CN108754448A - 线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置，包括：承载平台，用于承载蒸发蒸镀材料的加热装置；加热装置的喷嘴安装面上设有线性喷嘴组，线性喷嘴组包括沿沿喷嘴的方向设于喷嘴安装面的多个喷嘴；线性喷嘴组配套设有喷嘴控制系统，用于调节线性喷嘴组内多个喷嘴的蒸镀方向；喷嘴控制系统包括多个设于承载平台的喷嘴控制单元。当使用该线性蒸发源将蒸镀材料蒸镀到目标基板时，制得的蒸镀膜的膜厚在线源方向上的膜厚均一性比较好；当蒸镀材料为有机电致发光材料时，可以利用本申请实施例提供的线性蒸发源蒸镀有机电致发光材料，提高有机电致发光材料在目标基板上形成的发光层在线源方向上的膜厚均一性。

Description

线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置

技术领域

本申请涉及显示技术领域，特别是涉及一种线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置。

背景技术

在各类型的平板显示器中，有机电致发光显示器(OLED)具有宽视角、高亮度、高对比度、低驱动电压和快速响应的优点，被认为是下一代显示技术。

有机电致发光显示器是一种基于有机电致发光材料的电流型半导体发光器件，其主要依靠金属电极向发光层施加一定的电压，使发光层中的有机电致发光材料发光，从而实现图像响应；它以低功耗、高对比度、高色域、以及可以实现柔性显示的优点受到人们的广发关注。

目前，人们在制作有机电致发光显示器时，一般利用线性蒸发源蒸镀工艺将有机电致发光材料蒸镀到目标基板上，以制作其中的发光层，但是制得的发光层的膜厚在线源方向上膜厚不均匀，使得制成的有机电致发光显示器的显示效果比较差。

发明内容

基于此，有必要针对在蒸镀工艺中所制得发光层的膜厚在线源方向上存在膜厚不均匀的问题，提供一种线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置。

一种线性蒸发源，包括：

承载平台；

加热装置，设置于所述承载平台，所述加热装置具有一个喷嘴安装面；

线性喷嘴组，安装于所述喷嘴安装面，所述线性喷嘴组包括多个间隔设置的喷嘴；

喷嘴控制系统，与所述线性喷嘴组电连接，用于调节所述多个喷嘴的蒸镀方向。

上述线性蒸发源，由于线性喷嘴组还配套设有喷嘴控制系统，单个的喷嘴均配置有喷嘴控制单元，能够使得在发光层的膜厚在线源方向膜厚不均一时，通过喷嘴控制单元对其喷嘴进行转向驱动控制，进而改变有机膜层均一性，改善光学不良。

在其中一个实施例中，所述喷嘴控制单元包括：

驱动模块，用于驱动并改变所述喷嘴的蒸镀方向；

控制模块，用于对所述驱动模块进行电控制；

供电模块，用于向所述控制模块及所述驱动模块供电；

所述供电模块电连接于所述驱动模块及所述控制模块。

在其中一个实施例中，任一所述喷嘴控制单元与任一所述喷嘴一对一电连接，以通过任一所述喷嘴控制单元的驱动模块调整任一所述喷嘴的方向。

在其中一个实施例中，任一所述喷嘴控制单元与两个或两个以上的所述喷嘴一对多电连接，以通过任一所述喷嘴控制单元的驱动模块调整两个或两个以上的所述喷嘴的方向。

在其中一个实施例中，所述喷嘴具有大小可调的出液口，所述出液口设有多个叶片所组成的开闭结构，所述喷嘴通过控制所述叶片的转动以调整所述出液口的开口大小。

在其中一个实施例中，所述多个喷嘴控制单元沿线源方向设置于所述承载平台。

一种蒸发源系统，包括：

上述任一实施例中的线性蒸发源；

监测单元，所述监测单元与所述线性蒸发源电连接，所述监测单元用于监测产品的膜厚均一性。

上述蒸发源系统，包括上述任意一个实施例中的线性蒸发源及检测单元。蒸镀过程中，可以利用检测单元及时检测蒸镀膜的厚度，并通过喷嘴控制单元对喷嘴进行转向驱动控制，从而控制这更镀膜的厚度。

在其中一个实施例中，所述监测单元电连接于所述喷嘴控制单元，以将监测信息传递给所述喷嘴控制单元的控制模块。

在其中一个实施例中，所述蒸发源系统包括至少一个监测单元。

一种蒸镀装置，包括上述实施例中任一所述的线性蒸发源或上述实施例中任一所述的蒸发源系统。

附图说明

图1为本申请一个实施例提供的线性蒸发源的结构示意图；

图2为本申请一个实施例提供的蒸发源系统的结构示意图。

其中：

线性蒸发源 10

承载平台 100

加热装置 200

喷嘴安装面 210

线性喷嘴组 300

喷嘴 310

喷嘴控制系统 400

喷嘴控制单元 410

驱动模块 401

控制模块 402

供电模块 403

蒸镀膜 20

监测单元 30

蒸发源系统 40

具体实施方式

为使本申请的所述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

请参见图1，本申请实施例提供一种线性蒸发源10，其包括承载平台100，其承载平台100上承载有用于蒸发蒸镀材料的加热装置200；所述加热装置200的喷嘴安装面210上设有线性喷嘴组300，所述线性喷嘴组300包括沿线性设于喷嘴安装面210的多个喷嘴310。其线性喷嘴组300配套设有喷嘴控制系统400，用于调节线性喷嘴组300内多个喷嘴310的蒸镀方向；喷嘴控制系统400包括多个设于承载平台100的喷嘴控制单元410。其中，线性设于喷嘴安装面210的多个喷嘴310，指多个喷嘴310设于一条直线上。

具体实施时，将蒸镀材料加入加热装置200中，在蒸镀过程中，当蒸镀材料蒸发后形成的蒸镀气体从每个喷嘴310喷出后，蒸镀到目标基板时若监测到蒸镀膜20的膜厚均一性发生变化时，所述喷嘴控制系统400中的喷嘴控制单元410驱动对应的喷嘴310单元转向角度，以对其蒸镀膜20进行补偿蒸镀。

在一个具体实施例中，由于所述加热装置200所设的线性喷嘴组300配套设有喷嘴控制系统400。所述线性喷嘴组300包含多个喷嘴310，所述喷嘴控制系统400内包含多个喷嘴控制单元410。可以想到的是，单个喷嘴控制单元410单独驱动控制单个喷嘴310。这样，当蒸镀材料蒸发后形成的蒸镀气体从每个喷嘴310喷出后，蒸镀到目标底基板时，所形成的蒸镀膜20的膜厚均一性一旦监测超出规格，所述喷嘴控制系统400的喷嘴控制单元410驱动控制对应的一个或多个喷嘴310，对所述蒸镀膜20进行补偿蒸镀，并使得制得的蒸镀膜20的膜厚在沿喷嘴310的方向上的膜厚趋向一致。因此，当使用该线性蒸发源10将蒸镀材料蒸镀到目标基板时，制得的蒸镀膜20的膜厚在沿喷嘴310的方向上的膜厚均一性比较好；而有机电致发光材料是一种具体的蒸镀材料，所以，当蒸镀材料为有机电致发光材料时，可以利用本申请实施例提供的线性蒸发源10蒸镀有机电致发光材料，提高有机电致发光材料在目标基板上形成的发光层在沿喷嘴310的方向上的膜厚均一性。

在一个实施例中，所述加热装置200可以是常见的坩埚，也可以为其他可实现的装置。所述加热装置200还包括加热部，其加热部通常为加热丝，也可以为其他可实现的加热单元。

在一个实施例中，所述线性喷嘴组300的多个喷嘴310均为可转向喷嘴310，所述喷嘴310可沿喷嘴安装面210内水平方向转向。

进一步地，所述喷嘴310具有大小可调的出液口，其出液口设有多个叶片所组成的开闭结构。其中，多个叶片可以相互部分重叠，也可以不重叠。该叶片可以受喷嘴310的控制而转动，所述喷嘴310通过控制其叶片的转动以调整其开闭结构的开闭程度，进而控制出液口的开口大小。

在一个实施例中，所述的喷嘴控制系统400包括多个喷嘴控制单元410，其单个喷嘴控制单元410用于驱动控制单个喷嘴310。喷嘴控制单元410包括：用于驱动并改变所述单个喷嘴310蒸镀方向的驱动模块401；用于对所述驱动模块401进行电控制的控制模块402；以及向所述驱动模块401及控制模块402供电的供电模块403，所述供电模块403电连接于所述驱动模块401及控制模块402。

在另一个实施例中，所述的喷嘴控制系统400包括多个喷嘴控制单元，其中，单个喷嘴控制单元410用于驱动两个或两个以上的喷嘴310。具体的，任意一个喷嘴控制单元410可以同时驱动两个相邻的喷嘴310，或一个喷嘴控制单元410驱动不相邻的喷嘴310。例如，在蒸镀过程中，若左右两端的蒸镀膜20的膜厚通常易与中间部分的膜厚不同，且左右两端的膜厚变化通常相近，就可以使一个喷嘴控制单元410同时控制左右两端的两个或两个以上的喷嘴。

需要理解的是，本申请中的喷嘴控制单元410用于驱动喷嘴旋转，从而调节蒸镀膜20的厚度，因此，并不局限于一个喷嘴控制单元410对应几个喷嘴310。喷嘴控制单元410与喷嘴310的对应关系，能满足调节喷嘴310角度从而调节蒸镀膜20厚度的都应理解为在本实施例的保护范围之内。

在一个优选的实施例中，单个喷嘴控制单元410连接并驱动控制单个喷嘴310。

进一步地，所述多个喷嘴控制单元410同样沿多个喷嘴310的方向设置于所述承载平台100。所述驱动模块401与所述喷嘴310电连接，以对所述喷嘴310直接进行角度及方向的调整。也可以对所述喷嘴310的出液口所设的开闭结构进行控制，通过出液口的孔径的控制，调整出液量及出液压力，进而改善蒸镀膜20的膜厚均一性。

具体地，所述驱动模块401可以是微型电机单元。控制模块402可以是PLC(Programmable Logic Controller，可编程逻辑控制器)控制器或单片机等。所述供电模块403可以为直流电电池，也可以是220V交流电源与UPS(Uninterruptible Power System，不间断电源)并联后，再串联稳压器形成供电模块403。

在一个实施例中，当所述蒸镀膜20的膜厚均一性存在问题而无需所述喷嘴310进行角度变化而蒸镀补偿时，可通过调整所述喷嘴310的出液口的孔径大小，进而对所述蒸镀膜20进行二次蒸镀补偿。

请参见图2，本申请还提供一种蒸发源系统40，包括所述任一实施例中的线性蒸发源10，以及与所述蒸发源电连接的监测单元30，其监测单元30用于在蒸镀过程中对产品基板的膜厚均一性进行实时监测，并将其监测信息传递给所述线性蒸发源10的喷嘴控制单元410。

进一步地，所述监测单元30电连接于所述喷嘴控制单元410，并将监测信息传递给所述喷嘴控制单元410的控制模块402，控制模块402在收到异常信息后及时对其所对应的喷嘴310进行控制，可以选择对出液口进行调整或是对喷嘴310出液角度进行调整。

在一个实施例中，所述监测单元30还能够监测各蒸镀区的蒸镀状态，所述蒸镀状态包括蒸镀速率，通过所述监测单元30所监测到的各蒸镀区的蒸镀状态，传递给所述控制模块402，所述控制模块402通过监测信息进行判断补偿方式，通过控制模块402控制驱动模块401以对喷嘴310的角度进行调整，或对出液口的大小进行调整。

进一步地，其监测单元30可以为膜厚在线测试设备，也可以是其他设备，只要达到能够同样目的即可。

具体地，所述监测单元30包括敏感探头及显示模块，所述敏感探头用于监控膜厚均一性。所述显示模块用于直观显示基板上蒸镀膜20的膜厚均一性是否发生变化，便于作业人员观察。

在一个实施例中，所述线性蒸发源10系统至少包括一个监测单元30。

进一步地，所述膜厚在线测试设备对所监测到的膜厚数据进行数据整理分析通过监控界面进行显示，以便操作人员对蒸镀过程保持实时监控，也便于在工艺流程中及时进行调控。

所述蒸发源系统40包括本申请所提供的线性蒸发源10及监测单元30，所述监测单元30可以对蒸镀状态进行监测，也可以对基板的膜厚均一性进行监控，当所述监测单元30监测到异常状态或超出规格的情况时。所述监测单元30将其监测信息传递给所述线性蒸发源10所设的喷嘴控制单元410内的控制模块402，控制模块402根据所述监测信息进行判断控制喷嘴310的出液角度或出液口大小。

本申请还提供一种蒸镀装置，包括所述技术方案提供的的线性蒸发源10或所述技术方案提供的蒸发源系统40。

所述蒸镀装置包括了所述技术方案提供的的线性蒸发源10或所述技术方案提供的蒸发源系统40，所具备的有益效果与所述的线性蒸发源10与所述的蒸发源系统40相同。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对所述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种线性蒸发源(10)，其特征在于，包括：

承载平台(100)；

加热装置(200)，设置于所述承载平台(100)，所述加热装置(200)具有一个喷嘴安装面(210)；

线性喷嘴组(300)，安装于所述喷嘴安装面(210)，所述线性喷嘴组(300)包括多个间隔设置的喷嘴(310)；

喷嘴控制系统(400)，与所述线性喷嘴组(300)电连接，用于调节所述多个喷嘴(310)的蒸镀方向。

2.根据权利要求1所述的线性蒸发源(10)，其特征在于，所述喷嘴控制系统包括多个喷嘴控制单元(410)，所述喷嘴控制单元(410)包括：

驱动模块(401)，用于驱动并改变所述喷嘴(310)的蒸镀方向；

控制模块(402)，用于对所述驱动模块(401)进行电控制；

供电模块(403)，用于向所述控制模块(402)及所述驱动模块(401)供电；

所述供电模块(403)电连接于所述驱动模块(401)及所述控制模块(402)。

3.根据权利要求2所述的线性蒸发源(10)，其特征在于，任一所述喷嘴控制单元(410)与任一所述喷嘴(310)一对一电连接，以通过任一所述喷嘴控制单元(410)的驱动模块(401)调整任一所述喷嘴(310)的方向。

4.根据权利要求2所述的线性蒸发源(10)，其特征在于，任一所述喷嘴控制单元(410)与两个或两个以上的所述喷嘴(310)一对多电连接，以通过任一所述喷嘴控制单元(410)的驱动模块(401)调整两个或两个以上的所述喷嘴(310)的方向。

5.根据权利要求1所述的线性蒸发源(10)，其特征在于，所述喷嘴(310)具有大小可调的出液口，所述出液口设有由多个叶片所组成的开闭结构，所述喷嘴(310)通过控制所述叶片的转动以调整所述出液口的开口大小。

6.根据权利要求1所述的线性蒸发源(10)，其特征在于，所述多个喷嘴控制单元沿线源方向设置于所述承载平台(100)。

7.一种蒸发源系统(40)，其特征在于，包括：

如权利要求1-6任意一项中所述的线性蒸发源(10)；

监测单元(30)，所述监测单元(30)与所述线性蒸发源(10)电连接，所述监测单元(30)用于监测产品的膜厚均一性。

8.根据权利要求7所述的蒸发源系统，其特征在于，所述监测单元(30)电连接于所述喷嘴控制单元(410)，以将监测信息传递给所述喷嘴控制单元(410)的控制模块(402)。

9.根据权利要求7所述的蒸发源系统(40)，其特征在于，所述蒸发源系统(40)包括至少一个监测单元(30)。

10.一种蒸镀装置，其特征在于，包括权利要求1-6中任意一项所述的线性蒸发源(10)或所述权利要求7-9中任意一项所述的蒸发源系统(40)。