KR20210120465A - 고중량 진공 챔버 및 이를 포함하는 증착 장치 - Google Patents

Abstract

고중량 진공 챔버 및 이를 포함하는 증착 장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 내부에 증착공간이 마련되어 진공분위기에서 기판에 대한 증착이 이루어지며, 일측에 개구부가 구비되는 중량의 챔버 본체와; 상기 챔버 본체의 외벽에 결합되어 여닫이 형태로 상기 개구부를 개폐하는 중량의 개폐 도어와; 상기 개폐 도어가 상기 챔버 본체에 대해 여닫이 형태로서 개폐되도록 상기 챔버 본체와 상기 개폐 도어의 일측단을 연결하는 도어 힌지부와; 상기 개폐 도어에 상하 방향으로 회전 가능하게 결합되며, 상기 개폐 도어 개방 시 하향으로 회전하여 상기 개폐 도어를 지지하는 도어 지지부와; 상기 개폐 도어의 타단에 결합되어 폐쇄 시 상기 개폐 도어를 상기 챔버 본체에 고정하는 도어락을 포함하는, 고중량 진공 챔버가 제공된다.

Description

고중량 진공 챔버 및 이를 포함하는 증착 장치{Heavy weight vacuum chamber and apparatus for deposition having the same}

본 발명은 고중량 진공 챔버 및 이를 포함하는 증착 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 고중량의 진공 챔버에 있어서 여닫이 형태의 고중량의 개폐 도어의 열림 시 개폐 도어의 중량을 지지하도록 하여 개폐 도어의 고장을 방지할 수 있는 고중량 진공 챔버 및 이를 포함하는 증착 장치에 관한 것이다.

유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.

이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다. 특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이다.

유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 기판 상에 증착된다.

진공열증착방법은 진공 상태가 유지되는 진공 챔버 내에서 기판을 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)와 얼라인(align)한 후, 증발물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.

최근 기판이 대화형됨에 따라 증착공정이 이루어지는 진공 챔버도 또한 대형화되면서 고중량(heavy weight)화가 되고 있다. 이에 따라 진공 챔버 내부를 개폐하는 여닫이 형태의 도어 또한 고중량화 되면서 열림 시 도어를 지지하는 힌지부에 많은 하중이 발생하여 고장이 발생하는 경우가 있다.

대한민국 공개특허공보 제10-2015-0081507호(2015년07월15일 공개)

본 발명은 고중량의 진공 챔버에 있어서 여닫이 형태의 고중량의 개폐 도어의 열림 시 개폐 도어의 중량을 지지하도록 하여 개폐 도어의 고장을 방지할 수 있는 고중량 진공 챔버 및 이를 포함하는 증착 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 내부에 증착공간이 마련되어 진공분위기에서 기판에 대한 증착이 이루어지며, 일측에 개구부가 구비되는 중량의 챔버 본체와; 상기 챔버 본체의 외벽에 결합되어 여닫이 형태로 상기 개구부를 개폐하는 중량의 개폐 도어와; 상기 개폐 도어가 상기 챔버 본체에 대해 여닫이 형태로서 개폐되도록 상기 챔버 본체와 상기 개폐 도어의 일측단을 연결하는 도어 힌지부와; 상기 개폐 도어에 상하 방향으로 회전 가능하게 결합되며, 상기 개폐 도어 개방 시 하향으로 회전하여 상기 개폐 도어를 지지하는 도어 지지부와; 상기 개폐 도어의 타단에 결합되어 폐쇄 시 상기 개폐 도어를 상기 챔버 본체에 고정하는 도어락을 포함하는, 고중량 진공 챔버가 제공된다.

상기 챔버 본체와 상기 개폐 도어에는 격자 형태의 강성 프레임이 결합될 수 있다.

상기 도어 힌지부는, 상기 챔버 본체에 결합되는 제1 힌지 고정단과; 상기 개폐 도어의 일측단에 결합되는 제2 힌지 고정단과; 상기 제1 힌지 고정단에 일단이 회전 가능하게 결합되는 회전 몸체와; 상기 회전 몸체의 일단을 관통하여 양단이 상기 제1 힌지 고정단에 결합되는 힌지축과; 상기 회전 몸체의 타단을 관통하여 양단이 상기 제2 힌지 고정단에 결합되는 경사 조절축을 포함할 수 있다.

상기 회전 몸체는, 상기 경사 조절축을 사이에 두고 내부에 나사선이 형성되는 2개의 암나사부와; 상기 암나사부에 각각 나사결합되는 한 쌍의 경사 조절 나사부를 포함하며, 상기 경사 조절 나사부의 나사결합 정도에 따라 상기 회전 몸체의 경사를 조절할 수 있다.

상기 제1 힌지 고정단에는, 상기 회전 몸체를 관통한 상기 힌지축의 양단부가 각각 회전 가능하게 지지되도록 상기 힌지축의 단부가 삽입되는 관통부가 형성되는 한 쌍의 지지돌부가 서로 이격되어 형성되며, 상기 관통부에 삽입되는 상기 힌지축의 단부에는 슬리브(sleeve) 형태의 드라이 베어링(dry bearing)이 결합될 수 있다.

상기 지지돌부와 상기 회전 몸체 사이에는 상기 힌지축이 관통하는 스러스트 베어링(thrust bearing)이 개재될 수 있다.

상기 회전 몸체의 타단을 관통하여 상기 제2 힌지 고정단에 삽입되는 상기 경사 조절축의 단부에는 상기 제2 힌지 고정단과 상기 회전 몸체의 사이를 중심으로 서로 대향하여 슬리브(sleeve) 형태의 한 쌍의 드라이 베어링(dry bearing)이 각각 결합될 수 있다.

상기 한 쌍의 드라이 베어링의 서로 대향하는 단부에는 플랜지가 형성될 수 있으며, 상기 플랜지 사이에는 상기 경사 조절축이 관통하는 링 형상의 스페이셔가 개재될 수 있다.

상기 도어 지지부는, 일단이 상기 개폐 도어에 결합되는 도어 지지 힌지부와; 일단이 상기 도어 지지 힌지부에 힌지 결합되어 상기 도어 지지 힌지부를 중심으로 상기 상하 방향으로 회전하는 지지로드와; 상기 지지로드의 타단에 결합되는 지지푸팅(support footing)을 포함할 수 있다.

상기 지지푸팅은, 상기 지지로드에서 신축되도록 상기 지지로드에 나사결합될 수 있다.

상기 지지푸팅은, 레버의 작동에 따라 탄성력에 의해 상하로 신축되는 플로어 스토퍼(foot stopper)를 포함할 수 있다.

상기 도어 지지부는, 상기 개폐 도어에 결합되며, 상기 지지로드가 상향 회전하여 결착되는 결착부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 고중량 진공 챔버와; 상기 고중량 진공 챔버의 내부에 배치되며, 기판과 마스크를 서로 얼라인 하는 얼라이너와; 상기 기판에 대향하여 배치되는 증발원을 포함하는, 증착 장치가 제공된다.

본 발명의 실시예에 따르면, 고중량의 진공 챔버에 있어서 여닫이 형태의 고중량의 개폐 도어의 도어 열림 시 개폐 도어의 중량을 지지하도록 하여 개폐 도어의 고장을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 진공 챔버를 구비한 증착 장치를 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 진공 챔버의 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 진공 챔버의 개폐 도어의 정면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 진공 챔버의 도어 힌지부의 정면도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 진공 챔버의 도어 힌지부의 단면도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 진공 챔버의 도어 힌지부의 배면에서 본 사시도.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 진공 챔버의 도어 지지부가 접힌 상태를 도시한 도면.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 진공 챔버의 도어 지지부가 펴진 상태를 도시한 도면.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

이하, 본 발명에 따른 고중량 진공 챔버 및 이를 포함하는 증착 장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 진공 챔버를 구비한 증착 장치를 도시한 도면이다. 도 1에는, 증착 장치(2), 얼라이너(4), 증발원(6), 마스크(7), 기판(8), 개구부(9), 진공 챔버(10), 개폐 도어(16)가 도시되어 있다.

본 실시예에 따른 고중량 진공 챔버(10)를 설명하기 이전에, 고중량 진공 챔버(10)가 장착된 증착 장치(2)를 먼저 설명하기로 한다.

증착 장치(2)는, 본 실시예에 따른 고중량 진공 챔버(10)와; 고중량 진공 챔버(10)의 내부에 배치되며, 기판(8)과 마스크(7)를 서로 얼라인 하는 얼라이너(4)와; 기판(8)에 대향하여 배치되는 증발원(6)을 포함한다.

진공 챔버(10)의 증착공간 내에서는 증발물질의 증발에 따라 기판(8)에 대한 증발입자의 증착이 이루어진다. 진공 챔버(10)의 증착공간은 증발입자의 증착을 위하여 진공 분위기가 유지되며, 고진공의 증착공간 내에서 가열에 따라 증발물질을 증발시켜 증발입자를 기판(8)에 표면에 증착하게 된다. 이에 따라, 증발물질이 수용되어 증발물질을 가열하는 증발원(6)이 증착공간 내부에서 기판(8)에 대향하여 배치되며, 로딩된 기판(8)과 마스크(7)를 얼라인하는 얼라이너(4)가 기판(8) 상부에 배치될 수 있다.

기판(8)이 개폐 도어(16)가 열리고 개구부(9)를 통해 진공 챔버(10) 내부로 로딩되면, 얼라이너(4)는 기판(8)과 마스크(7)를 서로 얼라인하여 합착한다. 기판(8)과 마스크(7)의 얼라인이 이루어지면 증발원(6)에서 배출되는 증발입자가 마스크(7)를 거쳐 기판(8)에 일정 패턴으로 증착된다.

최근 기판(8)이 대형화 됨에 따라 기판(8)이 로딩되는 진공 챔버(10) 또한 대형화되면서 고중량화가 되고 있다. 이에 따라 진공 챔버(10)의 증착공간을 열고 닫는 여닫이 형태의 개폐 도어(16) 또한 고중량화되면서, 개폐 도어(16)가 열린 경우 도어 힌지부에 많은 하중이 가해지면서 개폐 도어(16)에 파손이 일어날 수 있다.

본 실시예에서는 여닫이 형태의 개폐 도어(16)의 도어 힌지부의 개선과 함께 개폐 도어(16) 열림 시 개폐 도어(16)를 지지할 수 있는 도어 지지부를 두어 고중량의 개폐 도어(16)를 지지함으로써 도어 힌지부에 가해지는 하중을 경감하였다.

이하에서는 본 실시예에 따른 고중량 진공 챔버를 자세히 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 진공 챔버의 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 진공 챔버의 개폐 도어의 정면도이다. 그리고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 진공 챔버의 도어 힌지부의 정면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 진공 챔버의 도어 힌지부의 단면도이며, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 진공 챔버의 도어 힌지부의 배면에서 본 사시도이다. 그리고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 진공 챔버의 도어 지지부가 접힌 상태를 도시한 도면이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 진공 챔버의 도어 지지부가 펴진 상태를 도시한 도면이다.

도 2 내지 도 8에는, 진공 챔버(10), 챔버 본체(12), 강성 프레임(14), 개폐 도어(16), 도어 힌지부(18), 도어 지지부(20), 도어락(22), 제1 힌지 고정단(24), 제2 힌지 고정단(26), 회전 몸체(28), 힌지축(30), 경사 조절축(32), 암나사부(34), 고정 볼트(36), 경사 조절 나사부(38), 지지돌부(40), 드라이 베어링(dry bearing)(42, 46, 48), 스러스트 베어링(44), 스페이셔(50), 결합부(52), 도어 지지 힌지부(54), 지지로드(56), 푸팅(footing)(58), 결착부(60), 플로어 스토퍼(floor stopper)(62), 나사부(64), 레버(66)가 도시되어 있다.

본 실시예에 따른 고중량 진공 챔버(10)는, 내부에 증착공간이 마련되어 진공분위기에서 기판에 대한 증착이 이루어지며, 일측에 개구부(도 1의 도면번호 9)가 구비되는 중량의 챔버 본체(12)와; 상기 챔버 본체(12)의 외벽에 결합되어 여닫이 형태로 상기 개구부를 개폐하는 중량의 개폐 도어(16)와; 상기 개폐 도어(16)가 상기 챔버 본체(12)에 대해 여닫이 형태로서 개폐되도록 상기 챔버 본체(12)와 상기 개폐 도어(16)의 일측단을 연결하는 도어 힌지부(18)와; 상기 개폐 도어(16)에 상하 방향으로 회전 가능하게 결합되며, 상기 개폐 도어(16) 개방 시 하향으로 회전하여 상기 개폐 도어(16)를 지지하는 도어 지지부(20)와; 상기 개폐 도어(16)의 타단에 결합되어 폐쇄 시 상기 개폐 도어(16)를 상기 챔버 본체(12)에 고정하는 도어락(22)을 포함한다.

챔버 본체(12)는, 그 내부에 증착공간이 마련되어 진공분위기에서 기판에 대한 증착이 이루어지며, 일측에 개구부가 구비된다. 진공펌프의 작동에 따라 증착공간 내의 공기가 배출되면서 증착공간이 고진공의 음압(陰壓) 상태로 되고, 고진공의 진공분위기에서 기판에 대한 증착이 이루어진다.

챔버 본체(12)의 일측에는 기판 등이 로딩 또는 언로딩되는 개구부가 형성되며 개구부는 후술한 개폐 도어(16)에 의해 열리거나 닫히게 된다.

챔버 본체(12)는 최근 기판의 대형화에 따라 대형화되면서 매우 큰 중량으로 제작되고 있다. 그리고, 내부의 고진공압을 견디기 위해 고진공의 진공압을 견디기 위해 두꺼운 두께로 형성될 수 있으며 도 2에 도시된 바와 같이 외면에 격자 형태의 강성 프레임(14)이 보강될 수 있다.

개폐 도어(16)는, 챔버 본체(12)의 외벽에 결합되어 여닫이 형태로 챔버 본체(12)의 개구부를 개폐한다. 개폐 도어(16)는 챔버 본체(12)의 개구부의 일측에 도어 힌지부(18)에 의해 여닫이 형태로 결합되어 있다. 여닫이 형태로 개폐 도어(16)가 결합되어 있기 때문에 고중량의 개폐 도어(16)가 열린 상태에 있는 경우 도어 힌지부(18)를 중심으로 큰 모멘트가 발생하여 도어 힌지부(18)에 파손이 일어날 우려가 있다. 본 실시예에서는 개폐 도어(16)의 중량화에 대응하여 도어 힌지부(18)의 개선된 형태를 제시한다.

개폐 도어(16)가 닫힌 상태에서는 도어락(22)을 걸어 개폐 도어(16)를 챔버 본체(12)에 고정한다. 개폐 도어(16)가 챔버 본체(12)의 외부에서 닫힌 상태로 도어락(22)이 결린 상태에서 진공펌프가 작동되면 증착공간이 고진공의 음압 상태로 되면서 개폐 도어(16)가 챔버 본체(12)의 개구부 주위를 압착하면서 증착공간의 밀폐가 이루어진다.

개폐 도어(16)도 챔버 본체(12)와 마찬가지로 고진공의 진공압을 견디기 위해 두꺼운 두께로 형성될 수 있며, 도 2에 도시된 바와 같이,외면에 격자 형태의 강성 프레임(14)이 보강될 수 있다.

도어 힌지부(18)는, 개폐 도어(16)가 챔버 본체(12)에 대해 여닫이 형태로서 개폐되도록 챔버 본체(12)와 개폐 도어(16)의 일측단을 연결한다. 도어 힌지부(18)의 일측은 챔버 본체(12)의 개구부에 인접하여 고정되고 도어 힌지부(18)의 타측은 개폐 도어(16)의 일측단에 결합되어 챔버 본체(12)에 대해 여닫이 형태로 결합된다.

도어 지지부(20)는, 개폐 도어(16)에 상하 방향으로 회전 가능하게 결합되며, 개폐 도어(16) 개방 시 하향으로 회전하여 개폐 도어(16)를 지지한다. 상술한 바와 같이 개폐 도어(16)가 고중량으로 제작되기 때문에 챔버 본체(12)에서 열린 경우 도어 힌지부(18)를 중심으로 큰 굽힘 모멘트가 발생하여 도어 힌지부(18)에 과도한 하중이 발생할 수 있다. 따라서, 본 실시예에서는 개폐 도어(16)에 상하 방향을 회전 가능하게 결합되는 도어 지지부(20)를 두어, 개폐 도어(16)가 열릴 때 도어 지지부(20)를 하향으로 회전시켜 바닥면에 지지하도록 함으로써 개폐 도어(16)의 하중을 지지하도록 구성하였다. 개폐 도어(16)가 닫힌 경우에는 도어 지지부(20)를 상향으로 회전시켜 개폐 도어(16)에 결착하여 둔다.

이하에서는, 도 4 내지 도 6을 참고하여, 본 실시예에 따른 고중량 진공 챔버(10)의 도어 힌지부(18)에 대해 자세히 살펴보기로 한다.

본 실시예에 따른 도어 힌지부(18)는, 챔버 본체(12)에 결합되는 제1 힌지 고정단(24)과; 개폐 도어(16)의 일측단에 결합되는 제2 힌지 고정단(26)과; 제1 힌지 고정단(24)에 일단이 회전 가능하게 결합되는 회전 몸체(28)와; 회전 몸체(28)의 일단을 관통하여 양단이 제1 힌지 고정단(24)에 결합되는 힌지축(30)과; 회전 몸체(28)의 타단을 관통하여 양단이 제2 힌지 고정단(26)에 결합되는 경사 조절축(32)을 포함한다.

도어 힌지부(18)의 결합을 위하여, 제1 힌지 고정단(24)은 챔버 본체(12)에 결합되고 제2 힌지 고정단(26)은 개폐 도어(16)의 일측단에 결합된다. 제1 힌지 고정단(24)과 제2 힌지 고정단(26)에는 다수의 볼트 구멍이 형성되어 있으며, 고정 볼트(36)를 통하여 제1 힌지 고정단(24)과 제2 힌지 고정단(26)이 챔버 본체(12)와 개폐 도어(16)에 확고히 고정된다.

회전 몸체(28)의 일단은 힌지축(30)을 중심으로 제1 힌지 고정단(24)에 회전 가능하게 결합되고, 타단은 제2 힌지 고정단(26)을 통해 개폐 도어(16)에 결합되어 힌지축(30)을 중심으로 회전 몸체(28)가 회전하면서 개폐 도어(16)가 닫히거나 열리게 된다.

힌지축(30)은 회전 몸체(28)의 일단을 관통하여 양단이 각각 제1 힌지 고정단(24)에 결합되는데, 회전 몸체(28)가 힌지축(30)을 중심으로 회전이 이루어진다.

힌지축(30)의 결합을 위하여 제1 힌지 고정단(24)에는 관통부가 형성되는 한 쌍의 지지돌부(40)가 서로 이격되어 형성될 수 있으며, 회전 몸체(28)를 관통한 힌지축(30)의 양단부는 한 쌍의 지지돌부(40)의 관통부에 각각 회전 가능하게 삽입되어 결합된다. 이 때, 지지돌부(40)의 관통부에 삽입되는 힌지축(30)의 양단부에는 슬리브(sleeve) 형태의 드라이 베어링(42)이 결합되어 개폐 도어(16)의 개폐 시 원활히 회전되도록 할 수 있다.

한편, 지지돌부(40)와 회전 몸체(28) 사이에는 힌지축(30)이 관통하는 스러스트 베어링(44)(thrust bearing)을 개재함으로써 개폐 도어(16)의 회전에 따른 회전 몸체(28)의 회전 시 지지돌부(40)와의 마찰을 줄여 개폐 도어(16)가 원활히 회전할 수 있도록 한다.

드라이 베어링(42, 46, 48)은 축을 끼울 수 있는 슬리브 형태로서 힌지축(30), 경사 조절축(32) 등의 각종 축에 끼워지며 표면이 매끄러운 윤활작용을 하여 축통에서 축이 원활히 회전하도록 한다.

한편, 회전 몸체(28)의 타단은 경사 조절축(32)을 중심으로 제2 힌지 고정단(26)에 결합되는데, 경사 조절축(32)은 회전 몸체(28)의 타단을 관통하여 양단이 각각 제2 힌지 고정단(26)에 결합된다.

회전 몸체(28)는 제2 힌지 고정단(26)을 매개로 하여 개폐 도어(16)에 고정되어야 하는데, 고중량의 개폐 도어(16)를 챔버 본체(12)에 결합할 때, 회전 몸체(28)를 경사 조절축(32)을 중심으로 양옆으로 조금씩 경사를 조절하면서 개폐 도어(16)에 결합함으로써 도어 힌지부(18)의 결합의 정밀성을 높일 수 있다. 이를 위해 회전 몸체(28)는, 경사 조절축(32)을 사이에 두고 내부에 나사선이 형성되는 2개의 암나사부(34)와; 암나사부(34)에 나사결합되는 한 쌍의 경사 조절 나사부(38)를 구비한다.

도 6에는 본 실시예에 따른 도어 힌지부(18)의 배면이 도시되어 있는데, 도 6을 참고하면, 고정 볼트(36)를 통해 제2 힌지 고정단(26)을 개폐 도어(16)의 일측단에 임시 결합한 상태에서, 경사 조절축(32)을 사이에 두고 위치한 한 쌍의 경사 조절 나사부(38)를 각각 정역 방향으로 회전시키면 돌출된 경사 조절 나사부(38)가 개폐 도어(16)의 표면을 밀면서 경사 조절축(32)을 중심으로 회전 몸체(28)의 경사를 조절하여 회전 몸체(28)를 제 위치에 설정할 수 있다.

도 5를 참고하면, 회전 몸체(28)의 경사 조절 시 경사 조절 나사부(38)의 나사결합 정도에 따라 회전 몸체(28)를 회전시킬 때 회전 몸체(28)의 원활한 회전을 위하여, 회전 몸체(28)와 제2 힌지 고정단(26)의 경계면을 중심으로 한 쌍의 드라이 베어링(46, 48)이 경사 조절축(32)에 결합될 수 있다. 즉, 회전 몸체(28)의 타단을 관통하여 제2 힌지 고정단(28)에 삽입되는 경사 조절축(32)의 단부에 제2 힌지 고정단(28)과 회전 몸체(28)의 사이를 중심으로 한 쌍의 드라이 베어링(46, 48)을 각각 결합함으로써 회전 몸체(28)의 경사 조절시 원활히 회전될 수 있도록 한다.

한편, 한 쌍의 드라이 베어링(46, 48)의 서로 대향하는 단부에는 플랜지가 형성될 수 있는데, 두 대향하는 드라이 베어링(46, 48)의 플랜지 사이에 경사 조절축(32)이 관통하는 링 형상의 스폐이셔(50)를 개재시켜 두 드라이 베어링(46, 48) 사이의 마찰력을 감소 시킬 수 있다.

도 7에는 본 실시예에 따른 도어 지지부(20)가 접힌 상태가 도시되어 있고, 도 8에는 도어 지지부(20)가 펴진 상태가 도시되어 있다.

도 7 및 도 8을 참조하여, 도어 지지부(20)의 구성을 보다 자세히 살펴보면, 본 실시예에 따른 도어 지지부(20)는, 일단이 개폐 도어(16)에 결합되는 도어 지지 힌지부(54)와; 일단이 도어 지지 힌지부(54)에 힌지 결합되어 도어 지지 힌지부(54)를 중심으로 상하 방향으로 회전하는 지지로드(56)와; 지지로드(56)의 타단에 결합되는 지지푸팅(58)(support footing)을 포함한다.

도어 지지부(20)는 개폐 도어(16)가 닫힌 상태에서는 접혀서 개폐 도어(16)에 고정되어 있다가 개폐 도어(16)가 열린 상태에서는 도어 지지부(20)를 하향으로 펴서 열린 개폐 도어(16)를 지지하도록 구성된다.

도어 지지 힌지부(54)는 결합부(52)를 매개로 개폐 도어(16)의 하단부에 결합되며, 도어 지지 힌지부(54)에 일단이 힌지 결합된 지지로드(56)는 도어 지지 힌지부(54)를 중심으로 상하 방향으로 회전하여 접히거나 펴지게 된다. 지지로드(56)의 타단에는 바닥면에 접촉되는 지지푸팅(58)이 결합되어 개폐 도어(16)가 열린 상태에서 지지로드(56)를 펴면 지지푸팅(58)이 바닥면에 닿으면서 개폐 도어(16)를 지지한다.

한편, 진공 챔버(10) 설치 시 지지푸팅(58)이 바닥면에 닿도록 길이를 조절할 필요가 있는데, 지지푸팅(58)을 지지로드(56)에서 나사결합되도록 함으로써 지지푸팅(58)이 신축시킬 수 있다. 도 7을 참조하면, 지지로드(56)의 단부에 암나사부를 두고 지지푸팅(58)의 단부에 나사부(64)를 두어 나사결합의 정도에 따라 지지푸팅(58)을 신축시킬 수 있다.

그리고, 개폐 도어(16)가 열려 도어 지지부(20)가 펴진 상태에서 다시 개폐 도어(16)를 닫을 때 도어 지지부(20)를 바닥면에서 이격되도록 하기 위해 지지푸팅(58)은 레버(66)의 작동에 따라 탄성력에 의해 상하로 신축되는 플로어 스토퍼(62)(foot stopper)을 포함할 수 있다.

도 8을 참조하면, 레버(66)의 작동에 따라 플로어 스토퍼(62)가 상하로 이동하도록 구성되는데, 지지로드(56)를 편 상태에서 레버(66)의 작동에 따라 플로어 스토퍼(62)가 신장되면서 바닥면에 지지되고, 개폐 도어(16)를 닫고자 할 때 다시 레버(66)를 작동시켜 플로어 스토퍼(62)를 수축시켜 바닥면에서 떨어지도록 한 것이다.

한편, 도 7에 도시된 바와 같이, 지지로드(56)가 접혔을 때 도어 지지부(20)를 개폐 도어(16)에 결착하기 위해 개폐 도어(16)에는 도어 지지부(20)가 결착되는 결착부(60)가 결합될 수 있다.

이상에서 본 발명의 실시예들에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.

2: 증착 장치 4: 얼라이너
6: 증발원 7: 마스크
8: 기판 9: 개구부
10: 진공 챔버 12: 챔버 본체
14: 강성 프레임 16: 개폐 도어
18: 도어 힌지부 20: 도어 지지부
22: 도어락 24: 제1 힌지 고정단
26: 제2 힌지 고정단 28: 회전 몸체
30: 힌지축 32: 경사 조절축
34: 암나사부 36: 고정 볼트
38: 경사 조절 나사부 40: 지지돌부
42, 46, 48: 드라이 베어링 44: 스러스트 베어링
50: 스페이셔 52: 결합부
54: 도어 지지 힌지부 56: 지지로드
58: 푸팅 60: 결착부
62: 플로어 스토퍼 64: 나사부
66: 레버

Claims (13)

1. 내부에 증착공간이 마련되어 진공분위기에서 기판에 대한 증착이 이루어지며, 일측에 개구부가 구비되는 중량의 챔버 본체와;
   상기 챔버 본체의 외벽에 결합되어 여닫이 형태로 상기 개구부를 개폐하는 중량의 개폐 도어와;
   상기 개폐 도어가 상기 챔버 본체에 대해 여닫이 형태로서 개폐되도록 상기 챔버 본체와 상기 개폐 도어의 일측단을 연결하는 도어 힌지부와;
   상기 개폐 도어에 상하 방향으로 회전 가능하게 결합되며, 상기 개폐 도어 개방 시 하향으로 회전하여 상기 개폐 도어를 지지하는 도어 지지부와;
   상기 개폐 도어의 타단에 결합되어 폐쇄 시 상기 개폐 도어를 상기 챔버 본체에 고정하는 도어락을 포함하는, 고중량 진공 챔버.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 챔버 본체와 상기 개폐 도어에는 격자 형태의 강성 프레임이 결합되는 것을 특징으로 하는, 고중량 진공 챔버.
   
3. 제1항에 있어서,
   상기 도어 힌지부는,
   상기 챔버 본체에 결합되는 제1 힌지 고정단과;
   상기 개폐 도어의 일측단에 결합되는 제2 힌지 고정단과;
   상기 제1 힌지 고정단에 일단이 회전 가능하게 결합되는 회전 몸체와;
   상기 회전 몸체의 일단을 관통하여 양단이 상기 제1 힌지 고정단에 결합되는 힌지축과;
   상기 회전 몸체의 타단을 관통하여 양단이 상기 제2 힌지 고정단에 결합되는 경사 조절축을 포함하는 것을 특징으로 하는, 고중량 진공 챔버.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 회전 몸체는,
   상기 경사 조절축을 사이에 두고 내부에 나사선이 형성되는 2개의 암나사부와;
   상기 암나사부에 각각 나사결합되는 한 쌍의 경사 조절 나사부를 포함하며,
   상기 경사 조절 나사부의 나사결합 정도에 따라 상기 회전 몸체의 경사를 조절하는 것을 특징으로 하는, 고중량 진공 챔버.
   
5. 제3항에 있어서,
   상기 제1 힌지 고정단에는,
   상기 회전 몸체를 관통한 상기 힌지축의 양단부가 각각 회전 가능하게 지지되도록 상기 힌지축의 단부가 삽입되는 관통부가 형성되는 한 쌍의 지지돌부가 서로 이격되어 형성되며,
   상기 관통부에 삽입되는 상기 힌지축의 단부에는 슬리브(sleeve) 형태의 드라이 베어링(dry bearing)이 결합되는 것을 특징으로 하는, 고중량 진공 챔버.
   
6. 제5항에 있어서,
   상기 지지돌부와 상기 회전 몸체 사이에는 상기 힌지축이 관통하는 스러스트 베어링(thrust bearing)이 개재되는 것을 특징으로 하는, 고중량 진공 챔버.
   
7. 제3항에 있어서,
   상기 회전 몸체의 타단을 관통하여 상기 제2 힌지 고정단에 삽입되는 상기 경사 조절축의 단부에는 상기 제2 힌지 고정단과 상기 회전 몸체의 사이를 중심으로 슬리브(sleeve) 형태의 한 쌍의 드라이 베어링(dry bearing)이 각각 결합되는 것을 특징으로 하는, 고중량 진공 챔버.
   
8. 제7항에 있어서,
   상기 한 쌍의 드라이 베어링의 서로 대향하는 단부에는 플랜지가 형성되며, 상기 플랜지 사이에는 상기 경사 조절축이 관통하는 링 형상의 스페이셔가 개재되는 것을 특징으로 하는, 고중량 진공 챔버.
   
9. 제1항에 있어서,
   상기 도어 지지부는,
   일단이 상기 개폐 도어에 결합되는 도어 지지 힌지부와;
   일단이 상기 도어 지지 힌지부에 힌지 결합되어 상기 도어 지지 힌지부를 중심으로 상기 상하 방향으로 회전하는 지지로드와;
   상기 지지로드의 타단에 결합되는 지지푸팅(support footing)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 고중량 진공 챔버.
   
10. 제9항에 있어서,
    상기 지지푸팅은, 상기 지지로드에서 신축되도록 상기 지지로드에 나사결합되는 것을 특징으로 하는, 고중량 진공 챔버.
    
11. 제9항에 있어서,
    상기 지지푸팅은,
    레버의 작동에 따라 탄성력에 의해 상하로 신축되는 플로어 스토퍼(foot stopper)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 고중량 진공 챔버.
    
12. 제9항에 있어서,
    상기 도어 지지부는,
    상기 개폐 도어에 결합되며, 상기 지지로드가 상향 회전하여 결착되는 결착부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 고중량 진공 챔버.
    
13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 따른 고중량 진공 챔버와;
    상기 고중량 진공 챔버의 내부에 배치되며, 기판과 마스크를 서로 얼라인 하는 얼라이너와;
    상기 기판에 대향하여 배치되는 증발원을 포함하는, 증착 장치.

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