JP2010126753A - 蒸着装置および有機発光装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 大判の膜厚を均一にするために、材料の蒸気を放出する放出口を複数備えた蒸着装置を用いる。この際、蒸着源からの輻射熱を受けて、基板およびマスクが熱膨張により伸びてアライメント位置からずれることを防ぐため、遮熱部材を配置する。このとき、遮熱部材が材料の流れを阻害しないよう、遮熱部材の開口が対応する放出口が熱膨張により水平方向に変動する範囲を含むよう設定する。
【選択図】 図1
Description
図1に示す蒸着装置に図2に示す蒸着源を配置して有機発光表示パネルを作製した。有機化合物としてAlq3を用い、サイズが400mm×500mmの無アルカリガラス基板上に、発光領域サイズが30μm×120μm、表示領域が350mm×450mmの有機発光表示パネルを作製した。
102 マスク
103 基板保持機構
104 成膜真空チャンバー
105 成膜材料
106 材料収容部
107 輸送管
108 放出部
109 放出口
110 膜厚モニター
111 遮熱部材
112 開口
401 回路
402 ガラス基板
403 平坦化層
404 下部電極
405 コンタクトホール
406 バンク
407 発光層
408 電子輸送層
409 電子注入層
410 上部電極
Claims (2)
- 成膜材料を収容する材料収容部と、前記材料収容部を加熱する手段と、加熱により生じた成膜材料の蒸気を放出する複数の放出口と、前記材料収容部から前記各々の放出口へ成膜材料の蒸気を輸送する輸送管と、前記各々の放出口に対応する位置に開口を有する遮熱部材と、を備える蒸着装置であって、前記遮熱部材の各々の開口範囲は、対応する放出口が熱膨張により水平方向に変動する範囲を含んでいることを特徴とする蒸着装置。
- 請求項1に記載の装置を用いた有機発光装置の製造方法であって、基板と複数の開口を有するマスクとの相対位置を決める工程と、前記蒸着源を加熱して前記基板上に前記マスクの開口に応じたパターンの膜を成膜する工程と、を有することを特徴とする有機発光装置の製造方法。
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