운동으로 변환하고, 상기 랙기어들은 상기 피니언기어에 의한 회전운동을 직선운동으로 변환한다. 이에 따라, 상기 암들(21, 22, 23) 중 어느 하나가 상기 구동유닛(4)에 의해 이동하면, 상기 피니언기어들이 직선운동을 회전운동으로 변환하고, 상기 랙기어들이 상기 피니언기어들의 회전운동을 직선운동으로 변환함으로써, 상기 암들(21, 22, 23)은 서로 연동하여 이동할 수 있다. 상기 피니언기어들은 각각 상기 암들(21, 22, 23) 각각이 상기 이동암(21)이 이동하는 방향으로 갖는 길이를 기준으로, 가운데 부분에 위치되게 상기 암들(21, 22, 23)에 결합될 수 있다.
상기 연동기구(3)는 상기 베이스프레임(1a)에 결합된 베이스랙기어(31), 상기 이동암(21)에 결합된 이동피니언기어(32), 상기 연결기구(22)에 결합된 연결랙기어(33)와 연결피니언기어(34), 및 상기 지지암(33)에 결합된 지지랙기어(35)를 포함할 수 있다.
상기 베이스랙기어(31)는 상기 베이스프레임(1a)에서 상기 이동암(21)을 향하는 면에 설치된다. 도 8을 기준으로 할 때, 상기 베이스랙기어(31)는 상기 베이스프레임(1a)의 윗면에 설치된다. 상기 베이스랙기어(31)는 상기 이동암(21)이 이동하는 방향으로 상기 베이스프레임(1a)이 갖는 길이에 상응하는 길이로 형성된다. 상기 연동기구(3)는 베이스랙기어(31)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 베이스랙기어(31)들은 상기 이동암(21)이 이동하는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 9에 도시됨)으로 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다.
상기 이동피니언기어(32)는 상기 이동암(21)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 이동피니언기어(32)는 상기 베이스랙기어(31)에 맞물림되게 상기 이동암(21)에 결합된다. 상기 이동피니언기어(32)는 상기 이동암(21)이 이동함에 따라 상기 베이스랙기어(31)에 맞물림되어 회전할 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 이동피니언기어(32)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 연동기구(3)는 2개의 이동피니언기어(32)를 포함할 수 있고, 상기 이동피니언기어(32)들은 상기 이동암(21)의 양측면에 각각 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 이동암(21)의 양측면은 상기 이동암(21)이 이동하는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 9에 도시됨)을 향하는 2개의 측면이다. 상기 연동기구(3)는 상기 이동피니언기어(32)들에 상응하는 개수로 상기 베이스랙기어(31)를 포함할 수 있다. 상기 베이스랙기어(31)는 상기 이동피니언기어(32)가 맞물림될 수 있는 위치에서 상기 베이스프레임(1a)에 설치될 수 있다. 상기 이동피니언기어(32)는 상기 이동암(21)이 이동하는 방향으로 상기 이동암(21)이 갖는 길이를 기준으로, 상기 이동암(21)의 가운데 부분에 위치되게 상기 이동암(21)에 결합될 수 있다.
상기 연결랙기어(33)는 상기 연결기구(22)에 결합된다. 상기 연결랙기어(33)는 상기 이동암(21)이 이동하는 방향으로 상기 연결기구(22)가 갖는 길이에 상응하는 길이로 형성된다. 상기 연동기구(3)는 연결랙기어(33)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 연결랙기어(33)들은 상기 이동암(21)이 이동하는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 9에 도시됨)으로 소정 거리로 이격되어 상기 연결기구(22)에 결합될 수 있다.
상기 연결피니언기어(34)는 상기 연결기구(22)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 연동기구(3)는 상기 연결피니언기어(34)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 연결피니언기어(34)들은 상기 연결기구(22)의 양측면에 각각 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 연결기구(22)의 양측면은 상기 이동암(21)이 이동하는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 9에 도시됨)을 향하는 2개의 측면이다. 상기 연결피니언기어(34)는 상기 이동암(21)이 이동하는 방향으로 상기 연결기구(22)가 갖는 길이를 기준으로, 상기 연결기구(22)의 가운데 부분에 위치되게 상기 연결기구(22)에 결합될 수 있다.
상기 연결기구(22)가 복수개의 연결암들(221, 222)을 포함하는 경우, 상기 연동기구(3)는 상기 연결암(221, 222)들에 각각 결합되는 복수개의 연결랙기어(33)와 복수개의 연결피니언기어(34)를 포함할 수 있다. 예컨대, 상기 연결기구(22)가 상기 제1연결암(221)과 상기 제2연결암(222)을 포함하는 경우, 상기 연동기구(3)는 제1연결랙기어(331), 제1연결피니언기어(341), 제2연결랙기어(332), 및 제2연결피니언기어(342)를 포함한다.
상기 제1연결랙기어(331)는 상기 제1연결암(221)에 결합된다. 상기 제1연결랙기어(331)는 상기 이동피니언기어(32)에 맞물림되어 상기 이동피니언기어(32)가 회전함에 따라 이동할 수 있다. 상기 제1연결랙기어(331)가 상기 이동피니언기어(32)가 회전함에 따라 이동하면, 상기 제1연결랙기어(331)가 결합된 상기 제1연결암(221)이 이동할 수 있다. 상기 제1연결랙기어(331)는 상기 제1연결암(221)에서 상기 이동암(21)을 향하는 일면에 설치된다. 도 8을 기준으로 할 때, 상기 제1연결랙기어(331)는 상기 제1연결암(221)의 밑면에 설치된다. 상기 제1연결랙기어(331)는 상기 이동암(21)이 이동하는 방향으로 상기 제1연결암(221)이 갖는 길이에 상응하는 길이로 형성된다. 상기 연동기구(3)는 제1연결랙기어(331)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 제1연결랙기어(331)들은 상기 이동암(21)이 이동하는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 9에 도시됨)으로 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제1연결암(221)이 2개의 연결프레임들(221a, 221b)을 포함하는 경우, 상기 제1연결랙기어(331)들은 상기 연결프레임들(221a, 221b) 각각에 설치될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 이동피니언기어(32)들에 상응하는 개수로 상기 제1연결랙기어(331)를 포함할 수 있다. 상기 제1연결랙기어(331)는 상기 이동피니언기어(32)가 맞물림될 수 있는 위치에서 상기 제1연결암(221)에 설치될 수 있다.
상기 제1연결피니언기어(341)는 상기 제1연결암(221)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제1연결피니언기어(341)는 상기 제1연결암(221)이 이동함에 따라 회전할 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 제1연결피니언기어(341)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 연동기구(3)는 2개의 제1연결피니언기어(341)를 포함할 수 있고, 상기 제1연결피니언기어(341)들은 상기 제1연결암(221)의 양측면에 각각 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제1연결암(221)의 양측면은 상기 이동암(21)이 이동하는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 9에 도시됨)을 향하는 2개의 측면이다. 상기 제1연결암(221)이 2개의 연결프레임들(221a, 221b)을 포함하는 경우, 상기 제1연결피니언기어(341)들은 상기 연결프레임들(221a, 221b) 각각에 설치될 수 있다. 상기 제1연결피니언기어(341)는 상기 이동암(21)이 이동하는 방향으로 상기 제1연결암(221)이 갖는 길이를 기준으로, 상기 제1연결암(221)의 가운데 부분에 위치되게 상기 제1연결암(221)에 결합될 수 있다.
상기 제2연결랙기어(332)는 상기 제2연결암(222)에 결합된다. 상기 제2연결랙기어(332)는 상기 제1연결피니언기어(341)에 맞물림되어 상기 제1연결피니언기어(341)가 회전함에 따라 이동할 수 있다. 상기 제2연결랙기어(332)가 상기 제1연결피니언기어(341)가 회전함에 따라 이동하면, 상기 제2연결랙기어(332)가 결합된 상기 제2연결암(222)이 이동할 수 있다. 상기 제2연결랙기어(332)는 상기 제2연결암(222)에서 상기 제1연결암(221)을 향하는 일면에 설치된다. 도 8을 기준으로 할 때, 상기 제2연결랙기어(332)는 상기 제2연결암(222)의 밑면에 설치된다. 상기 제2연결랙기어(332)는 상기 이동암(21)이 이동하는 방향으로 상기 제2연결암(222)이 갖는 길이에 상응하는 길이로 형성된다. 상기 연동기구(3)는 제2연결랙기어(332)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 제2연결랙기어(332)들은 상기 이동암(21)이 이동하는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 9에 도시됨)으로 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제2연결암(222)이 2개의 연결프레임들(222a, 222b)을 포함하는 경우, 상기 제2연결랙기어(332)들은 상기 연결프레임들(222a, 222b) 각각에 설치될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 제1연결피니언기어(341)들에 상응하는 개수로 상기 제2연결랙기어(332)를 포함할 수 있다. 상기 제2연결랙기어(332)는 상기 제1연결피니언기어(341)가 맞물림될 수 있는 위치에서 상기 제2연결암(222)에 설치될 수 있다.
상기 제2연결피니언기어(342)는 상기 제2연결암(222)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제2연결피니언기어(342)는 상기 제2연결암(222)이 이동함에 따라 회전할 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 제2연결피니언기어(342)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 연동기구(3)는 2개의 제2연결피니언기어(342)를 포함할 수 있고, 상기 제2연결피니언기어(342)들은 상기 제2연결암(222)의 양측면에 각각 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2연결암(222)의 양측면은 상기 이동암(21)이 이동하는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 9에 도시됨)을 향하는 2개의 측면이다. 상기 제2연결암(222)이 2개의 연결프레임들(222a, 222b)을 포함하는 경우, 상기 제2연결피니언기어(342)들은 상기 연결프레임들(222a, 222b) 각각에 설치될 수 있다. 상기 제2연결피니언기어(341)는 상기 이동암(21)이 이동하는 방향으로 상기 제2연결암(222)이 갖는 길이를 기준으로, 상기 제2연결암(222)의 가운데 부분에 위치되게 상기 제2연결암(222)에 결합될 수 있다. 도 8에는 상기 이동암(21), 상기 제1연결암(221), 상기 제2연결암(222), 및 상기 지지암(23)이 상기 베이스프레임(1a)에서 서로 중첩되게 적층되었을 때, 상기 이동피니언기어(32), 상기 제1연결피니언기어(341), 및 상기 제2연결피니언기어(342)가 동일한 수직선상에 위치되지 않은 것으로 도시되었으나, 상기 이동피니언기어(32), 상기 제1연결피니언기어(341), 및 상기 제2연결피니언기어(342)는 동일한 수직선상에 위치될 수 있다.
도 8 내지 도 11을 참고하면, 상기 지지랙기어(35)는 상기 지지암(23)에 결합된다. 상기 지지랙기어(35)는 상기 제2연결피니언기어(342)에 맞물림되어 상기 제2연결피니언기어(342)가 회전함에 따라 이동할 수 있다. 상기 지지랙기어(35)가 상기 제2연결피니언기어(342)가 회전함에 따라 이동하면, 상기 지지랙기어(35)가 결합된 상기 지지암(23)이 이동할 수 있다. 상기 지지랙기어(35)는 상기 지지암(23)에서 상기 제2연결암(222)을 향하는 일면에 설치된다. 도 8을 기준으로 할 때, 상기 지지랙기어(35)는 상기 지지암(23)의 밑면에 설치된다. 상기 지지랙기어(35)는 상기 이동암(21)이 이동하는 방향으로 상기 지지암(23)이 갖는 길이에 상응하는 길이로 형성된다. 상기 연동기구(3)는 지지랙기어(35)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 지지랙기어(35)들은 상기 이동암(21)이 이동하는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 9에 도시됨)으로 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제2지지암(23)이 2개의 지지프레임들(23a, 23b)을 포함하는 경우, 상기 지지랙기어(35)들은 상기 지지프레임들(23a, 23b) 각각에 설치될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 제2연결피니언기어(342)들에 상응하는 개수로 상기 지지랙기어(35)를 포함할 수 있다. 상기 지지랙기어(35)는 상기 제2연결피니언기어(342)가 맞물림될 수 있는 위치에서 상기 지지암(23)에 설치될 수 있다.
도 8 내지 도 11을 참고하면, 상기 연동기구(3)는 이동랙기어(36)를 더 포함한다. 상기 이동랙기어(36)는 상기 이동암(21)에 결합된다. 상기 이동랙기어(36)에는 상기 제1연결피니언기어(341)가 맞물림된다. 즉, 상기 제1연결피니언기어(341)는 상기 이동랙기어(36)와 상기 제2연결랙기어(332)에 각각 맞물림된다. 이에 따라, 상기 제1연결암(221)이 이동하면, 상기 제1연결피니언기어(341)는 상기 이동랙기어(36)를 따라 회전하여 상기 제2연결랙기어(332)를 이동시킬 수 있다. 상기 제2연결랙기어(332)가 상기 제1연결피니언기어(341)가 회전함에 따라 이동하면, 상기 제2연결랙기어(332)가 결합된 상기 제2연결암(222)이 이동할 수 있다. 상기 이동랙기어(36)는 상기 이동암(21)에서 상기 베이스프레임(1a)을 향하는 일면에 대해 반대되는 타면에 설치된다. 도 8을 기준으로 할 때, 상기 이동랙기어(36)는 상기 이동암(21)의 윗면에 설치된다. 상기 이동랙기어(36)는 상기 이동암(21)이 이동하는 방향으로 상기 이동암(21)이 갖는 길이에 상응하는 길이로 형성된다. 상기 연동기구(3)는 이동랙기어(36)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 이동랙기어(36)들은 상기 이동암(21)이 이동하는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 9에 도시됨)으로 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 제1연결피니언기어(341)들에 상응하는 개수로 상기 이동랙기어(36)를 포함할 수 있다. 상기 이동랙기어(36)는 상기 제1연결피니언기어(341)가 맞물림될 수 있는 위치에서 상기 이동암(22)에 설치될 수 있다.
도 8 내지 도 11을 참고하면, 상기 연동기구(3)는 제3연결랙기어(333)를 더 포함한다. 상기 제3연결랙기어(333)는 상기 제1연결암(221)에 결합된다. 상기 제3연결랙기어(333)에는 상기 제2연결피니언기어(342)가 맞물림된다. 즉, 상기 제2연결피니언기어(342)는 상기 제3연결랙기어(333)와 상기 지지랙기어(35)에 각각 맞물림된다. 이에 따라, 상기 제2연결암(222)이 이동하면, 상기 제2연결피니언기어(342)는 상기 제3연결랙기어(333)를 따라 회전하여 상기 지지랙기어(35)를 이동시킬 수 있다. 상기 지지랙기어(35)가 상기 제2연결피니언기어(342)가 회전함에 따라 이동하면, 상기 지지랙기어(35)가 결합된 상기 지지암(23)이 이동할 수 있다. 상기 제3연결랙기어(333)는 상기 제1연결암(221)에서 상기 제1연결랙기어(331)가 설치된 일면에 대해 반대되는 타면에 설치된다. 도 8을 기준으로 할 때, 상기 제3연결랙기어(333)는 상기 제1연결암(221)의 윗면에 설치된다. 상기 제3연결랙기어(333)는 상기 이동암(21)이 이동하는 방향으로 상기 제1연결암(221)이 갖는 길이에 상응하는 길이로 형성된다. 상기 연동기구(3)는 상기 제3연결랙기어(333)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 제3연결랙기어(333)들은 상기 이동암(21)이 이동하는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 9에 도시됨)으로 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 제2연결피니언기어(342)들에 상응하는 개수로 상기 제3연결랙기어(333)를 포함할 수 있다. 상기 제3연결랙기어(333)는 상기 제2연결피니언기어(342)가 맞물림될 수 있는 위치에서 상기 제1연결암(221)에 설치될 수 있다.
이하에서는 상기 암기구(2)와 상기 연동기구(3)의 작동관계에 관해 첨부된 도 8 내지 도 11을 참고하여 상세히 설명한다.
우선, 도 8에 도시된 바와 같이 상기 암기구(2)가 갖는 암들(21, 22, 23)은 상기 베이스프레임(1a)에서 서로 중첩되어 적층되게 위치된 상태이다. 이 상태에서, 상기 구동유닛(4, 도 7에 도시됨)이 상기 암들(21, 22, 23) 중 어느 하나를 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동시킨다. 예컨대, 상기 구동유닛(4)은 상기 이동암(21)을 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동시킬 수 있다.
다음, 상기 이동암(21)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동하면, 도 10에 도시된 바와 같이 상기 이동암(21)은 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동한다. 상기 이동암(21)이 이동함에 따라, 상기 이동피니언기어(32)는 상기 베이스랙기어(31)에 맞물림되어 상기 베이스랙기어(31)를 따라 회전한다. 상기 이동피니언기어(32)가 상기 베이스랙기어(31)를 따라 회전하면, 상기 이동피니언기어(32)에 맞물림된 상기 제1연결랙기어(331)가 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동한다.
다음, 상기 제1연결랙기어(311)가 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동하면, 도 10에 도시된 바와 같이 상기 제1연결암(221)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동한다. 상기 제1연결암(221)이 이동함에 따라, 상기 제1연결피니언기어(341)는 상기 이동랙기어(36)에 맞물림되어 상기 이동랙기어(36)를 따라 회전한다. 상기 제1연결피니언기어(341)가 상기 이동랙기어(36)를 따라 회전하면, 상기 제1연결피니언기어(341)에 맞물림된 상기 제2연결랙기어(332)가 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동한다.
다음, 상기 제2연결랙기어(332)가 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동하면, 도 10에 도시된 바와 같이 상기 제2연결암(222)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동한다. 상기 제2연결암(222)이 이동함에 따라, 상기 제2연결피니언기어(342)는 상기 제3연결랙기어(333)에 맞물림되어 상기 제3연결랙기어(333)를 따라 회전한다. 상기 제2연결피니언기어(342)가 상기 제3연결랙기어(333)를 따라 회전하면, 상기 제2연결피니언기어(342)에 맞물림된 상기 지지랙기어(35)가 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동한다.
다음, 상기 지지랙기어(35)가 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동하면, 도 10에 도시된 바와 같이 상기 지지암(23)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동한다. 상술한 바와 같이 상기 암들(21, 22, 23)은 상기 연동기구(3)에 의해 서로 연동하여 이동함으로써, 상기 베이스프레임(1a)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 돌출되게 위치될 수 있다. 상기 암들(21, 22, 23)이 상기 베이스프레임(1a)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 돌출되게 이동한 상태에서, 상기 구동유닛(4, 도 7에 도시됨)이 상기 이동암(21)을 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동시키면, 도 8에 도시된 바와 같이 상기 암들(21, 22, 23)은 상기 베이스프레임(1a)에서 서로 중첩되어 적층되게 이동할 수 있다. 그리고, 상기 구동유닛(4, 도 7에 도시됨)이 상기 이동암(21)을 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 더 이동시키면, 도 11에 도시된 바와 같이 상기 암들(21, 22, 23)은 상기 베이스프레임(1a)으로부터 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 이동할 수 있다.
도 8, 도 12 및 도 13을 참고하면, 상기 연동기구(3)가 갖는 피니언기어들(32, 34) 중에서 적어도 하나는 제1서브피니언기어(3a)와 제2서브피니언기어(3b)를 포함할 수 있다. 상기 제1서브피니언기어(3a)와 상기 제2서브피니언기어(3b)는 서로 연결되게 형성되고, 이에 따라 함께 회전할 수 있다. 상기 제1서브피니언기어(3a)는 상기 연동기구(3)가 갖는 랙기어들(31, 33, 35) 중에서 제1랙기어(3c)에 맞물림된다. 상기 제2서브피니언기어(3b)는 상기 연동기구(3)가 갖는 랙기어들(31, 33, 35) 중에서 제2랙기어(3d)에 맞물림된다. 상기 제1랙기어(3c)와 상기 제2랙기어(3d)는 서로 다른 암들(21, 22, 23)에 결합된다. 상기 제1서브피니언기어(3a)는 상기 제1랙기어(3c)에 맞물림되어 상기 제1랙기어(3c)를 따라 회전할 수 있고, 상기 제2서브피니언기어(3b)는 상기 제2랙기어(3d)에 맞물림되어 상기 제2랙기어(3d)를 이동시킬 수 있다. 도 13에 도시된 바와 같이, 상기 제1서브피니언기어(3a)가 갖는 제1직경(D1)은 상기 제2서브피니언기어(3b)가 갖는 제2직경(D2)보다 작은 크기로 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1서브피니언기어(3a)와 상기 제2서브피니언기어(3b)가 소정 각도(R)로 회전하면, 상기 제2서브피니언기어(3b)는 상기 제1서브피니언기어(3a)가 회전한 거리(L1)보다 큰 거리(L2)로 회전할 수 있다. 따라서, 상기 제1서브피니언기어(3a)가 상기 제1랙기어(3c)를 따라 회전한 거리에 비해, 상기 제2서브피니언기어(3b)는 상기 제2랙기어(3d)를 더 큰 거리로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 암들(21, 22, 23)을 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동시키는데 걸리는 시간을 줄임으로써, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는데 걸리는 작업시간을 단축시킬 수 있다.
상기 연동기구(3)가 갖는 피니언기어들(32, 34) 중에서 상기 제1서브피니언기어(3a)와 상기 제2서브피니언기어(3b)를 포함하는 피니언기어들(32, 34)은, 상기 베이스프레임(1a)에서 상기 암들(21, 22, 23)이 서로 중첩되어 적층된 방향을 수직방향이라 정의할 때, 수평방향으로 설치될 수 있다. 상기 제1서브피니언기어(3a)와 상기 제2서브피니언기어(3b)는 수직방향으로 소정 거리 이격되게 형성될 수 있다. 상기 연동기구(3)가 갖는 랙기어들(31, 33, 35) 중에서 상기 제1서브피니언기어(3a)와 상기 제2서브피니언기어(3b)에 맞물림된 상기 제1랙기어(3c)와 상기 제2랙기어(3d)도 수평방향으로 소정 거리 이격되게 설치될 수 있다. 상기 연동기구(3)가 갖는 피니언기어들(32, 34) 중에서 상기 제1서브피니언기어(3a)와 상기 제2서브피니언기어(3b)를 포함하지 않는 피니언기어들(32, 34)은, 도 8에 도시된 바와 같이 수직방향으로 설치될 수 있고, 이에 맞물림된 랙기어들(31, 33, 35)도 수직방향으로 설치될 수 있다.
예컨대, 도 14에 도시된 바와 같이 상기 제1연결피니언기어(331)는 제1서브연결피니언기어(331a) 및 제2서브연결피니언기어(331b)를 포함할 수 있다. 상기 제1서브연결피니언기어(331a)와 상기 제2서브연결피니언기어(331b)는 서로 연결되게 형성된다. 상기 제1서브연결피니언기어(331a)는 상기 이동랙기어(36)에 맞물림되고, 상기 제2서브연결피니언기어(331b)는 상기 제2연결랙기어(332)에 맞물림된다. 상기 제2서브연결피니언기어(331b)는 상기 제1서브연결피니언기어(331a)가 갖는 직경보다 큰 직경을 갖도록 형성된다. 이에 따라, 상기 제1연결피니언기어(331)가 결합된 제1연결암(221)이 이동하면, 상기 제2서브연결피니언기어(331b)는 상기 제1서브연결피니언기어(331a)가 회전한 거리보다 큰 거리로 회전할 수 있다. 따라서, 상기 제1서브연결피니언기어(331)가 상기 이동랙기어(36)를 따라 회전한 거리에 비해, 상기 제2서브연결피니언기어(331b)는 상기 제2연결랙기어(332)를 더 큰 거리로 이동시킴으로써 상기 제2연결암(222)이 이동하는 속도를 증가시킬 수 있다.
상기 제1서브연결피니언기어(331a)와 상기 제2서브연결피니언기어(331b)는 상기 베이스프레임(1a)에서 상기 암들(21, 22, 23)이 서로 중첩되어 적층된 방향을 수직방향이라 정의할 때, 수평방향으로 설치될 수 있다. 상기 제1서브연결피니언기어(331a)와 상기 제2서브연결피니언기어(331b)는 수직방향으로 소정 거리 이격되게 형성될 수 있다. 상기 이동랙기어(36)와 상기 제2연결랙기어(332)는 수평방향으로 소정 거리 이격되게 설치될 수 있고, 상기 제1서브연결피니언기어(331a)와 상기 제2서브연결피니언기어(331b)에 각각 맞물림되는 부분이 서로 마주보게 설치될 수 있다.
도 7 내지 도 11을 참고하면, 상기 구동유닛(4)은 상기 암들(21, 22, 23) 중 어느 하나를 이동시킨다. 상기 구동유닛(4)은 상기 이동암(21)에 결합될 수 있고, 상기 이동암(21)을 이동시킬 수 있다. 상기 구동유닛(4)이 상기 이동암(21)을 이동시키면, 상기 이동암(21)에 결합된 이동피니언기어(32)가 회전하고, 이에 따라 상기 연결기구(22)와 상기 지지암(23)이 연동하여 이동할 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 구동유닛(4)은 상기 연결기구(22) 또는 상기 지지암(23)에 결합될 수도 있고, 상기 연결기구(22) 또는 상기 지지암(23)을 이동시킬 수도 있다.
상기 구동유닛(4)은 상기 이동암(21)을 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동시킬 수 있다. 상기 구동유닛(4)이 상기 이동암(21)을 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동시키면, 상기 이동암(21)에 결합된 이동피니언기어(32)가 시계방향으로 회전할 수 있다. 이에 따라, 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)은 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동할 수 있다. 상기 구동유닛(4)이 상기 이동암(21)을 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동시키면, 상기 이동암(21)에 결합된 이동피니언기어(32)가 반시계방향으로 회전할 수 있다. 이에 따라, 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)은 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동할 수 있다.
상기 구동유닛(4)은 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)이 제1위치와 제2위치 중 어느 하나에 위치되도록 상기 이동암(21)을 이동시킬 수 있다. 상기 제1위치는 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)이 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되는 위치이다. 예컨대, 상기 제1위치는 도 10에 도시된 바와 같이 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출된 위치, 및 도 11에 도시된 바와 같이 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)이 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출된 위치이다. 상기 제2위치는 도 8에 도시된 바와 같이 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)이 상기 베이스프레임(1a)에서 중첩되게 적층되는 위치이다.
도 7 및 도 9을 참고하면, 상기 구동유닛(4)은 선형전동기(Linear Motor)일 수 있다. 이 경우, 상기 구동유닛(4)은 상기 베이스프레임(1a)에 설치된 코일기구(41) 및 상기 이동암(21)에 결합된 이동기구(42)를 포함할 수 있다. 상기 코일기구(41)는 상기 베이스프레임(1a)에 고정되게 설치되고, 상기 이동기구(42)는 상기 베이스프레임(1a)에 이동 가능하게 설치될 수 있다. 상기 이동기구(42)에는 복수개의 영구자석(421)이 설치된다. 상기 영구자석(421)들은 상기 이동기구(42)에서 상기 코일기구(41)을 향하는 일면에 설치된다. 상기 영구자석(421)들은 상기 이동암(21)이 이동하는 방향으로 서로 인접하게 설치될 수 있다. 상기 이동기구(42)는 상기 코일기구(41)와 상기 영구자석(421)들 간에 작용하는 전자력에 의해 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동할 수 있다. 상기 이동기구(42)가 이동함에 따라, 상기 이동기구(42)에 결합된 이동암(21)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동할 수 있다.
도시되지는 않았지만, 상기 구동유닛(4)은 본 고안에 따른 선형전동기(1, 도 2에 도시됨)와 대략 일치하는 구조로 구현될 수도 있다. 이에 관하여는 본 고안에 따른 선형전동기(1, 도 2에 도시됨)에 대한 설명으로부터 당업자가 용이하게 도출할 수 있으므로 구체적인 설명은 생략한다. 도시되지는 않았지만, 상기 구동유닛(4)은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식 등을 이용하여 상기 이동암(21)을 이동시킬 수도 있다.
도 7 및 도 9을 참고하면, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 암기구(2)를 복수개 포함할 수도 있다. 상기 암기구(2)들은 각각 상기 베이스프레임(1a)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암기구(2)들은 각각 상기 구동유닛(4)의 양측에 결합되고, 상기 구동유닛(4)에 의해 함께 이동할 수 있다. 상기 구동유닛(4)에는 상기 암기구(2)들의 이동암(21)들이 결합될 수 있다. 상기 이동암(21)들은 각각 상기 이동기구(42)의 양측에 결합될 수 있다. 따라서, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 대형화된 기판의 경우, 상기 암기구(2)들이 상기 기판을 분담하여 지지함으로써 상기 기판이 갖는 무게에 의해 상기 암기구(2)들에 처짐이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 암기구(2)들이 하나의 구동유닛(4)에 의해 이동하도록 함으로써, 재료비를 줄일 수 있고, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 암기구(2)들이 동일한 거리로 이동하도록 용이하게 제어할 수 있다.
도 15를 참고하면, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 복수개의 가이드부재(5)를 포함할 수 있다.
상기 가이드부재(5)들은 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23) 각각이 직선 이동하도록 가이드할 수 있다. 상기 가이드부재(5)들은 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)이 이동하는 방향으로 길게 형성된다. 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 제1가이드부재(51), 제2가이드부재(52), 제3가이드부재(53), 및 제4가이드부재(54)를 포함할 수 있다.
상기 제1가이드부재(51)는 상기 베이스프레임(1a)과 상기 이동암(21) 사이에 위치된다. 상기 제1가이드부재(51)는 상기 베이스프레임(1a)에 결합된다. 상기 제1가이드부재(51)에는 상기 이동암(21)이 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1가이드부재(51)는 상기 이동암(21)이 직선 이동하도록 가이드할 수 있다. 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제1가이드부재(51)를 복수개 포함할 수 있고, 상기 제1가이드부재(51)들은 상기 이동암(21)이 이동하는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향)으로 소정 거리 떨어져 설치될 수 있다. 상기 제1가이드부재(51)는 리니어가이드레일(LM Rail)일 수 있다.
상기 제2가이드부재(52)는 상기 이동암(21)과 상기 제1연결암(221) 사이에 위치된다. 도 15를 기준으로 할 때, 상기 제2가이드부재(52)는 상기 제1연결암(221)의 밑면에 결합되고, 상기 이동암(21)의 윗면에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제2가이드부재(52)는 상기 제1연결암(221)이 직선 이동하도록 가이드할 수 있다. 상기 제1연결암(221)이 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동하면, 상기 제2가이드부재(52) 또한 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 제2가이드부재(52)는 상기 이동암(21)으로부터 돌출된 제1연결암(221)을 지지하기 위한 지지력을 강화할 수 있다. 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제2가이드부재(52)를 복수개 포함할 수 있고, 상기 제2가이드부재(52)들은 상기 이동암(21)이 이동하는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향)으로 소정 거리 떨어져 설치될 수 있다. 상기 제2가이드부재(52)는 리니어가이드레일(LM Rail)일 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 이동암(21)의 윗면에는 상기 제2가이드부재(52)가 이동 가능하게 결합되는 리니어가이드블록(LM Block)이 설치될 수도 있다.
상기 제3가이드부재(53)는 상기 제1연결암(221)과 상기 제2연결암(222) 사이에 위치된다. 도 15를 기준으로 할 때, 상기 제3가이드부재(53)는 상기 제2연결암(222)의 밑면에 결합되고, 상기 제1연결암(221)의 윗면에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제3가이드부재(53)는 상기 제2연결암(222)이 직선 이동하도록 가이드할 수 있다. 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동하면, 상기 제3가이드부재(53) 또한 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 제3가이드부재(53)는 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출된 제2연결암(222)을 지지하기 위한 지지력을 강화할 수 있다. 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제3가이드부재(53)를 복수개 포함할 수 있고, 상기 제3가이드부재(53)들은 상기 이동암(21)이 이동하는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향)으로 소정 거리 떨어져 설치될 수 있다. 상기 제3가이드부재(53)는 리니어가이드레일(LM Rail)일 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 제1연결암(221)의 윗면에는 상기 제3가이드부재(53)가 이동 가능하게 결합되는 리니어가이드블록(LM Block)이 설치될 수도 있다.
상기 제4가이드부재(54)는 상기 제2연결암(222)과 상기 지지암(23) 사이에 위치된다. 도 15를 기준으로 할 때, 상기 제4가이드부재(54)는 상기 지지암(23)의 밑면에 결합되고, 상기 제2연결암(222)의 윗면에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제4가이드부재(54)는 상기 지지암(23)이 직선 이동하도록 가이드할 수 있다. 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동하면, 상기 제4가이드부재(54) 또한 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 제4가이드부재(54)는 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출된 지지암(23)을 지지하기 위한 지지력을 강화할 수 있다. 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제4가이드부재(54)를 복수개 포함할 수 있고, 상기 제4가이드부재(54)들은 상기 이동암(21)이 이동하는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향)으로 소정 거리 떨어져 설치될 수 있다. 상기 제4가이드부재(54)는 리니어가이드레일(LM Rail)일 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 제2연결암(222)의 윗면에는 상기 제4가이드부재(54)가 이동 가능하게 결합되는 리니어가이드블록(LM Block)이 설치될 수도 있다.
도 8, 도 16 내지 도 18를 참고하면, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 제1백래쉬 보상기구(6)를 더 포함한다.
상기 제1백래쉬 보상기구(6)는 상기 지지암(23)이 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동한 경우, 상기 지지랙기어(35)와 상기 지지랙기어(35)에 맞물림된 연결피니언기어(34) 간에 백래쉬(Backlash)가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 백래쉬(Backlash)란 한 쌍의 기어를 맞물렸을 때 치면 사이에 생기는 틈새를 의미한다. 한 쌍의 기어가 원활하게 맞물려 회전하기 위해서는 소정의 백래쉬가 필요한데, 상기 지지암(23)이 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동한 후에는 백래쉬에 의해 상기 지지암(23)이 진동 등으로 흔들릴 수 있다. 따라서, 상기 지지암(23)이 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동한 후에는 백래쉬가 상기 로딩공정과 언로딩공정에 대한 정확성을 저하시키는 원인으로 작용할 수 있다. 상기 제1백래쉬 보상기구(6)는 상기 지지암(23)이 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동한 후에, 상기 지지랙기어(35)와 상기 지지랙기어(35)에 맞물림된 연결피니언기어(34) 간에 백래쉬(Backlash)가 발생하는 것을 방지함으로써, 상기 지지암(23)이 진동 등으로 흔들리는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 상기 로딩공정과 언로딩공정에 대한 정확성을 향상시킬 수 있다.
상기 연결기구(22)가 상기 제1연결암(221)과 상기 제2연결암(222)을 포함하는 경우, 상기 제1백래쉬 보상기구(6)는 상기 지지랙기어(35)와 상기 제2연결피니언기어(342) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동하면, 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향 측에서 상기 지지랙기어(35)와 상기 제2연결피니언기어(342) 간에 백래쉬가 발생할 수 있다. 따라서, 상기 제1백래쉬 보상기구(6)는 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 지지암(23)을 이동시킴으로써 상기 지지랙기어(35)와 상기 제2연결피니언기어(342) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 8 및 도 17를 참고하면, 상기 제1백래쉬 보상기구(6)는 제1하우징(61), 제1이동부재(62), 제1탄성부재(63), 및 제1스토퍼(64)를 포함할 수 있다.
상기 제1하우징(61)은 상기 연결기구(22)에 결합된다. 상기 연결기구(22)가 상기 제1연결암(221)과 상기 제2연결암(222)을 포함하는 경우, 상기 제1하우징(61)은 상기 제2연결암(222)에 결합된다. 상기 제1하우징(61)은 전체적으로 사각형태로 형성될 수 있다.
상기 제1이동부재(62)는 상기 제1하우징(61)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1이동부재(62)는 일단과 타단이 상기 제1하우징(61)을 기준으로 상기 제1하우징(61) 외측에 위치되고, 상기 일단과 타단의 사이 부분이 상기 제1하우징(61)에 삽입된다. 상기 제1하우징(61)은 상기 제1이동부재(62)가 삽입되기 위한 관통공(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 제1이동부재(62)의 일단과 타단은 상기 제1하우징(61)에 형성된 관통공 보다 큰 크기로 형성될 수 있다.
상기 제1탄성부재(63)는 일측이 상기 제1하우징(61)에 지지되고, 타측이 상기 제1이동부재(62)에 지지된다. 이에 따라, 상기 제1이동부재(62)는 상기 제1탄성부재(63)에 의해 탄성적으로 이동할 수 있다. 상기 제1탄성부재(63)는 스프링일 수 있다.
상기 제1스토퍼(64)는 상기 지지암(23)에 결합된다. 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동하면, 상기 제1스토퍼(64)는 상기 제1이동부재(62)에 가까워지게 이동하여 상기 제1이동부재(62)에 접촉될 수 있다. 이 과정에서 상기 제1스토퍼(64)는 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되는 방향으로 상기 제1이동부재(62)를 밀어서 상기 제1탄성부재(63)를 압축시킬 수 있다. 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동하는 것이 완료되면, 상기 제1탄성부재(63)가 복원력에 의해 인장되어 상기 제1이동부재(62)를 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되는 방향에 대해 반대되는 방향으로 밀게 된다. 이에 따라, 상기 제1스토퍼(64)는 상기 제1이동부재(62)에 밀려서 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향으로 이동하게 된다. 따라서, 상기 제1백래쉬 보상기구(6)는 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동하면, 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 지지암(23)을 이동시킴으로써, 상기 지지랙기어(35)와 상기 제2연결피니언기어(342) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 8, 도 17 및 도 18를 참고하면, 상기 지지암(23)은 상기 제2연결암(222)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 이동할 수 있으므로, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 2개의 제1백래쉬 보상기구(6, 6')를 포함할 수 있다. 어느 하나의 제1백래쉬 보상기구(6)는, 도 17에 도시된 바와 같이 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 돌출되게 이동한 후에, 상기 지지암(23)을 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 소정 거리로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 지지랙기어(35)와 상기 제2연결피니언기어(342) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 다른 하나의 제1백래쉬 보상기구(6')는, 도 18에 도시된 바와 같이 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 이동한 후에, 상기 지지암(23)을 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 소정 거리로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 지지랙기어(35)와 상기 제2연결피니언기어(342) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
상기 제1백래쉬 보상기구들(6, 6')은 서로 소정 거리 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제1백래쉬 보상기구들(6, 6')은 각각 상기 제1하우징(61, 61'), 상기 제1이동부재(62, 62'), 상기 제1탄성부재(63, 63'), 및 제1스토퍼(64, 64')를 포함할 수 있다. 상기 제1백래쉬 보상기구들(6, 6')은 상기 제1이동부재(62, 62') 및 상기 제1스토퍼(64, 64')가 서로 대칭되는 방향에 위치되게 설치될 수 있다.
도 8, 및 도 16 내지 도 18를 참고하면, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 제2백래쉬 보상기구(7)를 더 포함한다.
상기 제2백래쉬 보상기구(7)는 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동한 경우, 상기 제2연결랙기어(332)와 상기 제1연결피니언기어(341) 간에 백래쉬(Backlash)가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동한 후에, 상기 제2연결암(222)이 진동 등으로 흔들리는 것을 방지함으로써, 상기 로딩공정과 언로딩공정에 대한 정확성을 향상시킬 수 있다.
상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동하면, 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향 측에서 상기 제2연결랙기어(332)와 상기 제1연결피니언기어(341) 간에 백래쉬가 발생할 수 있다. 따라서, 상기 제2백래쉬 보상기구(7)는 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 제2연결암(222)을 이동시킴으로써 상기 제2연결랙기어(332)와 상기 제1연결피니언기어(341) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 8 및 도 17를 참고하면, 상기 제2백래쉬 보상기구(7)는 제2하우징(71), 제2이동부재(72), 제2탄성부재(73), 및 제2스토퍼(74)를 포함할 수 있다.
상기 제2하우징(71)은 상기 제2연결암(222)에 결합된다. 상기 제2하우징(71)은 전체적으로 사각형태로 형성될 수 있다.
상기 제2이동부재(72)는 상기 제2하우징(71)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제2이동부재(72)는 일단과 타단이 상기 제2하우징(71)을 기준으로 상기 제2하우징(71) 외측에 위치되고, 상기 일단과 타단의 사이 부분이 상기 제2하우징(71)에 삽입된다. 상기 제2하우징(71)은 상기 제2이동부재(72)가 삽입되기 위한 관통공(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 제2이동부재(72)의 일단과 타단은 상기 제2하우징(71)에 형성된 관통공 보다 큰 크기로 형성될 수 있다.
상기 제2탄성부재(73)는 일측이 상기 제2하우징(71)에 지지되고, 타측이 상기 제2이동부재(72)에 지지된다. 이에 따라, 상기 제2이동부재(72)는 상기 제2탄성부재(73)에 의해 탄성적으로 이동할 수 있다. 상기 제2탄성부재(73)는 스프링일 수 있다.
상기 제2스토퍼(74)는 상기 제1연결암(221)에 결합된다. 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동하면, 상기 제2이동부재(72)는 상기 제2스토퍼(74)에 가까워지게 이동하여 상기 제2스토퍼(74)에 접촉될 수 있다. 이 과정에서 상기 제2하우징(71)은 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되는 방향으로 상기 제2탄성부재(73)를 밀어서 상기 제2탄성부재(73)를 압축시킬 수 있다. 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동하는 것이 완료되면, 상기 제2탄성부재(73)가 복원력에 의해 인장되어 상기 제2하우징(71)을 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되는 방향에 대해 반대되는 방향으로 밀게 된다. 이에 따라, 상기 제2연결암(222)은 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향으로 이동하게 된다. 따라서, 상기 제1백래쉬 보상기구(6)는 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동하면, 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 제2연결암(222)을 이동시킴으로써, 상기 제2연결랙기어(332)와 상기 제1연결피니언기어(341) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 8, 도 17 및 도 18를 참고하면, 상기 제2연결암(222)은 상기 제1연결암(221)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 이동할 수 있으므로, 본 고안에 따른 기판 이송장치(1)는 2개의 제2백래쉬 보상기구(7, 7')를 포함할 수 있다. 어느 하나의 제2백래쉬 보상기구(7)는, 도 17에 도시된 바와 같이 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 돌출되게 이동한 후에, 상기 제2연결암(222)을 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 소정 거리로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2연결랙기어(332)와 상기 제1연결피니언기어(341) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 다른 하나의 제1백래쉬 보상기구(7')는, 도 18에 도시된 바와 같이 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 이동한 후에, 상기 제2연결암(222)을 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 소정 거리로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2연결랙기어(332)와 상기 제1연결피니언기어(341) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
상기 제2백래쉬 보상기구들(7, 7')은 서로 소정 거리 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제2백래쉬 보상기구들(7, 7')은 각각 상기 제2하우징(71, 71'), 상기 제2이동부재(72, 72'), 상기 제2탄성부재(73, 73'), 및 제2스토퍼(74, 74')를 포함할 수 있다. 상기 제2백래쉬 보상기구들(7, 7')은 상기 제2이동부재(72, 72') 및 상기 제2스토퍼(74, 74')가 서로 대칭되는 방향에 위치되게 설치될 수 있다.
도 8, 및 도 16 내지 도 18를 참고하면, 상기 제1백래쉬 보상기구(6)가 갖는 제1하우징(6)과 상기 제2백래쉬 보상기구(7')가 갖는 제2하우징(7')은 일체로 형성될 수도 있고, 상기 제1백래쉬 보상기구(6')가 갖는 제1하우징(6')과 상기 제2백래쉬 보상기구(7)가 갖는 제2하우징(7)은 일체로 형성될 수도 있다. 상기 베이스프레임(1a)에서 상기 암들(21, 22, 23)이 서로 중첩되어 적층된 방향을 수직방향이라 정의할 때, 도 17 및 도 18에는 상기 제1백래쉬 보상기구들(6, 6')과 상기 제2백래쉬 보상기구들(7, 7')이 수직방향으로 나란하게 설치되는 것으로 도시되어 있으나, 도 16에 도시된 바와 같이 상기 제1백래쉬 보상기구들(6, 6')과 상기 제2백래쉬 보상기구들(7, 7')은 수평방향으로 나란하게 설치될 수도 있다.
이상에서 설명한 본 고안은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 고안의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
1 : 기판 이송장치 10 : 본체 20 : 승강유닛 21 : 볼스크류
22 : 볼너트 30 : 커버기구 31 : 제1커버부재 32 : 제2커버부재
40 : 지지기구 2 : 암기구 3 : 연동기구 4 : 구동유닛
5 : 가이드부재 6 : 제1백래쉬 보상기구 7 : 제2백래쉬 보상기구

Claims (12)

  1. 기판을 이동시키기 위한 암기구;
    상기 암기구가 결합되는 본체;
    상기 암기구를 승강(昇降)시키기 위한 볼스크류(Ball Screw), 및 상기 볼스크류가 회전함에 따라 승강하는 볼너트(Ball Nut)를 포함하고, 상기 본체에 결합되는 승강유닛; 및
    상기 본체에 결합되고, 상기 볼스크류와 상기 볼너트로부터 발생한 이물질이 상기 암기구 쪽으로 전달되는 것을 차단하기 위한 커버기구를 포함하고,
    상기 커버기구는 상기 볼스크류와 상기 암기구 사이에 위치되게 상기 본체에 결합되는 제1커버부재, 및 상기 볼스크류를 기준으로 상기 암기구 반대편에 위치되게 상기 본체에 결합되는 제2커버부재를 포함하며;
    상기 볼스크류는 상기 제1커버부재에 형성된 제1수용홈에 의해 상기 제1커버부재 내측에 위치되고, 상기 제2커버부재에 형성된 제2수용홈에 의해 상기 제2커버부재 내측에 위치되며;
    상기 제1커버부재는 상기 볼스크류가 상기 제1수용홈에 위치되도록 상기 볼너트에 형성된 설치공을 관통하여 상기 본체에 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1커버부재는 상기 암기구에서 상기 볼스크류를 향하는 방향으로 돌출되게 형성된 제1돌출부재를 포함하고,
    상기 제2커버부재는 상기 볼스크류에서 상기 암기구를 향하는 방향으로 돌출되게 형성된 제2돌출부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 볼너트에는 상기 제1커버부재에서 상기 설치공에 삽입되는 부분이 갖는 크기보다 상기 설치공이 큰 크기를 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제2커버부재는 상기 볼너트로부터 이격되게 상기 본체에 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 암기구가 결합되는 베이스프레임, 및 상기 베이스프레임이 결합되고 상기 본체에 승강 가능하게 결합된 지지기구를 포함하고;
    상기 볼너트는 상기 지지기구에 결합된 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 암기구가 갖는 복수개의 암(Arm)들이 상기 본체에 설치된 베이스프레임으로부터 돌출되는 제1위치, 및 상기 베이스프레임에서 서로 중첩되게 적층되는 제2위치 간에 이동하도록 상기 암들 중 어느 하나를 이동시키는 구동유닛; 및
    상기 암들에 결합되고, 상기 구동유닛이 상기 암들 중 어느 하나를 이동시킴에 따라 나머지 암들을 연동(連動)하여 이동시키기 위한 연동기구를 포함하되,
    상기 연동기구는 상기 구동유닛에 의한 직선운동을 회전운동으로 변환하기 위한 복수개의 피니언기어, 및 상기 피니언기어에 맞물림되어 상기 피니언기어에 의한 회전운동을 직선운동으로 변환하기 위한 복수개의 랙기어를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 암기구는
    상기 베이스프레임에 이동 가능하게 결합되는 이동암;
    상기 이동암에 이동 가능하게 결합되고, 상기 이동암이 상기 베이스프레임으로부터 돌출되게 이동하면 상기 이동암이 돌출된 방향으로 상기 이동암으로부터 돌출되게 이동하는 제1연결암;
    상기 제1연결암에 이동 가능하게 결합되고, 제1연결암이 상기 이동암으로부터 돌출되게 이동하면 상기 제1연결암이 돌출된 방향으로 상기 제1연결암으로부터 돌출되게 이동하는 제2연결암; 및
    상기 제2연결암에 이동 가능하게 결합되고, 상기 제2연결암이 상기 제1연결암으로부터 돌출되게 이동하면 상기 제2연결암이 돌출된 방향으로 상기 제2연결암으로부터 돌출되게 이동하는 지지암을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 연동기구는
    상기 이동암에 결합되고, 상기 이동암이 이동함에 따라 회전하는 이동피니언기어;
    상기 제1연결암에 결합되고, 상기 이동피니언기어에 맞물림되어 상기 이동피니언기어가 회전함에 따라 이동하는 제1연결랙기어;
    상기 제1연결암에 결합되고, 상기 제1연결암이 이동함에 따라 회전하는 제1연결피니언기어;
    상기 제2연결암에 결합되고, 상기 제1연결피니언기어에 맞물림되어 상기 제1연결피니언기어가 회전함에 따라 이동하는 제2연결랙기어;
    상기 제2연결암에 결합되고, 상기 제2연결암이 이동함에 따라 회전하는 제2연결피니언기어; 및
    상기 지지암에 결합되고, 상기 제2연결피니언기어에 맞물림되어 상기 제2연결피니언기어가 회전함에 따라 이동하는 지지랙기어를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 피니언기어들 중에서 적어도 하나는 제1직경을 갖는 제1서브피니언기어, 및 상기 제1서브피니언기어에 연결되게 형성되고 상기 제1직경보다 큰 제2직경을 갖는 제2서브피니언기어를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
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