CN106958007B - 蒸发装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种蒸发装置，包括：壳体，以及位于所述壳体内的：多个蒸发源，所述蒸发源包括：材料腔室、加热件以及喷嘴；限制板，设置于所述蒸发源的两侧，所述限制板的高度超出所述喷嘴，相邻所述限制板之间的距离与高度差，用以限制两所述限制板之间的所述喷嘴的喷料范围；其中，所述限制板连接有移动组件，所述限制板通过所述移动组件，能够在两所述蒸发源之间的区域内水平移动或垂直移动，用以调节所述喷嘴的喷料范围；有益效果为：本发明的蒸发装置，具有可移动的限制板，通过调节限制板的高度及限制板与蒸发源之间的距离，可调节喷嘴的喷料范围，从而可满足基板不同的沉积需求。

Description

蒸发装置

技术领域

本发明具体涉及一种蒸发装置。

背景技术

OLED显示技术较之当前主流的液晶显示技术，具有对比度高、色域广、柔性、轻薄、节能等突出优点；近年来，OLED显示技术逐渐在智能手机和平板电脑等移动设备、智能手表等柔性可穿戴设备、大尺寸曲面电视、白光照明等领域普及，发展势头强劲。

OLED技术主要包括以真空蒸镀技术为基础的小分子OLED技术和以溶液制程为基础的高分子OLED技术；蒸镀机是当前已量产的小分子OLED器件生产的主要设备，其设备核心部分为蒸发源装置，分为点蒸发源、线蒸发源、面蒸发源等。

现有的蒸发源装置，为了控制蒸发源的蒸镀有效区域，在蒸发源两侧设置限制板，限制板的高度超出蒸发源喷嘴的高度，遮挡部分材料以改变喷嘴的喷洒范围，避免材料超出基板范围。

但是，现有的蒸发源装置，其限制板的高度及位置均是固定的，因此，喷嘴的喷洒范围也是固定的，不能满足对不同掺杂材料沉积在基板表面的区域范围进行调节。

发明内容

本发明提供一种蒸发装置，包括有可调节的限位板，通过调节限位板的位置，可对不同掺杂材料沉积在基板表面的区域范围进行调节，以解决现有的蒸发源装置，其限制板的高度及位置均是固定的，喷嘴的喷洒范围也是固定的，不能满足对不同掺杂材料沉积在基板表面的区域范围进行调节的技术问题。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明提供一种蒸发装置，包括：壳体，以及位于所述壳体内的：

多个蒸发源，用于蒸发材料以产生气体材料；所述蒸发源包括：材料腔室，用以放置材料；加热件，贴覆于所述材料腔室的外部，用以对所述材料腔室内的材料进行加热；喷嘴，位于所述蒸发源上侧，用以将气体材料喷洒至基板表面；

限制板，设置于所述蒸发源的两侧，所述限制板的高度超出所述喷嘴，相邻所述限制板之间的距离与高度差，用以限制两所述限制板之间的所述喷嘴的喷料范围；其中，

所述限制板连接有移动组件，所述限制板通过所述移动组件，能够在两所述蒸发源之间的区域内移动，用以调节所述喷嘴的喷料范围。

根据本发明一优选实施例，所述限制板通过所述移动组件，能够在两所述蒸发源之间的区域内水平移动或垂直移动，所述移动组件包括：

水平滑轨，设置于所述蒸发源的两端，且与所述蒸发源的宽度方向相平行；

垂直滑轨，与所述蒸发源的高度方向相平行，并且，所述垂直滑轨底部通过第一驱动电机可滑移地连接至所述水平滑轨上；

所述限制板的端部通过第二驱动电机可滑移地连接至所述垂直滑轨上。

根据本发明一优选实施例，所述喷嘴为线性喷嘴，所述线性喷嘴包括呈一字型间隔分布的多个喷射孔，所述喷射孔的排列方向与基板的移动方向异面垂直。

根据本发明一优选实施例，所述限制板顶端设置有副板，所述副板与所述限制板相垂直，所述副板的侧部向其邻近的所述蒸发源的上方作部分延伸。

根据本发明一优选实施例，所述限制板侧部可拆卸地设置有条形集料槽，所述条形集料槽平行于所述限制板底边，且所述条形集料槽的端部与所述限制板两侧相平齐。

根据本发明一优选实施例，所述限制板内设置有加热件。

根据本发明一优选实施例，所述条形集料槽两端设置有固定耳，所述固定耳弯折搭设于所述限制板侧部，并通过螺栓固定。

根据本发明一优选实施例，所述副板与所述限制板的连接处形成有弧形过渡面。

根据本发明一优选实施例，所述弧形过渡面为内圆弧面，所述弧形过渡面的一端连接于所述副板的端部，所述弧形过渡面的相对另一端连接于所述限制板侧部。

本发明的有益效果为：相较于现有的蒸发装置，本发明的蒸发装置，具有可移动的限制板，通过调节限制板的高度及限制板与蒸发源之间的距离，可调节喷嘴的喷料范围，从而可满足对不同掺杂材料沉积在基板表面的区域范围进行调节。

附图说明

为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的蒸发装置结构示意图；

图2a为本发明的蒸发装置一使用状态图；

图2b为本发明的蒸发装置另一使用状态图。

具体实施方式

以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。

本发明针对现有的蒸发源装置，其限制板的高度及位置均是固定的，喷嘴的喷洒范围也是固定，不能满足对不同掺杂材料沉积在基板表面的区域范围进行调节的技术问题，本实施例能够解决该缺陷。

如图1所示，本发明的蒸发装置，包括：壳体；所述壳体内设置有蒸发源101及设置于所述蒸发源101两侧的限制板102。

所述蒸发源101上包括有材料腔室、加热件以及喷嘴103；所述材料腔室用于放置蒸镀材料；所述加热件贴覆于所述材料腔室的外部，用于对所述材料腔室内的材料进行加热；所述喷嘴103位于所述蒸发源101的上侧，用于对蒸发的气体材料喷洒至基板上。

所述蒸发源101与所述限制板102为多个，所述蒸发源101与所述限制板102交替排列，相邻两所述限制板102之间具有一所述蒸发源101；所述限制板102的高度超出所述喷嘴103，相邻所述限制板102之间的距离与高度差，用以限制两所述限制板102之间的所述喷嘴103的喷料范围。

所述喷嘴103可以为线性喷嘴103，所述喷嘴103包括呈一字型间隔分布的多个喷射孔，所述喷射孔的排列方向与基板的移动方向异面垂直；所述喷射孔与位于其两侧的限制板102的顶端连线，形成一个夹角，所述夹角的角度即所述喷嘴103喷洒材料的角度范围，基板与喷嘴103之间的距离，决定了所述喷嘴103喷洒的材料落在基板表面的面积；为了适配基板不同的沉积需求，需要改变所述喷嘴103喷出的材料落在基板表面的面积，使用限制板102遮挡喷嘴103喷洒出的部分材料，从而可控制所述喷嘴103喷洒的材料落在基板表面的范围。

所述限制板102连接有移动组件，所述限制板102通过所述移动组件，能够在两所述蒸发源101之间的区域内移动，从而可调节各所述限制板102与蒸发源101间的距离，以及所述限制板102高度，从而可控制对喷洒出的材料的遮挡面积。

本实施方式中，所述限制板102通过所述移动组件，能够在两所述蒸发源101之间的区域内水平移动或垂直移动。所述移动组件包括有水平滑轨104，设置于所述蒸发源101的两端，且与所述蒸发源101的宽度方向相平行；垂直滑轨105，与所述蒸发源101的高度方向相平行，并且，所述垂直滑轨105底部通过第一驱动电机可滑移地连接至所述水平滑轨104上；所述限制板102的端部通过第二驱动电机可滑移地连接至所述垂直滑轨105上。

所述水平滑轨104包括水平基底，所述水平基底两侧形成有第一沟槽，所述水平基底上滑移设置有第一连接件，所述第一连接件包括有相互平行的两支撑板，及连接于两支撑板的安装板，所述安装板位于支撑板的上端，两支撑板下端向内弯折并嵌入所述水平基底两侧的第一沟槽内；所述第一驱动电机设置与所述第一连接件上，所述第一驱动电机的输出轴端部连接有滚轮，所述滚轮的侧面与所述水平基底表面接触连接。

所述垂直滑轨105包括垂直基底，所述垂直基板底部固定连接于所述第一连接件的安装板表面；所述垂直基底两侧形成有第二沟槽，所述垂直基底上滑移设置有第二连接件，所述限制板102的侧面固定连接于所述第二连接件表面，所述第二连接件上设置有第二驱动电极；所述第二连接件的结构以及所述第二连接件与所述垂直基底的连接关系与所述第一连接件类似，此处不再赘述。

所述限制板102顶端设置有副板，所述副板与所述限制板102相垂直，所述副板的侧部向其邻近的所述蒸发源101的上方作部分延伸；限制板102对喷嘴103的材料遮挡范围有限，调节幅度大但得到的效果一般，在所述限制板102顶端设置有副板，副板跟随限制板102在水平方向移动，所述副板可直接介入所述喷嘴103喷洒的材料，调节更便捷，限制效果更好。

图2为本发明蒸发装置一使用状态图。

如图2a所示，包括有蒸发装置，所述蒸发装置上方有移动的基板201经过，当基板201停留在所述蒸发装置的正上方时，所述蒸发装置朝向基板201喷洒材料。

所述蒸发装置包括有外壳202，所述外壳202内设置有蒸发源203，所述蒸发源203上部设置有喷嘴204，所述喷嘴204两侧设置有限制板207，所述限制板207侧部连接有垂直滑轨205，所述垂直滑轨205底部连接有水平滑轨206；所述限制板207的位置根据基板201的材料沉积需求进行了调整，使得所述喷嘴204喷出的材料落在基板201的对应区域。

所述限制板207顶部设置有副板208。

图2b为本发明蒸发装置另一使用状态图。

如图2b所示，与2a的区别仅在于基板201的尺寸改变，从而所述限制板207的位置作了调整，使得所述喷嘴204喷出的材料范围与基板201的沉积需求相匹配。

为了实现喷洒在所述限制板上的材料能够回收，在所述限制板侧部设置有可拆卸地条形集料槽，所述条形集料槽平行于所述限制板底边，且所述条形集料槽的端部与所述限制板两侧相平齐，所述限制板上经过遮挡积存的材料，能够沿限制板表面流入所述条形集料槽。

在所述限制板内设置有加热件，以避免材料积存在限制板表面时，不会迅速凝固，以辅助材料流入所述条形集料槽内。

所述条形集料槽两端设置有固定耳，所述固定耳弯折搭设于所述限制板侧部，并通过螺栓固定；从而实现对所述条形集料槽的固定。

在所述副板与所述限制板的连接处形成有弧形过渡面，从而，能够使所述副板表面堆积的材料经过所述弧形过渡面流入所述条形集料槽内。

所述弧形过渡面为内圆弧面，所述弧形过渡面的一端连接于所述副板的端部，所述弧形过渡面的相对另一端连接于所述限制板侧部。

综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (8)

1.一种蒸发装置，其特征在于，包括：壳体，以及位于所述壳体内的：

多个蒸发源，用于蒸发材料以产生气体材料；所述蒸发源包括：材料腔室，用以放置材料；加热件，贴覆于所述材料腔室的外部，用以对所述材料腔室内的材料进行加热；喷嘴，位于所述蒸发源上侧，用以将气体材料喷洒至基板表面；

限制板，设置于所述蒸发源的两侧，所述限制板的高度超出所述喷嘴，相邻所述限制板之间的距离与高度差，用以限制两所述限制板之间的所述喷嘴的喷料范围；

所述限制板连接有移动组件，所述限制板通过所述移动组件，能够在两所述蒸发源之间的区域内移动，用以调节所述喷嘴的喷料范围；其中，所述移动组件包括：

水平滑轨，设置于所述蒸发源的两端，且与所述蒸发源的宽度方向相平行；

垂直滑轨，与所述蒸发源的高度方向相平行，并且，所述垂直滑轨底部通过第一驱动电机可滑移地连接至所述水平滑轨上；

所述限制板的端部通过第二驱动电机可滑移地连接至所述垂直滑轨上。

2.根据权利要求1所述的蒸发装置，其特征在于，所述喷嘴为线性喷嘴，所述线性喷嘴包括呈一字型间隔分布的多个喷射孔，所述喷射孔的排列方向与基板的移动方向异面垂直。

3.根据权利要求1所述的蒸发装置，其特征在于，所述限制板顶端设置有副板，所述副板与所述限制板相垂直，所述副板的侧部向其邻近的所述蒸发源的上方作部分延伸。

4.根据权利要求3所述的蒸发装置，其特征在于，所述限制板侧部可拆卸地设置有条形集料槽，所述条形集料槽平行于所述限制板底边，且所述条形集料槽的端部与所述限制板两侧相平齐。

5.根据权利要求4所述的蒸发装置，其特征在于，所述限制板内设置有加热件。

6.根据权利要求4所述的蒸发装置，其特征在于，所述条形集料槽两端设置有固定耳，所述固定耳弯折搭设于所述限制板侧部，并通过螺栓固定。

7.根据权利要求4所述的蒸发装置，其特征在于，所述副板与所述限制板的连接处形成有弧形过渡面。

8.根据权利要求7所述的蒸发装置，其特征在于，所述弧形过渡面为内圆弧面，所述弧形过渡面的一端连接于所述副板的端部，所述弧形过渡面的相对另一端连接于所述限制板侧部。