KR100674882B1

KR100674882B1 - 기판 이송용 트랜스퍼

Info

Publication number: KR100674882B1
Application number: KR1020050100238A
Authority: KR
Inventors: 최만수; 김정철; 박호윤
Original assignee: 주식회사 디엠에스
Priority date: 2005-10-24
Filing date: 2005-10-24
Publication date: 2007-01-29
Also published as: CN1955089B; CN1955089A; TWI332930B; TW200716468A

Abstract

기판 이송용 트랜스퍼가 개시된다. 그러한 기판 이송용 트랜스퍼는 프레임의 레일상에 활주가능하게 안착되는 하부 플레이트와, 상기 하부 플레이트의 상부에 장착되며, 그 상부에 기판이 적치되는 상부 플레이트와, 상기 상부 플레이트를 하부 플레이트상에 회전가능하게 연결시키는 연결부재와, 그리고 상기 상부 플레이트의 회전반경을 일정 범위 이내로 제한하는 회전제한 수단을 포함한다.

기판, 이송, 회전, 스토퍼, 완충

Description

기판 이송용 트랜스퍼{TRANSFER FOR USE IN TRANSMITTING WORKS}

도1 은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이송용 트랜스퍼가 구비된 기판처리장치를 도시하는 사시도.

도2 는 도1 에 도시된 트랜스퍼를 확대하여 보여주는 확대 사시도.

도3 은 도2 에 도시된 트랜스퍼의 분해 사시도.

도4 는 도2 에 도시된 트랜스퍼의 구조를 보여주는 측면도.

도5 는 도3 에 도시된 트랜스퍼의 하부 플레이트를 보여주는 확대 사시도.

도6 은 도3 에 도시된 트랜스퍼의 상부 플레이트가 정위치에 위치한 상태를 보여주는 도면.

도7 은 도3 에 도시된 트랜스퍼의 상부 플레이트가 중심선을 기준으로 반시계 방향으로 회전중인 상태를 보여주는 도면.

도8 은 도3 에 도시된 트랜스퍼의 상부 플레이트가 반시계 방향으로 회전하여 90도 위치에 정지한 상태를 보여주는 도면.

〈도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명〉

3:프레임 5:기판 이송용 트랜스퍼

7:입측 수직이송부 11:처리유닛

15:출측 수직이송부 20:하부 플레이트

22: 상부 플레이트 30:연결부재

32,34,S1,S2,S3:회전제한 수단

32: 제1 완충부 34: 제2 완충부

S1,S2,S3:제1, 제2, 제3 스토퍼

본 발명은 기판 이송용 트랜스퍼에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 그 구조를 개선함으로써 기판이 안착된 상태에서 회전이 용이하도록 하여 기판의 이송효율을 향상시킬 수 있는 기판 이송용 트랜스퍼에 관한 것이다.

일반적으로 평판 디스플레이(FPD;Flat Panel Display), 반도체 웨이퍼, LCD, 포토 마스크용 글라스 등에 사용되는 기판은 일련의 처리라인을 거치면서 에칭, 스트립, 린스 등의 과정을 거친 후 세정을 하게 된다.

이러한 기판의 처리라인은 통상적으로 기판을 반전시키기 위한 반전부와, 반전부로부터 기판을 공급받아 세정부로 공급하기 위한 로더와, 기판의 표면상의 이물질을 순차적으로 세정하기 위한 세정부와, 기판을 건조하기 위한 건조부와, 기판을 언로딩하기 위한 언로더로 이루어진다.

상기한 기판 처리라인에 있어서는 각 공정으로 기판을 효율적으로 이송하기 위한 이송장치들이 중요한 요소이다.

즉, 이러한 이송장치들은 전 공정에서 이송된 기판을 후공정으로 계속하여 동일한 방향으로 이송시킬 필요가 있거나, 혹은 진행되던 방향과 다른 방향, 예를 들면, 수직방향 혹은 역방향으로 이송시킬 필요가 있다.

그러나, 상기와 같은 종래의 이송장치들은 전공정 및 후공정들과 연결성이 원활하지 못하여 기판의 진행방향을 자유롭게 변환할 수 없는 문제점이 있다.

즉, 기판의 진행방향과 동일한 방향으로 후공정으로 이송하는 경우는 원활하게 이송시킬 수 있으나, 수직방향으로 방향을 전환하거나, 역방향으로 전환하는 경우에는 별도의 반전부를 배치하여야 하는 문제점이 있다.

이러한 문제점은 기판이 대형화되는 추세에 더욱 기판의 이송을 어렵게 함으로써 기판의 품질에 영향을 미쳐 불량률이 증가하는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 안출 된 것으로서, 본 발명의 목적은 그 구조를 개선함으로써 기판이 안착된 상태에서 회전이 용이하도록 하여 기판의 이송효율을 향상시킬 수 있는 기판 이송용 트랜스퍼를 제공하는데 있다.

본 발명의 목적을 실현하기 위하여, 본 발명은 프레임의 레일상에 활주가능하게 안착되는 하부 플레이트와; 상기 하부 플레이트의 상부에 장착되며, 그 상부에 기판이 적치되는 상부 플레이트와; 상기 상부 플레이트를 하부 플레이트상에 회전가능하게 연결시키는 연결부재와; 그리고 상기 상부 플레이트의 회전반경을 일정 범위 이내로 제한하는 회전제한 수단을 포함하는 기판 이송용 트랜스퍼를 제공한 다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이송용 트랜스퍼를 상세하게 설명한다.

본 발명이 제안하는 기판 이송용 트랜스퍼는 통상적인 기판 처리라인에 적용되지만, 이하, 도1 에 도시된 바와 같은 적층형의 기판처리라인에 의하여 설명한다.

도1 에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 이송용 트랜스퍼가 구비되는 기판처리라인은 프레임(Frame;3)과, 상기 프레임(3)의 레일(r)상에 활주가능하게 장착되어 입측과 출측 구간을 왕복운동하며, 기판(G)을 지지하여 자유롭게 회전할 수 있는 기판 이송용 트랜스퍼(Transfer;5)와, 상기 트랜스퍼(5)로부터 기판(G)을 인수하여 하강하는 입측 수직이송부(7)와, 기판(G)을 처리하는 처리유닛(11)과, 처리유닛(12)의 입측 및 출측에 배치되어 기판(G)을 이송하는 이송부(9,13)와, 처리된 기판(G)을 다시 트랜스퍼(5)로 전달하는 출측 수직이송부(15)를 포함한다.

따라서, 전 공정으로부터 공급된 기판(G)이 트랜스퍼(5)의 상부에 얹혀지면, 트랜스퍼(5)는 이 기판(G)을 적재하여 레일(r)을 따라 전진함으로써 입측 수직 이송부(7)에 기판(G)을 이송하거나, 후진함으로써 출측 수직이송부(15)로부터 기판(G)을 인수받는다.

그리고, 이와 같은 기판(G) 이송과정에서 필요시 트랜스퍼(5)를 회전시킴으로써 기판(G)의 방향을 전환하여 전달할 수 있다.

상기한 트랜스퍼(5)를 보다 상세하게 설명하면, 도2 내지 도4 에 도시된 바 와 같이, 프레임(3)의 레일(r)상에 활주가능하게 안착되는 하부 플레이트(20)와, 상기 하부 플레이트(20)의 상부에 회전가능하게 장착되어 함께 이동하며, 그 상부에 기판(G)이 적치되는 상부 플레이트(22)와, 상기 상부 및 하부 플레이트(22,20)를 회전가능하게 연결시키는 연결부재(30)와, 그리고 상기 상부 플레이트(22)의 회전각도를 일정 범위 이내로 제한하는 회전제한 수단(32,34,S1,S2,S3)으로 이루어진다.

이러한 구조를 갖는 트랜스퍼에 있어서, 상기 하부 플레이트(20)는 그 양측에 연장부(26a,26b)가 각각 돌출되며, 이 연장부(26a,26b)의 저면은 프레임(3)상의 레일(r)에 얹혀진다. 따라서, 상기 하부 플레이트(20)는 레일(r)을 따라 활주가능하다.

그리고, 상기 상부 플레이트(22)는 다수개의 연결바(23)가 서로 연결되고, 바닥부가 판재 등에 의하여 폐쇄된 형상을 갖는다.

이러한 상부 플레이트(22)는 다수개의 지지핀(24)이 일정 높이로 돌출 형성되며, 그 구석부에는 기판 고정브래킷(25)이 각각 구비된다.

따라서, 기판(G)이 다수개의 지지핀(24)상에 얹혀질 수 있으며, 기판(G)의 구석부는 기판 고정브래킷(25)에 의하여 고정됨으로써 안정적으로 얹혀질 수 있다.

이와 같은 구조를 갖는 상부 및 하부 플레이트(22,20)는 상기 연결부재(30)에 의하여 서로 연결됨으로써 상부 플레이트(22)가 하부 플레이트(20)에 대하여 회전이 가능한 구조를 갖는다.

이러한 연결부재(30)는 하부 플레이트(20)의 바닥부(29)상에 구비된 로터리 실린더 조립체(36)와, 상기 실린더 조립체(36)상에 돌출된 회전축(38)과, 상기 상부 플레이트(22)의 저면에 하방으로 돌출되어 상기 회전축(38)이 삽입되어 고정되는 삽입리브(60)를 포함한다.

상기 실린더 조립체(36)는 그 내부에 유압 혹은 공압에 의하여 회전하는 로터리 실린더의 적용이 가능하며, 이 실린더가 상기 회전축(38)에 치합되어 있는 구조를 갖는다.

따라서, 실린더가 회전작동을 하는 경우, 회전축(38)은 시계 방향 혹은 반시계 방향으로 회전하게 된다.

결과적으로, 상기 실린더 조립체(36)가 구동하는 경우, 회전축(38)이 회전하게 됨으로써 삽입리브(60)에 의하여 연결된 상부 플레이트(22)가 연동하여 회전하게 된다.

한편, 이러한 상부 플레이트(22)의 회전각도를 제어하기 위하여 구비되는 상기 회전 제한수단(32,34,S1,S2,S3)은 하부 플레이트(20)의 상면에 구비되는 제1 완충부(32) 및 제2 완충부(34)와, 상기 상부 플레이트(22)의 저면에 하방으로 돌출 형성되어 상부 플레이트(22)의 회전시 상기 제1 및 제2 완충부(32,34)에 선택적으로 접촉함으로써 상부 플레이트(22)의 회전을 일정 범위 이내로 제한하는 스토퍼(S1,S2,S3)를 포함한다.

이러한 구조를 갖는 회전 제한수단은 도5 및 도6 에 도시된 바와 같이, 상기 제1 완충부(32)와 제2 완충부(34)는 서로 동일한 구조를 가지며, 연결부재(30)를 중심으로 서로 대칭되도록 배치된다.

상기 제1 완충부(32)는 내측(연결부재 방향)에 구비되는 제1 내측 완충기(40)와, 외측에 구비되는 제1 외측 완충기(42)로 이루어진다. 그리고, 상기 제1 내측 완충기(40)의 인접위치에는 제1 실린더(46)가 배치되며, 제1 실린더(46)의 피스톤(48)은 제1 외측 완충기(42)에 연결된다.

이때, 상기 제1 외측 완충기(42)는 레일(r1)상에 활주가능하게 안착된 구조를 갖는다.

따라서, 상기 제1 실린더(46)가 구동하는 경우, 피스톤(48)이 제1 외측 완충기(42)를 당기거나 밀어서 제1 외측 완충기(42)는 내측방향 혹은 외측방향으로 이동가능하다.

이와 같이, 상기 제1 외측 완충기(42)가 이동가능함으로 상부 플레이트(22)의 회전시 제1 외측 완충기(42)의 위치를 통과하는 제1 스토퍼(S1)와의 접촉을 회피할 수 있다.

한편, 상기 제2 완충부(34)는 제1 완충부(32)와 동일한 구조를 갖으며, 서로 대칭적으로 배치된다.

즉, 상기 제2 완충부(34)는 내측(연결부재 방향)에 구비되는 제2 내측 완충기(52)와, 외측에 구비되는 제2 외측 완충기(50)로 이루어진다. 그리고, 상기 제2 내측 완충기(52)의 인접위치에는 제2 실린더(58)가 배치되며, 제2 실린더(58)의 피스톤(59)은 제2 외측 완충기(50)에 연결된다.

이때, 상기 제2 외측 완충기(50)는 레일(r2)상에 활주가능하게 안착된 구조를 갖는다.

따라서, 상기 제2 실린더(58)가 구동하는 경우, 피스톤(59)이 제2 외측 완충기(50)를 당기거나 밀어서 제2 외측 완충기(50)는 내측방향 혹은 외측방향으로 이동가능하다.

이와 같이, 상기 제2 외측 완충기(50)가 이동가능함으로 상부 플레이트(22)의 회전시 제2 외측 완충기(50)의 위치를 통과하는 제2 스토퍼(S2)와의 접촉을 회피할 수 있다.

그리고, 상기 상부 플레이트(22)에 구비되는 스토퍼(S1,S2,S3)는 상부 플레이트(22)의 저면으로부터 하부로 일정 길이 돌출됨으로써 상부 플레이트(22)의 회전시 하부 플레이트(20)에 구비된 제1 및 제2 완충부(32,34)와 각각 접촉할 수 있다.

보다 상세하게 설명하면, 상기 스토퍼(S1,S2,S3)는 상부 플레이트(22)의 회전시 상기 제1 외측 완충기(42)와, 제2 외측 완충기(50)에 각각 접촉할 수 있는 한 쌍의 외측 스토퍼(S1,S2)와, 상기 제1 내측 완충기(40)와, 제2 내측 완충기(52)에 각각 접촉할 수 있는 내측 스토퍼(S3)를 포함한다.

상기 한 쌍의 외측 스토퍼(S1,S2)는 시계방향 혹은 반시계방향으로 일정 궤적을 따라 회전을 하며, 제1 외측 완충기(42)에 접촉하는 경우 상부 플레이트(22)를 정위치에 정지시키는 제1 스토퍼(S1)와, 상기 제1 스토퍼(S1)와 대칭방향에 배치되어 시계 방향 혹은 반시계 방향으로 일정 궤적을 따라 회전을 하며, 제2 외측 완충기(50)에 접촉하는 경우 상부 플레이트(22)를 정위치에 정지시킬 수 있는 제2 스토퍼(S2)로 이루어진다.

이러한 제1 및 제2 스토퍼(S1,S2)는 상부 플레이트(22)가 정위치에서 시계 방향으로 90도, 혹은 반시계 방향으로 90도 회전 후, 다시 정위치로 복귀하는 경우, 0도 위치(원래의 위치)에 정지시키는 기능을 수행한다.

즉, 상부 플레이트(22)가 정위치(도6 의 위치)에 정지한 경우에는 제2 스토퍼(S2)는 제2 외측 완충기(50)에 접촉함으로써 정지상태를 유지할 수 있다. 그리고, 제1 스토퍼(S1)는 제1 외측 완충기(42)의 위치에 도달하는 데, 이는 제1 외측 완충기(42)가 실린더(46)의 작동으로 내측으로 이동한 상태이므로 가능하다.

그리고, 상부 플레이트(22)가 시계 방향으로 90도 혹은 반시계 방향으로 90도 회전 한 후, 다시 정위치로 복귀하였을 경우에도 제2 스토퍼(S2)가 제2 외측 완충기(50)에 다시 접촉하게 된다.

따라서, 상부 플레이트(22)는 제2 스토퍼(S2)에 의하여 0도상의 정위치에 고정될 수 있다.

한편, 상기 내측 스토퍼(S3)는 시계방향 혹은 반시계방향으로 일정 궤적을 따라 회전을 하며, 제1 내측 완충기(40)와 제2 내측 완충기(52)에 교차적으로 접촉함으로써 상부 플레이트(22)를 90도 회전한 위치에 고정시킬 수 있다.

즉, 상부 플레이트(22)가 정위치에서 반시계 방향으로 90도 회전하는 경우에는, 내측 스토퍼(S3)가 제1 내측 완충기(40)에 접촉함으로써 상부 플레이트(22)가 고정되고, 정위치에서 시계 방향으로 90도 회전하는 경우에는 제2 내측 완충기(52)에 접촉함으로써 상부 플레이트(22)가 고정될 수 있다.

따라서, 상기 상부 플레이트(22)는 내측 스토퍼(S3)에 의하여 반시계 방향으 로 90도 회전한 위치, 혹은 시계 방향으로 90도 회전한 위치에 고정될 수 있다.

상기한 바와 같이, 상부 플레이트(22)는 회전 제한수단(32,34,S1,S2,S3)에 의하여 하부 플레이트(20)에 대하여 일정각도, 바람직하게는 시계방향으로 혹은 반시계방향으로 90도 회전하거나 정위치로 복귀할 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이송용 트랜스퍼의 작동과정을 더욱 상세하게 설명한다.

도6 에 도시된 바와 같이, 상부 플레이트(22)가 기판을 적치하고 정위치에 있는 경우에는 제1 스토퍼(S1)는 제1 외측 완충기(42)의 위치에 있고, 제2 스토퍼(S2)는 제2 외측 완충기(50)에 접촉한 상태이다.

이때, 상기 제1 외측 완충기(42)는 실린더(46)의 작동으로 내측으로 이동한 상태이므로 제1 스토퍼(S1)와 간섭이 방지된다.

이 상태에서, 상부 플레이트(22)가 기판(G)을 적치하고 반시계 방향으로 회전하는 경우에는, 도7 에 도시된 바와 같이, 연결부재(30)의 실린더 조립체(36)가 구동함으로써 상부 플레이트(22)가 화살표 방향을 따라 반시계방향으로 회전한다.

상부 플레이트(22)가 반시계 방향으로 회전함에 따라, 내측 스토퍼(S2)가 제1 내측 완충기(40) 방향으로 접근하게 된다.

이때, 제1 스토퍼(S1)는 제1 외측 완충기(42) 위치로부터 벗어난 상태이고, 제2 스토퍼(S2)는 기준선(C/L)에 접근한다.

이 상태에서 반시계 방향으로 보다 더 회전하면, 도8 에 도시된 바와 같이, 상부 플레이트(22)가 정위치로부터 반시계 방향으로 90도 위치에 도달한다.

즉, 내측 스토퍼(S3)가 제1 내측 완충기(40)에 접촉함으로써 상부 플레이트(22)가 90도 회전한 후 정지하게 된다. 이때, 제1 및 제2 스토퍼(S1,S2)은 기준선 (C/L)상에 위치하게 된다.

반대로, 상부 플레이트(22)가 반시계 방향으로 90도 회전한 위치에서 정위치로 다시 복귀하는 경우를 설명하면, 연결부재(30)의 실린더 조립체(36)가 역방향으로 구동함으로써 상부 플레이트(22)가 시계 방향으로 회전한다.

그리고, 제2 스토퍼(S2)가 제2 외측 완충기(52)에 도달하여 접촉함으로써 상부 플레이트(22)는 정위치에 고정될 수 있다.

이때, 제1 스토퍼(S1)가 제1 외측 완충기(42) 위치로 이동하게 되며, 상기 제1 외측 완충기(42)는 실린더(46)의 작동으로 내측으로 이동한 상태이므로 제1 스토퍼(S1)와 간섭이 방지될 수 있다.

이와 같이, 상부 플레이트(22)는 정위치에서 반시계 방향으로 90도 회전하거나, 반시계 방향에서 정위치로 복귀함으로써 기판(G)의 방향을 전환할 수 있다.

한편, 상부 플레이트(22)가 도6 에 도시된 바와 같이, 정위치에서 시계 방향으로 90도 회전하는 경우에는, 내측 스토퍼(S3)가 시계 방향으로 회전하기 시작함으로써 제2 외측 완충기(50)가 방향으로 이동한다.

이때, 제2 외측 완충기(50)는 실린더(58)의 작동으로 내측방향으로 이동함으로써 향후 제2 외측 완충기(50)에 도달한 내측 스토퍼(S3)와의 간섭을 방지할 수 있다.

상부 플레이트(22)가 시계 방향으로 더 회전하는 경우, 내측 스토퍼(S3)가 제2 내측 완충기(52)에 접촉한다.

따라서, 상부 플레이트(22)는 시계 방향으로 90도 회전한 상태로 고정될 수 있다.

반대로, 상부 플레이트(22)가 이 위치에서 정위치로 다시 복귀하는 경우에는 제1 스토퍼(S1)가 제1 외측 완충기(42)에 도달하여 접촉함으로써 상부 플레이트(22)는 정위치에 고정될 수 있다.

이와 같이, 상부 플레이트(22)는 시계 및 반시계 방향으로 회전함으로서 기판(G)의 방향을 전환할 수 있다.

이와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이송용 트랜스퍼는 그 구조를 개선함으로써 기판이 안착된 상태에서 회전이 용이하도록 하여 기판의 이송효율을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.

이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고 특허청구의 범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.

Claims

프레임(3)의 레일(r)상에 활주가능하게 안착되는 하부 플레이트(20)와;

상기 하부 플레이트(20)의 상부에 장착되며, 그 상부에 기판이 적치되는 상부 플레이트(22)와;

상기 상부 플레이트(22)를 하부 플레이트(20)상에 회전가능하게 연결시키는 연결부재(30)와; 그리고

상기 상부 플레이트(22)의 회전반경을 일정 범위 이내로 제한하는 회전제한 수단(32,34,S1,S2,S3)을 포함하며,

상기 회전 제한수단(32,34,S1,S2,S3)은 하부 플레이트(20)에 구비되는 제1 완충부(32) 및 제2 완충부(34)와, 상기 상부 플레이트(22)의 돌출 형성되어 상부 플레이트(22)의 회전시 상기 제1 및 제2 완충부(32,34)에 선택적으로 접촉함으로써 상부 플레이트(22)의 회전을 일정 범위 이내로 제한하는 복수의 스토퍼(S1,S2,S3)를 포함하는 기판 이송용 트랜스퍼.
제1 항에 있어서, 상기 하부 플레이트(20)는 바닥부에 구비되는 실린더 조립체(36)와, 상기 실린더 조립체(36)에 돌출된 회전축(38)과, 상기 상부 플레이트(22)의 저면에 하방으로 돌출되어 상기 회전축(38)이 삽입되어 고정되는 삽입리브(60)를 포함하며,

상기 실린더 조립체(36)가 구동하는 경우, 회전축(38)이 회전하게 됨으로써 삽입리브(60)에 의하여 연결된 상부 플레이트(22)가 연동하여 회전가능한 기판 이송용 트랜스퍼.
제1 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 완충부(32,34)는 상기 하부 플레이트(20)의 상면에 돌출 형성되고, 상기 복수의 스토퍼(S1,S2,S3)는 상기 상부 플레이트(22)의 저면에 돌출 형성되는 기판 이송용 트랜스퍼.
제3 항에 있어서, 상기 제1 완충부(32)는 내측에 구비되는 제1 내측 완충기(40)와, 외측에 구비되어 내측 방향으로 이송가능한 제1 외측 완충기(42)와, 상기 제1 내측 완충기(40)의 인접위치에 배치되어 상기 제1 외측 완충기(42)에 연결됨으로써 제1 외측 완충기(42)를 이동시킬 수 있는 제1 실린더(46)를 포함하는 기판 이송용 트랜스퍼.
제3 항에 있어서, 상기 제2 완충부(34)는 내측에 구비되는 제2 내측 완충기(52)와, 외측에 구비되어 내측 방향으로 이송가능한 제2 외측 완충기(50)와, 상기 제2 내측 완충기(52)의 인접위치에 배치되어 상기 제2 외측 완충기(50)에 연결됨으로써 제2 외측 완충기(50)를 이동시킬 수 있는 제2 실린더(58)를 포함하는 기판 이송용 트랜스퍼.
제4 항 또는 제5 항에 있어서, 상기 스토퍼(S1,S2,S3)는 상부 플레이트(22)의 회전시 상기 제1 외측 완충기(42)와 제2 외측 완충기(50)에 선택적으로 접촉함으로써 상부 플레이트(22)를 정위치에 고정시키는 한 쌍의 외측 스토퍼(S1,S2)와, 상기 제1 내측 완충기(40)와 제2 내측 완충기(52)에 교차적으로 접촉함으로써 상부 플레이트(22)를 90도 회전한 위치에 고정할 수 있는 내측 스토퍼(S3)를 포함하는 기판 이송용 트랜스퍼.
제6 항에 있어서, 상기 한 쌍의 외측 스토퍼(S1,S2)는 시계방향 혹은 반시계방향으로 일정 궤적을 따라 회전을 하며, 제1 외측 완충기(42)에 접촉하는 경우 상부 플레이트(22)를 정위치에 정지시키는 제1 스토퍼(S1)와, 상기 제1 스토퍼(S1)와 대칭방향에 배치되어 시계 방향 혹은 반시계 방향으로 일정 궤적을 따라 회전을 하며, 제2 외측 완충기(50)에 접촉하는 경우 상부 플레이트(22)를 정위치에 정지시킬 수 있는 제2 스토퍼(S2)를 포함하는 기판 이송용 트랜스퍼.
제7 항에 있어서, 상기 제1 스토퍼(S1)가 상기 제1 외측 완충기(42)의 위치를 통과하는 경우, 상기 제1 외측 완충기(42)는 제1 실린더(46)에 의하여 내측으로 이동함으로써 간섭이 방지되고, 상기 제2 스토퍼(S2)가 상기 제2 외측 완충기(50)의 위치로 이동하는 경우, 제2 외측 완충기(50)는 제2 실린더(58)에 의하여 내측으로 이동함으로써 간섭이 방지되는 기판 이송용 트랜스퍼.
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