JP5140382B2 - 蒸気放出装置、有機薄膜蒸着装置及び有機薄膜蒸着方法 - Google Patents
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Description
このような真空蒸着装置においては、多くの基板に対して効率良く蒸着するため、直線状で長尺の蒸発容器に沿って蒸発口を設け、この容器を水平方向に向けるようにした蒸発源が提案されている。
一方、以下の特許文献1に記載されるようなシャワープレート型の蒸発源も提案されている。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、成膜対象物と前記放出部とが相対的に揺動するように構成されているものである。
請求項3記載の発明は、成膜対象物が搬入可能な真空槽と、前記真空槽内に設けられた請求項1又は2のいずれか1項記載の蒸気放出装置とを備え、前記成膜対象物が揺動するように構成されている有機薄膜蒸着装置である。
また、本発明によれば、放出部の外表面にヒーターが設けられるとともに、当該ヒーターの周囲には放出部の全体を覆う冷却手段が設けられていることから、放出部内で有機材料を析出させることなく、またヒーターの熱をマスクに伝えることなく、放出部から放出する蒸気の温度を制御することができる。
図1は、本実施の形態に係る有機薄膜蒸着装置の要部を示すの概略構成斜視図、図2は、同有機薄膜蒸着装置の要部を示す内部構成断面図、図3は、同有機薄膜蒸着装置における蒸着動作を示す断面説明図である。
ここで、各供給手段3a、3b、3cは、有機EL装置の有機層を形成するための粒子状の有機蒸発材料を、各蒸発室3A、3B、3Cに所定量づつ供給する機能を有している。
なお、各蒸発室3A、3B、3Cから蒸気放出装置10への有機蒸発材料の蒸気の供給は、真空槽2内の圧力を各蒸発室3A、3B、3C内の圧力より低くすることによって行われる。
この放出部11は、例えば金属材料からなるもので、基板20に対向する面に、複数の放出口12が設けられている。
この供給管14は、上述した導入管34に連結され、放出部11の内部空間に、例えば図1中X軸方向へ直線状に延びる円筒パイプ状の本体部14aが所定の間隔をおいて複数設けられている。
そして、この供給管14の本体部14aにおける下側部分には、有機蒸発材料の蒸気を放出部11内に導入するための噴出口15が、所定の間隔をおいて複数設けられている。
また、放出部11の外表面部には、例えば抵抗加熱型のヒーター16が設けられている。このヒーター16は、例えば放出部11の外表面部に巻き付けられ、図示しない電源に接続されている。
この冷却手段17は、図示しない冷却媒体を循環させるように構成されている。そして、冷却手段17は、放出部11を全体的に覆うことによってヒーター16の熱がマスク21に伝わらないようになっている。
なお、図2に示すように、冷却手段17の上(頂)部には、上述した放出口12に対応する部分に孔部17aが設けられ、蒸発材料の円滑な蒸発を確保するように構成されている。
本発明の場合、マスク21及び基板20の揺動方向は特に限定されることはないが、均一な成膜を行う観点からは、供給管14の本体部14aの延びる方向と直交する方向(例えば、図1中、Y1又はY2方向)に揺動させることが好ましい。
そして、供給管14の各噴出口15から、加熱中の放出部11内の底部11aに向って有機蒸発材料蒸気50を例えば鉛直下方に噴出させる。
なお、本発明は上述の実施の形態に限られることなく、種々の変更を行うことができる。
ただし、本発明は、有機EL素子の発光層を形成するための装置に適用した場合に最も有効となるものである。
Claims (3)
- マスクが設けられた基板に有機蒸発材料の蒸気を放出して成膜するための蒸気放出装置であって、
有機蒸発材料の蒸気を放出するための複数の放出口が面内に配列され、加熱可能に構成されたシャワープレート型の筐体からなる放出部と、
前記放出部内に設けられ有機蒸発材料の蒸気を当該放出部内に供給する供給部とを有し、
前記供給部が、パイプ状に形成され且つ前記放出部内に所定の間隔をおいて複数設けられた本体部を有し、当該本体部に設けられた噴出口から前記放出部の内壁に対して当該有機蒸発材料の蒸気を吹き付けるように構成され、
前記放出部の外表面にヒーターが設けられるとともに、当該ヒーターの周囲には前記放出部の全体を覆う冷却手段が設けられている蒸気放出装置。 - 成膜対象物と前記放出部とが相対的に揺動するように構成されている請求項1記載の蒸気放出装置。
- 成膜対象物が搬入可能な真空槽と、
前記真空槽内に設けられた請求項1又は2のいずれか1項記載の蒸気放出装置とを備えた有機薄膜蒸着装置。
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