KR20050087361A - 기판 이송 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조 공정에서 서로 다른 크기의 기판을 이송할 수 있는 기판 이송 장치에 관한 것이다. 본 발명의 기판 이송 장치는 핸드에 착탈 가능하게 설치되어 기판의 밑면을 받쳐주는 적어도 3개의 받침 핑거를 갖는다. 이 받침 핑거는 핸드에 고정되는 고정부와, 고정부로부터 연장되어 형성되는 그리고 제1기판을 받치는 제1안착부 그리고 제1안착부로부터 연장되어 형성되는 그리고 제1기판보다 작은 크기의 제2기판을 받치는 제2안착부가 일체로 이루어진다.

Description

기판 이송 장치{WAFER TRANSFER APPARATUS}

본 발명은 반도체 제조 공정에서 기판 이송에 사용되는 기판 이송 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 서로 다른 크기의 기판을 이송할 수 있는 새로운 기판 이송 장치에 관한 것이다.

반도체 양산공정에서 단위공정을 진행하기 위해서는 제특성에 맞는 설비들을 사용하며, 이들 각기 다른 설비마다 각기 특성이 있는 웨이퍼 이송 장치들을 구비하고 있다.

일반적으로, 반도체 웨이퍼(미도시)를 유니트와 유니트 사이에서 이송하기 위한 기판 이송 장치는 아암의 선단에 실제적으로 기판이 안치되도록 하는 핸드(Hand)가 구비된다.

이 핸드는 도 1에서 보는 바와 같이 3개의 웨이퍼 가이드가 설치되어 있는데, 기존의 핸드는 정해진 크기의 기판만을 홀딩하도록 구성되어 있어서, 서로 다른 크기의 기판을 홀딩하기 위해서는 그 기판 크기에 맞는 다른 핸드로 교체해야만 하는 번거로움이 있다.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 서로 다른 크기의 기판을 모두 홀딩할 수 있는 새로운 형태의 기판 이송 장치를 제공하는데 있다.

상기 기술적 과제들을 이루기 위하여 본 발명의 기판 이송 장치는 구동수단이 설치되는 본체; 상기 본체의 상부에 설치되어 본체를 중심으로 전후 및 회전되는 메인 아암; 상기 메인 아암의 끝단부에 설치되는 핸드와; 상기 핸드에 착탈 가능하게 설치되어 기판의 밑면을 받쳐주는 적어도 3개의 받침 핑거를 포함하되; 상기 받침 핑거는 상기 핸드에 고정되는 고정부와; 상기 고정부로부터 연장되어 형성되는 그리고 제1기판을 받치는 제1안착부와; 상기 제1안착부로부터 연장되어 형성되는 그리고 상기 제1기판보다 작은 크기의 제2기판을 받치는 제2안착부가 일체로 이루어진다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1안착부는 상기 제1기판의 테두리를 측면에서 지지하는 제1측면 가이드부와; 상기 제1기판의 저면을 받치는 제1돌기를 포함하고, 상기 제2안착부는 상기 제2기판의 테두리를 측면에서 지지하는 제2측면 가이드부와; 상기 제2기판의 저면을 받치는 제2돌기를 포함한다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1안착부는 상기 제2안착부보다 높은 위치에서 상기 제1기판을 지지할 수 있다.

예컨대, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부도면 도 1 내지 도 4에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호를 병기한다.

본 발명은 도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 사시도이다. 도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 받침 핑거의 평면도 및 측면도이다. 도 4는 서로 다른 크기의 기판이 놓여진 핸드를 보여주는 도면이다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 기판 이송 장치(100)는 아암 구동부(미도시됨)가 설치된 본체(110), 상기 본체(110)와 연결되어 수평면상에서 선회하는 제1아암(122)과 제2아암(124) 그리고 제3아암(126)을 갖는 메인 아암부(120) 그리고 상기 제3아암(126)의 선단에 연결되어 수평면상에서 선회하는 핸드(130)로 이루어지는 다관절 형태의 개구리 뒷다리형(frog-leg type)으로 이루어진다.

상기 핸드(130)에는 3개의 받침 핑거(140)가 착탈 가능하게 설치된다. 이 받침 핑거(140)는 이송하고자 하는 기판(w)의 밑면을 받쳐주는 부분으로, 서로 다른 크기의 기판들 예를 들어 6인치 기판(w2)과 8인치 기판(w1)의 홀딩이 가능하다.

도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 받침 핑거(140)는 고정부(142)와, 제1안착부(144) 그리고 제2안착부(148)로 나누어지며, 이들은 하나의 일체형으로 이루어진다.

상기 고정부(142)는 상기 핸드(130)에 볼트에 의해 고정되는 부분이고, 상기 고정부(142)로부터 연장되어 형성된 제1안착부(144)는 제1기판(w1,8인치 기판)을 받치는 부분이며, 상기 제1안착부(144)로부터 연장되어 형성된 제2안착부(148)는 제2기판(w2,6인치 기판)을 받치는 부분이다.

상기 제1안착부(144)는 상기 제1기판(w1)의 테두리를 측면에서 지지하는 제1측면 가이드부(144a)와 상기 제1기판(w1)의 저면을 받치는 2개의 제1돌기(144b)를 갖는다. 그리고 상기 제2안착부(148)는 상기 제2기판(w2)의 테두리를 측면에서 지지하는 제2측면 가이드부(148a)와, 상기 제2기판(w2)의 저면을 받치는 제2돌기(144b)를 갖으며, 상기 제1안착부(144)는 상기 제2안착부(144)보다 높은 위치에서 상기 제1기판을 지지하게 된다.

이와 같이, 본 발명의 기판 이송 장치(100)는 서로 다른 2개의 기판들을 모두 이송할 수 있는 것으로, 핸드의 교체 및 재 티칭 없이 곧바로 6인치 기판과 8인치 기판을 번갈아 가며 이송할 수 있다.

여기서, 상기 기판은 포토레티클(reticlo: 회로 원판)용 기판, 액정 디스플레이 패널용 기판이나 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 등의 표시 패널 기판, 하드 디스크용 기판, 반도체 장치 등의 전자 디바이스용 웨이퍼 등을 뜻한다.

한편, 본 발명은 상기의 구성으로 이루어진 기판이송장치는 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있다. 하지만, 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

이상에서, 본 발명에 따른 기판 이송 장치 및 방법의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.

이와 같은 본 발명을 적용하면, 본 장치는 서로 다른 크기의 기판을 이송함에 있어 핸드의 교체 및 티칭(teaching) 과정 없이 곧바로 설비를 운용할 수 있어 전체적인 설비 가동 시간을 증가시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 사시도;

도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 받침 핑거의 평면도 및 측면도;

도 4는 서로 다른 크기의 기판이 놓여진 핸드를 보여주는 도면이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

110 : 본체

120 : 메인 아암부

130 : 핸드

140 : 받침 핑거

144 : 제1안착부

148 : 제2안착부

Claims (3)

1. 기판 이송 장치에 있어서:

   구동수단이 설치되는 본체;

   상기 본체의 상부에 설치되어 본체를 중심으로 전후 및 회전되는 메인 아암;

   상기 메인 아암의 끝단부에 설치되는 핸드와;

   상기 핸드에 착탈 가능하게 설치되어 기판의 밑면을 받쳐주는 적어도 3개의 받침 핑거를 포함하되;

   상기 받침 핑거는 상기 핸드에 고정되는 고정부와;

   상기 고정부로부터 연장되어 형성되는 그리고 제1기판을 받치는 제1안착부와; 상기 제1안착부로부터 연장되어 형성되는 그리고 상기 제1기판보다 작은 크기의 제2기판을 받치는 제2안착부가 일체로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 제1안착부는 상기 제1기판의 테두리를 측면에서 지지하는 제1측면 가이드부와;

   상기 제1기판의 저면을 받치는 제1돌기를 포함하고,

   상기 제2안착부는 상기 제2기판의 테두리를 측면에서 지지하는 제2측면 가이드부와;

   상기 제2기판의 저면을 받치는 제2돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 제1안착부는 상기 제2안착부보다 높은 위치에서 상기 제1기판을 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.