TWI332930B - Transfer for use in transmitting works - Google Patents

Description

1332930 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關一種基板輸送裝置，更具體地係有關一 種經過結構改良，在承載基板的狀態下容易旋轉，從而提 高基板輸送效率的基板輸送裝置。 【先前技術】

通常用於平板顯示器（FPD ; Flat Panel Display 、半 導體晶片、液晶顯示器（LCD)、掩膜板用破璃等的基板 通過-系列的處理、線，經蝕刻、去膜、漂洗等 再被洗淨。 延傈的基板處理線通 _竹巫攸的翻轉部； 用於從翻轉料接基板，再將其供向洗淨部的裝載機；用 於依次洗淨基板上異物的洗淨部；用於乾燥基板的乾燥 部，及用於卸載基板的卸載機。 ’、 對於上述基板處理線，有效地 送裝置是其重要因素。 I工序輸送基板的輸 即，這些輸送裝置有時需要將從上一 向下-工序，繼續沿相同 7的基板 垂直方向或反方向）輸送。^向其他方向（例如， 但是，如上所述的現有輸送裝 工序間的銜接不·，存在不能自由=二序及下-缺點。 田轉換基板輪送方向的 即，當把所承接的基板向下一工 可以順利進行輸送作業，但，當把^相同方向輸送時， 把方向轉換成垂直或反方 5 1332930 向時’須另外配置翻轉部。 而这些問題，隨著基板的大型化趨勢顯得更為突出’ 更加使基板的輸送難以進行，從而影響基板的品質，導致 瑕疯品的增加。 【發明内容】 本發明鑒於上述問顏七 ^ D L ^ ^ # ]碭而作，其目的在於提供一種經過 結構改良，能夠在承避其 土反的狀也下容易旋轉，從而提高 基板輸运效率的基板輸送裳置。 λ見上述目的，本發明基板輸送裝置包括：可滑 行地安裝於框架軌道上的底板；安裝於上述底板的上面， 並在其上面承載基板的上板；可旋轉地連接 板的連接部件；及脾n α 1 一 ，上述上板的旋轉半徑限制在一定範圍 内的旋轉限制裝置。 本發明的基板輸送裝置，經過結構改良，能夠在承載 基板的狀,4下容易旋轉，從而提高了基板的輸送效率。 【實施方式】 以下參照附圖詳細地說明本發明之實施例相關的基板 輸送裝置》 本發明所提出的基板輸送裝置適用於—般的基板處理 線，下面以如圖”斤示的層疊型基板處理線進行說明。 如圖1所示，具備本發明基板輸送裝置的基板處理線， 包括.框架3，·可滑行地安裝於上述框架3的軌道r上， f送入側與送出側間做往返運動，同時支揮基板G並使之 此夠自由旋轉的用於輸送基板的輸送裝置5(; 6 1332930 從上述輸送裝置5承接基板G之後下降的送入側垂直輪送 部7 ;用於處理基板G的處理機組1 1 ;設置於處理機組工工 的送入側及送出側’用於輸送基板G的第一輸送部9及第 二輸送部13;將經過處理的基板G再次輸送至輸送事置$ 的送出側垂直輸送部1 5。 因此’由上一工序輸送過來的基板（>被置放於輸送數 置5的上面後，輸送裝置5就在承載該基板g的狀態下> 著軌道r向前進，並將基板G輸送至送入側垂直輸送部7, 或者後退至送出側垂直輸送部1 5承接基板g。 另外，在這樣的基板輸送過程中，可根據需要，藉由 旋轉輸送裝置5轉換基板g的輸送方向。 如圖2至圖4所示，上述輸送裝置5具體可包括：可 滑行地安裝於框架3軌道r上的絲2G;可㈣地安裂於 上述底板2G #上面與之—起移動，並用於在其上面承栽 基板G的上板22;可旋轉地連接上述上板^與底板“的 連接部件30;將上述±板22的旋㈣度限難—定 内的旋轉限制裝置。 丹有上述結構的輸送裝置 为別突設第一延長冑26a及第二延長部⑽，而且該第— =長部。26a及第二延長部抓的底面被設置於框架3的執 上因此，上述底板20能夠沿著執道r滑行。 曰甘：且’上述上板22具有相互連接的多個連接條23, :-面以板材等材料封閉。在 凸出形成有多個支撐飿h 乂疋阿度 牙銷24，而且在其角隅部，分別具備基 7 丄州2930 板固定托座25 。 因此，可在多個支撐銷24上放置基板G，且由基板固 定托座25固定基板G的角部，從而能夠穩定地放置基板 G。 π v 〜，八wv符m史银部什相 連接，由此具有上板22相對於底板2〇可旋轉的結構。 上述連接。卩件30包括：安裝於底板2〇的板面29上的 "轉氣缸，，且裝體36，凸出形成於上述氣缸組裝體％上的 轉軸38;從上述上板22的底面向下方凸出，並藉由插入 於上述轉軸38而被固定的插入肋6〇。 上述氣缸組裝體36可適用藉由油愿或氣壓而旋轉的旋 轉氣虹，而該氣缸與上述轉軸38相嚙合。 旋轉因此，當氣缸旋轉時，轉轴38向順時針或逆時針方向 其結果，當上述氣缸組裝體38 旋轉，從而帶動經由插入肋6"皮連接設置的 另外，為了控制上板22的旋轉角度而被 轉限制裝置包括：安F於庙# 置的上述旋 裝於底板2〇上面的第一緩衝邱h 第二緩衝部34，·從上述上板22的底面 \衝^2及 板22旋轉時，有 ' 凸出，當上 W f有選擇地與上述第_緩衝部3 部34接觸，從而 及第二緩衝 了丄逆上板22的旋韓限岳〖+ 的制動器。 制在一定範圍内 如圖5及圖6戶斤-T" > s * l 上述第炫 ' 成結構的旋轉限制裝 上迷第一緩衝部32和第- 市』衷置令， …34具有相同結構，並以 8 連接部件30為中心相互對稱配置。 上述第-緩衝部32包括，安震於内側( 的第一内側緩衝考4〇 * 件方向） 而且，在上、t.t 女裝於外側的第-外側緩衝器42。 —“ 内側緩衝器4〇的鄰接位置上安裝有第 氣缸46 ’並且第一氣缸 、 緩衝器42上。 48被連接在第—外側 上。此時’上述第一外側緩衝器42可滑行地安衰於執道rl 動第-外側緩衝Γ42 時’活塞48推開或拉 側或外側移動I:以使第一外側緩衝器42能夠向内 動^ 動。如此，由於上述第一外側緩衝1 42可移 田反22旋轉時，可避免與經過第一外側緩衝器42 位置的第一制動器S1相接觸。 。 播另外’第二緩衝部34具有與第一緩衝部32相同的結 ，且二者相互對稱配置。 即，上述第二緩衝部34包括安裝於内側（連接部件方 ^ )的第二内側緩衝器52和安裝於外側的第二外側緩衝 ° 而且在上述第二内側緩衝器52的鄰接位置上安 裝有第—氣缸58,而第二氣缸58的活塞59被連接在第二 外側緩衝器50上。 此時，上述第二外側緩衝部50可滑行地安裝於軌道r2 上。 由此，當上述第二氣缸58驅動時，活塞59推開或拉 動第一外側緩衝器5〇，以使第二外側緩衝器5〇能夠向内 1332930 側或外側方向移動。如 可移動，當上板22碇轉 ;上述第二外側緩衝器50 ^ 5〇 轉時，可避免與經過第二外側緩徐 态50位置的第二制動器S2相接觸。 卜側緩衝 而且，设置於上述上板22的制、 板22的底面向下方凸出，因 二：長度從上 別與設置在底板20上的第一緩種22㈣時，能约分 相接觸。 '' Γ °Ρ 32和第二緩衝部34 分別Sr外上述制動器包括：當上板22旋轉時，可 4與上述第—外側緩衝器42和第二外 Τ 的一對外側制動器：在上彳 °接觸 -内側緩衝器4。和第_ Λ, d轉時，可分別與上述第 器S3。 — @ 52相接觸的内側制動 上述一對外側制動琴句. 時針方向旋轉，道順時針或者逆 轉田與弟一外側緩衝器42接觸時， “停止於起始位置的第一制動器Sl;二:= 二：對稱配置，沿著-定的軌道向順時針或者逆時針方 I:二當與第二外側緩衝器5。接觸時’可使上板::： 止於起始位置的第二制動器S2。 第-制動器si和第二制動器S2具有當上板 起始位置向順時針或逆時針方向旋轉9〇度之後再返回至 已始位置時’使其停止於零度位置（原位）的功能。 即’當上板22停止在起始位置（如圖6所示位置）時， 二制動器S2與第二外側緩衝器5〇接觸，由此 停止狀態。此時，由於第一外側緩衝器42在氣…:： 叫93〇 用下處於向内側移動的狀態，因一 至第一外側緩衝器42的位置。 制動器s 1可旋轉 y而且，當上板22向順時針 谈，再返回至起始位置時，第/ 日’針方向旋轉90度之 例緩衝器5。接觸。由此，上：：動器S2重新與第二外 固定在起始位置即零度位置β 此夠被第二制動器S2 另外，上述内側制動器S3 μ — * 時針方向旋轉，並與第_ 疋執道順時針或者逆 52交替接觸，由此能夠將上“"二内側緩衝 的位置。 固定在旋轉90度後 ? §上板22從起始位置逆時私士 a 内側制動器S3則與第一内伽 向旋轉90度時， 板22;當從起始位置向順時針方 接觸，從而固定上 侧制動器S3則與第二内 ：9〇度時，所述内 22。 側緩衝盗52接觸，從而固定上板 因此，上板22能夠被内側制 或者順時針方向旋轉90度後的ϋ/3固定在向逆時針 ，:上可藉由旋轉限制裝置，相對於底板 度）^是向㈣針或者料針方向旋轉90 或者返回至起始位置。 板輪：¥ :照附圖更詳細地說明根據本發明實施例的基 询送裝置的工作過程。 位置時，裳一斤不。。§上板22在承載基板的狀態下處於起始 制動器S 1處於第一外側緩衝器42的位置上， 11 1332930 而第二制動器S2則声於哲 熊。 处於和第二外側緩衝器50接觸的狀 此時，上述第—外 側衝益42已在氣缸46的作用下 移到内側，因此可防止 万止與第一制動器S1發生干擾。 在此狀態下，如圖7郎· - ,4. 3 不，連接部件30的氣缸組裝體 36被驅動，讓上板2 太 承载基板（〇 )的狀態下沿著箭頭 方向逆時針方向旋轉。 石幻项 隨著上板22的读昧私# 由7 夺針凝轉，内側制動器S3則向第一 内側緩衝器40方向接近。 此時，第一制動c 1 + 位 助益S1處於已脫離第一外側緩衝器42 置的狀態，而第二也丨00 —制動盗S2則接近基準線C/L。 在此狀態下，向诘拄以+ , … 夺·，十方向進一步旋轉，則如圖8所 '、’上板22從起始位署& 置向逆時針方向旋轉90度。 即’内側制動器S3 i^ 使上;te Μ '、第—内側緩衝器40接觸，從而

之上板22叙轉90度之徭作.L % - 了止。此時，第一制動器S1和 第一制動裔S2位於基準線c/L上。 相反地，當上板22你、a w 回至Mm蛀 從延時針方向旋轉90度的位置返 w主趣始位置時，連接卹生 ^ 驅動，产而推卜。牛3〇的氣缸組裝體36向反方向 使上板22向順時針方向旋轉。 之拉Γ且’第二制動器S2旋轉至第二外側緩衝”0並盘 之接觸，從而能夠使上板^定在起始位置 並與 此時，第一制動器S丨移 而糾、Α 移向第一外側緩衝器42的位罟 而所迷第一外側緩衝器2的位置， .. 匕在氣缸 46 的作用 側’因此可防止與第-制動。。c ㈣用下移到内 句動态S1發生干擾。 12 1332930 々此’上板22藉由從起始位 度’或者從逆時針方向返 向逆時針方向旋轉9〇 送方向。 °立置，轉換基板G的輪 另外，如圖6所示，杏 旋轉90声日车Ηπ , β反22從起始位置順時4+ + 轉0度時，内側制動器83開 頁時針方向 而向第二外側緩衝器50方向移動。⑴頁時針方向旋轉，從 此時’第二緩衝器5。在“ 58 由此可防止與將到達第二外肖下移向内側， 動器S3發生干擾。 气〇位置上的内側制 當上板22向順時針方& 與第二内侧緩衝器52相接:步旋轉時，内側制動器-後的=上域Μ能夠被固定在向順時針方向旋轉度 =地，當上板22從此位置返回至起始 制動盗s"走轉至第一外側緩衝器42並與 第- 上板22被固定在起始位置上。 由此讓 如此，經由上板22的順時針或逆 基板G的輸送方向。 辑乳夠轉換 伴雙不過是本發明的較佳實施例，而本發明的 …蔓範圍不限於此’可在申請專利範圍、發明内容 $的範圍内進行各種修飾和變更，而這些也應該屬發 明的保護範圍。 冬發 【圖式簡單說明】 圖1是具備本發明基板輸送裝置的基板處理裝置的立 13 體圖。 圖2疋圖1中輸送裝置的立體放大圖。 81 3是圖2中輸送裝置的立體分解圖。 圖4是圖2中輪送裝置的側視圖。 tgi 是圖3中輪送裝置的底板的立體放大圖。 ^圖6是圖3中輸送裝置的上板在起始位置上的狀態示

圖 時針方 7是圖3中輸送裝置的上板在以中心線為基準向逆 向旋轉後的狀態示意圖。 圖8是圖3中輸送裝置的上板向逆時針方 止在90度位置上的狀態示意圖。 【主要元件符號說明】

向旋轉後停 3 框架 5 輸送裝置 7 送入側垂直輸送部 9 第一輸送部 11 處理機組 13 第二輸送部 15 送出側垂直輸送部 20 底板 22 上板 23 連接條 24 支撐銷 25 固定托座 14 1332930

26a 第一延長部 26b 第二延長部 29 板面 30 連接部件 32 第一緩衝部 34 第二緩衝部 36 氣缸組裝體 38 轉軸 40 第一内側緩衝器 42 第一外側緩衝器 46 第一氣缸 48 活塞 50 第二外側缓衝器 52 第二内側緩衝器 58 第二氣缸 59 活塞 60 插入肋 G 基板 r，r 1，r2 軌道 SI 第一制動器 S2 第二制動器 S3 内側制動器 C/L 基準線. 15

Claims (1)

1332930 十、申請專利範圍： 曰修(更财 1. 一種基板輸送裝置，其特徵在於： 其包括： 可滑行地安裝於框架軌道上的底板； 安裝於上述底板的上面，並在其上面承载基板的上板 在底板上可旋轉地連接上述上板的連接部件；及 將上述上板的旋轉角度限制在大於〇度且等於或小衣 9 0度的旋轉限制裝置， 其中，上述旋轉限制裝置包括： 安裝於底板上面的第一緩衝部和第二緩衝部；及 從上述上板的底面向下方凸出，當上板旋轉時有選擇 地與上述第一緩衝部及第二緩衝部接觸，從而將上板的旋 轉限制在大於〇度且等於或小於9〇度的多個制動器。 2·如申請專利範圍第丨項所述之基板輸送裝置，其特 徵在於： ' 所述連接部件包括： 女襄於上述底板板面上的氣缸組裝體； 凸出於上述氣缸組裝體的轉軸；及 從上述上板的底面向下方凸出，並藉由插入於上述轉 車由而被固定的插入肋， 其中’當上述氣缸組裝體驅動時，轉軸隨之旋轉，從 而帶動藉由插入肋被連接的上板旋轉。 3如申請專利範圍第1項所述之基板輸送裝置，其特 徵在於： 16 1332930 上述第一缓衝部包括： 安裝於内側的第—内側緩衝器； 安裝於外側，可向内侧移動的第一外側緩衝器；及 安裝於上述第—内側緩衝器的鄰接位置，並與上述第 外側緩衝器相連接’能夠使第一外側緩衝器移動的 氣缸。 4.如申請專利範圍第丨項所述之基板輸送裝置，盆 徵在於： 八符 上述第二緩衝部包括： 安裝於内側的第二内側缓衝器； 2裝於外側’可向内側移動的第二外側緩衝器；及 安裝於上述第二内側緩衝器的鄰接位置，並與上 二外側緩衝器相連接，A ^ 此夠使弟一外側緩衝器移動的第二 氣缸。 其請專利範圍第3或4項所述之基板輪送裝置， 上述制動器包括： 在上板旋轉時，有選 二外側緩衝器相接觸 外側緩衝器和第 對外側制動器；及從而將上板固定在起始位置上的一 從： = 第二内側緩衝器交替接觸， 度鉍轉位置上的内側制動器。 徵在於：4專利範圍第5項所述之基板輸送裝置，其特 17 上述一對外側制動器包括： 可沿-定的執it順時針或者逆 第—外側緩衝器時，使上板 2轉，當接觸 器，·及 隹起始位置上的第一制動 和上述第一制動器對稱配 :::時針旋轉，當接觸第二外二 止在起始位置上的第二制動器。 了使上板# 徵^如申請專利範” 6項所述之基板輸送裝置其特 時2f —制動器經過上述第—外側緩衝器的位置 :可上述第—外側緩衝器在氣缸的作用下向内侧移動，從 :方止第一制動器與第一外側緩衝器發生干擾丨當上述 ::制動器移至第二外側緩衝器位置時，第二外側緩衝器 T的作用下向内側移動，從而可防止第二制動器與第 一外側緩衝器發生干擾。 8- —種基板處理裝置，其特徵在於： 其包括： 框架； ^可m行地安裝於框架軌道上，並在送入側與送出側間 4 L運動，同時支撐基板並使之能夠自由旋轉的基板輸 送裝置； «上述輪送農置承接基板之後下降的送入側垂直輸送 部； 用於處理由上述送入側垂直輸送部所供給的基板的處 1332930 理機組； 重新將上述處理機組處理過的基板輸送至上述輸送裝 置的送出側垂直輸送部；以及 設置於上述處理機組的送入側與送出側，並從送入側 垂直輸送部承接基板後，將其輸送至上述處理機組，再從 處理機組承接基板後，將其輸送至上述送出側垂直輸送部 的輸送部。 十一、圖式： 如次頁 19