JP6063776B2 - 基板搬送経路の決定方法、基板搬送装置、基板処理装置及びプログラム - Google Patents
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Description
12 プロセスモジュール12
17 第1搬送装置
19a,19b ゲートバルブ
20 第2搬送装置
22 制御装置
23 第1搬送コントローラ
24 第2搬送コントローラ
25 位置検出センサ
Claims (9)
- 基板搬送ロボットの基板保持部に保持された基板を搬送するために前記基板保持部を所定の始点から終点へと移動させる際の基板搬送経路の決定方法であって、
前記基板搬送経路は、
前記始点を通る第1の直線の軌道を定め、前記第1の直線と接する円弧の軌道を算出し、前記円弧に接すると共に前記終点を通る第2の直線を算出し、その後に前記終点の位置が変更された場合には、前記円弧の半径を変化させずに前記変更された終点を通ると共に前記円弧と接する直線を前記第2の直線として再算出し、前記基板保持部の中心を、前記第1の直線上を移動させた後に前記第1の直線と前記円弧との接点からは前記円弧上を移動させ、続いて、前記円弧と前記第2の直線との接点からは前記第2の直線上を移動させて前記終点へ到達させるように決定されることを特徴とする基板搬送経路の決定方法。 - 前記基板は直径が450mmの円板状の半導体ウエハであることを特徴とする請求項1記載の基板搬送経路の決定方法。
- 基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板を搬送するために前記基板保持部を所定の始点から終点へと移動させる際の基板搬送経路を決定する制御部と、
前記制御部により決定された基板搬送経路にしたがって前記基板保持部を駆動する駆動部とを備える基板搬送装置であって、
前記制御部は、前記基板搬送経路としての前記始点を通る第1の直線の軌道と、前記第1の直線と接する円弧の軌道と、前記円弧に接すると共に前記終点を通る第2の直線の軌道とを算出し、その後に前記終点の位置が変更された場合には、前記円弧の半径を変化させずに前記変更された終点を通ると共に前記円弧と接する直線を前記第2の直線として再算出し、
前記駆動部は、前記基板保持部の中心が、前記第1の直線上を移動した後に前記第1の直線と前記円弧との接点からは前記円弧上を移動し、続いて、前記円弧と前記第2の直線との接点からは前記第2の直線上を移動して前記終点へ到達するように前記基板保持部を駆動することにより前記基板を前記始点側から前記終点側へと搬送することを特徴とする基板搬送装置。 - 前記基板は直径が450mmの円板状の半導体ウエハであることを特徴とする請求項3記載の基板搬送装置。
- 基板を載置する載置部を有し、前記載置部に載置された基板に対して所定の処理を施す基板処理部と、
基板を保持する基板保持部を有し、前記基板保持部に保持した基板を前記載置部へ搬送する基板搬送装置と、
前記基板搬送装置による基板搬送経路を決定する制御部と、
前記制御部により決定された基板搬送経路にしたがって前記基板保持部を駆動する駆動部とを備える基板処理装置であって、
前記制御部は、前記載置部の中心を終点とし、前記基板保持部に保持された基板を所定の始点から前記載置部へ搬送するために、前記基板搬送経路としての前記始点を通る第1の直線の軌道と、前記第1の直線と接する円弧の軌道と、前記円弧に接すると共に前記終点を通る第2の直線の軌道とを算出し、その後に前記終点の位置が変更された場合には、前記円弧の半径を変化させずに前記変更された終点を通ると共に前記円弧と接する直線を前記第2の直線として再算出し、
前記駆動部は、前記基板保持部の中心が、前記第1の直線上を移動した後に前記第1の直線と前記円弧との接点からは前記円弧上を移動し、続いて、前記円弧と前記第2の直線との接点からは前記第2の直線上を移動して前記終点へ到達するように、前記基板保持部を駆動することを特徴とする基板処理装置。 - 前記制御部は、前記基板の中心が前記基板保持部の中心との間にずれが生じている場合に前記基板の中心と前記載置部の中心とが一致するように前記終点の位置を変更することを特徴とする請求項5記載の基板処理装置。
- 前記基板は直径が450mmの円板状の半導体ウエハであることを特徴とする請求項5又は6記載の基板処理装置。
- 前記基板処理部は、基板処理室を有し、
前記基板処理室は、大気雰囲気と真空雰囲気との間で切り換えを行う基板載置室、又は、基板に対してプラズマ処理を施すプラズマ処理室であることを特徴とする請求項5乃至7のいずれか1項に記載の基板処理装置。 - 基板搬送ロボットの基板保持部に保持された基板を搬送するために前記基板保持部を所定の始点から終点へと移動させる際の基板搬送経路の決定方法をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記基板搬送経路は、
前記始点を通る第1の直線の軌道を定め、前記第1の直線と接する円弧の軌道を算出し、前記円弧に接すると共に前記終点を通る第2の直線を算出し、その後に前記終点の位置が変更された場合には、前記円弧の半径を変化させずに前記変更された終点を通ると共に前記円弧と接する直線が前記第2の直線として再算出し、前記基板保持部の中心を、前記第1の直線上を移動させた後に前記第1の直線と前記円弧との接点からは前記円弧上を移動させ、続いて、前記円弧と前記第2の直線との接点からは前記第2の直線上を移動させて前記終点へ到達させるように決定されることを特徴とするプログラム。
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