JPWO2009034916A1 - 蒸気放出装置、有機薄膜蒸着装置及び有機薄膜蒸着方法 - Google Patents

Abstract

蒸発材料の使用効率を向上させるとともに、蒸発材料の経時劣化を防止し、さらに、蒸着時の熱によるマスクの変形を確実に防止することができる有機材料蒸着技術を提供する。本発明の有機材料用蒸発源は、複数の放出口１２が面内に配列されたシャワープレート型の放出部１１と、放出部１１内に設けられ、導入される有機蒸発材料の蒸気を噴出口１５を介して放出部１１の底部１１ａに向って放出させて放出部１１内に供給する供給管１４と、少なくとも放出部１１の放出口１２側の部位に設けられる冷却手段１７とを有する。冷却手段１７は、例えば放出部１１を全体的に覆うように形成され、放出部１１の放出口１２と対応する部位に、当該有機蒸発材料の蒸気を通過させる蒸気通過孔１７ａを有する。

Description

本発明は、例えば有機ＥＬ素子の発光層を形成するための有機薄膜蒸着技術に関する。

従来より、有機ＥＬ素子の発光層を形成するのには真空蒸着装置が用いられている。このような真空蒸着装置においては、多くの基板に対して効率良く蒸着するため、直線状で長尺の蒸発容器に沿って蒸発口を設け、この容器を水平方向に向けるようにした蒸発源が提案されている。

しかし、このような直線状の容器を用いた蒸発源は、大量の有機材料を連続して蒸発させる必要があるため、蒸発材料の使用効率の低下や、蒸発材料の経時劣化や分解等の問題が生じている。
一方、以下の特許文献１に記載されるようなシャワープレート型の蒸発源も提案されている。
特開２００２−２４９８６８号公報

本発明は、このような従来の技術の課題を考慮してなされたもので、蒸発材料の使用効率を向上させるとともに、蒸発材料の経時劣化を防止可能な有機材料蒸着技術を提供することを目的とする。

上記目的を達成するためになされた本発明は、有機蒸発材料の蒸気を放出するための複数の放出口が面内に配列され、加熱可能に構成されたシャワープレート型の放出部と、前記放出部内に設けられ有機蒸発材料の蒸気を当該放出部内に供給する供給部であって、前記放出部の内壁に対して前記有機蒸発材料の蒸気を吹き付けるように構成された噴出口を有する供給部と、少なくとも前記放出部の前記放出口側の部位に設けられる冷却手段とを有する蒸気放出装置である。
本発明では、前記発明において、前記冷却手段が、前記放出部を全体的に覆うように形成することもできる。
本発明では、前記発明において、前記冷却手段が、前記放出部の放出口と対応する部位に、当該有機蒸発材料の蒸気を通過させる蒸気通過孔を有することもできる。
本発明は、前記発明において、前記放出部の放出口が当該放出部に設けられたノズル部の先端部に形成されるとともに、当該ノズル部の先端部が前記冷却手段の蒸気通過孔の内側の位置に配置される場合も効果がある。
本発明は、真空中で蒸着対象物に対してマスクを介して有機薄膜を蒸着する有機薄膜蒸着装置であって、蒸着対象物が搬入可能な蒸着用の真空槽と、前記真空槽内に設けられた蒸気放出装置とを備え、前記蒸気放出装置は、有機蒸発材料の蒸気を放出するための複数の放出口が面内に配列され、加熱可能に構成されたシャワープレート型の放出部と、前記放出部内に設けられ有機蒸発材料の蒸気を当該放出部内に供給する供給部であって、前記放出部の内壁に対して前記有機蒸発材料の蒸気を吹き付けるように構成された噴出口を有する供給部と、少なくとも前記放出部の前記放出口側の部位に設けられる冷却手段とを有し、前記蒸気放出装置の放出口が、前記マスクと対向するように配置されている有機薄膜蒸着装置である場合も効果がある。
本発明は、真空中で蒸着対象物に対してマスクを介して有機薄膜を蒸着する有機薄膜蒸着方法であって、複数の放出口が面内に配列されたシャワープレート型の放出部を用い、当該放出部を加熱しつつ、当該放出部内において当該放出部の内壁に対して有機蒸発材料の蒸気を吹き付けて供給する蒸発材料供給工程を有し、前記蒸発材料供給工程の際、前記放出部と前記マスクとの間に冷却手段を介在させて当該放出部から当該マスク方向への熱伝達を遮蔽することもできる。

本発明の場合、放出部内に供給部が設けられ、この供給部の噴出口から放出部の内壁に対して有機蒸発材料の蒸気を吹き付けるようにしたことから、この放出部の内壁に衝突した有機蒸発材料の蒸気は、放出部内において析出せず留まることなく反射されて、面内に配列された複数の放出口から放出される。

その結果、本発明によれば、最適量の有機蒸発材料の蒸気を必要に応じて供給させることができ、これにより長時間連続して蒸着を行う場合であっても、蒸発材料の経時劣化や分解を防止することができる。

また、本発明によれば、放出部内で有機材料を析出させることなく、放出部から放出する蒸気の温度を制御することができる。
しかも、本発明の場合、少なくとも放出部の放出口側の部位に冷却手段を設け、蒸着の際、放出部からマスク方向への熱伝達を遮蔽するようにしたことから、蒸着時の熱によるマスクの変形を防止することができる。

本発明において、冷却手段が、放出部を全体的に覆うように形成されている場合には、放出部からマスク方向への熱伝達量を減少させることができるので、蒸着時の熱によるマスクの変形をより確実に防止することができる。

本発明において、冷却手段が、放出部の放出口と対応する部位に、当該有機蒸発材料の蒸気を通過させる蒸気通過孔を有する場合には、蒸着対象物に対して十分な量の有機材料の蒸気を放出する一方で、蒸着時の熱によるマスクの変形を確実に防止することができる。

この場合、放出部の放出口が当該放出部に設けられたノズル部の先端部に形成されるとともに、このノズル部の先端部が冷却手段の蒸気通過孔の内側の位置に配置されている場合には、蒸着の際、放出部の放出口から放出される有機蒸発材料蒸気が冷却手段の蒸気通過孔の縁部に付着せず、一定量の有機材料蒸気を蒸着対象物に向って円滑に導くことができる。

本発明によれば、蒸発材料の使用効率を向上させるとともに、蒸発材料の経時劣化を防止可能な有機材料蒸着技術を提供することができる。
また、本発明によれば、蒸着時の熱によるマスクの変形を確実に防止することができる。

本発明の有機薄膜蒸着装置の要部を示す概略構成斜視図 同有機薄膜蒸着装置の要部を示す内部構成断面図 同有機薄膜蒸着装置における放出部の放出口と冷却手段の蒸気通過孔との関係を示す平面説明図 同有機薄膜蒸着装置における蒸着動作を示す断面説明図 蒸発室と供給手段を示す内部構成断面図

符号の説明

１…有機薄膜蒸着装置 ２…真空槽 ３…蒸気供給部 ３ａ、３ｂ、３ｃ…供給手段 １０…蒸気放出装置 １１…放出部 １２…放出口 １４…供給管（供給部） １４ａ…本体部 １５…噴出口 １６…ヒーター １７…冷却手段 １７ａ…蒸気通過孔 ２０…基板（蒸着対象物） ２１…マスク ５０…有機蒸発材料蒸気

以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本実施の形態に係る有機薄膜蒸着装置の要部を示す概略構成斜視図、図２は、同有機薄膜蒸着装置の要部を示す内部構成断面図、図３は、同有機薄膜蒸着装置における放出部の放出口と冷却手段の蒸気通過孔との関係を示す平面説明図、図４は、同有機薄膜蒸着装置における蒸着動作を示す断面説明図である。

図１及び図２に示すように、本実施の形態の有機薄膜蒸着装置１は、図示しない真空排気系に接続され蒸気放出装置１０を有する真空槽２と、この真空槽２内に有機蒸発材料の蒸気を供給するための蒸気供給部３を有している。

本実施の形態の蒸気供給部３は、複数の供給手段３ａ、３ｂ、３ｃと、各供給手段３ａ、３ｂ、３ｃに接続され図示しない真空排気系に接続された蒸発室３Ａ、３Ｂ、３Ｃとを有している。

ここで、各供給手段３ａ、３ｂ、３ｃは、有機ＥＬ装置の有機層を形成するための粒子状の有機蒸発材料を、各蒸発室３Ａ、３Ｂ、３Ｃに所定量ずつ供給する機能を有している。

そして、各蒸発室３Ａ、３Ｂ、３Ｃにて蒸発され得られた有機蒸発材料の蒸気を、バルブ３０、３１、３２、３３の切換によって導入管３４を介して以下の蒸気放出装置１０に導くように構成されている。

なお、各蒸発室３Ａ、３Ｂ、３Ｃから蒸気放出装置１０への有機蒸発材料の蒸気の供給は、真空槽２内の圧力を各蒸発室３Ａ、３Ｂ、３Ｃ内の圧力より低くすることによって行われる。

図２に示すように、真空槽２内には、蒸着対象物である基板２０がマスク２１と一体になって搬入される。ここでは、マスク２１を蒸気放出装置１０側に向けて真空槽２内に配置されるようになっている。

本実施の形態の蒸気放出装置１０は、例えば、ほぼプレート形状で長方体形状の筐体からなる放出部１１を有している。
この放出部１１は、例えば金属材料からなるもので、基板２０に対向する面に、複数の放出口１２が設けられている。

本実施の形態の場合は、放出部１１の上部に鉛直上方、即ち基板２０に向かう方向に円錐台形状のノズル部１３が複数設けられ、各ノズル部１３の先端部に例えば円形の放出口１２が形成されている。

一方、放出部１１の内部には、供給管（供給部）１４が設けられている。
この供給管１４は、上述した導入管３４に連結され、放出部１１の内部空間に、例えば図１中Ｘ軸方向へ直線状に延びる円筒パイプ状の本体部１４ａが所定の間隔をおいて複数設けられている。

そして、この供給管１４の本体部１４ａにおける下側部分には、有機蒸発材料の蒸気を放出部１１内に導入するための噴出口１５が、所定の間隔をおいて複数設けられている。

本実施の形態では、各噴出口１５は、供給管１４の真下の位置に配設され、これにより各噴出口１５が放出部１１の底部（内壁）１１ａに対向するように構成されている。

また、放出部１１の外表面部には、例えば抵抗加熱型のヒーター１６が設けられている。このヒーター１６は、放出部１１の外表面部に巻き付けられ、図示しない電源に接続されている。
さらに、このヒーター１６の周囲には、断熱材料からなる冷却手段１７が設けられている。

この冷却手段１７は、図示しない冷却媒体を循環させるように構成されている。そして、冷却手段１７は、放出部１１を全体的に覆うことによってヒーター１６の熱がマスク２１に伝わらないようになっている。

また、図２及び図３に示すように、冷却手段１７の上（頂）部には、放出部１１の放出口１２に対応する部分に例えば円形の蒸気通過孔１７ａが設けられ、蒸発材料の蒸気の円滑な放出を確保するように構成されている。

本実施の形態の場合、蒸気通過孔１７ａの口径が、それぞれ放出部１１の放出口１２の口径より大きく形成されている。さらに、各ノズル部１３の先端部が冷却手段１７の各蒸気通過孔１７ａの内側で、かつ、各蒸気通過孔１７ａから突出しない位置に配置されている。

そして、このような構成により、蒸着の際、放出部１１の放出口１２から放出される有機蒸発材料蒸気５０が冷却手段１７の蒸気通過孔１７ａの縁部に付着しないようになっている。

このような構成を有する本実施の形態において基板２０上に有機薄膜の蒸着を行う場合には、各供給手段３ａ、３ｂ、３ｃから供給され各蒸発室３Ａ、３Ｂ、３Ｃにて得られた所定量の有機蒸発材料蒸気５０を、図２及び図４に示すように、導入管３４を介して供給管１４内に導入する。

そして、供給管１４の各噴出口１５から、加熱中の放出部１１内の底部１１ａに向って有機蒸発材料蒸気５０を例えば鉛直下方に噴出させる。

その結果、放出部１１の底部１１ａに衝突した有機蒸発材料蒸気５０は、放出部１１の底部１１ａにおいて析出せず留まることなく反射され放出部１１内に充満し、これにより複数の放出口１２から放出され、その後、マスク２１を介して基板２０に到達する。

このような本実施の形態によれば、最適量の有機蒸発材料を必要に応じて蒸発させることができ、これにより長時間連続して蒸着を行う場合であっても、蒸発材料の経時劣化や分解を防止することができる。

特に本実施の形態では、放出部１１が加熱されるように構成されるとともに、供給管１４の噴出口１５から放出部１１の底部１１ａに対して有機蒸発材料蒸気５０を吹き付けるように構成されており、放出部１１内で有機材料を析出させることなく、放出部１１から放出する蒸気の温度を制御することができる。

また、本実施の形態では、供給管１４が、パイプ状に形成され、噴出口１５から放出部１１の底部１１ａ壁面に対して有機蒸発材料蒸気５０を吹き付けるように構成されており、広範囲にわたって少量の有機蒸発材料を連続的に供給することができるので、有機蒸発材料蒸気５０を放出部１１内において均一に分散させることができる。

さらに、本実施の形態の場合、放出部１１の放出口１２側の部位に冷却手段１７を設け、蒸着の際、放出部１１からマスク２１方向への熱伝達を遮蔽するようにしたことから、蒸着時の熱によるマスク２１の変形を防止することができる。

特に、冷却手段１７が、放出部１１を全体的に覆うように形成されるとともに、放出部１１の放出口１２と対応する部位に、有機蒸発材料蒸気５０を通過させる蒸気通過孔１７ａを有することから、基板２０に対して十分な量の有機蒸発材料蒸気５０を放出する一方で、蒸着時の熱によるマスク２１の変形を確実に防止することができる。

さらに、本実施の形態においては、放出部１１の放出口１２がノズル部１３の先端部に形成されるとともに、このノズル部１３の先端部が冷却手段１７の蒸気通過孔１７ａの内側の位置に配置されていることから、蒸着の際、放出部１１の放出口１２から放出される有機蒸発材料蒸気５０が冷却手段１７の蒸気通過孔１７ａの縁部に付着せず、一定量の有機蒸発材料蒸気５０を基板２０に向って円滑に導くことができる。

なお、本発明は上述の実施の形態に限られることなく、種々の変更を行うことができる。
例えば、本発明は、有機ＥＬ素子の発光層を形成するための真空蒸着装置のみならず、種々の有機薄膜を形成する装置に適用することができる。

ただし、本発明は、有機ＥＬ素子の発光層を形成するための装置に適用した場合に最も有効となるものである。

また、膜厚の均一化及び蒸発材料の使用効率の向上の観点から、蒸着の際に、マスク２１及び基板２０と放出部１１とを相対的に揺動させることもできる。

特に、上記実施の形態の場合は、例えば図２又は図４に示す駆動機構１８によりマスク２１及び基板２０を、材料供給部１４の本体部１４ａの延びる方向と直交する方向（図１中Ｙ軸方向）に揺動させることが好ましい。これにより、一層均一な成膜を行うことができる。

次に、図５を参照し、蒸発室３Ａ〜３Ｃと供給手段３a〜３ｃの一例を説明する。
図５の符号８１は加熱槽８１を示しており、ここでは、加熱槽８１が、内部を隔壁８５によって区分けされ、区分けされた一方で蒸発室３Ａ〜３Ｃが構成され、他方でガス加熱装置８０ａが構成されている。
ここでは、加熱槽８１は真空槽２の外部に配置されているが、加熱槽８１は真空槽２の内部に配置することもできる。

蒸発室３Ａ〜３Ｃの内部には蒸発装置９４が配置されている。この蒸発装置９４は金属で形成されており、その上部表面である蒸発面９８は平滑にされ、水平方向に対して角度θで傾斜されている(０＜θ＜９０°)。

ガス加熱装置８０ａの内部には、加熱フィルタ８２が配置されている。この加熱フィルタ８２は、多孔質ＳｉＣ、網状ＳｉＣや金属製網の積層体、その他、気体が透過可能で高温に昇温されても分解したり、気体を放出しない材料で構成されている。

加熱槽８１の側面、底面、表面には、ヒータ８９が配置されており、加熱電源８８によってヒータ８９に通電して発熱させると、加熱槽８１が昇温するように構成されており、加熱フィルタ８２と蒸発装置９４は、加熱槽８１からの熱伝導及び輻射によって加熱される。加熱槽８１の外部に誘導加熱コイルを配置し、交番磁界により、加熱フィルタ８２や蒸発装置９４を誘導加熱してもよい。

加熱槽８１の内部には、ガス加熱装置８０ａと蒸発室３Ａ〜３Ｃに亘って接続配管９３が配置されている。隔壁８５は気体が通過できない材料であり、接続配管９３の一端は蒸発室３Ａ〜３Ｃ内で開口し、他端はガス加熱装置８０ａ内で開口しており、ガス加熱装置８０ａと蒸発室３Ａ〜３Ｃは接続配管９３によって接続され、ガス加熱装置８０ａ内のガスは、接続配管９３を通って、蒸発室９０ａに移動できるようにされている。

蒸発室３Ａ〜３Ｃは真空排気系１０３に接続されており、蒸発室３Ａ〜３Ｃを真空排気すると、ガス加熱装置８０ａ内の気体も接続配管９３を介して真空排気され、蒸発室３Ａ〜３Ｃとガス加熱装置８０ａの内部を真空雰囲気にすることができる。但し、蒸気発生時は、発生した蒸気が排気されないように蒸発室３Ａ〜３Ｃと真空排気系１０３は遮断される。

ガス加熱装置８０ａには、キャリアガス供給系８４が接続されている。キャリアガス供給系８４からは、有機材料と反応しないＡｒやＸｅ等の希ガスから成るキャリアガスが供給される。（有機材料蒸気が反応する場合は、窒素ガスはキャリアガスには不向きである。）キャリアガス供給系８４からガス加熱装置８０ａにキャリアガスが供給されると、キャリアガスは加熱フィルタ８２の微小孔や網目を通って接続配管９３の内部に入り、接続配管９３内を流れて蒸発室３Ａ〜３Ｃ内に導入される。

加熱フィルタ８２はヒータ８９によって加熱されており、キャリアガスは加熱フィルタ８２を通過する間に、有機材料の蒸発温度よりも高温であって分解温度未満の温度に加熱される。
供給手段３a〜３ｃは、タンク室７１と原料供給管７２を有しており、蒸発室３Ａ〜３Ｃの上方に、タンク室７１が配置されている。

原料供給管７２は、上端がタンク室７１の下端に気密に接続され、下端が蒸発室３Ａ〜３Ｃの内部に気密に挿入されている。タンク室７１の内部と蒸発室３Ａ〜３Ｃの内部は原料供給管７２によって接続され、蒸発室３Ａ〜３Ｃの内部を真空排気すると、タンク室７１の内部や原料供給管７２の内部も真空排気される。

タンク室７１は密閉されており、タンク室７１、原料供給管７２、蒸発室３Ａ〜３Ｃが真空排気されるときに大気は侵入しない。
原料供給管７２の内部には、側面にネジ山及びネジ溝が形成された回転軸７６が配置されている。ここでは、原料供給管７２と回転軸７６は鉛直に配置されている。

回転軸７６のネジ山と原料供給管７２の内壁面は接触するか僅かな隙間で近接しており、タンク室７１の内部はネジ溝によって蒸発室３Ａ〜３Ｃに接続されている。ネジ溝の水平方向に対する傾斜角度は小さくなっており、回転軸７６が静止した状態では、タンク室７１の内部にネジ溝の大きさよりも小さい粉体が配置されても、蒸発室３Ａ〜３Ｃ内にはこぼれ落ちない。

タンク室７１の内部には上述した有機蒸発材料７８が配置されている。有機蒸発材料７８は、有機薄膜の母材と発色剤とが混合された粉体であり、各供給手段３ａ〜３ｃのタンク室７１には、異なる種類（色）の有機蒸発材料７８を配置してもよいし、同じ種類の有機蒸発材料７８を配置してもよい。

図５の符号７９はモータ等を有する回転手段を示しており、回転軸７６は回転手段７９に接続されている。回転手段７９を動作させると、回転軸７６はその中心軸線を中心として、原料供給管７２内で上昇も下降もせずに回転する。
回転軸７６が静止した状態では、タンク室７１内の有機蒸発材料７８は移動しないが、回転軸７６を回転させると有機蒸発材料７８はネジ溝を通って原料供給管７２の内部に入り、原料供給管７２のネジ溝に沿って下方に移動する。

原料供給管７２の下端は、蒸発室３Ａ〜３Ｃの内部に挿入されており、接続配管９３に接続され、原料供給管７２の内部と接続配管９３の内部が連通するように構成されている。
ネジ溝の下端は原料供給管７２内で開放されており、回転軸７６の回転により下方に移動してネジ溝の下端に到達した有機蒸発材料７８は、ネジ溝内から接続配管９３の内周面上に落下する。

回転軸７６をゆっくり回転させたとき、有機蒸発材料７８のネジ溝内での移動量と、回転軸７６の回転量とは一対一の関係にあり、回転量と落下量の関係を予め求めておくと、原料供給管７２から所望量の有機蒸発材料７８を落下させることができる。ゆっくり回転させた場合は少量ずつ連続的に落下させることができる。

接続配管９３は、蒸発室３Ａ〜３Ｃ内の端部位置と有機蒸発材料７８が落下する位置との間の部分は傾けられており、端部を構成する開口９６が、落下位置よりも下方になるようにされている。従って、接続配管９３の内周面上に落下した有機蒸発材料７８は、接続配管９３の内周面を開口９６に向けて滑り落ちる。

開口９６は蒸発装置９４の蒸発面９８の真上に配置されており、開口９６に到達した有機蒸発材料７８は、開口９６から蒸発面９８上に落下する。
蒸発面９８上に落下した有機蒸発材料７８は、蒸発面９８上に散布される。蒸発面９８は傾いているから、有機蒸発材料７８は拡がった状態で蒸発面９８上を滑り落ちる。

蒸発面９８上に落下する有機蒸発材料７８は、室温では粉体であるが、蒸発温度以上に加熱されると蒸発して、有機蒸発材料蒸気５０が生成される。蒸発装置９４は、ヒータ８９によって、予め有機蒸発材料７８の蒸発温度よりも高温に昇温されており、蒸発面９８上には、蒸発面９８を滑り落ちて下端に到達する前(即ち、滑り落ちる間)に全部蒸発できる量の有機蒸発材料７９が供給されるので、有機蒸発材料７８は、蒸発面９８上に散布された直後から蒸発を開始し、滑落しながら蒸発し、下端に到達することなく蒸発面９８上から消滅する。

蒸発面９８上に有機蒸発材料７８を落下させる際には、真空槽内の真空排気は行なっているが、蒸発室３Ａ〜３Ｃと真空排気系１０３との間のバルブは閉じておき、有機蒸発材料７８の蒸発によって蒸発室３Ａ〜３Ｃ内で生成された有機蒸発材料蒸気５０が供給管１４を通らずに真空排気されることがないようにしておく。

蒸発室３Ａ〜３Ｃと供給管１４は、導入管３４によって接続されている。蒸発面９８上に有機蒸発材料７８を落下させる際には、落下前からガス加熱装置８０ａにキャリアガスを供給し、加熱されたキャリアガスが蒸発室３Ａ〜３Ｃ内に導入されるようにしておく。

加熱されたキャリアガスが流れる接続配管９３の開口９６を蒸発面９８の有機蒸発材料７８が蒸発する部分に向け、その部分に加熱されたキャリアガスを吹き付けると、有機蒸発材料蒸気５０と加熱されたキャリアガスは蒸発室３Ａ〜３Ｃ内で均一に混合され、その混合ガスが、導入管３４を通って蒸気放出装置１０に導入される。

キャリアガス供給系８４からガス加熱装置８０ａに供給するキャリアガスの流量を制御することにより、供給管１４の内部圧力が、供給管１４の内部で混合ガス(キャリアガスと有機材料蒸気の混合ガス)の粘性流が形成される大きさにされており、供給管１４の各本体部１４ａの内部は、根本から先端まで略等しい圧力の混合ガスで充満される。
また、真空槽２の内部は継続して直接真空排気され、供給管１４の周囲の圧力は供給管１４の内部圧力よりも低圧になっている。その結果、各噴出孔１５からそれぞれ等しい流速で混合ガスが放出され、有機蒸発材料蒸気５０は、冷却手段１７の蒸気通過孔１７ａとマスク２１の貫通孔を通って、基板２０表面に均一な単位面積当たりの密度で到達する。

キャリアガスを導入することで、有機蒸発材料蒸気５０の導入量が少ない場合でも、供給官１４内の圧力を、本体部１４ａ先端から根元部分の間で噴出孔１５から均一に蒸気を放出することができる圧力にすることができる。

また、有機蒸発材料蒸気５０の発生量を変化させた場合でも、キャリアガスの導入量を変化させることで、供給管１４内の圧力を調整することが可能となる。このため、有機蒸発材料蒸気５０の発生量を変化させること、すなわち成膜速度の調整が可能となる。
各本体部１４ａの根本から先端まで基板表面に等量の有機材料蒸気が到達するので、偏りのない有機薄膜が得られる。

加熱槽８１の内部には、ガス加熱装置８０ａと蒸発室３Ａ〜３Ｃに亘って接続配管９３が配置されている。隔壁８５は気体が通過できない材料であり、接続配管９３の一端は蒸発室３Ａ〜３Ｃ内で開口し、他端はガス加熱装置８０ａ内で開口しており、ガス加熱装置８０ａと蒸発室３Ａ〜３Ｃは接続配管９３によって接続され、ガス加熱装置８０ａ内のガスは、接続配管９３を通って、蒸発室３Ａ〜３Ｃに移動できるようにされている。

キャリアガスを導入することで、有機蒸発材料蒸気５０の導入量が少ない場合でも、供給管１４内の圧力を、本体部１４ａ先端から根元部分の間で噴出孔１５から均一に蒸気を放出することができる圧力にすることができる。

Claims (6)

1. 有機蒸発材料の蒸気を放出するための複数の放出口が面内に配列され、加熱可能に構成されたシャワープレート型の放出部と、
   前記放出部内に設けられ有機蒸発材料の蒸気を当該放出部内に供給する供給部であって、前記放出部の内壁に対して前記有機蒸発材料の蒸気を吹き付けるように構成された噴出口を有する供給部と、
   少なくとも前記放出部の前記放出口側の部位に設けられる冷却手段とを有する蒸気放出装置。
2. 前記冷却手段は、前記放出部を全体的に覆うように形成されている請求項１記載の蒸気放出装置。
3. 前記冷却手段は、前記放出部の放出口と対応する部位に、当該有機蒸発材料の蒸気を通過させる蒸気通過孔を有する請求項２記載の蒸気放出装置。
4. 前記放出部の放出口が当該放出部に設けられたノズル部の先端部に形成されるとともに、当該ノズル部の先端部が前記冷却手段の蒸気通過孔の内側の位置に配置されている請求項３記載の蒸気放出装置。
5. 真空中で蒸着対象物に対してマスクを介して有機薄膜を蒸着する有機薄膜蒸着装置であって、
   蒸着対象物が搬入可能な蒸着用の真空槽と、
   前記真空槽内に設けられた蒸気放出装置とを備え、
   前記蒸気放出装置は、有機蒸発材料の蒸気を放出するための複数の放出口が面内に配列され、加熱可能に構成されたシャワープレート型の放出部と、
   前記放出部内に設けられ有機蒸発材料の蒸気を当該放出部内に供給する供給部であって、前記放出部の内壁に対して前記有機蒸発材料の蒸気を吹き付けるように構成された噴出口を有する供給部と、
   少なくとも前記放出部の前記放出口側の部位に設けられる冷却手段とを有し、
   前記蒸気放出装置の放出口が、前記マスクと対向するように配置されている有機薄膜蒸着装置。
6. 真空中で蒸着対象物に対してマスクを介して有機薄膜を蒸着する有機薄膜蒸着方法であって、
   複数の放出口が面内に配列されたシャワープレート型の放出部を用い、当該放出部を加熱しつつ、当該放出部内において当該放出部の内壁に対して有機蒸発材料の蒸気を吹き付けて供給する蒸発材料供給工程を有し、
   前記蒸発材料供給工程の際、前記放出部と前記マスクとの間に冷却手段を介在させて当該放出部から当該マスク方向への熱伝達を遮蔽する有機薄膜蒸着方法。
   

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