JP4291709B2 - 直線移動機構およびこれを用いた搬送ロボット - Google Patents

直線移動機構およびこれを用いた搬送ロボット Download PDF

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Description

本願発明は、搬送ロボットに関し、より詳しくは、基板等の薄板状のワークを直線状に搬送することができる搬送ロボットに関する。
搬送ロボットのうち、直線状の移動行程に沿ってハンドを移動させる機構（直線移動機構）をもつものは、いわゆる多関節型ロボットに比較して構成が簡単で安価であり、たとえば、半導体装置の製造工程、あるいは、液晶表示パネルの製造工程において、各処理室へのウエハ、あるいはガラス基板等の薄板状ワークの搬入あるいは搬出用のロボットとして多用されている。
このような搬送ロボットにおける直線移動機構は、たとえば、特許文献１に示されるように、また、本願の図３６に示すように、ベースに対して平行四辺形リンクを２つ組み合わせたものが一般的である。すなわち、図３６に示した構成についていえば、ベースに固定されたベースプレート９１に対し、軸Ｏ１を中心として第１主リンクアーム９２が揺動可能に支持されるとともに、軸Ｏ２を中心として第１副リンクアーム９３が揺動可能に支持されている。第１主リンクアーム９２と第１副リンクアーム９３の先端には、中間プレート９６が軸Ｏ３および軸Ｏ４を中心として揺動可能に連結されて第１の平行四辺形リンクが形成される一方、中間プレート９６には、第２主リンクアーム９４が軸Ｏ３を中心として揺動可能に連結されるとともに軸Ｏ５を中心として第２副リンクアーム９５が揺動可能に支持されている。第２主リンクアーム９４と第２副リンクアーム９５の先端には、移動プレート９７が軸Ｏ６および軸Ｏ７を中心として揺動可能に連結された第２の平行四辺形リンクが形成される。移動プレート９７には、薄板状ワークＷを載置保持することができるハンド９８が取付けられている。
このような構成によれば、２つの平行四辺形リンクが変形しても、移動プレート９７ないしハンド９８の方向は一定に維持される。また、第１主リンクアーム９２および第２主リンクアーム９４の長さは同じに設定されているとともに、第１主リンクアーム９２には、これが軸Ｏ１を中心として回動するとき、この回動方向とは逆方向に倍の角速度で第２主リンクアーム９４を軸Ｏ３を中心として回動させるための機構が内蔵されている。これにより、第１主リンクアーム９２を回動駆動すると、移動プレート９７ないしハンド９８は、その方向性を一定に維持しながら、直線状の移動行程を移動する。
特開平１０−６２５８号公報
ところで、最近においては、たとえば、半導体製造において取り扱うウエハの外径がますます大きくなり、また、液晶表示パネルの製造においても、パネルサイズが大きくなる傾向がある。それにともない、搬送ロボットにおけるハンドおよびこれに載置して搬送するべきワークの寸法が大きくなり、また、移動行程も長大化が求められている。そうすると、図３６に示した２つの平行四辺形リンクを組み合わせた直線移動機構においては、とりわけリンクアームが伸長した状態において、ワークやこれを支持するハンドの重みがリンクアーム全体を上下方向に撓ませてしまうという傾向が生まれ、正確な直線移動行程を確保しづらくなるという問題が生じる。
基本的な構成を変更することなくこの問題を解決するためには、各部の剛性をアップさせたり、軸受としてより精度のよい高価なものを採用せざるをえず、このことは、大幅なコストアップにつながる。また、リンク機構により所望の直線移動行程を実現する場合、基本的に、その移動行程が長大化するほど、コスト上昇を招くことなくその移動行程の正確な直線性を確保することが困難となる。たとえば図３６に示される直線移動機構の場合、加熱されたワークＷがハンド９８に載置されると、このワークＷからの輻射熱によって第２主リンクアーム９４が第１主リンクアーム９２よりも熱膨張しやすい。そうなると、第２主リンクアーム９４と第１主リンクアーム９２との長さに微妙な差が生じるため、直線状の移動行程に沿ってスムーズに移動できなくなる。また、移動行程の長さは、第１主リンクアーム９２の長さと第２主リンクアーム９４の長さによって変わるが、これらアームの長さを等しくする設計仕様では、一方のアームだけを長くするわけにいかず、移動行程を長くするには必ず両方のアームを長くしなければならない。
また、このような搬送ロボットは、半導体装置、あるいは液晶表示パネルの製造工程において、プロセスチャンバへワークを搬入し、あるいは搬出するために用いられる。たとえば、各プロセスチャンバへのワークの搬入、搬出は、大気搬送モジュールと各プロセスチャンバとの間に真空搬送モジュールを配置し、この真空搬送モジュールを介した搬送によって行われる。真空搬送モジュールは、周部に複数のプロセスチャンバが配置されたトランスポートチャンバと、大気搬送モジュールと上記トランスポートチャンバをつなぐロードロックとを備え、トランスポートチャンバ内に真空雰囲気下で作動可能なこの種の直進搬送ロボットが配置されて構成される。直進搬送ロボットは、ロードロック内のワークを受け取ってトランスポートチャンバ内に搬送し、そして、いずれかのプロセスチャンバ内にワークを搬入し、処理済みのワークをプロセスチャンバから受け取り、ロードロック内へ搬送するといった作動をする。
図３６に示した搬送ロボットは、ハンドを１つだけ有しているものであるため、上記したような真空搬送モジュール内でのワークの搬送を効率良く行うには、難点があった。
本願発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、簡単な構成により、より正確な直線移動行程を実現できる直線移動機構およびこれを用いた搬送ロボット、さらにはハンドを２つ備えることによってワークの搬送効率を高めた搬送ロボットを提供することをその課題としている。
上記の課題を解決するため、本願発明では、次の技術的手段を採用した。
すなわち、本願発明の第１の側面によって提供される直線移動機構は、ガイド部材と、このガイド部材にスライド可能に支持され、このガイド部材上に設定された水平直線状の移動行程に沿って移動可能な移動部材と、この移動部材を駆動する駆動機構とを備えた直線移動機構であって、上記駆動機構は、上記ガイド部材における上記移動行程上またはその平行線上の第１垂直軸を中心として回動駆動される第１リンクアームと、上記移動行程上またはその平行線上の上記第１垂直軸と異なる第２垂直軸を中心として回動可能な副リンクアームと、上記第１リンクアームおよび副リンクアームが第３垂直軸および第４垂直軸を中心として相対回動可能に連結される中間リンクとを備えた平行四辺形リンク機構を含むとともに、上記中間リンクに対して上記第３垂直軸と第４垂直軸を通る直線上の第５垂直軸を中心として相対回動可能に一端が連結されるとともに、他端が上記移動部材に対して上記移動行程と交差する方向に移動可能とされた第６垂直軸を中心として回動可能に連結された第２リンクアームを含んでおり、上記第５垂直軸と上記第６垂直軸との軸間距離は、上記第１垂直軸と上記第３垂直軸との軸間距離と等しく設定されており、かつ、上記第１リンクアームと上記第２リンクアームとは、上記第１リンクアームが回動駆動されるとき、上記第２リンクアームと上記移動部材との連結部の軌跡が、上記水平直線状の移動行程と一致もしくは平行するように連携されていることを特徴としている。
好ましい実施の形態においては、ガイド部材と、このガイド部材にスライド可能に支持され、このガイド部材上に設定された水平直線状の移動行程に沿って移動可能な移動部材と、この移動部材を駆動する駆動機構とを備えた直線移動機構であって、上記駆動機構は、上記ガイド部材における上記移動行程上またはその平行線上の第１垂直軸を中心として回動駆動される第１リンクアームと、上記移動行程上またはその平行線上の上記第１垂直軸と異なる第２垂直軸を中心として回動可能な副リンクアームと、上記第１リンクアームおよび副リンクアームが第３垂直軸および第４垂直軸を中心として相対回動可能に連結される中間リンクとを備えた平行四辺形リンク機構を含むとともに、上記中間リンクに対して上記第３垂直軸と第４垂直軸を通る直線上の第５垂直軸を中心として相対回動可能に一端が連結されるとともに、他端が上記移動部材に対して第６垂直軸を中心として回動可能に連結された第２リンクアームを含んでおり、上記第５垂直軸と上記第６垂直軸との軸間距離は、上記第１垂直軸と上記第３垂直軸との軸間距離と等しく設定されており、上記移動部材には、さらに別の補助移動部材が上記移動行程に沿って移動可能に支持されており、上記第２リンクアームは、上記補助移動部材に対し、上記第５垂直軸から第６垂直軸を通ってさらに延びる延長線上の第７垂直軸を中心として相対回動可能で、なおかつ上記第７垂直軸が上記移動行程と交差する方向に変位可能に連結されており、かつ、上記第１リンクアームと上記第２リンクアームとは、上記第１リンクアームが回動駆動されるとき、上記補助移動部材に対して上記第２リンクアームの回動軸となる上記第７垂直軸の軌跡が、上記移動行程に沿って弧線を描くように連携されている。
好ましい実施の形態においてはまた、ガイド部材と、このガイド部材にスライド可能に支持され、このガイド部材上に設定された水平直線状の移動行程に沿って移動可能な移動部材と、この移動部材を駆動する駆動機構とを備えた直線移動機構であって、上記駆動機構は、上記ガイド部材における上記移動行程上またはその平行線上の第１垂直軸を中心として回動駆動される第１リンクアームと、上記移動行程上またはその平行線上の上記第１垂直軸と異なる第２垂直軸を中心として回動可能な副リンクアームと、上記第１リンクアームおよび副リンクアームが第３垂直軸および第４垂直軸を中心として相対回動可能に連結される中間リンクとを備えた平行四辺形リンク機構を含むとともに、上記中間リンクに対して上記第３垂直軸と第４垂直軸を通る直線上の第５垂直軸を中心として相対回動可能に一端が連結されるとともに、他端が上記移動部材に対して第６垂直軸を中心として回動可能に連結された第２リンクアームを含んでおり、上記第５垂直軸と上記第６垂直軸との軸間距離は、上記第１垂直軸と上記第３垂直軸との軸間距離と等しく設定されており、上記移動部材には、さらに別の補助移動部材が上記移動行程に沿って移動可能に支持されているとともに、上記平行四辺形リンク機構には、上記中間リンクより外側において、上記第１リンクアームおよび副リンクアームに第８垂直軸および第９垂直軸を中心として相対回動可能に連結された補助中間リンクが含まれており、この補助中間リンクには、上記第８垂直軸と第９垂直軸を通る直線上の第１０垂直軸を中心として相対回動可能な第３リンクアームが連結されており、この第３リンクアームは、上記補助移動部材に対し、第１１垂直軸を中心として相対回動可能に連結されており、かつ、上記第１０垂直軸と上記第１１垂直軸との軸間距離は、上記第１垂直軸と上記第８垂直軸との軸間距離と等しく設定されており、かつ、上記第１リンクアームと上記第２リンクアームとは、上記第１リンクアームが回動駆動されるとき、上記第２リンクアームと上記移動部材との連結部の軌跡が、上記水平直線状の移動行程と一致もしくは平行するように連携されているとともに、上記第１リンクアームと上記第３リンクアームとは、上記第１リンクアームが回動するとき、上記補助移動部材に対する上記第３リンクアームの回動軸となる上記第１１垂直軸の軌跡が、上記水平直線状の移動行程と一致もしくは平行するように連携されている。
上記構成の直線移動機構においては、移動部材は、その移動行程がガイド部材によって規定されており、また、補助移動部材も、その移動行程が移動部材によって規定されるので、その移動の直進性は高度に保たれる。すなわち、移動部材や補助移動部材の移動過程において、横方向または上下方向に位置がぶれるといったことは皆無となる。したがって、移動部材あるいは補助移動部材に設けられたハンドに載置されるワークの大きさあるいは重量に関係なく、このワークを正確な直進性をもって搬送することができる。
一方、上記移動部材を駆動するための駆動機構は、第１リンクアームと第２リンクアームとを含んだリンク機構によって構成されているが、このリンク機構は、単なるリンク機構ではなく、第１リンクアームの回動駆動に従動して、第２リンクアームと移動部材との連結点（第６垂直軸）の移動軌跡が上記ガイド部材によって設定された直線状の移動行程と一致または平行するように規制されている。これは、第２リンクアームの回動半径（第５垂直軸と第６垂直軸との軸間距離）と第１リンクアームの回動半径（第１垂直軸と第３垂直軸との軸間距離）とが等しいことによる。すなわち、この駆動機構は、それ自体、移動部材を移動行程にそって移動させることができるように構成されている。したがって、第１リンクアームと第２リンクアームとが重なる、いわゆる思案点付近において移動部材の移動が不安定になるといった問題は生じえない。
このような移動の安定性は、第２リンクアームと移動部材との連結点（第６垂直軸）が移動行程と交差する方向に変位可能な構成でも同様に得られる。特にこのような構成によれば、第２リンクアームの長さ（第５垂直軸と第６垂直軸との軸間距離）と第１リンクアームの長さ（第１垂直軸と第３垂直軸との軸間距離）とが熱膨張などによって多少異なる状態となっても、移動部材が思案点付近でもスムーズに移動する。また、第２リンクアームに第７垂直軸を介して連結された補助移動部材や、あるいは第３リンクアームを介して連結された補助移動部材がある場合でも、上記移動部材と同様に移動の安定性がもたらされる。特にこのような構成によれば、移動部材と補助移動部材とが連動して同方向に移動するため、ワークの移動距離をより長くすることができる。
上記駆動機構は、それ自体移動部材さらには補助移動部材を直線状の移動行程にそって移動させることができるものではあるが、移動部材の最終的な移動直線性は上記したようにガイド部材によって達成され、補助移動部材の移動直線性も移動部材を介して間接的にガイド部材によって達成される。また、移動部材や補助移動部材、これに載置されるワークの重量もまた、実質的にガイド部材によって支持される。したがって、この駆動機構は、求められる部材強度あるいは各部の精度が低くてよく、低コストで製作することができる。
他の好ましい実施の形態においては、ガイド部材と、このガイド部材にスライド可能に支持され、このガイド部材上に設定された水平直線状の移動行程に沿って移動可能な移動部材と、この移動部材を駆動する駆動機構とを備えた直線移動機構であって、上記駆動機構は、上記ガイド部材における上記移動行程上またはその平行線上の第１垂直軸を中心として回動駆動される第１リンクアームと、上記移動行程上またはその平行線上の上記第１垂直軸と異なる第２垂直軸を中心として回動可能な副リンクアームと、上記第１リンクアームおよび副リンクアームが第３垂直軸および第４垂直軸を中心として相対回動可能に連結される中間リンクとを備えた平行四辺形リンク機構を含むとともに、上記中間リンクに対して上記第３垂直軸と第４垂直軸を通る直線上の第５垂直軸を中心として相対回動可能に一端が連結されるとともに、他端が上記移動部材に対して上記移動行程と交差する方向に移動可能とされた第６垂直軸を中心として回動可能に連結された第２リンクアームを含んでおり、上記第５垂直軸と上記第６垂直軸との軸間距離は、上記第１垂直軸と上記第３垂直軸との軸間距離より大きく設定されており、かつ、上記第１リンクアームと上記第２リンクアームとは、上記第１リンクアームが回動駆動されるとき、上記第２リンクアームと上記移動部材との連結部の軌跡が、上記水平直線状の移動行程に沿って弧線を描くように連携されている。
このような直線移動機構によっても、上記と同様の効果を得ることができる。すなわち、第２リンクアームの回動半径（第５垂直軸と第６垂直軸との軸間距離）が第１リンクアームの回動半径（第１垂直軸と第３垂直軸との軸間距離）より大きい構成においては、第２リンクアームと移動部材との連結点（第６垂直軸）が移動行程と交差する方向に変位可能となっている。これにより、上記連結点の移動軌跡が上記移動行程に沿って弧線を描くため、駆動機構は、移動部材を移動行程にそって移動させることができる。したがって、第１リンクアームと第２リンクアームとが重なる、いわゆる思案点付近において移動部材の移動が不安定になるといった問題は生じえない。特にこのような構成によれば、第２リンクアームの長さが第１リンクアームの長さに制約されずに長く設定できるため、移動行程に沿ってワークを移動させる距離をより長くすることができる。
好ましい実施の形態においてはまた、上記第１リンクアームには、上記第３垂直軸上に中心をもつ第１ギアが固定されているとともに、上記第２リンクアームには、上記第５垂直軸上に中心をもつとともに上記第１ギアと噛み合い、かつこれと同径の第２ギアが固定されている。
他の好ましい実施の形態においては、上記第１リンクアームには、上記第３垂直軸上に中心をもつ第１ギアと上記第８垂直軸上に中心をもつ第３ギアとが固定されているとともに、上記第２リンクアームには、上記第５垂直軸上に中心をもつとともに上記第１ギアと噛み合い、かつこれと同径の第２ギアが固定されており、上記第３リンクアームには、上記第１０垂直軸上に中心をもつとともに上記第３ギアと噛み合い、かつこれと同径の第４ギアが固定されている。
このような構成によれば、ギア列によって第１リンクアームと第２リンクアーム、さらには第１リンクアームと第３リンクアームとを連動させることができる。
好ましい実施の形態においてはまた、上記第１リンクアームには、上記第３垂直軸上に中心をもつ第１間欠ギアが固定されているとともに、上記第２リンクアームには、上記第５垂直軸上に中心をもつとともに上記第１間欠ギアと一時的に噛み合う第２間欠ギアが固定されている。
他の好ましい実施の形態においては、上記第１リンクアームには、上記第３垂直軸上に中心をもつ第１間欠ギアと上記第８垂直軸上に中心をもつ第３間欠ギアとが固定されているとともに、上記第２リンクアームには、上記第５垂直軸上に中心をもつとともに上記第１間欠ギアと一時的に噛み合う第２間欠ギアが固定されており、上記第３リンクアームには、上記第１０垂直軸上に中心をもつとともに上記第３間欠ギアと一時的に噛み合う第４間欠ギアが固定されている。
このような構成によれば、第１間欠ギアと第２間欠ギア、さらには第３間欠ギアと第４間欠ギアとを思案点付近において噛み合うように設定することにより、第１リンクアームと第２リンクアーム、さらには第１リンクアームと第３リンクアームとを思案点付近でも連動させることができる。
本願発明の第２の側面によって提供される搬送ロボットは、上記第１の側面に係る直線移動機構が固定ベースに対し、上記移動行程上における鉛直状の旋回軸を中心として上記ガイド部材が旋回しうるように支持されているとともに、上記移動部材または補助移動部材には、板状ワークを載置しうるハンドが設けられていることを特徴としている。
好ましい実施の形態においては、上記直線移動機構はまた、上記固定ベースに対し、上記旋回軸に沿って昇降しうるように支持されている。
この搬送ロボットについても、直線移動機構について上記した利点を享受することができることは明らかであり、ワークの大きさや重量に関わらず、正確な直進性をもってこのワークを搬送することができ、しかも、コスト低減が可能である。
好ましい実施の形態においてはまた、上記直線移動機構は、上記固定ベースに対して上記旋回軸を中心として旋回可能な旋回ベースに設けられており、上記移動部材は、上記移動行程に沿って相互に干渉することなく移動可能に上記ガイド部材に支持された第１移動部材および第２移動部材を含んでいるとともに、上記駆動機構は、上記第１移動部材および第２移動部材をそれぞれ駆動するように上記旋回ベースに設けられた第１駆動機構および第２駆動機構を含んでいる。
このような搬送ロボットによれば、直線移動機構について上記した利点を享受することができるのはもちろん、第１移動部材および第２移動部材によってそれぞれワークを搬送させることができ、ワークの搬送効率を高めることができる。
好ましい実施の形態においてはまた、上記第１駆動機構および上記第２駆動機構は、上記移動行程に対して対称に配置されている。
好ましい実施の形態においては、上記ガイド部材には、上記第１移動部材を移動可能に支持し、上記移動行程を挟んで位置する一対の第１ガイドレールと、上記第２移動部材を移動可能に支持し、上記一対の第１ガイドレールの外側において上記移動行程を挟んで位置する一対の第２ガイドレールとを備えている。
これらの構成においては、第１移動部材と第２移動部材とは、いずれも一対のガイドレールによって安定的に支持され、しかも、平面視において、同一の移動行程を移動することができるようになる。第２の側面に係る搬送ロボットは、水平直線状の移動行程をもつ２つの移動部材およびこれらに支持されたハンドを備えた、ワークの効率的な搬送が可能なものであるが、上記のように２つの移動部材の移動行程が平面視において同一とすることにより、いずれの移動部材およびハンドによっても、平面的に同一の搬送先へのハンドの位置付け、平面的に同一の搬送元へのハンドの位置づけを正確に行うことができる。
好ましい実施の形態においてはまた、上記第１移動部材および上記第２移動部材は、それぞれ、ハンドの基部を支持するハンド支持部を備えている一方、上記第２移動部材のハンド支持部は、上記第１移動部材のハンド支持部より上位に位置しているとともに、上記第２移動部材は、そのハンド支持部の両側部から上記第１移動部材のハンド支持部の両側部を迂回して延びる一対の支持アームを介して上記一対の第２ガイドレールに支持されている。
このような構成によれば、第１移動部材と第２移動部材とを、互いに干渉することなく、平面視において同一の直線状移動行程を移動するように都合よく直線移動機構に支持させることができる。また、第２移動部材のハンド支持部は、一対の支持アームによって両持ち状に一対の第２ガイドレールに支持されるので、この第２移動部材によるワークの支持安定性がより高まる。なお、第１移動部材は、そのハンド支持部が第２移動部材のハンド支持部より下位に位置しているので、第２移動部材のような迂回状のアームを用いなくとも、安定的に一対の第１ガイドレールに支持される。
好ましい実施の形態においてはさらに、上記第１移動部材は、上記一対の第２ガイドレールの内側において、上記ガイド部材を貫通して延びる連結アームを備え、この連結アームを介して上記第１駆動機構の第２リンクアームに連結されている一方、上記第２移動部材は、上記一対の支持アームの適部において上記第２駆動機構の第２リンクアームに連結されている。
このように構成することにより、上記のように第２移動部材を迂回状の一対の支持アームを介して第２ガイドレールに支持させたとしても、第１移動部材と第２移動部材とを、互いに干渉することなく、移動行程に沿って、上記第１駆動機構と第２駆動機構とによって不都合なく駆動することができる。
好ましい実施の形態においてはまた、上記補助移動部材は、上記第２移動部材に支持されており、上記第１移動部材および上記補助移動部材は、それぞれ、ハンドの基部を支持するハンド支持部を備えている一方、上記補助移動部材のハンド支持部は、上記第１移動部材のハンド支持部より上位に位置しているとともに、上記補助移動部材を支持する上記第２移動部材は、その両側部から上記第１移動部材のハンド支持部の両側部を迂回して延びる一対の支持アームを介して上記一対の第２ガイドレールに支持されている。
このような構成によれば、第１移動部材と補助移動部材とを、互いに干渉することなく、平面視において同一の直線状移動行程を移動するように都合よく直線移動機構に支持させることができる。また、補助移動部材のハンド支持部は、直接的には第２移動部材に支持されるものの、間接的には一対の支持アームによって第２ガイドレールに支持されるので、この補助移動部材によるワークの支持安定性がより高まる。なお、第１移動部材は、そのハンド支持部が補助移動部材のハンド支持部より下位に位置しているので、迂回状のアームを用いなくとも、安定的に一対の第１ガイドレールに支持される。
好ましい実施の形態においてはさらに、上記第１移動部材は、上記一対の第２ガイドレールの内側において、上記ガイド部材を貫通して延びる連結アームを備え、この連結アームを介して上記第１駆動機構の第２リンクアームに連結されている一方、上記第２移動部材は、上記一対の支持アームの適部において上記第２駆動機構の第２リンクアームに連結されており、かつ、上記補助移動部材は、上記移動行程と交差する方向に長手状の案内溝を介して上記第２駆動機構の第２リンクアームに連結されている。
このように構成することにより、上記のように第２移動部材を迂回状の一対の支持アームを介して第２ガイドレールに支持させたとしても、この第２移動部材に支持された補助移動部材を支障なく移動行程に沿って移動させることができ、しかも、第２移動部材と補助移動部材とが連動して同方向に移動するため、ワークの移動距離をより長くすることができる。
本願発明のその他の特徴および利点は、図面を参照して以下に行う詳細な説明から、より明らかとなろう。
以下、本願発明に係る直線移動機構およびこれを用いた搬送ロボットの好ましい実施形態につき、図面を参照しつつ具体的に説明する。
図１ないし図９は、本願発明の第１の実施形態に係る搬送ロボットを示している。図１、図２および図３に表れているように、第１の実施形態に係る搬送ロボットＡは、概して、固定ベース５に対して第１垂直軸Ｏ１を中心に旋回可能かつ昇降可能に支持された直線移動機構Ｂを備えている。この直線移動機構Ｂは、概して、テーブル状をしたガイド部材１と、このガイド部材１上に設定された水平直線状の移動行程に沿って移動可能な移動部材２と、この移動部材２を所定方向に移動させるための駆動機構３とを備えている。移動部材２には、たとえば、液晶パネル用のガラス基板等、薄板状のワークＷを載置保持しうるハンド４が取付けられている。
図４、図５に表れているように、固定ベース５には、上記第１垂直軸Ｏ１を軸心にもつ円筒状の昇降軸５１が回転不能かつ昇降可能に支持されているとともに、この昇降軸５１の中心貫通孔には、同じく上記第１垂直軸Ｏ１を軸心にもつ円筒状の旋回部材５２がベアリング５２ａを介して軸転可能に支持されており、さらに、この旋回部材５２の中心貫通孔には、同じく上記第１垂直軸Ｏ１を軸心にもつ駆動軸５３がベアリング５３ａを介して軸転可能に支持されている。昇降軸５１は、図示しないアクチュエータによって昇降させられる。旋回部材５２は、モータ等の図示しない回転アクチュエータによって固定ベース５に対して相対的に回転させられる。駆動軸５３は、モータ等の図示しない回転アクチュエータによって上記旋回部材５２に対して相対的に回転させられる。
上記ガイド部材１は、図２に表れているように、平面視長矩形状をしているとともに、図４に表れているように、底壁１１と、この底壁１１の両側縁部に形成された左右の起立壁１２とを備えており、各起立壁１２の上面には、それぞれガイドレール１３が取付けられている。これらのガイドレール１３には、移動部材２の下面に取付けたスライダ１４が案内支持され、これにより、移動部材２は、ガイド部材１上に設定された水平直線状の移動行程ＧＬに沿って移動することができる。本実施形態においてこの移動行程ＧＬは、ガイド部材１の中心線に沿って設定されている。なお、移動行程ＧＬと上記第１垂直軸Ｏ１との関係は、移動行程ＧＬ上に第１垂直軸Ｏ１が位置する関係とされている。
上記ガイド部材１の長手方向中央における底壁１１には、貫通孔１１ａが形成されており、この貫通孔１１ａには段上げされた取付けフランジ１６を有するブラケット１５が嵌合固定されている。このガイド部材１は、上記ブラケット１５の取付けフランジ１６を介して、上記旋回部材５２の上端に固定されている。これにより、旋回部材５２を駆動すると、ガイド部材１およびこれに搭載された部材は、上記第１垂直軸Ｏ１を中心として旋回させられることになる。
上記移動部材２を移動させるための駆動機構３は、この実施形態では、次のようにして構成されている。
この駆動機構３は、上記駆動軸５３の上端に一端が固定され、したがって、上記駆動軸５３の駆動によって上記第１垂直軸Ｏ１を中心として回動駆動される第１リンクアーム３１と、ガイド部材１における上記移動行程ＧＬ上であって上記第１垂直軸Ｏ１とは異なる第２垂直軸Ｏ２を中心として回動可能な副リンクアーム３２と、これら第１リンクアーム３１および副リンクアーム３２が第３垂直軸Ｏ３および第４垂直軸Ｏ４を中心として相対回動可能に連結される中間リンク３３とを備えた平行四辺形リンク機構３Ａを備えている。第１垂直軸Ｏ１と第３垂直軸Ｏ３の軸間距離は、第２垂直軸Ｏ２と第４垂直軸Ｏ４の軸間距離と等しく、第１垂直軸Ｏ１と第２垂直軸Ｏ２の軸間距離は、第３垂直軸Ｏ３と第４垂直軸Ｏ４の軸間距離と等しい。
図２に表れているように、上記平行四辺形リンク機構３Ａは、中間リンク３３がガイド部材１の一側方に位置するように構成されており、第１リンクアーム３１および副リンクアーム３２は、図４、図６に表れているように、ガイド部材１の一方の起立壁１２に形成したスリット１２ａを通ってガイド部材１の側方に延出させられている。副リンクアーム３２は、具体的には、図６に表れているように、ガイド部材１の底壁１１に取付けた固定軸１１ｂに対し、ベアリング３２ａを介して回動可能に支持されている。
第１リンクアーム３１を回動駆動すると、平行四辺形リンク機構３Ａは変形するが、中間リンク３３の方向、すなわち、上記第３垂直軸Ｏ３と第４垂直軸Ｏ４を結ぶ直線の方向は、常に上記移動行程ＧＬと平行になる。
次にこの駆動機構３は、上記平行四辺形リンク機構３Ａの中間リンク３３における、上記第３垂直軸Ｏ３と第４垂直軸Ｏ４を通る直線上に位置する第５垂直軸Ｏ５を中心として相対回動可能な第２リンクアーム３４を備えているとともに、第１リンクアーム３１に固定され、かつ上記第３垂直軸Ｏ３上に中心をもつ第１ギア３１ａと、第２リンクアーム３４に固定され、かつ上記第５垂直軸Ｏ５上に中心をもつ第２ギア３４ａとを備えている。これら第１ギア３１ａと第２ギア３４ａとは互いに噛み合わされており、かつ、同径のギアである。
より具体的には、図７に良く表れているように、中間リンク３３は、第１リンクアーム３１および副リンクアーム３２を上下から挟むように配置された２枚のリンクプレート３３ａ，３３ｂからなっており、第１リンクアーム３１および副リンクアーム３２にそれぞれ固定状に設けた軸体３１ｂ，３２ｂの上下部に各リンクプレート３３ａ，３３ｂに設けた孔をベアリング３１ｃ，３１ｄ，３２ｃ，３２ｄを介して嵌合させ、これにより、第１リンクアーム３１と副リンクアーム３２の中間リンク３３に対する連結を図っている。なお、もちろん、各軸体３１ｂ，３２ｂの軸心は、上記第３垂直軸Ｏ３および第４垂直軸Ｏ４と対応させられている。また、中間リンク３３の各リンクプレート３３ａ，３３ｂを貫通するようにして、ベアリング３４ｃ，３４ｄを介して上記第５垂直軸Ｏ５と対応する軸心をもつ軸体３４ｂが回転可能に支持され、この軸体３４ｂの上端に、上記第２リンクアーム３４の一端が連結固定されている。上記第３垂直軸Ｏ３と対応する軸体３１ｂおよび上記第５垂直軸Ｏ５と対応する軸体３４ｂの下端部は、中間リンク３３の下側のリンクプレート３３ｂよりさらに下方に突出させられており、これらの突出部に、それぞれ上記の第１ギア３１ａおよび第２ギア３４ａが取付けられている。
上記第２リンクアーム３４の他端部は、上記移動部材２に対し、第６垂直軸Ｏ６を中心として相対回動可能に連結されている。この第６垂直軸Ｏ６は、上記移動行程ＧＬ上に位置し、かつ、第２リンクアーム３４の長さ、すなわち、第５垂直軸Ｏ５と第６垂直軸Ｏ６の軸間距離は、第１リンクアーム３１の長さ、すなわち、第１垂直軸Ｏ１と第３垂直軸Ｏ３の軸間距離と等しくなっている。
次に、上記構成を備える搬送ロボットＡの動作について、説明する。
前述したように、第１リンクアーム３１を第１垂直軸Ｏ１を中心として回動させると、上記平行四辺形リンク機構３Ａが変形するが、中間リンク３３の方向、すなわち、第３垂直軸Ｏ３と第４垂直軸Ｏ４を結ぶ直線は、常に上記移動行程ＧＬと平行な関係を維持する。一方、図８に表れているように、第１リンクアーム３１に固定された第１ギア３１ａと第２リンクアーム３４に固定された第２ギア３４ａは、同じ径であって互いに噛み合っているので、第１リンクアーム３１と中間リンク３３とがなす角αと、第２リンクアーム３４と中間リンク３３とがなす角βとは、常に等しくなる。前述したように、第１リンクアーム３１と第２リンクアーム３４とは長さが等しいから、第１垂直軸Ｏ１と第６垂直軸Ｏ６を結ぶ直線は、常に中間リンク３３、すなわち、第３垂直軸Ｏ３と第５垂直軸Ｏ５を結ぶ直線と平行となる。中間リンク３３は、上記移動行程ＧＬと常に平行であるから、結局、第１垂直軸Ｏ１と第６垂直軸Ｏ６を結ぶ直線は、上記移動行程ＧＬと一致する。このことは、上記駆動機構３それ自体が、移動部材２を上記移動行程ＧＬに沿って移動させることができることを意味する。
この実施形態では、第１垂直軸Ｏ１は、ガイド部材１の長手方向の中心に位置しているが、第１リンクアーム３１と第２リンクアーム３４とは、互いに上下方向に離間させられていて干渉することがないので、図９に表れているように、第１リンクアーム３１が第１垂直軸Ｏ１に対してガイド部材１の一端方向に回動している状態から、ガイド部材１の他端方向に回動している状態まで、不都合なく上記平行四辺形リンク機構３Ａの変形が行なわれ、ガイド部材１の全長にわたって移動部材２を移動させることができる。そして、上記したように、駆動機構３は、それ自体、移動部材２を上記移動行程ＧＬに沿って移動させることができるので、第１リンクアーム３１と第２リンクアーム３４とが重なる、いわゆる思案点付近においても、安定して移動部材２を移動させることができる。
この搬送ロボットＡにおいてはまた、移動部材２の最終的な移動直線性は上記したようにガイド部材１によって達成される。また、移動部材２およびこれに載置されるワークの重量もまた、実質的にガイド部材１によって支持される。したがって、上記駆動機構３に求められる部材強度あるいは各部の精度が低くてよく、その結果、この搬送ロボットＡは、低コストで製作することができる。
その結果、上記構成の搬送ロボットＡは、ワークの大きさや重量に関わらず、正確な直進性をもってこのワークを搬送することができ、しかも、コスト低減が可能である。
なお、この実施形態に係る搬送ロボットＡは、上記昇降軸５１を固定ベース５に対して昇降させることにより、直線移動機構Ｂの上下高さを適宜変更することができるし、また、上記旋回部材５２を旋回させることにより、ガイド部材１の中心軸が所望の方向を向くように適宜直線移動機構Ｂを旋回させることができる。
次に、図１０は、第２の実施形態に係る搬送ロボットを示している。なお、第２の実施形態を含む後述の実施形態については、上記第１の実施形態について既述した要素と同一または類似の要素を同一符号で示し、その説明を適宜省略する。
この第２の実施形態においては、移動部材２には、移動行程ＧＬと交差する方向に長手状の案内溝２０が設けられており、第２リンクアーム３４の他端部は、この案内溝２０に案内支持されている。つまり、第２リンクアーム３４は、移動部材２に対し、第６垂直軸Ｏ６を中心として相対回動可能で、なおかつ上記案内溝２０に沿って他端部（第６垂直軸Ｏ６）が変位可能に連結されている。基本的には、第２リンクアーム３４の長さ（第５垂直軸Ｏ５と第６垂直軸Ｏ６の軸間距離）は、第１リンクアーム３１の長さ（第１垂直軸Ｏ１と第３垂直軸Ｏ３の軸間距離）と等しく、第６垂直軸Ｏ６が上記移動行程ＧＬ上に位置している（図中の実線参照）。
なお、上記第１の実施形態と同様に、第１リンクアーム３１には、第３垂直軸Ｏ３上に中心をもつ第１ギア３１ａが固定されており、第２リンクアーム３４には、第５垂直軸Ｏ５上に中心をもつ第２ギア３４ａが固定されている（図１０参照）。これら第１ギア３１ａと第２ギア３４ａは、同じ径であって互いに噛み合っているので、第１リンクアーム３１が第１垂直軸Ｏ１を中心として回動すると、それに伴い第２リンクアーム３４が第５垂直軸Ｏ５を中心として所定の方向に回動する。
このような構成を備えた搬送ロボットにおいては、たとえば加熱されたワークＷがハンド４に載置されると、このワークＷからの輻射熱によって第２リンクアーム３４が第１リンクアーム３１よりも熱膨張の度合いが大きくなる。そのため、第２リンクアーム３４の長さ（第５垂直軸Ｏ５と第６垂直軸Ｏ６’の軸間距離）は、第１リンクアーム３１の長さ（第１垂直軸Ｏ１と第３垂直軸Ｏ３の軸間距離）より若干長くなることがある（図中の仮想線参照）。
このような状態において、第１リンクアーム３１を第１垂直軸Ｏ１を中心として回動させると、第１垂直軸Ｏ１と第６垂直軸Ｏ６’を結ぶ直線Ｌ１は、中間リンク３３、すなわち、第３垂直軸Ｏ３と第５垂直軸Ｏ５を結ぶ直線に対して幾分傾いた状態となる。このとき、第２リンクアーム３４と移動部材２との連結点となる第６垂直軸Ｏ６’は、上記案内溝２０に沿って変位するため、第２リンクアーム３４は、移動部材２に対して何ら支障なく上記第６垂直軸Ｏ６’を中心に相対回動する。このことは、移動部材２が上記移動行程ＧＬに沿ってスムーズに移動することを意味する。したがって、第２の実施形態の搬送ロボットによっても、第１リンクアーム３１と第２リンクアーム３４とが重なる、いわゆる思案点付近において移動部材２を安定して移動させることができ、特に、熱的な条件によって第１リンクアーム３１と第２リンクアーム３４との長さが異なってしまうような状況にも対応しうる。
次に、図１１および図１２は、第３の実施形態に係る搬送ロボットを示している。
この第３の実施形態においても、移動部材２には、上記移動行程ＧＬと交差する方向に長手状の案内溝２０が設けられており、この案内溝２０には、第２リンクアーム３４の他端部が案内支持されている。すなわち、第２リンクアーム３４は、移動部材２に対し、第６垂直軸Ｏ６を中心として相対回動可能で、なおかつ上記案内溝２０に沿って他端部（第６垂直軸Ｏ６）が変位可能に連結されている。一方、第１リンクアーム３１の回動中心となる第１垂直軸Ｏ１と副リンクアーム３２の回動中心となる第２垂直軸Ｏ２とは、上記移動行程ＧＬに平行な平行線ＰＬ上に位置している。ただし、ガイド部材１の旋回中心となる旋回軸Ｏｓは、上記移動行程ＧＬ上に位置している。そして、第２リンクアーム３４の長さ（第５垂直軸Ｏ５と第６垂直軸Ｏ６の軸間距離）は、第１リンクアーム３１の長さ（第１垂直軸Ｏ１と第３垂直軸Ｏ３の軸間距離）より大きく設定されている。また、上記第１の実施形態等と同様に、第１リンクアーム３１には、第３垂直軸Ｏ３上に中心をもつ第１ギア３１ａが固定されており、第２リンクアーム３４には、第５垂直軸Ｏ５上に中心をもつ第２ギア３４ａが固定されている（図１１参照）。これら第１ギア３１ａと第２ギア３４ａも、同じ径であって互いに噛み合っているので、第１リンクアーム３１が第１垂直軸Ｏ１を中心として回動すると、それに伴い第２リンクアーム３４が第５垂直軸Ｏ５を中心として所定の方向に回動する。
このような構成によれば、第１リンクアーム３１の長さ（第１垂直軸Ｏ１と第３垂直軸Ｏ３の軸間距離）よりも第２リンクアーム３４の長さ（第５垂直軸Ｏ５と第６垂直軸Ｏ６の軸間距離）が大きいため、第１リンクアーム３１を第１垂直軸Ｏ１を中心として回動させると、第２リンクアーム３４と移動部材２との連結点となる第６垂直軸Ｏ６は、図中に破線で示すような弧線ＡＬに沿った移動軌跡を描く。このとき、上記第６垂直軸Ｏ６は、上記案内溝２０に沿って変位するため、第２リンクアーム３４は、移動部材２に対して何ら支障なく上記第６垂直軸Ｏ６を中心に相対回動する。これにより、移動部材２は、上記移動行程ＧＬに沿ってスムーズに移動する。したがって、第３の実施形態の搬送ロボットによっても、思案点付近において移動部材２を安定して移動させることができる。また、第２リンクアーム３４の長さは、第１リンクアーム３１の長さに制約されず、それよりも大きいため、上記移動行程ＧＬに沿って移動部材２を移動させる距離をより長くすることができ、すなわちワークの搬送距離をより大きくとることができる。さらには、熱的な条件によって第２リンクアーム３４の長さが多少変化することがあっても、この第２リンクアーム３４と移動部材２との連結点となる第６垂直軸Ｏ６が上記案内溝２０に沿って変位可能であるため、第２リンクアーム３４が移動部材２に対して何ら支障なく作動し、移動部材２を上記移動行程ＧＬに沿ってスムーズに移動させることができる。
次に、図１３および図１４は、第４の実施形態に係る搬送ロボットを示している。
この第４の実施形態では、移動部材２には、さらに別の補助移動部材２’が上記移動行程ＧＬに沿って移動可能に支持されている。具体的には、移動部材２の水平な面には、上記補助移動部材２’を上記移動行程ＧＬに沿って案内する一対のガイドレール２３が設けられている。これらのガイドレール２３には、補助移動部材２’の下面に取付けたスライダ（図示略）が案内支持され、これにより、補助移動部材２’は、ガイド部材１上に設定された水平直線状の移動行程ＧＬに沿って移動することができる。
上記補助移動部材２’には、上記移動行程ＧＬと交差する方向に長手状の案内溝２０’が設けられている。また、この補助移動部材２’には、ワークＷを載置保持しうるハンド４’が設けられている。一方、第２リンクアーム３４は、移動部材２に対し、第６垂直軸Ｏ６を中心として相対回動可能に連結されている。その上で第２リンクアーム３４は、補助移動部材２’に対しても、第５垂直軸Ｏ５から第６垂直軸Ｏ６を通ってさらに延びる延長線上の第７垂直軸Ｏ７（他端部）を中心として相対回動可能で、なおかつこの第７垂直軸Ｏ７が上記案内溝２０’に沿って変位可能に連結されている。このような第２リンクアーム３４における第５垂直軸Ｏ５と第６垂直軸Ｏ６の軸間距離は、第１リンクアーム３１における第１垂直軸Ｏ１と第３垂直軸Ｏ３の軸間距離と等しい。その一方、第５垂直軸Ｏ５と第７垂直軸Ｏ７の軸間距離は、第１垂直軸Ｏ１と第３垂直軸Ｏ３の軸間距離より大きい。
そして、上記第１垂直軸Ｏ１および第２垂直軸Ｏ２ならびに第６垂直軸Ｏ６は、上記移動行程ＧＬに平行する平行線ＰＬ上に位置している。また、ガイド部材１の旋回中心となる旋回軸Ｏｓは、上記移動行程ＧＬ上に位置している。また、上記第１の実施形態等と同様に、第１リンクアーム３１には、第３垂直軸Ｏ３上に中心をもつ第１ギア３１ａが固定されており、第２リンクアーム３４には、第５垂直軸Ｏ５上に中心をもつ第２ギア３４ａが固定されている（図１３参照）。これら第１ギア３１ａと第２ギア３４ａも、同じ径であって互いに噛み合っているので、第１リンクアーム３１が第１垂直軸Ｏ１を中心として回動すると、それに伴い第２リンクアーム３４が第５垂直軸Ｏ５を中心として所定の方向に回動する。なお、この第４の実施形態では、第１リンクアーム３１と副リンクアーム３２との位置関係が第１の実施形態等とは逆であるが、第１の実施形態等と同様の動作となる。
このような構成によれば、第１リンクアーム３１における第１垂直軸Ｏ１と第３垂直軸Ｏ３の軸間距離よりも第２リンクアーム３４における第５垂直軸Ｏ５と第７垂直軸Ｏ７の軸間距離が大きいため、第１リンクアーム３１を第１垂直軸Ｏ１を中心として回動させると、第２リンクアーム３４と補助移動部材２’との連結点となる第７垂直軸Ｏ７は、図中に破線で示すような弧線ＡＬに沿った移動軌跡を描く。このとき、上記第７垂直軸Ｏ７は、上記案内溝２０’に沿って変位するため、第２リンクアーム３４は、補助移動部材２’に対して何ら支障なく上記第７垂直軸Ｏ７を中心として相対回動する。一方、第２リンクアーム３４と移動部材２との連結点となる第６垂直軸Ｏ６は、これと第５垂直軸Ｏ５との軸間距離が第１垂直軸Ｏ１と第３垂直軸Ｏ３の軸間距離と等しいため、図中の平行線ＰＬに沿った移動軌跡を描く。つまり、補助移動部材２’は、移動部材２の上記移動行程ＧＬに沿う移動に連動し、この移動部材２と同じ移動方向に向かってスムーズに移動する。したがって、第４の実施形態の搬送ロボットによれば、思案点付近において移動部材２や補助移動部材２’を安定して移動できるのはいうまでもなく、移動部材２に連動して補助移動部材２’が移動することにより、ワークＷの搬送距離をさらに大きくとることができる。
次に、図１５および図１６は、第５の実施形態に係る搬送ロボットを示している。
この第５の実施形態においても、移動部材２には、さらに別の補助移動部材２’がガイドレール２３に案内支持されており、この補助移動部材２’は、上記移動行程ＧＬに沿って移動可能とされている。一方、駆動機構３は、上記第１リンクアーム３１、副リンクアーム３２、中間リンク３３、および第２リンクアーム３４を備えるほか、中間リンク３３よりさらに外側に延びた第１リンクアーム３１および副リンクアーム３２に対し、第８垂直軸Ｏ８および第９垂直軸Ｏ９を中心として相対回動可能に連結された補助中間リンク３３’を備えている。さらにこの駆動機構３は、上記補助中間リンク３３’における上記第８垂直軸Ｏ８と第９垂直軸Ｏ９を通る直線上に位置する第１０垂直軸Ｏ１０を中心として相対回動可能な第３リンクアーム３５を備えている。
上記第２リンクアーム３４は、移動部材２に対し、第６垂直軸Ｏ６を中心として相対回動可能に連結されている。一方、上記第３リンクアーム３５は、補助移動部材２’に対し、第１１垂直軸Ｏ１１を中心として相対回動可能に連結されている。このような第２リンクアーム３４における第５垂直軸Ｏ５と第６垂直軸Ｏ６の軸間距離は、第１リンクアーム３１における第１垂直軸Ｏ１と第３垂直軸Ｏ３の軸間距離と等しい。また、第３リンクアーム３５における第１０垂直軸Ｏ１０と第１１垂直軸Ｏ１１の軸間距離は、第１リンクアーム３１における第１垂直軸Ｏ１と第８垂直軸Ｏ８の軸間距離と等しい。これにより、第１垂直軸Ｏ１および第２垂直軸Ｏ２ならびに第６垂直軸Ｏ６および第１１垂直軸Ｏ１１は、上記移動行程ＧＬに平行する平行線ＰＬ上に位置している。また、ガイド部材１の旋回中心となる旋回軸Ｏｓは、上記移動行程ＧＬ上に位置している。なお、第３リンクアーム３５は、第２リンクアーム３４が回動する水平面より上方の水平面内において回動可能となっている。
また、図１５に示されているように、第１リンクアーム３１には、第３垂直軸Ｏ３上に中心をもつ第１ギア３１ａと第８垂直軸Ｏ８上に中心をもつ第３ギア３１ａａが固定されている。第２リンクアーム３４には、第５垂直軸Ｏ５上に中心をもつ第２ギア３４ａが固定されている。第３リンクアーム３５には、第１０垂直軸Ｏ１０上に中心をもつ第４ギア３５ａが固定されている。これら第１〜第４ギアのうち、第１ギア３１ａと第２ギア３４ａとが互いに噛み合わされているとともに、第３ギア３１ａａと第４ギア３５ａとが互いに噛み合わされており、しかも、これら第１〜第４ギア３１ａ，３４ａ，３１ｂ，３５ａは全て同径である。したがって、第１リンクアーム３１が第１垂直軸Ｏ１を中心として回動すると、それに伴い第２リンクアーム３４が第５垂直軸Ｏ５を中心として回動するとともに、第３リンクアーム３５が第１０垂直軸Ｏ１０を中心として所定の方向に回動する。
このような構成によれば、第１リンクアーム３１を第１垂直軸Ｏ１を中心として回動させると、第２リンクアーム３４と移動部材２との連結点となる第６垂直軸Ｏ６が平行線ＰＬに沿って移動するとともに、第３リンクアーム３５と補助移動部材２’との連結点となる第１１垂直軸Ｏ１１も平行線ＰＬに沿って移動する。つまり、補助移動部材２’は、移動部材２が上記移動行程ＧＬに沿って移動するのに連動し、この移動部材２と同じ移動方向に向かってスムーズに移動する。したがって、第５の実施形態の搬送ロボットによっても、いわゆる思案点付近において移動部材２や補助移動部材２’を安定して移動させることができ、しかも、ワークの搬送距離をより大きくとることができる。なお、この第５の実施形態の変形例としては、移動行程と交差する方向に長手状の案内溝を補助移動部材に設け、この案内溝に対し、第３リンクアームの他端部（第１１垂直軸が位置する部分）を案内支持するようにしてもよい。
次に、図１７ないし図２５は、第６の実施形態に係る搬送ロボットを示している。
図１７ないし図２１に表れているように、この搬送ロボットＡ１は、概して、固定ベース２００に対して鉛直状の旋回軸Ｏｓを中心として旋回可能な旋回ベース３００と、この旋回ベース３００に設けられた直進ガイド機構４００と、この直進ガイド機構４００に対して共通的に支持され、同一方向に移動可能に支持された第１移動部材２０Ａおよび第２移動部材２０Ｂと、これら第１移動部材２０Ａおよび第２移動部材２０Ｂをそれぞれ駆動するように上記旋回ベース３００に設けられた第１駆動機構３０Ａおよび第２駆動機構３０Ｂとを備えている。第１移動部材２０Ａおよび第２移動部材２０Ｂには、それぞれワークＷを載置保持しうるハンド２１ａ，２１ｂが設けられている。
図２１に良く表れているように、固定ベース２００は、底壁部２０１と円筒状側壁部２０２と天井壁２０３とを備えた、略円柱状の外形を有するハウジング２００Ａを備えており、天井壁２０３には、中心開口２０４が形成されている。この固定ベース２００の内部には、昇降ベース２１０が昇降可能に支持されている。昇降ベース２１０は、上記中心開口２０４よりも小径の外径をもち、上下方向に所定の寸法を有する円筒部２１１と、この円筒部２１１の下端に形成された外向フランジ部２１２とを有している。上記ハウジング２００Ａの円筒状側壁部２０２の内壁には、上下方向の直線ガイドレール２２０が複数取付けられているとともに、昇降ベース２１０の外向フランジ部２１２に設けた複数のガイド部材２２１が上記直線ガイドレール２２０に対して上下方向スライド移動可能に支持されている。これにより、昇降ベース２１０は、固定ベース２００に対し、上下方向（鉛直軸方向）に移動可能であり、このとき、この昇降ベース２１０の円筒部２１１の上部が上記ハウジング２００Ａの中心開口２０４から出没する。固定ベース２００の天井壁２０３と昇降ベース２１０の外向フランジ部２１２との間には、この昇降ベース２１０の円筒部２１１を取り囲むようにして配置されたベローズ２３０の両端が連結されており、このベローズ２３０は、昇降ベース２１０の上下方向の移動にかかわらず、上記固定ベース２００の天井壁２０３と昇降ベース２１０の外向フランジ部２１２との間を気密シールする。
固定ベース２００の内部にはまた、上記ベローズ２３０の外側において、鉛直方向に配置されて回転するネジ軸２４１と、このネジ軸２４１に螺合され、かつ昇降ベース２１０の外向フランジ部２１２に貫通状に固定されたナット部材２４２とからなるボールネジ機構２４０が配置されている。ネジ軸２４１は、その下端に取付けたプーリ２４３に掛け回された無端ベルト２４４によってモータＭ１に連携されており、このモータＭ１の駆動により、正逆方向に回転させられる。このようにしてネジ軸２４１を回転することにより、昇降ベース２１０が昇降させられる。
上記昇降ベース２１０に対し、上記旋回ベース３００が鉛直状の旋回軸Ｏｓを中心として旋回可能に支持される。図２１に表れているように、旋回ベース３００の下部には、円柱部３０１が形成されており、この円柱部３０１が上記昇降ベース２１０の円筒部２１１の内部にベアリング３０２を介して回転可能に支持されている。そうして、旋回ベース３００の円柱部３０１の下端部には、プーリ３０３が一体的に形成されており、昇降ベース２１０の円筒部２１１の中間壁２１３に支持させたモータＭ２の出力軸に取り付けたプーリ３０４との間に無端ベルト３０５が掛け回されている。これにより、上記モータＭ２を駆動することにより、上記旋回ベース３００が旋回軸Ｏｓを中心として旋回させられる。
昇降ベース２１０の円筒部２１１と旋回ベース３００の円柱部３０１との間にはまた、上記ベアリング３０２より上位に位置するシール機構３０６が介装されている。このシール機構３０６より下位の空間は、上記ベローズ２３０の外周側の固定ベース２００内空間と連通しており、これにより、このような連通空間は、外部に対して気密シールされた閉じた空間となる。なお、この旋回ベース３００の円柱部３０１には、旋回軸Ｏｓに沿って上下方向に貫通する中心孔３０７が形成されており、この中心孔３０７には、上記第１駆動機構３０Ａと第２駆動機構３０Ｂとに駆動力を伝達するための伝動軸２５１，２５２が挿通されているが、これについては後述する。
上記旋回ベース３００は、上記のように昇降ベース２１０に回転可能に支持される円柱部３０１の上方に、一部中空となって左右方向に延出するウイング部３１０を介して上部桁部３２０を備えており、この上部桁部３２０には、上記直進ガイド機構４００が支持されている。ウイング部３１０の中空部には、上記第１駆動機構３０Ａと第２駆動機構３０Ｂに駆動力を伝達するための機構が内蔵されるが、これについては後述する。
上記直進ガイド機構４００は、ガイド部材４１０と、このガイド部材４１０上に設けられた一対の第１ガイドレール４２１と、一対の第２ガイドレール４２２とを有する。上記ガイド部材４１０は、水平方向に延びる長手軸線（移動行程ＧＬ）を有する平面視長矩形状をしているとともに、図２１に表れているように、底壁４１１と、この底壁４１１の両側縁部に形成された左右の起立壁４１２とを備えている。上記一対の第１ガイドレール４２１は、ガイド部材４１０の底壁４１１上に、上記移動行程ＧＬを挟んでこれに平行に、相互に所定間隔を置いて配置されている。上記一対の第２ガイドレール４２２は、一対の第１ガイドレール４２１の外側において、上記移動行程ＧＬを挟んでこれに平行に配置されている。上記第１ガイドレール４２１には、第１移動部材２０Ａがその下部に設けたスライダ２２ａを介して上記移動行程ＧＬに沿って移動可能に支持され、上記第２ガイドレール４２２には、第２移動部材２０Ｂがスライダ２２ｂを介して上記移動行程ＧＬに沿って移動可能に支持されている。なお、図２１にも表れているように、直進ガイド機構４００のガイド部材４１０の上面は、各ガイドレール４２１，４２２の上方を覆うカバー部材４２０によって覆われている。
第１移動部材２０Ａと第２移動部材２０Ｂとは、図１７、図１８等に表れているように、ガイド部材４１０の幅方向に所定長さ延びる水平板状のハンド支持部２０ａ，２０ｂを備えているが、これらハンド支持部２０ａ，２０ｂは、図２１に表れているように、すきまを介して上下に重なるように位置させられ、互いに干渉することなく上記移動行程ＧＬに沿って移動可能である。
第１移動部材２０Ａのハンド支持部２０ａは、その下部に形成された膨出部２３ａ、およびこの膨出部２３ａの下面に左右一対設けた上記スライダ２２ａを介して直接的に上記一対の第１ガイドレール４２１に支持されている。こうして、直接的に第１ガイドレール４２１に支持される第１移動部材２０Ａは、安定的な支持状態を得ることができる。一方、第２移動部材２０Ｂのハンド支持部２０ｂは、図２１に表れているように、その幅方向両端部から上記第１移動部材２０Ａのハンド支持部２０ａの両側部を迂回して延びる一対の支持アーム２３ｂ、およびこの支持アーム２３ｂに設けた上記スライダ２２ｂを介して上記一対の第２ガイドレール４２２に支持されている。これにより、第１移動部材２０Ａと第２移動部材２０Ｂとは、全体としても、互いに干渉することなく上記移動行程ＧＬに沿って移動可能であるとともに、第２移動部材２０Ｂについては、そのハンド支持部２０ｂが両持ち状に上記第２ガイドレール４２２に支持されるため、安定的な支持状態を得ることができる。なお、第１移動部材２０Ａは、上記ガイド部材４１０の底壁４１１に形成したスリット４１１ａを貫通して延びる連結アーム２４ａを介して上記第１駆動機構３０Ａに連携され、第２移動部材２０Ｂは、上記一対の支持アーム２３ｂのうちの一方を介して第２駆動機構３０Ｂに連携される。
図１７ないし図１９に示されているように、各ハンド支持部２０ａ，２０ｂには、ガイド部材４１０の長手方向に延びるホーク状のハンド２１ａ，２１ｂが一体的に形成されており、これらのハンド２１ａ，２１ｂ上には、液晶表示パネルの製造用ガラス基板等の、比較的大型の薄板状ワークＷが載置保持される。
上記第１移動部材２０Ａおよび上記第２移動部材２０Ｂをそれぞれ上記のようにガイド部材４１０の移動行程ＧＬに沿って移動させるための第１駆動機構３０Ａおよび第２駆動機構３０Ｂは、上記移動行程ＧＬに対して対称に形成されており、この第６の実施形態では、以下に説明するように構成されている。
すなわち、これら第１駆動機構３０Ａおよび第２駆動機構３０Ｂは、上記した旋回ベース３００のウイング部３１０において、旋回軸Ｏｓに対して横方向に所定距離離間して位置する第１垂直軸Ｏ１を中心として回動駆動される第１リンクアーム３１と、同じくウイング部３１０において、第１垂直軸Ｏ１を通って上記移動行程ＧＬと平行な平行線上に位置する第２垂直軸Ｏ２（図１８、図２３）を中心として回動可能な副リンクアーム３２と、これら第１リンクアーム３１および副リンクアーム３２が第３垂直軸Ｏ３および第４垂直軸Ｏ４を中心として相対回動可能に連結される中間リンク３３とを備えた平行四辺形リンク機構３Ａを備えている。第１垂直軸Ｏ１と第３垂直軸Ｏ３の軸間距離は、第２垂直軸Ｏ２と第４垂直軸Ｏ４の軸間距離と等しく、第１垂直軸Ｏ１と第２垂直軸Ｏ２の軸間距離は、第３垂直軸Ｏ３と第４垂直軸Ｏ４の軸間距離と等しい。
図２１および図２３に表れているように、上記第１リンクアーム３１は、その基端に設けた軸３１ａｘを上記ウイング部３１０に対してベアリング４１を介して回転可能に支持することにより、上記第１垂直軸Ｏ１を中心として回動可能に支持されている。上記副リンクアーム３２もまた、図２３に表れているように、その基端に設けた軸３２ａｘを上記ウイング部３１０に対してベアリング４２を介して回転可能に支持することにより、上記第２垂直軸Ｏ２を中心として回動可能に支持されている。図２１および図２２に表れているように、上記第１リンクアーム３１の先端部は、これに設けた軸３１ｂｘを上記中間リンク３３に対してベアリング４３を介して回転可能に支持することにより、中間リンク３３に対して上記第３垂直軸Ｏ３を中心として相対回動可能に連結されており、上記副リンクアーム３２の先端部もまた、これに設けた軸３２ｂｘを上記中間リンク３３に対してベアリング４４を介して回転可能に支持することにより、中間リンク３３に対して上記第４垂直軸Ｏ４を中心として相対回動可能に連結されている。
したがって、第１リンクアーム３１を回動駆動すると、平行四辺形リンク機構３Ａは変形するが、中間リンク３３の方向、すなわち、上記第３垂直軸Ｏ３と第４垂直軸Ｏ４を結ぶ直線の方向は、常に上記ガイド部材４１０の移動行程ＧＬと平行になる。
次に、これら第１駆動機構３０Ａと第２駆動機構３０Ｂは、上記平行四辺形リンク機構３Ａの中間リンク３３における、上記第３垂直軸Ｏ３と第４垂直軸Ｏ４を通る直線上に位置する第５垂直軸Ｏ５を中心として相対回動可能な第２リンクアーム３４を備えている。図２２に表れているように、この第２リンクアーム３４は、その基部に設けた軸３４ａｘをベアリング４５を介して中間リンク３３に対して支持することにより、上記第５垂直軸Ｏ５を中心として相対回動可能となっている。さらに、中間リンク３３には、図２２に表れているように、上記第１リンクアーム３１に固定され、かつ上記第３垂直軸Ｏ３上に中心をもつ第１ギア３１ａと、第２リンクアーム３４に固定され、かつ上記第５垂直軸Ｏ５上に中心をもつ第２ギア３４ａとを備えている。これら第１ギア３１ａと第２ギア３４ａとは互いに噛み合わされており、かつ、同径のギアである。なお、図２０、図２１等に表れているように、第２リンクアーム３４は、第１リンクアーム３１に対し、上下方向に離間しており、これらが互いに干渉することはない。
図２１に表れているように、上記第２リンクアーム３４の他端部は、各移動部材２０Ａ，２０Ｂに対し、第６垂直軸Ｏ６を中心として相対回動可能に連結されている。具体的には、第１移動機構３０Ａについては、第２リンクアーム３４の他端部は、上記連結アーム２４ａに形成した軸３４ａｘをベアリング４５を介して相対回動可能に支持することにより、第１移動部材２０Ａに対し、第６垂直軸Ｏ６を中心として相対回動可能に連結されており、第２移動機構３０Ｂについては、第２リンクアーム３４の他端部は、上記支持アーム２３ｂの一方に形成した軸３４ｂｘをベアリング４６を介して相対回動可能に支持することにより、第２移動部材２０Ｂに対し、第６垂直軸Ｏ６を中心として相対回動可能に連結されている。この第６垂直軸Ｏ６は、上記第１垂直軸Ｏ１と第２垂直軸Ｏ２とを通る、上記移動行程ＧＬと平行な水平直線（平行線）上に位置し、かつ、第２リンクアーム３４の長さ、すなわち、第５垂直軸Ｏ５と第６垂直軸Ｏ６の軸間距離は、第１リンクアーム３１の長さ、すなわち、第１垂直軸Ｏ１と第３垂直軸Ｏ３の軸間距離と等しくなっている。
第１駆動機構３０Ａおよび第２駆動機構３０Ｂは、上記昇降ベース２１０内に配置されたモータＭ３，Ｍ４を駆動源として駆動される。図２１を参照して前述したように、旋回ベース３００の下部円柱部３０１に設けた鉛直方向の中心孔３０７には、それぞれ回転可能な第１の伝動軸２５１と第２の伝動軸２５２とが同軸状に支持されている。より具体的には、第２の伝動軸２５２は円筒状の軸とされ、上記中心孔３０７にベアリング２５３を介して回転可能に支持されているとともに、この第２の伝動軸２５２の内部に、上記第１の伝動軸２５１がベアリング２５４を介して回転可能に支持されている。第１の伝動軸２５１の下端は、昇降ベース２１０の中間壁２１３に支持させたモータＭ３の出力軸に連結されている。第２の伝動軸２５２の下端には、プーリ２５５が設けられており、上記昇降ベース２１０の中間壁２１３に支持させたモータＭ４の出力軸に取付けたプーリ２５６との間に無端ベルト２５７が掛け回されている。
前述したように、旋回ベース３００のウイング部３１０には、第１リンクアーム３１の基端の軸３１ａｘがベアリング４１を介して回転可能に支持されているが、より詳細には、図２３に表れているように、ベアリング４１より上位には、シール機構３３０が介装されている。これにより、ウイング部３１０の中空部と外部とが気密シールされる。旋回ベース３００の円柱部３０１には、上記したように、第１の伝動軸２５１および第２の伝動軸２５２を支持する中心孔３０７が形成されているため、ウイング部３１０の中空部が昇降ベース２１０の下部空間と連通することになるが、上記シール機構３３０、昇降ベース２１０と旋回ベース３００との間に設けた上記シール機構３０６、および、上記ベローズ２３０が協働して、ウイング部３１０の中空部、昇降ベース２１０の内部、ないし、固定ベース２００における上記ベローズ２３０より外周側の連通空間が、外部に対して気密シールされることになる。
図２１に表れているように、第１リンクアーム３１の基端の軸部３１ａｘは、ウイング部３１０の中空部に支持させた減速機構３４０の出力側に連携されている一方、この減速機構３４０の入力側の軸にはプーリ３４１が設けられている。第１駆動機構３０Ａについては、上記第１の伝動軸２５１の上端に設けたプーリ２５１ａと上記減速機構３４０の入力側のプーリ３４１との間に無端ベルト３４２が掛け回され、一方、第２駆動機構３０Ｂについては、上記第２の伝動軸２５２の上端に設けたプーリ２５２ａと上記減速機構３４０の入力側のプーリ３４１との間に無端ベルト３４３が掛け回される。これにより、モータＭ３を正逆方向に回転駆動することにより、第１駆動機構３０Ａにおける第１リンクアーム３１が、第１垂直軸Ｏ１を中心として回動させられる一方、モータＭ４を正逆方向に回転駆動することにより、第２駆動機構３０Ｂにおける第１リンクアーム３１が、第１垂直軸Ｏ１を中心として回動させられる。
次に、上記構成を備える搬送ロボットＡ１の全体的な動作について、説明する。
前述したように、第１駆動機構３０Ａおよび第２駆動機構３０Ｂのそれぞれにおいて、第１リンクアーム３１を第１垂直軸Ｏ１を中心として回動させると、上記平行四辺形リンク機構３Ａが変形するが、中間リンク３３の方向、すなわち、第３垂直軸Ｏ３と第４垂直軸Ｏ４を結ぶ直線は、常に上記ガイド部材４１０の移動行程ＧＬと平行な関係を維持する（図２４、図２５参照）。一方、図２２および図２４に表れているように、中間リンク３３において、第１リンクアーム３１に固定された第１ギア３１ａと第２リンクアーム３４に固定された第２ギア３４ａは、同じ径であって互いに噛み合っているので、第１リンクアーム３１と中間リンク３３とがなす角αと、第２リンクアーム３４と中間リンク３３とがなす角βとは、常に等しくなる（図２４）。前述したように、第１リンクアーム３１と第２リンクアーム３４とは長さが等しいから、第１垂直軸Ｏ１と第６垂直軸Ｏ６を結ぶ直線は、常に中間リンク３３、すなわち、第３垂直軸Ｏ３と第５垂直軸Ｏ５を結ぶ直線と平行となる。このことは、上記第１駆動機構３０Ａおよび第２駆動機構３０Ｂが、対応する第１移動部材２０Ａおよび第２移動部材２０Ｂを、ガイド部材４１０の移動行程ＧＬに沿って移動させることができることを意味する。
この実施形態では、上記したように、第１リンクアーム３１と第２リンクアーム３４とは、互いに上下方向に離間させられていて干渉することがないので、図２４、図２５に表れているように、第１リンクアーム３１が第１垂直軸Ｏ１に対してガイド部材４１０の長手方向一端方向に回動している状態から、ガイド部材４１０の長手方向他端方向に回動している状態まで、不都合なく上記平行四辺形リンク機構３Ａの変形が行なわれ、ガイド部材４１０の全長にわたって各移動部材２０Ａ，２０Ｂを移動させることができる。そして、上記したように、第１駆動機構３０Ａおよび第２駆動機構３０Ｂは、それ自体、対応する第１移動部材２０Ａおよび第２移動部材２０Ｂを上記水平直線状の移動行程ＧＬに沿って移動させることができるので、第１リンクアーム３１と第２リンクアーム３４とが重なる、いわゆる思案点付近においても（図１７、図１８の状態）、安定して各移動部材２０Ａ，２０Ｂを移動させることができる。
この搬送ロボットＡ１においてはまた、各移動部材２０Ａ，２０Ｂの最終的な移動直進性は上記したように直進ガイド機構４００によって達成される。また、各移動部材２０Ａ，２０Ｂおよびこれに載置されるワークＷの重量もまた、実質的に直進ガイド機構４００によって支持される。したがって、上記第１駆動機構３０Ａおよび第２駆動機構３０Ｂに求められる部材強度あるいは各部の精度が低くてよく、その結果、この搬送ロボットＡ１は、低コストで製作することができる。
さらに、上記構成の搬送ロボットＡ１は、第１駆動機構３０Ａおよび第２駆動機構３０Ｂにより、第１移動部材２０Ａと第２移動部材２０Ｂとを、平面視において同一の直線状移動行程（ガイド部材４１０の移動行程ＧＬ）に沿って各別に移動させることができるため、ワークＷの搬送効率が著しく向上する。
その結果、上記構成の搬送ロボットＡ１は、ワークＷの大きさや重量に関わらず、正確な直進性をもってこのワークＷを効率的に搬送することができ、しかも、コスト低減が可能である。
なお、この実施形態に係る搬送ロボットＡ１は、旋回ベース３００が支持される昇降ベース２１０が固定ベース２００に対して昇降するように構成されているので、直進ガイド機構４００の上下高さを適宜変更することができるし、また、旋回ベース３００を旋回軸Ｏｓを中心として旋回させることにより、ガイド部材４１０の中心軸（移動行程ＧＬ）が所望の方向を向くように適宜直進ガイド機構４００を旋回させることができる。また、直進ガイド機構４００において、第１移動部材２０Ａのハンド支持部２０ａおよび第２移動部材２０Ｂのハンド支持部２０ｂは、互いに干渉することなくすきまを介して上下に離間しているが、昇降ベース２１０を昇降させることにより、第１移動部材２０Ａのハンド支持部２０ａと第２移動部材２０Ｂのハンド支持部２０ｂとの３次元的な移動行程を完全一致させることもできる。したがって、同一の搬送元からのワークＷの受け取り、あるいは同一の搬送先へのワークＷの受け渡しといった作業を、第１移動部材２０Ａと第２移動部材２０Ｂのいずれを用いても行うことができるのであり、これにより、ワークＷの搬送効率が著しく向上するのである。
また、上記構成の搬送ロボットＡ１は、上記したように、固定ベース２００における上記ベローズ２３０の外周側の空間、昇降ベース２１０の内部、ないし、旋回ベース３００のウイング部３１０の中空部にいたって連通する空間は、外部に対して気密シールされている。したがって、昇降ベース２１０を昇降させるためのモータＭ１ないし関連機構、旋回ベース３００を旋回させるためのモータＭ２ないし関連機構、第１駆動機構３０Ａの第１リンクアーム３１を回動させるためのモータＭ３ないし減速機構３４０を含めた関連機構、および、第２駆動機構３０Ｂの第１リンクアーム３１を回動させるためのモータＭ４ないし減速機構３４０を含めた関連機構として、真空対応のものではない安価な構成のものを採用しても、この搬送ロボットＡ１を真空雰囲気下に設置して、作動させることができる。
次に、図２６ないし図３１は、第７の実施形態に係る搬送ロボットを示している。なお、この第７の実施形態については、特に第６の実施形態や第４の実施形態の要素と同一または類似の要素を同一符号で示し、その説明を適宜省略する。
この第７の実施形態では、図２６ないし図２９に表れているように、第２移動部材２０Ｂには、さらに別の補助移動部材２’が移動行程ＧＬに沿って移動可能に支持されている。この補助移動部材２’は、ハンド２１ｂ’およびハンド支持部２０ｂ’を有しており、ハンド支持部２０ｂ’には、移動行程ＧＬに対して交差する方向に長手状の案内溝２０’が設けられている。このような第７の実施形態においては、第２移動部材２０Ｂと第２駆動機構３０Ｂ’の構成が上記第６の実施形態の構成と異なる。その他、第１リンクアーム３１と副リンクアーム３２との位置関係が逆である点等を除き、第１移動部材２０Ａや第１駆動機構３０Ａ等の構成については、上記第６の実施形態の構成と同様である。なお、第１リンクアーム３１と副リンクアーム３２との位置関係が第６の実施形態とは逆であるが、第６の実施形態等と同様の動作となる。
具体的には、図２９によく表れているように、第２移動部材２０Ｂは、その上部に一対のガイドレール２３を有する。これらのガイドレール２３は、第２移動部材２０Ｂの上部において、上記移動行程ＧＬを挟んでこれに平行に、相互に所定間隔を置いて配置されている。上記ガイドレール２３には、補助移動部材２’がその下部に設けたスライダ２２’を介して上記移動行程ＧＬに沿って移動可能に支持されている。また、第２移動部材２０Ｂは、その上部から両側を迂回して延びる一対の支持アーム２３ｂを有しており、これら支持アーム２３ｂの一方には、上向き突出状に軸３４ｂｘが形成されている（図２７〜２９参照）。このような第２移動部材２０Ｂは、上記軸３４ｂｘを介して第２駆動機構３０Ｂ’に連携されている。一方、補助移動部材２’は、上記案内溝２０’の内部にガイドレール２１’を備えている。このガイドレール２１’には、第２リンクアーム３４がその先端軸３４ｃｘのスライダ３４ｃを介して移動可能に支持されている（図２９参照）。つまり、補助移動部材２’も、上記先端軸３４ｃｘを介して第２駆動機構３０Ｂ’に連携されている。
上記第２駆動機構３０Ｂ’は、これに含まれる第１リンクアーム３１、副リンクアーム３２、および中間リンク３３の構成が上記第６の実施形態の構成と同様であるものの、第２リンクアーム３４の構成が若干異なる。第２リンクアーム３４は、図２９に表れているように、第１リンクアーム３１に対し、上下方向に相当離間しており、これらが互いに干渉することはない。この第２リンクアーム３４の先端部は、上記先端軸３４ｃｘをベアリング４７を介して相対回動可能に支持することにより、補助移動部材２’に対し、第７垂直軸Ｏ７を中心として相対回動可能で、なおかつ上記案内溝２０’に沿って変位可能に連結されている。このような第２リンクアーム３４の長さ、すなわち、第５垂直軸Ｏ５と第７垂直軸Ｏ７の軸間距離は、第１リンクアーム３１の長さ、すなわち、第１垂直軸Ｏ１と第３垂直軸Ｏ３の軸間距離より大きくなっている。ただし、第２リンクアーム３４における第５垂直軸Ｏ５と第６垂直軸Ｏ６の軸間距離は、第１垂直軸Ｏ１と第３垂直軸Ｏ３の軸間距離と等しい。
また、上記第６の実施形態と同様に、上記第２駆動機構３０Ｂ’の第１リンクアーム３１には、第３垂直軸Ｏ３上に中心をもつ第１ギア３１ａが固定されており、第２駆動機構３０Ｂ’の第２リンクアーム３４には、第５垂直軸Ｏ５上に中心をもつ第２ギア３４ａが固定されている。これら第１ギア３１ａと第２ギア３４ａとは、同径であって互いに噛み合わされているため、第１リンクアーム３１が第１垂直軸Ｏ１を中心として回動すると、それに伴い第２リンクアーム３４が第５垂直軸Ｏ５を中心として所定の方向に回動する。
このような構成によれば、上記第６の実施形態によるものと同様の利点に加え、先述した第４の実施形態によるものと同様の利点を享受することができる。さらに優れた点としては、以下の点を挙げることができる。
たとえば、図３０および図３１に示されているように、上記構成を備えた搬送ロボットは、トランスポートチャンバＴ内に配置されている。このトランスポートチャンバＴは、開閉式のドアＤを介してプロセスチャンバＰに連通している。トランスポートチャンバＴ内の搬送ロボットは、ドアＤを開とすることにより、プロセスチャンバＰへのワークＷの移送が可能となる。なお、図示の便宜上、図３０には、第１移動部材２０Ａおよび第１移動機構３０Ａを示し、図３１には、第２移動部材２０Ｂおよび補助移動部材２’ならびに第２駆動機構３０Ｂ’を示す。
図３０の（ａ）および（ｂ）に示されているように、第１移動部材２０Ａおよび第１移動機構３０Ａを利用してトランスポートチャンバＴからプロセスチャンバＰへとワークＷを移送する場合には、第６の実施形態で説明したように第１移動機構３０Ａが作動することにより、移動行程ＧＬに沿って第１移動部材２０Ａが前進動する。このとき、図３０の（ｂ）に示されているように、第１移動部材２０Ａについては、ハンド２１ａとともにハンド支持部２０ａの一部もドアＤを越えてプロセスチャンバＰ内に進入する。
一方、図３１の（ａ）および（ｂ）に示されているように、第２移動部材２０Ｂおよび補助移動部材２’ならびに第２駆動機構３０Ｂ’を利用してトランスポートチャンバＴからプロセスチャンバＰへとワークＷを移送する場合には、第４の実施形態で説明した移動機構のように第２駆動機構３０Ｂ’が作動することにより、移動行程ＧＬに沿って第２移動部材２０Ｂおよび補助移動部材２’が連動しながら前進動する。このとき、図３１の（ｂ）に示されているように、第２移動部材２０Ｂについては、支持アーム２３ｂが移動行程ＧＬの両側に張り出ており、この支持アーム２３ｂがドアＤの両側と干渉するため、ドアＤの手前で止まる。その一方、補助移動部材２’については、ハンド支持部２０ｂ’がドアＤの幅よりも小さいため、このハンド支持部２０ｂ’の一部もハンド２１ｂ’とともにドアＤを越えてプロセスチャンバＰ内に進入する。したがって、上下２段式の移動部材２０Ａ，２０Ｂを備えた構成でも、同じ位置までワークＷを移送することができる。また、トランスポートチャンバＴとプロセスチャンバＰとの間には、できる限り幅の小さいドアＤを設けることができ、ひいてはトランスポートチャンバＴやプロセスチャンバＰを小型化することができる。
次に、図３２ないし図３４は、第８の実施形態に係る搬送ロボットを示している。なお、この第８の実施形態については、特に第７の実施形態の要素と同一または類似の要素を同一符号で示し、その説明を適宜省略する。
この第８の実施形態では、図３２および図３３に表れているように、第１移動部材２０Ａのハンド２１ａと補助移動部材２’のハンド２１ｂ’が重なる状態において、第１移動部材２０Ａと第２移動部材２０Ｂとが上下に離間するすきまには、水平状のカバー７が設けられている。このカバー７は、図３２によく示されているように、第１移動部材２０Ａのハンド２１ａと補助移動部材２’のハンド２１ｂ’が重なる領域から第１移動部材２０Ａと第２移動部材２０Ｂが重なる領域まで占めており、ワークＷ全体を覆う面積をもっている。また、上記カバー７は、図３３によく示されているように、第１移動部材２０Ａの両側部を迂回して延びる一対の支持アーム７ａ’を介して直進ガイド機構４００に支持されている。つまり、カバー７の下方では、第１移動部材２０Ａが移動行程ＧＬに沿って移動可能であり、カバー７の上方では、第２移動部材２０Ｂおよび補助移動部材２’が移動行程ＧＬに沿って移動可能である。
このような構成によれば、次のような利点が得られる。
たとえば、図３４の（ａ）および（ｂ）に示されているように、第１移動部材２０Ａおよび第１移動機構３０Ａを利用してトランスポートチャンバＴからプロセスチャンバＰへとワークＷを移送する場合には、第７の実施形態と同様に第１移動機構３０Ａを作動させることにより、移動行程ＧＬに沿って第１移動部材２０Ａを前進動させることができる。また、図３４の（ｃ）に示されているように、第２移動部材２０Ｂおよび補助移動部材２’ならびに第２駆動機構３０Ｂ’を利用してトランスポートチャンバＴからプロセスチャンバＰへとワークＷを移送する場合にも、第７の実施形態と同様に第２駆動機構３０Ｂ’を作動させることにより、移動行程ＧＬに沿って第２移動部材２０Ｂおよび補助移動部材２’を前進動させることができる。ところで、第２移動部材２０Ｂおよび補助移動部材２’が移動する際には、それに伴って第２移動部材２０Ｂや補助移動部材２’、あるいは補助移動部材２’のハンド２１ｂ’に載せられたワークＷから異物（パーティクル）が下方に落ちてくることがある。このような異物は、結局のところ、カバー７によって受け止められる。したがって、カバー７を備えた搬送ロボットによれば、特に第１移動部材２０Ａに載せられた状態で第２移動部材２０Ｂよりも下方に位置するワークＷに関し、搬送時に異物が付着するといったおそれがなく、できる限りきれいな状態でワークＷを搬送することができる。なお、このようなカバーは、上記第６の実施形態に係る搬送ロボットに設けてもよい。
なお、本願発明に係る搬送ロボットは、上記した各実施形態に限定されるものではない。
上記では、真空雰囲気下で用いることを前提として説明をしたが、もちろん、本願発明に係る搬送ロボットは、大気圧下で用いるものとして構成することも可能である。
また、上記第１の実施形態等では、駆動機構（３，３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｂ’）を作動させるためにギア列を備えているが、この種の駆動機構を作動させるための機構としては、たとえばプーリとベルトを用いて動力を伝える仕組みでもよい。
特に上記第１および第６の実施形態の変形例としては、たとえば図３５に示されている構成を備えた駆動機構でもよい。この変形例に係る駆動機構では、上記第１ギア（３１ａ）に代え、第１リンクアーム３１には、第３垂直軸Ｏ３上に中心をもつ第１間欠ギア３１ａ’が固定されている。また、上記第２ギア（３４ａ）に代え、第２リンクアーム３４には、第５垂直軸Ｏ５上に中心をもつとともに上記第１間欠ギア３１ａ’と一時的に噛み合う第２間欠ギア３４ａ’が固定されている。第１間欠ギア３１ａ’は、その周部一部に凹部３１ａａ’を有する一方、第２間欠ギア３４ａ’は、その周部一部に凸部３４ａａ’を有する。これら第１間欠ギア３１ａ’および第２間欠ギア３４ａ’は、図３５の（ｂ）に示されているように、思案点付近において凹部３１ａａ’と凸部３４ａａ’とが互いに噛み合うように位置決めされた状態で、それぞれ第１リンクアーム３１および第２リンクアーム３４に固定されている。
このような変形例の構成によれば、図３５の（ａ）および（ｃ）に示されているように、移動部材（図示略）が思案点に対してある程度の前進位置や後退位置をとるときは、第１間欠ギア３１ａ’の凹部３１ａａ’と第２間欠ギア３４ａ’の凸部３４ａａ’とが噛み合わない。このような状態でも第１リンクアーム３１が第１垂直軸（図示略）を中心として所定方向に回動する状況においては、第２リンクアーム３４と移動部材との連結点（図示略した第６垂直軸）が移動行程（図示略）と常に一致あるいは常に平行するように設定されているため、第２リンクアーム３４が第５垂直軸Ｏ５を中心として所定方向に回動し、それに伴い移動部材が移動行程に沿って移動する。一方、図３５の（ｂ）に示されているように、移動部材が思案点付近にあるときには、第１間欠ギア３１ａ’の凹部３１ａａ’と第２間欠ギア３４ａ’の凸部３４ａａ’とが確実に噛み合う。これにより、思案点付近で第１リンクアーム３１が第１垂直軸Ｏ１を中心として所定方向に回動すると、それに連動して第２リンクアーム３４が第５垂直軸Ｏ５を中心として所定方向に回動し、それに伴い移動部材が移動行程に沿って移動する。したがって、図３５に示される変形例の駆動機構によっても、移動部材を移動行程上の最前進位置から思案点を経て最後退位置まで、あるいはその逆方向に滞りなくスムーズに移動させることができる。
特に図示しないが、上記第５の実施形態に関しても、上記と同様の間欠ギアを備えた構成を変形例として採用してもよい。その場合、第１リンクアーム（３１）には、第３垂直軸（Ｏ３）上に中心をもつ第１間欠ギア（３１ａ’）に加え、第８垂直軸（Ｏ８）上に中心をもつ第３間欠ギアが固定される。また、第２リンクアーム（３４）には、第５垂直軸（Ｏ５）上に中心をもつとともに上記第１間欠ギア（３１ａ’）と一時的に噛み合う第２間欠ギア（３４ａ’）が固定される。さらに、第３リンクアーム（３５）には、第１０垂直軸（Ｏ１０）上に中心をもつとともに上記第３間欠ギアと一時的に噛み合う第４間欠ギアが固定される。互いに噛み合う間欠ギアの関係については、先述した点と同様である。このような構成によっても、上記した第１および第６の実施形態の変形例によるものと同様の動作が実現されるとともに、同様の効果を得ることができる。
本願発明の第１の実施形態に係る搬送ロボットの全体斜視図である。 図１に示す搬送ロボットの平面図である。 図１に示す搬送ロボットの側面図である。 図２のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。 図２のＶ−Ｖ線に沿う断面図である。 図２のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図である。 図２のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿う断面図である。 中間リンクの平面図である。 駆動機構の動作説明図である。 本願発明の第２の実施形態に係る搬送ロボットの平面図である。 本願発明の第３の実施形態に係る搬送ロボットの平面図である。 図１１に示す搬送ロボットの平面図である。 本願発明の第４の実施形態に係る搬送ロボットの平面図である。 図１３に示す搬送ロボットの平面図である。 本願発明の第５の実施形態に係る搬送ロボットの平面図である。 図１５に示す搬送ロボットの平面図である。 本願発明の第６の実施形態に係る搬送ロボットの全体斜視図である。 図１７に示す搬送ロボットの平面図である。 図１７に示す搬送ロボットの側面図である。 図１７に示す搬送ロボットの正面図である。 図１９のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。 図２１のＤ−Ｄ線に沿う断面図である。 図２１のＦ−Ｆ線に沿う断面図である。 図１７に示す搬送ロボットの作動状態を説明する平面図である。 図１７に示す搬送ロボットの作動状態を説明する全体斜視図である。 本願発明の第７の実施形態に係る搬送ロボットの全体斜視図である。 図２６に示す搬送ロボットの平面図である。 図２６に示す搬送ロボットの正面図である。 図２６に示す搬送ロボットの正面視断面図である。 （ａ）および（ｂ）は、図２６に示す搬送ロボットの作動状態を説明する平面図である。 （ａ）および（ｂ）は、図２６に示す搬送ロボットの作動状態を説明する平面図である。 本願発明の第８の実施形態に係る搬送ロボットの平面図である。 図３２に示す搬送ロボットの正面図である。 （ａ）〜（ｃ）は、図３２に示す搬送ロボットの作動状態を説明する平面図である。 第１および第６の実施形態の変形例を説明する平面図である。 従来の搬送ロボットの一例を示す説明図である。
符号の説明
１，４１０ ガイド部材
２ 移動部材
２’ 補助移動部材
２０Ａ 第１移動部材
２０Ｂ 第２移動部材
２０，２０’ 案内溝
２０ａ，２０ｂ，２０ｂ’ ハンド支持部
２１ａ，２１ｂ，２１ｂ’ ハンド
２３ｂ 支持アーム
２４ａ 連結アーム
３ 駆動機構
３Ａ 平行四辺形リンク機構
３０Ａ 第１駆動機構
３０Ｂ，３０Ｂ’ 第２駆動機構
３１ 第１リンクアーム
３１ａ 第１ギア
３１ａ’ 第１間欠ギア
３１ａａ 第３ギア
３２ 副リンクアーム
３３ 中間リンク
３３’ 補助中間リンク
３４ 第２リンクアーム
３４ａ 第２ギア
３４ａ’ 第２間欠ギア
３５ 第３リンクアーム
３５ａ 第４ギア
３００ 旋回ベース
４，４’ ハンド
４２１ 第１ガイドレール
４２２ 第２ガイドレール
５，２００ 固定ベース
Ｏ１〜Ｏ１１ 第１〜第１１垂直軸
Ｏｓ 旋回軸
Ａ，Ａ１ 搬送ロボット
Ｂ 直線移動機構
ＧＬ 移動行程
ＰＬ 平行線
ＡＬ 弧線
Ｗ ワーク

Claims (17)

  1. ガイド部材と、このガイド部材にスライド可能に支持され、このガイド部材上に設定された水平直線状の移動行程に沿って移動可能な移動部材と、この移動部材を駆動する駆動機構とを備えた直線移動機構であって、
    上記駆動機構は、上記ガイド部材における上記移動行程上またはその平行線上の第１垂直軸を中心として回動駆動される第１リンクアームと、上記移動行程上またはその平行線上の上記第１垂直軸と異なる第２垂直軸を中心として回動可能な副リンクアームと、上記第１リンクアームおよび副リンクアームが第３垂直軸および第４垂直軸を中心として相対回動可能に連結される中間リンクとを備えた平行四辺形リンク機構を含むとともに、上記中間リンクに対して上記第３垂直軸と第４垂直軸を通る直線上の第５垂直軸を中心として相対回動可能に一端が連結されるとともに、他端が上記移動部材に対して上記移動行程と交差する方向に移動可能とされた第６垂直軸を中心として回動可能に連結された第２リンクアームを含んでおり、
    上記第５垂直軸と上記第６垂直軸との軸間距離は、上記第１垂直軸と上記第３垂直軸との軸間距離と等しく設定されており、かつ、
    上記第１リンクアームと上記第２リンクアームとは、上記第１リンクアームが回動駆動されるとき、上記第２リンクアームと上記移動部材との連結部の軌跡が、上記水平直線状の移動行程と一致もしくは平行するように連携されていることを特徴とする、直線移動機構。
  2. ガイド部材と、このガイド部材にスライド可能に支持され、このガイド部材上に設定された水平直線状の移動行程に沿って移動可能な移動部材と、この移動部材を駆動する駆動機構とを備えた直線移動機構であって、
    上記駆動機構は、上記ガイド部材における上記移動行程上またはその平行線上の第１垂直軸を中心として回動駆動される第１リンクアームと、上記移動行程上またはその平行線上の上記第１垂直軸と異なる第２垂直軸を中心として回動可能な副リンクアームと、上記第１リンクアームおよび副リンクアームが第３垂直軸および第４垂直軸を中心として相対回動可能に連結される中間リンクとを備えた平行四辺形リンク機構を含むとともに、上記中間リンクに対して上記第３垂直軸と第４垂直軸を通る直線上の第５垂直軸を中心として相対回動可能に一端が連結されるとともに、他端が上記移動部材に対して第６垂直軸を中心として回動可能に連結された第２リンクアームを含んでおり、
    上記第５垂直軸と上記第６垂直軸との軸間距離は、上記第１垂直軸と上記第３垂直軸との軸間距離と等しく設定されており、
    上記移動部材には、さらに別の補助移動部材が上記移動行程に沿って移動可能に支持されており、上記第２リンクアームは、上記補助移動部材に対し、上記第５垂直軸から第６垂直軸を通ってさらに延びる延長線上の第７垂直軸を中心として相対回動可能で、なおかつ上記第７垂直軸が上記移動行程と交差する方向に変位可能に連結されており、かつ、
    上記第１リンクアームと上記第２リンクアームとは、上記第１リンクアームが回動駆動されるとき、上記補助移動部材に対する上記第２リンクアームの回動軸となる上記第７垂直軸の軌跡が、上記移動行程に沿って弧線を描くように連携されていることを特徴とする、直線移動機構。
  3. ガイド部材と、このガイド部材にスライド可能に支持され、このガイド部材上に設定された水平直線状の移動行程に沿って移動可能な移動部材と、この移動部材を駆動する駆動機構とを備えた直線移動機構であって、
    上記駆動機構は、上記ガイド部材における上記移動行程上またはその平行線上の第１垂直軸を中心として回動駆動される第１リンクアームと、上記移動行程上またはその平行線上の上記第１垂直軸と異なる第２垂直軸を中心として回動可能な副リンクアームと、上記第１リンクアームおよび副リンクアームが第３垂直軸および第４垂直軸を中心として相対回動可能に連結される中間リンクとを備えた平行四辺形リンク機構を含むとともに、上記中間リンクに対して上記第３垂直軸と第４垂直軸を通る直線上の第５垂直軸を中心として相対回動可能に一端が連結されるとともに、他端が上記移動部材に対して第６垂直軸を中心として回動可能に連結された第２リンクアームを含んでおり、
    上記第５垂直軸と上記第６垂直軸との軸間距離は、上記第１垂直軸と上記第３垂直軸との軸間距離と等しく設定されており、
    上記移動部材には、さらに別の補助移動部材が上記移動行程に沿って移動可能に支持されているとともに、上記平行四辺形リンク機構には、上記中間リンクより外側において、上記第１リンクアームおよび副リンクアームに第８垂直軸および第９垂直軸を中心として相対回動可能に連結された補助中間リンクが含まれており、この補助中間リンクには、上記第８垂直軸と第９垂直軸を通る直線上の第１０垂直軸を中心として相対回動可能な第３リンクアームが連結されており、この第３リンクアームは、上記補助移動部材に対し、第１１垂直軸を中心として相対回動可能に連結されており、かつ、上記第１０垂直軸と上記第１１垂直軸との軸間距離は、上記第１垂直軸と上記第８垂直軸との軸間距離と等しく設定されており、かつ、
    上記第１リンクアームと上記第２リンクアームとは、上記第１リンクアームが回動駆動されるとき、上記第２リンクアームと上記移動部材との連結部の軌跡が、上記水平直線状の移動行程と一致もしくは平行するように連携されているとともに、上記第１リンクアームと上記第３リンクアームとは、上記第１リンクアームが回動するとき、上記補助移動部材に対する上記第３リンクアームの回動軸となる上記第１１垂直軸の軌跡が、上記水平直線状の移動行程と一致もしくは平行するように連携されていることを特徴とする、直線移動機構。
  4. ガイド部材と、このガイド部材にスライド可能に支持され、このガイド部材上に設定された水平直線状の移動行程に沿って移動可能な移動部材と、この移動部材を駆動する駆動機構とを備えた直線移動機構であって、
    上記駆動機構は、上記ガイド部材における上記移動行程上またはその平行線上の第１垂直軸を中心として回動駆動される第１リンクアームと、上記移動行程上またはその平行線上の上記第１垂直軸と異なる第２垂直軸を中心として回動可能な副リンクアームと、上記第１リンクアームおよび副リンクアームが第３垂直軸および第４垂直軸を中心として相対回動可能に連結される中間リンクとを備えた平行四辺形リンク機構を含むとともに、上記中間リンクに対して上記第３垂直軸と第４垂直軸を通る直線上の第５垂直軸を中心として相対回動可能に一端が連結されるとともに、他端が上記移動部材に対して上記移動行程と交差する方向に移動可能とされた第６垂直軸を中心として回動可能に連結された第２リンクアームを含んでおり、
    上記第５垂直軸と上記第６垂直軸との軸間距離は、上記第１垂直軸と上記第３垂直軸との軸間距離より大きく設定されており、かつ、
    上記第１リンクアームと上記第２リンクアームとは、上記第１リンクアームが回動駆動されるとき、上記第２リンクアームと上記移動部材との連結部の軌跡が、上記水平直線状の移動行程に沿って弧線を描くように連携されていることを特徴とする、直線移動機構。
  5. 上記第１リンクアームには、上記第３垂直軸上に中心をもつ第１ギアが固定されているとともに、上記第２リンクアームには、上記第５垂直軸上に中心をもつとともに上記第１ギアと噛み合い、かつこれと同径の第２ギアが固定されている、請求項１ないし４のいずれかに記載の直線移動機構。
  6. 上記第１リンクアームには、上記第３垂直軸上に中心をもつ第１間欠ギアが固定されているとともに、上記第２リンクアームには、上記第５垂直軸上に中心をもつとともに上記第１間欠ギアと一時的に噛み合う第２間欠ギアが固定されている、請求項１ないし４のいずれかに記載の直線移動機構。
  7. 上記第１リンクアームには、上記第３垂直軸上に中心をもつ第１ギアと上記第８垂直軸上に中心をもつ第３ギアとが固定されているとともに、上記第２リンクアームには、上記第５垂直軸上に中心をもつとともに上記第１ギアと噛み合い、かつこれと同径の第２ギアが固定されており、上記第３リンクアームには、上記第１０垂直軸上に中心をもつとともに上記第３ギアと噛み合い、かつこれと同径の第４ギアが固定されている、請求項３に記載の直線移動機構。
  8. 上記第１リンクアームには、上記第３垂直軸上に中心をもつ第１間欠ギアと上記第８垂直軸上に中心をもつ第３間欠ギアとが固定されているとともに、上記第２リンクアームには、上記第５垂直軸上に中心をもつとともに上記第１間欠ギアと一時的に噛み合う第２間欠ギアが固定されており、上記第３リンクアームには、上記第１０垂直軸上に中心をもつとともに上記第３間欠ギアと一時的に噛み合う第４間欠ギアが固定されている、請求項３に記載の直線移動機構。
  9. 請求項１ないし８のいずれかに記載の直線移動機構が固定ベースに対し、上記移動行程上における鉛直状の旋回軸を中心として上記ガイド部材が旋回しうるように支持されているとともに、上記移動部材または補助移動部材には、板状ワークを載置しうるハンドが設けられていることを特徴とする、搬送ロボット。
  10. 上記直線移動機構はまた、上記固定ベースに対し、上記旋回軸に沿って昇降しうるように支持されている、請求項９に記載の搬送ロボット。
  11. 上記直線移動機構は、上記固定ベースに対して上記旋回軸を中心として旋回可能な旋回ベースに設けられており、上記移動部材は、上記移動行程に沿って相互に干渉することなく移動可能に上記ガイド部材に支持された第１移動部材および第２移動部材を含んでいるとともに、上記駆動機構は、上記第１移動部材および第２移動部材をそれぞれ駆動するように上記旋回ベースに設けられた第１駆動機構および第２駆動機構を含んでいる、請求項９または１０に記載の搬送ロボット。
  12. 上記第１駆動機構および上記第２駆動機構は、上記移動行程に対して対称に配置されている、請求項１１に記載の搬送ロボット。
  13. 上記ガイド部材には、上記第１移動部材を移動可能に支持し、上記移動行程を挟んで位置する一対の第１ガイドレールと、上記第２移動部材を移動可能に支持し、上記一対の第１ガイドレールの外側において上記移動行程を挟んで位置する一対の第２ガイドレールとを備えている、請求項１１または１２に記載の搬送ロボット。
  14. 上記第１移動部材および上記第２移動部材は、それぞれ、ハンドの基部を支持するハンド支持部を備えている一方、上記第２移動部材のハンド支持部は、上記第１移動部材のハンド支持部より上位に位置しているとともに、上記第２移動部材は、そのハンド支持部の両側部から上記第１移動部材のハンド支持部の両側部を迂回して延びる一対の支持アームを介して上記一対の第２ガイドレールに支持されている、請求項１３に記載の搬送ロボット。
  15. 上記第１移動部材は、上記一対の第２ガイドレールの内側において、上記ガイド部材を貫通して延びる連結アームを備え、この連結アームを介して上記第１駆動機構の第２リンクアームに連結されている一方、上記第２移動部材は、上記一対の支持アームの適部において上記第２駆動機構の第２リンクアームに連結されている、請求項１４に記載の搬送ロボット。
  16. 上記補助移動部材は、上記第２移動部材に支持されており、上記第１移動部材および上記補助移動部材は、それぞれ、ハンドの基部を支持するハンド支持部を備えている一方、上記補助移動部材のハンド支持部は、上記第１移動部材のハンド支持部より上位に位置しているとともに、上記補助移動部材を支持する上記第２移動部材は、その両側部から上記第１移動部材のハンド支持部の両側部を迂回して延びる一対の支持アームを介して上記一対の第２ガイドレールに支持されている、請求項１３に記載の搬送ロボット。
  17. 上記第１移動部材は、上記一対の第２ガイドレールの内側において、上記ガイド部材を貫通して延びる連結アームを備え、この連結アームを介して上記第１駆動機構の第２リンクアームに連結されている一方、上記第２移動部材は、上記一対の支持アームの適部において上記第２駆動機構の第２リンクアームに連結されており、かつ、上記補助移動部材は、上記移動行程と交差する方向に長手状の案内溝を介して上記第２駆動機構の第２リンクアームに連結されている、請求項１６に記載の搬送ロボット。
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