JP2004214185A - 蒸着装置および有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被蒸着基板51に蒸着マスク31を介して蒸発させた蒸着材料71を被着させる蒸着装置1において、蒸着材料71を収納しかつ蒸発させるるつぼ12と、被蒸着基板51と対向するるつぼ12上部に突出した状態に形成された突出部13と、るつぼ12内部より被蒸着基板51方向に向かって突出部13に形成された孔14と、突出部13の周囲でかつ孔14の射出側開口部14aと同じ高さもしくは孔14の射出側開口部14aよりも低い位置に被蒸着基板51側のるつぼ12の上面と間隔dを置いて設けられた放射阻止体15とを備えるものである。
【選択図】図1
Description
Claims (6)
- 被蒸着基板に蒸着マスクを介して蒸発させた蒸着材料を被着させる蒸着装置において、
前記蒸着材料を収納しかつ蒸発させるるつぼと、
前記被蒸着基板と対向する前記るつぼ上部に突出した状態に形成された突出部と、
前記るつぼ内部より前記被蒸着基板方向に向かって前記突出部に形成された孔と、
前記突出部の周囲でかつ前記孔の射出側開口部と同じ高さもしくは前記孔の射出側開口部よりも低い位置に前記るつぼの上面と間隔を置いて設けられた放射阻止体と
を備えることを特徴とする蒸着装置。 - 前記放射阻止体は、金属からなる板状体で構成され、
前記放射阻止体を冷却する冷却装置を備えている
ことを特徴とする請求項1記載の蒸着装置。 - 前記放射阻止体は複数枚を層構造に配設したものから成る
ことを特徴とする請求項1記載の蒸着装置。 - 前記孔は、前記るつぼ内部より前記被蒸着基板方向に向かって先細りとなる形状を有する
ことを特徴とする請求項1記載の蒸着装置。 - 前記被蒸着基板の被蒸着箇所が前記るつぼより蒸発された蒸着材料が飛散する領域を通過するように、前記るつぼと前記被蒸着基板との相対位置を可変させる移動装置を備えており、
前記るつぼは、前記被蒸着基板面に沿って、かつ前記移動装置による相対位置の可変方向と直交する方向がるつぼの長手方向となるように形成され、
前記孔は前記るつぼの長手方向に複数配設されている
ことを特徴とする請求項1記載の蒸着装置。 - 蒸着マスクを介して基板に有機材料を蒸発させ被着させる蒸着装置を用いて、有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する有機膜を成膜する工程を備えた有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
前記蒸着装置は、
前記蒸着材料を収納しかつ蒸発させるるつぼと、
前記被蒸着基板と対向する前記るつぼ上部に突出した状態に形成された突出部と、
前記るつぼ内部より前記被蒸着基板方向に向かって前記突出部に形成された孔と、
前記突出部の周囲でかつ前記孔の射出側開口部と同じ高さもしくは前記孔の射出側開口部よりも低い位置に前記るつぼの上面と間隔を置いて設けられた放射阻止体と
を備える
ことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
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