KR20150014137A - 기판이송장치 - Google Patents

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Abstract

기판이송장치가 개시된다. 본 발명에 따른 기판이송장치는, 제2지지레일의 하면에 제2가이드레일의 상면이 설치되고, 제2가이드레일의 하면은 제2지지레일의 하측을 향한다. 그러므로, 제2가이드부재가 제2가이드레일을 따라 슬라이딩할 때 발생하는 이물질이 상측으로 덜 부상(浮上)하므로, 상측에 위치된 기판이 이물질에 의하여 오염되는 것이 방지되는 효과가 있다. 그리고, 제2가이드부재의 하면 및 외측 부위는 제2슬라이딩부재에 의하여 감싸여 있다. 이로 인해, 제2가이드부재가 제2가이드레일을 따라 슬라이딩할 때 발생하는 이물질은 복잡한 경로를 통하여 상측으로 부상(浮上)하여야 하므로, 이물질은 상대적으로 상측으로 덜 부상(浮上)한다. 그러므로, 기판이 이물질에 의하여 오염되는 것이 더욱 방지되는 효과가 있다.

Description

기판이송장치 {APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}
본 발명은 기판을 이송하는 기판이송장치에 관한 것이다.
반도체 소자용 웨이퍼, 디스플레이장치용 유리기판 또는 박막형 태양전지용 유리기판 등과 같은 기판은 기판상에 여러 공정을 수행하여 제조한다. 이때, 기판은 각각의 공정에 필요한 최적의 조건을 제공하는 기판처리장치에 로딩되어 처리된다.
오늘날, 생산성을 향상시키기 위하여 기판을 일괄적으로 처리할 수 있는 클러스터(Cluster) 타입 기판처리장치가 개발되어 사용되고 있다.
클러스터 타입 기판처리장치는 기판이 저장되는 로드락챔버, 기판을 이송하기 위한 이송챔버 및 각각의 공정을 수행하기 위한 복수의 공정챔버를 포함한다. 기판을 이송하는 기판이송장치는 일반적으로 진공상태인 이송챔버에 설치되어, 기판을 로드락챔버에서 이송챔버, 이송챔버에서 로드락챔버 또는 공정챔버 간에 이송한다.
도 1a는 종래의 기판이송장치의 사시도이고, 도 1b는 도 1a의 "A"부 확대도로서, 이를 설명한다.
도시된 바와 같이, 종래의 기판이송장치는 받침부재(10)의 상면에 승강 및 회전가능하게 설치된 승강/회전부재(20)와 승강/회전부재(20)에 지지 설치된 이송유닛을 포함하고, 상기 이송유닛은 제1지지레일(31), 제2지지레일(32), 제1슬라이딩부재(34), 제2슬라이딩부재(35), 핸드(41) 및 아암(45)을 포함한다.
제1지지레일(31) 및 제2지지레일(32)은 소정 길이를 가지는 직육면체 형상으로 형성되어 승강/회전부재(20)의 상면측에 설치된다. 제1지지레일(31)은 상호 평행한 한쌍으로 마련되고, 제2지지레일(32)은 상호 평행한 한쌍으로 마련되어 제1지지레일(31)의 외측에 위치된다.
제1슬라이딩부재(34)는 제1지지레일(31)에 설치되어 제1지지레일(31)의 길이방향을 따라 슬라이딩가능하게 설치되고, 제2슬라이딩부재(35)는 제2지지레일(32)에 설치되어 제2지지레일(32)의 길이방향을 따라 슬라이딩가능하게 설치된다. 이때, 제2슬라이딩부재(35)의 상측 부위는 제1슬라이딩부재(34)의 상측에 위치된다.
그리고, 핸드(41)는 제1슬라이딩부재(34) 및 제2슬라이딩부재(35)의 일측에 일단부측이 각각 결합되어 제1슬라이딩부재(34) 및 제2슬라이딩부재(35)와 함께 운동하며, 타측 부위에 기판이 탑재 지지된다. 그리하여, 기판을 로딩하거나 언로딩하고자 할 때, 제1슬라이딩부재(34) 또는 제2슬라이딩부재(35)를 슬라이딩시켜, 핸드(41)에 기판을 탑재한 다음, 기판을 로딩 또는 언로딩한다.
아암(45)은 일단부측이 상호 회전가능하게 결합된 제1아암(45a)과 제2아암(45b)을 포함하며, 제1슬라이딩부재(34)를 슬라이딩시키기 위한 아암(45)과 제2슬라이딩부재(35)를 슬라이딩시키기 위한 아암(45)은 각각 마련된다.
제1아암(45a)의 타단부측은 승강/회전부재(20)에 회전가능하게 지지되고, 제2아암(45b)의 타단부측은 제1슬라이딩부재(34)의 일측 및 제2슬라이딩부재(35)의 일측에 회전가능하게 각각 지지된다. 그리하여, 제1아암(45a)과 제2아암(45b)이 상호 결합된 일단부측을 기준으로 회전하면서 상호 접히거나 펼쳐지는 형태로 운동함에 따라 제1슬라이딩부재(34) 또는 제2슬라이딩부재(35)가 슬라이딩한다.
제1슬라이딩부재(34)와 제2슬라이딩부재(35)가 안정되게 슬라이딩할 수 있도록, 제1지지레일(31)의 상면 및 제1슬라이딩부재(34)의 하면에는 상호 삽입 결합되는 제1가이드레일(37a) 및 제1가이드부재(37b)가 각각 설치되고, 제2지지레일(32)의 상면 및 제2슬라이딩부재(35)의 하면에는 상호 삽입 결합되는 제2가이드레일(38a) 및 제2가이드부재(38b)가 설치된다.
상기와 같은 종래의 기판이송장치는 제2가이드레일(38a) 및 제2가이드부재(38b)가 제2지지레일(32)의 상면측에 설치되므로, 기판이 탑재 지지되는 핸드(41)와 인접되게 위치된다. 이로 인해, 제2가이드부재(38b)가 제2가이드레일(38a)을 따라 슬라이딩할 때 발생하는 이물질에 의하여 기판이 오염될 수 있다.
그리고, 제2가이드레일(38a)과 제2가이드부재(38b)가 기판과 상대적으로 가까이 위치되므로, 고온의 기판에 의하여 제2가이드레일(38a)과 제2가이드부재(38b)가 쉽게 손상될 수 있다. 이로 인해, 기판이송장치의 내구성이 저하되는 단점이 있다.
상기와 같은 문제점을 해소하기 위하여 본 출원인은 2010년 6월 23일 "기판 이송 장치"에 대하여 출원하였고, 상기 "기판 이송 장치"는 한국공개특허공보 제10-2011-0139622호에 개시되어 있다.
상기 "기판 이송 장치"는 상부 암(121)의 슬라이딩을 안내하는 LM가이드(133, 134)를 하부 암(122)의 슬라이딩을 안내하는 LM가이드(131, 132)에 비하여 상대적으로 하측에 위치시켜, 기판과 상대적으로 이격시켰다.
그러나, 상기와 같은 종래의 "기판 이송 장치"는 기판과 대향하는 LM가이드(133, 134)의 상면측 부위가 외부로 노출되어 있으므로, LM가이드(133, 134)에서 발생하는 이물질에 의하여 기판이 오염되는 문제점 및 고온의 기판에 의하여 LM가이드(131, 132, 133, 134)가 손상되는 문제점을 완전하게 해결하지 못하였다.
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 이물질에 의하여 기판이 오염되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 고온의 기판에 의하여 부품들이 손상되는 것을 방지할 수 있는 기판이송장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판이송장치는, 받침부재; 상기 받침부재의 상측에 직선운동가능하게 설치되며 기판이 탑재 지지되는 복수의 핸드를 가지면서 기판을 이송하는 이송유닛을 포함하며, 상기 이송유닛은, 상기 받침부재의 상측에 지지 설치된 상호 평행한 한쌍의 제1지지레일; 상기 제1지지레일 외측의 상기 받침부재의 상측에 지지 설치되어 상호 평행함과 동시에 상기 제1지지레일과 평행을 이루는 한쌍의 제2지지레일; 상기 제1지지레일을 따라 슬라이딩가능하게 상기 제1지지레일에 설치되며 상기 핸드의 일단부측이 결합되는 제1슬라이딩부재; 상기 제2지지레일을 따라 슬라이딩가능하게 상기 제2지지레일에 설치되고, 상기 핸드의 일단부측이 결합되며 상측 부위는 상기 제1슬라이딩부재의 상측에 위치된 제2슬라이딩부재; 상기 제1지지레일의 상면 및 상기 제1슬라이딩부재의 하면에 각각 설치되어 상호 결합되며, 상기 제1슬라이딩부재의 운동을 안내하는 제1가이드레일 및 제1가이드부재; 상기 제2지지레일의 하면 및 상기 제2슬라이딩부재의 하측 부위에 각각 설치되어 상호 결합되며, 상기 제2슬라이딩부재의 운동을 안내하는 제2가이드레일 및 제2가이드부재를 포함한다.
본 발명에 따른 기판이송장치는, 제2지지레일의 하면에 제2가이드레일의 상면이 설치되고, 제2가이드레일의 하면은 제2지지레일의 하측을 향한다. 그러므로, 제2가이드부재가 제2가이드레일을 따라 슬라이딩할 때 발생하는 이물질이 상측으로 덜 부상(浮上)하므로, 상측에 위치된 기판이 이물질에 의하여 오염되는 것이 방지되는 효과가 있다.
그리고, 제2가이드부재의 하면 및 외측 부위는 제2슬라이딩부재에 의하여 감싸여 있다. 이로 인해, 제2가이드부재가 제2가이드레일을 따라 슬라이딩할 때 발생하는 이물질은 복잡한 경로를 통하여 상측으로 부상(浮上)하여야 하므로, 이물질은 상대적으로 상측으로 덜 부상(浮上)한다. 그러므로, 기판이 이물질에 의하여 오염되는 것이 더욱 방지되는 효과가 있다.
도 1a는 종래의 기판이송장치의 사시도.
도 1b는 도 1a의 "A"부 확대도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 사시도.
도 3a는 도 2의 좌측면도.
도 3b는 도 3a의 "B"부 확대도.
도 4는 도 2의 평면도.
도 5는 도 2에 도시된 제2슬라이딩부재를 슬라이딩시키는 제1아암과 제2아암 부위의 사시도.
도 6은 도 5에 도시된 제1아암과 제2아암이 사점 상태로 배열된 것을 보인 평면도.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 좌측면도.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭하며, 길이 및 면적, 두께 등과 그 형태는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치를 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 사시도이고, 도 3a는 도 2의 좌측면도이며, 도 3b는 도 3a의 "B"부 확대도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치는 클러스터(Cluster) 타입 기판처리장치의 이송챔버의 바닥 등에 설치되며, 내부에 밀폐 공간이 형성된 대략 원통 형상의 받침부재(110)를 포함한다. 받침부재(110)는 원통형, 육면체형 또는 각형 등과 같이 다양하게 형성될 수 있다.
받침부재(110)의 상면에는 승강 및 회전가능하게 승강/회전부재(120)가 설치된다. 승강/회전부재(120)는 받침부재(110)의 내부에 설치된 구동유닛(미도시)에 의하여 승강 및 회전하는 구동축(미도시)의 상단부측에 연결되며, 상기 구동축에 의하여 승강 및 회전된다.
승강/회전부재(120)에는 기판(50)(도 4 참조)을 지지하여 이송하는 이송유닛이 설치된다. 상기 이송유닛은 승강/회전부재(120)와 함께 운동함과 동시에 승강/회전부재(120)에 대하여 직선운동가능하게 설치되어 기판(50)을 이송한다.
상기 이송유닛은 제1지지레일(131), 제2지지레일(135), 제1슬라이딩부재(141), 제1슬라이딩부재(145), 복수의 핸드(150) 및 아암(Arm)을 포함할 수 있다.
제1지지레일(131)은 소정 길이를 가지는 직육면체 형상으로 형성되어 상호 평행한 한쌍으로 마련되며, 승강/회전부재(120)의 상면측에 결합된다. 제2지지레일(135)은 소정 길이를 가지는 직육면체 형상으로 형성되어 상호 평행한 한쌍으로 마련되며, 제1지지레일(131) 외측의 승강/회전부재(120)의 상면측에 결합되어 제1지지레일(131)과 평행을 이룬다.
제1슬라이딩부재(141)는 제1지지레일(131)을 따라 슬라이딩가능하게 제1지지레일(131)에 설치되고, 제2슬라이딩부재(145)는 제2지지레일(135)을 따라 슬라이딩가능하게 제2지지레일(135)에 설치된다. 이때, 제2슬라이딩부재(145)의 상측 부위에 해당되는 후술할 연결판(145e)은 제1슬라이딩부재(141)의 상측 부위에 해당되는 후술할 수평판(141b)의 상측에 위치된다.
핸드(150)의 일단부측은 제1슬라이딩부재(141)의 수평판(141b) 및 제2슬라이딩부재(145)의 연결판(145e)에 각각 결합되어, 제1슬라이딩부재(141) 및 제2슬라이딩부재(145)와 함께 운동한다. 그리고, 핸드(150)의 타측 부위에는 기판(50)이 탑재 지지되며, 기판(50)은 핸드(150)에 탑재 지지되어 이송된다.
제2슬라이딩부재(145)의 연결판(145e)이 제1슬라이딩부재(141)의 수평판(141b)의 상측에 위치되므로, 제2슬라이딩부재(145)의 연결판(145e)에 결합된 핸드(150)는 제1슬라이딩부재(141)의 수평판(141b)에 결합된 핸드(150)에 비하여 상측에 위치된다.
제2슬라이딩부재(145)의 연결판(145e)을 제1슬라이딩부재(141)의 수평판(141b)의 상측에 위치시켜, 제2슬라이딩부재(145)에 결합된 핸드(150)를 제1슬라이딩부재(141)에 결합된 핸드(150) 보다 상측에 위치시킨 이유는, 제1슬라이딩부재(141)에 결합된 핸드(150)로 기판(50)을 로딩하고 제2슬라이딩부재(145)에 결합된 핸드(150)로 기판(50)을 언로딩하거나, 제1슬라이딩부재(141)에 결합된 핸드(150)로 기판(50)을 언로딩하고 제2슬라이딩부재(145)에 결합된 핸드(150)로 기판(50)을 로딩하기 위함이다.
따라서, 본 실시예에 따른 기판이송장치는 제1슬라이딩부재(141)에 결합된 핸드(150)와 제2슬라이딩부재(145)에 결합된 핸드(150)를 이용하여 한번에 기판(50)을 로딩하거나 언로딩 할 수 있다.
제1슬라이딩부재(141)는 한쌍의 수직판(141a)과 수직판(141a)의 상면에 형성되어 수직판(141a)을 연결하는 수평판(141b)을 포함할 수 있다. 수평판(141b)의 일측면에 복수의 핸드(150)의 일단부측이 결합된다.
그리고, 제1슬라이딩부재(141)가 안정되게 운동할 수 있도록, 제1지지레일(131)의 상면 및 제1슬라이딩부재(141)의 수직판(141a)의 하면에는 제1슬라이딩부재(141)의 운동을 안내하는 제1가이드레일(133)의 일면 및 제1가이드부재(143)의 일면이 각각 설치되어 상호 삽입 결합될 수 있다. 제1슬라이딩부재(141)에 설치된 제1가이드부재(143)가 제1가이드레일(133)에 삽입 결합되어 제1가이드레일(133)을 따라 슬라이딩하므로, 제1슬라이딩부재(141)가 안정되게 슬라이딩한다.
제2슬라이딩부재(145)는 상호 간격을 가지는 한쌍의 제1수평판(145a), 한쌍의 제1수평판(145a)의 외면에서 수직으로 각각 연장 형성되어 제2지지레일(135)의 외측에 위치되는 한쌍의 제1수직판(145b), 한쌍의 제1수직판(145b)의 상면에서 외측으로 연장 형성된 한쌍의 제2수평판(145c), 한쌍의 제2수평판(145c)의 외면에서 상측으로 연장 형성된 한쌍의 제2수직판(145d) 및 한쌍의 제2수직판(145d)을 상호 연결하며 제1슬라이딩부재(141)의 수평판(141b)의 상측에 위치되는 연결판(145e)을 포함할 수 있다. 연결판(145e)의 일측면에 핸드(150)의 일단부측이 결합된다.
그리고, 제2슬라이딩부재(145)가 안정되게 운동할 수 있도록, 제2지지레일(135)의 하면 및 제2슬라이딩부재(145)의 제1수평판(145a)의 상면에는 제2슬라이딩부재(145)의 운동을 안내하는 제2가이드레일(137)의 일면 및 제2가이드부재(147)의 일면이 각각 설치되어 상호 삽입 결합될 수 있다. 제2슬라이딩부재(145)에 설치된 제2가이드부재(147)가 제2가이드레일(137)에 삽입 결합되어 제2가이드레일(137)을 따라 슬라이딩하므로, 제2슬라이딩부재(145)가 안정되게 슬라이딩한다.
본 실시예에 따른 기판이송장치는 제2지지레일(135)의 하면에 제2가이드레일(137)의 일면이 설치되므로, 제2가이드레일(137)은 제2지지레일(135)의 하측을 향한다. 그러므로, 제2가이드부재(147)가 제2가이드레일(137)을 따라 슬라이딩할 때 발생하는 이물질이 상대적으로 상측으로 덜 부상(浮上)하므로, 기판(50)이 이물질에 의하여 오염되는 것이 방지된다.
그리고, 제2가이드부재(147)의 타면 및 외측 부위는 제2슬라이딩부재(145)의 제1수평판(145a), 제1수직판(145b), 제2수평판(145c), 제2수직판(145d) 및 연결판(145e)에 의하여 감싸여 있다. 이로 인해, 제2가이드부재(147)가 제2가이드레일(137)을 따라 슬라이딩할 때 발생하는 이물질은 복잡한 경로를 통하여 상측으로 부상(浮上)하여야 하므로, 이물질은 상대적으로 상측으로 덜 부상(浮上)한다. 그러므로, 기판(50)이 이물질에 의하여 오염되는 것이 방지된다.
제1슬라이딩부재(141)의 수평판(141b)의 상면에 냉각판(161)(도 3a 참조)이 설치될 수 있다. 냉각판(161)은 핸드(150)에 탑재 지지된 기판(50)의 열에 의하여 핸드(150)의 하측에 위치된 부품들이 손상되는 되는 것을 방지함과 동시에, 부상(浮上)하는 이물질에 의하여 기판(50)이 오염되는 것을 방지한다.
제1슬라이딩부재(141)의 수평판(141b)은 제2슬라이딩부재(145)의 제2수평판(145c)과 제2수직판(145d)과 연결판(145e)에 의하여 형성되는 공간의 내부에 위치된다. 그러면, 제1슬라이딩부재(141)의 수평판(141b)의 외측 부위를 수직판(141a)의 외측으로 연장 형성할 수 있고, 이로 인해 냉각판(161)도 수평판(141b)과 대응되게 넓게 형성할 수 있다. 그러면, 넓은 냉각판(161)에 의하여 핸드(150)의 하측에 위치된 부품들이 기판(50)의 열에 의하여 손상되는 되는 것이 더욱 방지됨과 동시에, 부상(浮上)하는 이물질에 의하여 기판(50)이 오염되는 것을 더욱 방지할 수 있다.
제1지지레일(131) 및 제2지지레일(135)은 받침부재(110)의 상면에 설치된 승강/회전부재(120)에 지지 설치되므로, 제1지지레일(131) 및 제2지지레일(135)이 받침부재(110)의 상측에 지지 설치된 것은 당연하다.
도 2의 미설명 부호 180은 제1슬라이딩부재(141)와 후술알 아암(170)을 연결시키는 연결브라켓이다.
제1슬라이딩부재(141) 및 제2슬라이딩부재(145)는 아암(Arm)(170)에 의하여 슬라이딩되면서 직선왕복운동하는데, 이를 도 2 및 도 4를 참조하여 설명한다. 도 4는 도 2의 평면도이다.
도시된 바와 같이, 아암(170)은 제1아암(171)과 제2아암(175)을 포함할 수 있다.
제1아암(171)의 일단부측은 승강/회전부재(120)의 일측 및 타측에 각각 회전가능하게 지지된다. 제1아암(171)의 타단부측에는 회전축(171a)이 회전가능하게 설치되고, 제1아암(171)의 내부에는 회전축(171a)을 회전시키는 모터와 기어 등을 포함하는 아암구동부(미도시)가 설치될 수 있다.
제2아암(175)의 일단부측은 상기 이송유닛의 제1슬라이딩부재(141) 및 제2슬라이딩부재(145)의 일측에 각각 회전가능하게 지지되고, 타단부측은 벤딩되어 회전축(171a)에 압입 고정되어 회전가능하게 지지된다. 그리하여, 회전축(171a)이 회전하면, 제2아암(175)이 회전한다.
즉, 상기 아암구동부는 회전축(171a)을 회전시키고, 회전축(171a)의 회전에 의하여 제2아암(175)이 회전축(171a)을 기준으로 회전한다. 이로 인해, 제1아암(171)과 제2아암(175)이 상호 접히거나 펼쳐지는 형태로 운동하고, 제1아암(171)과 제2아암(175)이 상호 접히거나 펼쳐짐으로 인하여 제1슬라이딩부재(141) 및 제2슬라이딩부재(145)가 슬라이딩된다.
이때, 제1슬라이딩부재(141)를 슬라이딩시키는 상호 연결되어 연동하는 제1아암(171)과 제2아암(175)의 운동과 제2슬라이딩부재(145)를 슬라이딩시키는 상호 연결되어 연동하는 제1아암(171)과 제2아암(175)의 운동은 상호 독립적이다. 따라서, 제1슬라이딩부재(141)에 연결된 핸드(150)로 기판(50)을 로딩하였을 때, 제2슬라이딩부재(145)에 연결된 핸드(150)로 기판(50)을 언로딩할 수 있다. 그 반대의 경우도 가능함은 당연하다.
도 5는 도 2에 도시된 제2슬라이딩부재를 슬라이딩시키는 제1아암과 제2아암 부위의 사시도이고, 도 6은 도 5에 도시된 제1아암과 제2아암이 사점(Singularity) 상태로 배열된 것을 보인 평면도로서, 이를 설명한다.
도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판이송장치는 제1아암(171)의 양단부측을 연결한 가상의 직선과 제2아암(175)의 양단부측을 연결한 가상의 직선이 상호 겹치면서 평행을 이루는 사점의 상태가 되어도, 제2아암(175)의 타단부측이 상기 아암구동부에 의하여 회전되므로, 제2아암(175)은 용이하게 사점의 상태에서 벗어나면서 제1아암(171)과 펼쳐진 상태가 된다.
그리고, 제1아암(171)과 제2아암(175)이 사점의 상태로 배열되었을 때, 회전축(171a)을 기준으로 제1아암(171)에서 제2지지레일(135)의 측면까지의 수직거리(L1)와 제2아암(175)에서 제2지지레일(135)의 측면까지의 수직거리(L2)가 동일하여야, 제1아암(171)과 제2아암(175)이 상호 펼쳐질 수 있다.
역으로, 회전축(171a)을 기준으로 제1아암(171)에서 제2지지레일(135)의 측면까지의 수직거리(L1)와 제2아암(175)에서 제2지지레일(135)의 측면까지의 수직거리(L2)가 동일하여야, 제1아암(171)과 제2아암(175)이 상호 용이하게 접힐 수 있다.
그런데, 기판이송장치는 고온의 환경에서 사용되므로, 제1아암(171)과 제2아암(175)이 열에 의하여 변형되어 길이가 신장(伸長)될 수 있다. 그리고, 제2슬라이딩부재(145)에 일단부측이 지지된 제2아암(175)이 고온 환경의 기판처리장치에서 발생되는 열 및 고온의 기판에 의하여 더욱 길이가 신장된다.
그러면, 제1아암(171)과 제2아암(175)이 사점의 상태로 배열되었을 때, 제2아암(175)의 신장에 의하여 제2아암(175)이 회전축(171a)에 꽉 끼인 상태가 되므로, 제2아암(175)을 회전시켜 사점의 상태로부터 벗어가게 하기 위해서는 큰 힘이 소요된다.
그런데, 본 실시예에 따른 기판이송장치의 제2아암(175)은 벤딩된 형상으로 형성되므로, 신장된 제2아암(175)의 길이를 수축시키기 위해서는, 제2아암(175)의 벤딩 부위를 펴거나 굽히는 방향으로 변형시키면 된다. 따라서, 상대적으로 작은 힘으로 제2아암(175)을 수축시킬 수 있다.
그리고, 제2슬라이딩부재(145)는 다수 벤딩된 형상으로 형성되고, 제2아암(175)의 일단부측은 제2슬라이딩부재(145)은 제2수평판(145c)에 결합된다. 그러면, 제2슬라이딩부재(145)의 탄성력으로 인하여 더욱 작은 힘으로 제2아암(175)을 수축시킬 수 있다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송장치의 좌측면도로서, 도 3과의 차이점만을 설명한다.
도시된 바와 같이, 제1슬라이딩부재(141)의 수평판(141b)과 냉각판(161) 사이 또는 냉각판(161)의 상면 중, 적어도 어느 하나에는 반사판(165)이 설치될 수 있다. 반사판(165)은 기판(50)에서 발생되는 열을 반사하여 기판(50)의 열에 의하여 핸드(150)의 하측에 위치된 부품들이 손상되는 되는 것을 방지됨과 동시에, 부상(浮上)하는 이물질에 의하여 기판(50)이 오염되는 것을 방지한다.
본 명세서에서는 도 4 등과 같은 구조의 기판이송장치를 상정하여 설명하였지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 구조의 기판이송장치에 적용될 수 있음은 물론이라 할 것이다. 가령, 일례로서, 도 4에서는 제2아암(175)이 벤딩된 것을 예시하여 설명하였으나, 제2아암(175)이 벤딩되지 않고 직선형인 경우에도 적용할 수 있음은 당연하며, 그 밖의 다양한 구조의 기판이송장치에도 적용될 수 있을 것이다.
상기와 같이 기술된 본 발명의 실시예들에 대한 도면은 자세한 윤곽 라인을 생략한 것으로서, 본 발명의 기술사상에 속하는 부분을 쉽게 알 수 있도록 개략적으로 도시한 것이다. 또한, 상기 실시예들은 본 발명의 기술사상을 한정하는 기준이 될 수 없으며, 본 발명의 청구범위에 포함된 기술사항을 이해하기 위한 참조적인 사항에 불과하다.
110: 받침부재
120: 승강/회전부재
131, 135: 제1지지레일, 제2지지레일
141, 145: 제1슬라이딩부재, 제2슬라이딩부재
133, 143: 제1가이드레일, 제1가이드부재
137, 147: 제2가이드레일, 제2가이드부재

Claims (9)

  1. 받침부재;
    상기 받침부재의 상측에 직선운동가능하게 설치되며 기판이 탑재 지지되는 복수의 핸드를 가지면서 기판을 이송하는 이송유닛을 포함하며,
    상기 이송유닛은,
    상기 받침부재의 상측에 지지 설치된 상호 평행한 한쌍의 제1지지레일;
    상기 제1지지레일 외측의 상기 받침부재의 상측에 지지 설치되어 상호 평행함과 동시에 상기 제1지지레일과 평행을 이루는 한쌍의 제2지지레일;
    상기 제1지지레일을 따라 슬라이딩가능하게 상기 제1지지레일에 설치되며 상기 핸드의 일단부측이 결합되는 제1슬라이딩부재;
    상기 제2지지레일을 따라 슬라이딩가능하게 상기 제2지지레일에 설치되고, 상기 핸드의 일단부측이 결합되며 상측 부위는 상기 제1슬라이딩부재의 상측에 위치된 제2슬라이딩부재;
    상기 제1지지레일의 상면 및 상기 제1슬라이딩부재의 하면에 각각 설치되어 상호 결합되며, 상기 제1슬라이딩부재의 운동을 안내하는 제1가이드레일 및 제1가이드부재;
    상기 제2지지레일의 하면 및 상기 제2슬라이딩부재의 하측 부위에 각각 설치되어 상호 결합되며, 상기 제2슬라이딩부재의 운동을 안내하는 제2가이드레일 및 제2가이드부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제2가이드레일은 상기 제2지지레일의 하면에 결합되어 상기 제2지지레일의 하측을 향하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2슬라이딩부재는, 상호 간격을 가지며 상면에 상기 제2가이드부재의 일면이 결합되는 한쌍의 제1수평판; 한쌍의 상기 제1수평판의 외면에서 수직으로 각각 연장 형성되어 상기 제2지지레일의 외측에 위치되는 한쌍의 제1수직판; 한쌍의 상기 제1수직판의 상면에서 외측으로 연장 형성된 한쌍의 제2수평판; 한쌍의 상기 제2수평판의 외면에서 상측으로 연장 형성된 한쌍의 제2수직판; 한쌍의 상기 제2수직판을 상호 연결하며 상기 핸드의 일단부측이 결합되는 연결판을 포함하면서 상기 제2가이드부재의 하면 및 외측 부위를 감싸는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제1슬라이딩부재는, 하면에 상기 제1가이드부재의 일면이 결합되는 한쌍의 수직판; 한쌍의 상기 수직판을 상호 연결하며 상기 핸드의 일단부측이 결합되는 수평판을 포함하며,
    상기 수평판은 한쌍의 상기 제2수평판과 한쌍의 상기 제2수직판과 상기 연결판에 의하여 형성되는 공간의 내부에 위치된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 수평판의 상면에는 냉각판이 설치된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 수평판과 상기 냉각판 사이 또는 상기 냉각판의 상면 중, 적어도 어느 하나에는 반사판이 설치된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 받침부재의 상면에는 승강 및 회전가능하게 승강/회전부재가 설치되고,
    상기 승강/회전부재에는 한쌍의 상기 제1지지레일 및 한쌍의 상기 제2지지레일이 설치되며,
    상기 이송유닛은 상기 승강/회전부재와 함께 운동함과 동시에 상기 승강/회전부재에 대하여 직선운동가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 승강/회전부재의 일측 및 타측에는 제1아암(Arm)의 일단부측이 각각 회전가능하게 지지되고,
    상기 제1슬라이딩부재 및 상기 제2슬라이딩부재의 일측에는 제2아암의 일단부측이 각각 회전가능하게 지지되며,
    상기 제2아암의 타단부측은 상기 제1아암의 타단부측에 회전가능하게 지지되고,
    상기 제1아암에는 상기 제2아암의 타단부측을 상기 제1아암의 타단부측을 기준으로 회전시켜 상기 제1아암과 상기 제2아암이 상호 접히거나 펼쳐지는 상태로 운동하도록 구동하되, 상기 제1아암과 상기 제2아암이 운동하는 중 상기 제1아암의 양단부측을 연결한 가상의 직선과 상기 제2아암의 양단부측을 연결한 가상의 직선이 상호 겹쳐져 평행으로 배열되었을 때 상기 제2아암의 타단부측을 상기 제1아암의 타단부측을 기준으로 회전시켜 상기 제2아암이 상기 제1아암으로부터 펼쳐지도록 하여 사점(Singularity)을 제거하는 아암구동부가 설치된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1아암의 타단부측에 회전가능하게 지지되는 상기 제2아암의 타단부측은 벤딩된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
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